JPS61271376A - ラツピング用スラリ− - Google Patents
ラツピング用スラリ−Info
- Publication number
- JPS61271376A JPS61271376A JP60112114A JP11211485A JPS61271376A JP S61271376 A JPS61271376 A JP S61271376A JP 60112114 A JP60112114 A JP 60112114A JP 11211485 A JP11211485 A JP 11211485A JP S61271376 A JPS61271376 A JP S61271376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slurry
- silica particles
- abrasive grains
- lapping
- wrapping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はラッピングに相いるスラリーに関スモ〔発明の
技術的背景及び七の間髭点〕ラッ ピングは水や油等の加工欣に億粒を混ぜたスラリーを加
工物と工具の間に人21.、両者菟;圧力を加えながら
相対運動をすること(;より行われ、金属やセラミック
の研磨加工や切断加工等(:応用される。
技術的背景及び七の間髭点〕ラッ ピングは水や油等の加工欣に億粒を混ぜたスラリーを加
工物と工具の間に人21.、両者菟;圧力を加えながら
相対運動をすること(;より行われ、金属やセラミック
の研磨加工や切断加工等(:応用される。
スラリーとして要求される条件Ii仄の通りでおる。
(1) 加工速屁が速いこと。
<2J 砥粒の分散性が後れていること。
(3)スラリー〇埒命が長い。
(4)加工精度が高いこと。
(5) 加工部を傷つけない。
一方、砥粒として実用化されているものはsic。
A40s # BN @ Cent t
Crabj * Ago + Be0 1 T
i1t。
Crabj * Ago + Be0 1 T
i1t。
B、C、WC等でめ夕、加工液としては水、鉱物油。
植物油9合成油等が用いられている。
例えばワイヤを用いて#電体単結晶ボールを切断する場
合、鉱物油PS−L−3(753!:1%) と810
粒(25、il[量%)とよりなるスラリーを単結晶ボ
ールの側面4二押圧しながら往復運動するピアノ線上に
注ぐことによシ切断が行われる。スラリーはあらかじめ
タンクの中で調合され、砥粒の分散をよくするために攪
拌されたものが、配管を通じて送り込まれ、加工部C二
注入される。
合、鉱物油PS−L−3(753!:1%) と810
粒(25、il[量%)とよりなるスラリーを単結晶ボ
ールの側面4二押圧しながら往復運動するピアノ線上に
注ぐことによシ切断が行われる。スラリーはあらかじめ
タンクの中で調合され、砥粒の分散をよくするために攪
拌されたものが、配管を通じて送り込まれ、加工部C二
注入される。
この場合現状においては3インチ径ウェハーの切断終了
までC;は17時間を黄やし、12本のウェハーの切断
が終了するとスラリーのd!能が低下して使用できなく
なり廃棄しなければならない。この丸め加工速度の速い
、*命の長いスラリーの出現がjlすれている。
までC;は17時間を黄やし、12本のウェハーの切断
が終了するとスラリーのd!能が低下して使用できなく
なり廃棄しなければならない。この丸め加工速度の速い
、*命の長いスラリーの出現がjlすれている。
本発明は上記要望を実現するためになされたもので、加
工速度が速く、寿命の長いラッピング用スラリーを提供
することを目的とする。
工速度が速く、寿命の長いラッピング用スラリーを提供
することを目的とする。
〔発明0s要〕
発明者等は加工速度向上、長寿命化を実現するための実
験を行う中で、スラリー中の砥粒の沈降速度を減じると
とC;より、加工速度の向上が実現できることを見出し
、本究明を完成した。すなわち本発明に砥粒と加工液と
を含むスラリーにおいて、加工液には砥粒の沈降速度を
諷じもシリカ粒子を含むことを特徴とするラッピング用
スラリーでめる。
験を行う中で、スラリー中の砥粒の沈降速度を減じると
とC;より、加工速度の向上が実現できることを見出し
、本究明を完成した。すなわち本発明に砥粒と加工液と
を含むスラリーにおいて、加工液には砥粒の沈降速度を
諷じもシリカ粒子を含むことを特徴とするラッピング用
スラリーでめる。
シリカ粒子としては平均粒径12mμno範囲のものが
好ましく、加工液100重量部に対して0.2〜2x瀘
部の範囲シニ用いるのが好ましい。
好ましく、加工液100重量部に対して0.2〜2x瀘
部の範囲シニ用いるのが好ましい。
#1図はスラリー中の砥粒の沈降速度を実験によυ確認
し九図で、横軸はスラリーの攪拌を中止してからのスラ
リーの放置時間、縦軸は砥粒の沈降量の相対値である。
し九図で、横軸はスラリーの攪拌を中止してからのスラ
リーの放置時間、縦軸は砥粒の沈降量の相対値である。
加工液はパレス化学株式会社、主成分が鉱物油であるラ
ップオイルPs−L −3、砥粒は平均粒径16μmの
SIC、シリカ粒子はエアロジル社の純度999チ、平
均粒e412 mμmのものでスラリーに対してA、
0.21量%B、 0.5産量チC11重量% D、
