JPS61270985A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPS61270985A
JPS61270985A JP60113464A JP11346485A JPS61270985A JP S61270985 A JPS61270985 A JP S61270985A JP 60113464 A JP60113464 A JP 60113464A JP 11346485 A JP11346485 A JP 11346485A JP S61270985 A JPS61270985 A JP S61270985A
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solid
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chip
trap
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
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    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
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    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02162Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/10Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof for transforming different wavelengths into image signals
    • H04N25/11Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics
    • H04N25/13Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements
    • H04N25/134Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements based on three different wavelength filter elements

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  • Color Television Image Signal Generators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 A産業上の利用分野 本発明は固体撮像装置に関し、例えばCOD、MOSな
どの固体撮像素子を用いた固体を層像装置に通用して好
適なものである。
B発明の概要 本発明は、点拡散関数をもつ光学的フィルタを撮像レン
ズ系及び緑色チップ、青色チップ及び赤色チップを有す
る固体撮像チップ間に挿入してなる固体撮像装置におい
て、光学的フィルタが周波数位置(fs=1、fV =
o)、(1≦「3≦2、fv−0)を通るトラップ直線
を形成することにより、ベースバンド成分を減衰させる
ことなく、不要なキャリア成分を有効に除去し得る固体
撮像装置を容易に得ることができる。
C従来の技術 固体撮像装置は、例えばCCD (charge co
upled device)、M OS (tseta
l oxide semiconductor)などの
固体撮像素子を2次元平面上に格子状に配列することに
より、撮像レンズ系から取り込まれた映像を離散的にサ
ンプリングするような構成を有し、小型カラーテレビジ
ョンカメラ等に適用して好適な撮像手段として実用化さ
れている。
ところがこの種の固体撮像装置は原理上、映像を2次元
的に規則性をもつように配列した3原色画素によって2
次元的なサンプリングを行うものであるので、サンプリ
ング出力は、各画素を構成する撮像素子間のピッチに基
づいて決まる水平方向周波数「8及び垂直方向周波数r
、に基づいて、ベースバンドのキャリア周波数に対して
所定の周波数位置にキャリア周波数成分を有する空間周
波数スペクトラムをもつことになる。
これらのベースバンド成分以外のキャリア成分は、これ
をそのまま放置すれば、サンプリング出力に基づいて画
像を再現した際に、モアレ、クロスカラー現象などの悪
影響を生ずる原因になるので、ベースバンド成分以外の
キャリア成分を除去することが望ましい。
この問題を解決する方法として、水晶板の複屈折作用を
利用して、撮像レンズ系から到来する光を、点拡散関数
に基づいて光学的に7本又は8木に分離することによっ
て、空間スペクトラム内にトラップを形成することがで
きるようにした光学的ローパスフィルタが特願昭59−
20503号明細書に開示されている。
この特願昭59−20503号明細書に開示の光学的フ
ィルタは、第7図に示すように1枚のチップで構成され
た固体撮像チップ及び撮像レンズ系間に挿入される。固
体撮像装置は、水平方向(H方向)にピッチP、(例え
ば17〔μm))間隔で固体撮像素子(例えばCCDイ