2重量鋒の4m@、スラリーに対する砥粒の重量比は2
4チである。破線はシリカ粒子を含まない比較品である
。
ップオイルPs−L −3、砥粒は平均粒径16μmの
SIC、シリカ粒子はエアロジル社の純度999チ、平
均粒e412 mμmのものでスラリーに対してA、
0.21量%B、 0.5産量チC11重量% D、
2重量鋒の4m@、スラリーに対する砥粒の重量比は2
4チである。破線はシリカ粒子を含まない比較品である
。
@X図に示す通夛本発明のシリカ粒子を含むスフ!j−
においては砥粒の沈降速反が遅くなっている。
においては砥粒の沈降速反が遅くなっている。
このことは砥粒の分散性向上、加工速度の同上、さらC
二は長寿命化に対ししてきわめて重要な作用を行うこと
を意味している。
二は長寿命化に対ししてきわめて重要な作用を行うこと
を意味している。
第2図は同様な目的で、加工液として水溶性2ツブ液を
用いた実験の結果を示す。
用いた実験の結果を示す。
42図に示す通シ、加工液が水の場合でも油の場合と同
様にシリカ粒子の疹加C二よ!:J砥粒の沈降速度は低
下する。
様にシリカ粒子の疹加C二よ!:J砥粒の沈降速度は低
下する。
次に上記各揮スラリーを用いて単結晶ボールを2ツピン
グによρ切断してウェハを得たときの効果について説明
する。第1我は上記スラリklB、C,DとRを用いた
場合の切断速度、ウェハの9ねり (精度)、スラリー
の寿命を示す。
グによρ切断してウェハを得たときの効果について説明
する。第1我は上記スラリklB、C,DとRを用いた
場合の切断速度、ウェハの9ねり (精度)、スラリー
の寿命を示す。
41表に示す通り、本発明スラリーを用い九ものは切断
時間が短縮され、加工精度も同上し、長寿命(ニなって
いる。
時間が短縮され、加工精度も同上し、長寿命(ニなって
いる。
〔発明の実施例〕
(1)第3図は本発明の方法を応用した装置を説明する
図でワイヤーベニより直4.3インチのLiTa0m単
結晶ボールを切断してウニ^−を得る装置の概略図であ
る。
図でワイヤーベニより直4.3インチのLiTa0m単
結晶ボールを切断してウニ^−を得る装置の概略図であ
る。
油性ラップオイルPS−L−3(パレス化学株式会社)
に対して砥″aSIC241L量チおよび平均粒径12
mμmのシリカ粒子0.5重電チよりなるス2リーをタ
ンク中で攪拌してボンダにより配管へ送シ込みソズルよ
ジ加工中の単結晶上に流出させる。
に対して砥″aSIC241L量チおよび平均粒径12
mμmのシリカ粒子0.5重電チよりなるス2リーをタ
ンク中で攪拌してボンダにより配管へ送シ込みソズルよ
ジ加工中の単結晶上に流出させる。
ワイヤソーC二より加工を続け、約り時間後に450μ
m厚のウェー−を100枚得6ことができ九出来上った
クエーーのうねりは5μmで良好である。このスラリー
を使って作業な繰返性なった結果、単結晶ボール18本
までスラリーを取シ替えることなく使用することができ
た。従来のスラリーでは攪拌してもタンクの底や周辺C
二沈澱がたまっていたが本究明では沈殿がきわめて少な
く、これらが本発明における加工速度向上や、スラリー
寿命向上(;関係しているものと思われる。
m厚のウェー−を100枚得6ことができ九出来上った
クエーーのうねりは5μmで良好である。このスラリー
を使って作業な繰返性なった結果、単結晶ボール18本
までスラリーを取シ替えることなく使用することができ
た。従来のスラリーでは攪拌してもタンクの底や周辺C
二沈澱がたまっていたが本究明では沈殿がきわめて少な
く、これらが本発明における加工速度向上や、スラリー
寿命向上(;関係しているものと思われる。
(2) 第3図と同じ装置を利用し、加工液として水
を用いて直径3インチのLi′J′a’s単結晶ボール
を切断する場合を説明する。
を用いて直径3インチのLi′J′a’s単結晶ボール
を切断する場合を説明する。
水液性ラップgP−71(パレス化学株式会aを主成分
とする加工液に対して砥料5iC24Ji量チ比、平均
粒径12mμmのシリカ粒子11L量チよシなるスラリ
ーを用い九場合、約10時間の加工4二よりウェー−を
得ることができた。出来上ったウェハーのりねりはβμ
mで良好である。
とする加工液に対して砥料5iC24Ji量チ比、平均
粒径12mμmのシリカ粒子11L量チよシなるスラリ
ーを用い九場合、約10時間の加工4二よりウェー−を
得ることができた。出来上ったウェハーのりねりはβμ
mで良好である。
このスラリーを使って作業を繰返し行なった結果、単結
晶ボール美本までスラリーを取p替えることなく使用す
ることができた。
晶ボール美本までスラリーを取p替えることなく使用す
ることができた。
このように加工液として水を用いる5Iih付≦二は鉱
物油を用いる場合よりも加工時間が燻縮し、スラリーの
寿命も長くなる。
物油を用いる場合よりも加工時間が燻縮し、スラリーの
寿命も長くなる。
ま九、スラリーが装置の童や床に飛改しても鉱物油を用
いた場合よりも清掃が容易でるる。さらC=使用済みス
ラリーの戻棄についても油分がないので簡単な処理を行
えばよい。
いた場合よりも清掃が容易でるる。さらC=使用済みス
ラリーの戻棄についても油分がないので簡単な処理を行
えばよい。
以上の実施例はワイヤソーによる切断の場合でお9たが