メージセンサ)を順次配列すると共に、垂直方向(V方
向)にピッチP。
(−13(μm))間隔でCCDイメージセンサを配列
している。
ここでCCDイメージセンサによって構成される画素群
は、緑色素子IGに対して11方向に隣り合うように青
色素子IBが設けられ、またV方向に隣り合うように緑
色素子2Gが設けられる。また緑色素子2Gに対してH
方向に隣り合う位置かつ青色素子IBに対して■方向に
隣り合う位置に赤色素子2Rが設けられている。かくし
て4つの素子IC,IB、2G、2Rの組が以下順次H
方向及びV方向に順次配列され、これにより2次元の固
体撮像素子パターンが形成されている。
D発明が解決しようとする問題点 このような構成の固体撮像装置によって撮像レンズ系か
ら到来する映像をサンプリングすると、サンプリング出
力は、第8図に示すような空間周波数スペクトラムをも
つ。第8図において横軸及び縦軸はそれぞれH方向及び
V方向の画素ピッチP、及びP、に基づいてp y v
 / 2π及びPXu/2πの式によって正規化した数
値として示されており、また各周波数位置における矢印
R,G、Bはそれぞれ赤色、緑色、青色信号のキャリア
成分の位相を示している。
第8図から明らかなように、第7図の構成の固体撮像装
置から得られるサンプリング出力は、H方向の周波数位
置r8=0.1/2.1・・・・・・及び■方向の周波
数位置f、=0.1/4.1/2.3/4・・・・・・
の周波数位1にキャリア成分をもっている。
そのうち周波数位置(fX=O1f、=O)にベースバ
ンド成分が生ずるのに対して、それ以外の周波数位置に
生ずるキャリア成分は、不要な信号成分であり、被撮像
対象によっては、このサンプリング出力を再現したとき
の画像の画質を劣化させる原因になるおそれがある。
例えば周波数位置(f、=l、f、=O)の位置を中心
として生ずるキャリア成分は、被撮像対象が垂直方向に
延長する白黒のストライブからなる細かい縞模様をもっ
ている場合には、映像出力信号の再生画像にモアレを生
じさせる。
また周波数位置<rX−1/2 、r、−0)を中心と
して生ずるキャリア成分は、被撮像対象がやや荒い縦方
向のストライブをもつときに、緑色及びマゼンタについ
てクロスカラー現象を生じさせる。
さらに周波数位置(fx−0、fy=1)を中心として
生じるキャリア成分は、被撮像対象が細かい横方向のス
トライブをもつ場合に、モアレを生じさせる。
さらに周波数位置(fX−0、fy−1/2)の位置を
中心として発生するキャリア成分は、垂直のエツジにフ
リッカを生じさせる。
従って周波数位置(fll−0、r、−0)以外の周波
数位置に生ずるキャリア成分を、ベースバンド成分を減
衰させることなく除去し得るようなフィルタ手段を得る
ことができれば、固体撮像装置から得た映像信号に基づ
いて再現性良く被撮像画像を再現できると考えられる。
特願昭59−20503号明細書に記載の光学的ローパ
スフィルタは、かかる問題を光学的手段によって解決し
ようとしたもので、その構成上の原理は、第9図に示す
ように、光学軸を含む主要面の水平走査方向(H方向)
に対してなす角度が、互いに45#ずつ変化してなる3
枚の水晶板11,12.13をその順序に積層して互い
に貼り合わせ、第1の水晶板11側から紙面に対して直
交する下方位置から撮像レンズ系を通して得られる光を
入射し、この入射光が第1の水晶板11、第2の水晶板
12、第3の水晶板13を順次通って固体撮像チップに
出射させる。
ここで第19水晶板11は光学軸を含む主要面14がH
方向に対して+45°の角度になるように設定され、ま
た第2の水晶板12は主要面15がH方向と一致するよ
うな角度になるように設定され、さらに第3の水晶板1
3は主要面16がH方向に対して一45″の角度になる
ように設定されている。
このようにすれば第1の水晶板11において入射光線か
らその1/2の光量を有する常光線O1及び異常光線e
1が得られ、異常光線elが常光線0.に対して+45
°の方向に水晶板11の厚さに対応する距離だけ分離さ
れる。かくして2本の分離光線が得られる。
この常光線0.及び異常光線e、はそれぞれ第2の水晶
板12に入射され、この第2の水晶板12において、各
入射光線からその1/2の光量を有する常光Hot及び
異常光!#ezが得られ、異常光線e2が常光線O1に
対してH方向に水晶板12の厚さに対応する距離だけ分
離される。かくして4本の分離光線が得られる。
また常光線08及び異常光線e8はそれぞれ第3の水晶
板13に入射され、この第3の水晶板13において、各
入射光線からその1/2の光量を有する常光線0.及び
異常光線e3が得られ、異常光線e、が常光′lso 
sに対して一45°の方向に水晶ItIi13の厚さに
対応する距離だけ分離される。
かくして8本の分離光線が得られる。
このようにして第3の水晶板13から得られる8本の分
離光線が固体撮像チップに出射される。
ここで第1及び第3の水晶板11及び13における異常
光線e、及びe、の分離距離を2P、/2に選定し、か
つ第2の水晶板12における異常光線atの分離距離を
P9に選定すれば、3つの水晶板11.12.13の異
なる光路をそれぞれ通って出射する8本の分離光線は第
10図に示すように、被撮像体からの入射光の入射位置
に得られる光線o、o□O8に対してH方向にPXずつ
離れた位置に光線0,6オ0.及び8.  ot f3
3が重複して出射する。また、基準位置の光線0゜0!
0.からH方向に対して+45″及び−45°の方向で
、かつ光no+ozo3及びo’、e、03、e、o□
e1間のほぼ中央位置に、それぞれ光線8、Og 03
及びo、Ox e3が出射する。さらに光線e、O! 
03及びoloze3からH方向にPxだけ離れた位置
(すなわち、光線0.6g03 、el O2e3と−
e、eg  e3との間のはぼ中央位置)から光’41
A at @z O*及びO,e。
e、が出射するような関係が得られる。
このようにすることによりH方向の周波数位置f8−・
・・・・・−2、−1,1,2・・・・・・を通る正及
び負の傾斜をもつトラップ線と、周波数位置f、=1/
2を通るV方向のトラップ線とを形成させることができ
る。その結果周波数位置(f、−0、f、−0)にある
ベースバンド成分に有害な減衰を与えないようにしなが
ら、その他の周波数位置に発生するキャリア成分をトラ
ップし得る光学的フィルタを得ることができる。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、上述の原
理構成に基づいて、3枚のチップ(すなわち赤色チップ
、緑色チップ、青色チップ)を有する固体撮像チップに
対して実用的なトラップ効果をもつ固体撮像装置を提案
しようとするものである。
E問題点を解決するための手段 かかる問題点を解決するため本発明においては、固体撮
像チップ21の水平方向(H方向)に対して、+45″
′の方向へ常光線0.及び異常光線e。
を分離する第1の水晶板11と、水平走査方向と平行に
常光線o2及び異常光線e2を分離する第2の水晶板1
2と、水平方向に対して、−45”の方向へ常光線0.
及び異常光線e、を分離する第3の水晶板13とを有し
、第2の水晶板12が中間に位置するように、第1の水
晶板11、第2の水晶板12、及び第3の水晶板13が
積層配置されてなる光学的フィルタを具え、入射光を点
拡散して固体邊像チップ21に入射するようになされた
固体撮像装置において、固体盪像チップ21は、緑色チ
ップ21G、青色チップ21B及び赤色チップ21Rを
積層してなり、光学的フィルタは、サンプリング出力の
空間周波数スペクトラムに含まれる周波数位置Cr5=
1、fV−0)を通り、かつ正及び負の傾斜をもつ第1
及び第2のトラップ直線L (1) 、R(1)と、周
波数位置(1≦fs≦2、f*−o)を通って垂直走査
方向(V方向)に沿って延長する第3のトラップ直線T
R(2)とを形成するようにする。
F作用 光学的フィルタは、点拡散関数を有することにより、1
点に入射した光線に基づいて8本の拡散光線を得ること
ができ、これによりサンプリング出力の空間周波数スペ
クトラム上に、周波数位置(rs−1、fv−0)を通
る正及び負の傾斜をもつ第1及び第2のトラップ直線L
 (1) 、R(1)を形成し得ると共に、周波数位置
(1≦f3≦2、fv−0)を通って垂直走査方向に沿
って延長する第3のトラップ直線TR(2)を形成する
かくして周波数位置<rs−o、rv =o>にあるベ
ースバンド成分を減衰させることなく、不要なキャリア
成分を有効に除去してなる固体撮像装置を容易に実現す
ることができる。
G実施例 以下図面について本発明の一実施例を詳述する。
この場合固体撮像装置の固体撮像チップ21は、第4図
に示すように、3原色信号G、B、Rに対応する3枚の
チップ21G、21B、21Rを互いに重ね合わせた構
成を有する。
緑色チップ21Gは、第5図(A)に示すように、H及
びV方向にそれぞれピッチP、tだけ離れた位置に順次
CODイメージセンサIMGを格子状に配列した構成を
有する。また青色チップ21B及び赤色チップ21Rも
同様にして、第5図(B)及び(C)に示すように、そ
れぞれCCDイメージセンサIMB及びIMRを順次格
子状に配列した構成を有する。
これらのチップ21G、21B、21Rは第6図に示す
ように、緑色チップ21GのイメージセンサIMGの間
に、青色チップ21B及び赤色チップ21Rのイメージ