研磨加工でも良好な結果を得ることができた。
研磨加工でも良好な結果を得ることができた。
第1図および第2図は本発明のスラリー≦二おける砥粒
の沈降速度を説明する図、第3図は本発明の方法をワイ
ヤソーC二応用した装置を説明する図である。 代理人 弁理士 則 近 fi f15(ほか1名)
第 1 図 時 m 第 2 図
の沈降速度を説明する図、第3図は本発明の方法をワイ
ヤソーC二応用した装置を説明する図である。 代理人 弁理士 則 近 fi f15(ほか1名)
第 1 図 時 m 第 2 図
Claims (6)
- (1)砥粒と加工液とを含むスラリーであつて、被加工
物と加工具の間に入れ両者に圧力を加えながら相対運動
させることにより加工を行うラッピングに用いるスラリ
ーにおいて、前記加工液は砥粒の沈降速度を減じるシリ
カ粒子を含むことを特徴とするラッピング用スラリー。 - (2)シリカ粒子の含有量はスラリー100重量部に対
し0.2〜2重量部の範囲にあることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のラッピング用スラリー。 - (3)シリカ粒子の平均粒径は5〜100mμmの範囲
内であることを特徴とする特許請求の範囲第1項および
第2項記載のラッピング用スラリー。 - (4)砥粒がSiC、Al_2O_3、BN、CeO_
2、Cr_2O_3、AgO、BeO、TiO_2、B
_4C、WCの少なくとも一つであることを特徴とする
特許請求の範囲第1項および第2項記載のラッピング用
スラリー。 - (5)加工液は水であることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載のラッピング用スラリー。 - (6)加工液は鉱物油、植物油、合成油の少なくとも1
つであることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
ラッピング用スラリー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60112114A JPS61271376A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | ラツピング用スラリ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60112114A JPS61271376A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | ラツピング用スラリ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61271376A true JPS61271376A (ja) | 1986-12-01 |
Family
ID=14578515
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60112114A Pending JPS61271376A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | ラツピング用スラリ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61271376A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0773269A2 (en) * | 1995-11-13 | 1997-05-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing slurry |
US5968239A (en) * | 1996-11-12 | 1999-10-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing slurry |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP60112114A patent/JPS61271376A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0773269A2 (en) * | 1995-11-13 | 1997-05-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing slurry |
EP0773269A3 (en) * | 1995-11-13 | 1997-10-08 | Toshiba Kk | Polishing suspension |
US5861054A (en) * | 1995-11-13 | 1999-01-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing slurry |
US5968239A (en) * | 1996-11-12 | 1999-10-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Polishing slurry |
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