センサIMB及びIMRが介挿するような位置関係をも
つように互いに積層されている。
また光学的フィルタは第9図について原理構成を上述し
たと同様にして、H方向に対して+456の角度位置に
主要面14を有する第1の水晶板11と、H方向に主要
面15を有する第2の水晶板12と、H方向に対して一
45°の主要面16を有する第3の水晶板13とで構成
されており、第1及び第3の水晶板11及び13の異常
光線e1及びe、の移動距離P2が、 に選定されている。
しかしこの実施例の場合は、第2の水晶板12の異常光
線e2の分離距離P、が、H方向の逼像素子ピッチP8
に対して、 に選定されている点が相違する。
かくして3枚の水晶板11.12.13をそれぞれ通過
する常光線o、、  z、osによって得られる出射光
0.o、o3が得られる位置を基準に考えたとき、各光
線間のピッチは、第1図に示すように、H方向に間隔り
、、 DH−PI            ・・・・・・(3
)になるのに対して、垂直方向に間隔DvDv −2P
I           −−−−−−(4)になる。
すなわち基準位置には水晶板11の常光’tlA oI
s水晶板12の常光線0!及び水晶板13の常光線03
でなる第1の光線o、O,O=が得られる。
水晶板11の異常光線e、は、基準位置から+45°の
方向に分離距離P8だけ分離きれ、これにより水晶板1
2及び13から得られる常光wAot及び常光線O5に
よって、基準位置からH及び■方向に2DH及びDvだ
け離れた位置に、第2の光線el、  Ox o3が得
られる。
水晶板11の異常光線s、及び水晶板12の異常光線e
、が水晶板13において常光線0.として出射すると、
この第3の光線ei  eto、、は光線e、oz o
、の位置からH方向にり、たけ移動した位置に生ずる。
水晶板11の異常光線e、及び水晶板12の常光!+l
j10mが水晶板13の異常光線e、として出射すると
、この第4の光線e、o、e、は光線e。
0tO1から一45″の方向に分離距離P8だけ離れた
位置に生ずる。これにより光線0.ot e3は基準位
置からH方向に4DHだけ移動した位置に生ずる。
水晶板11の異常光線e1及び水晶板12の異常光線a
=が水晶板13の異常光線e、として出射すると、この
第5の光線e、ez 6.は光線e、ex o、の位置
から一45″の方向に分離距離P8だけ移動した位置に
生ずる。これにより光線e、6g 8jは光線e、Ox
 e3からさらにH方向にDHだけ移動した位置に生ず
る。
水晶板11の常光線OI及び水晶板12の異常光線8つ
が水晶板13の常光線0.として出射すると、この第6
の光線ol  ez o3は、基準位置を通るH方向の
線上において基準位置からDHだけ移動した位置に生ず
る。
水晶板11の常光線O1及び水晶板12の常光線o2が
水晶板13の異常光線e、として分離されると、この第
7の光線OI O□e3は、基準位置から一45°の方
向に分離距離P2だけ離れた位置に生ずる。これにより
光線o、o□e3は基準位置からH方向及びV方向に2
Dや及びDvだけ移動した位置に生ずる。
水晶機工1の常光線o、及び水晶板12の異常光線+3
tが水晶板13の異常光線e、として分離されると、こ
の第8の光’ilA 01 13g  esは、光線0
、eg o3の位置から一45″の方向に分離距離P2
だけ分離された位置に生ずる。これにより光線o、e、
e3は光線01  o、e、からH方向にDHだけ移動
した位置に生ずる。
このようにして被盪像体から基準位置に入射した入射光
線に基づいて8本の光線が第1図の位置関係に拡散され
て1/8の光量をもちながら水晶板13から出射すると
、固体撮像チップ21 (第4図)から送出されるサン
プリング出力は、第2図に示すように、空間周波数スペ
クトラムに含まれるベースバンド成分以外のキャリア成
分に対するトラップ特性を呈する。
すなわち上述の光学的ローパスフィルタは、第8図に対
応させて第2図に示すように、サンプリング出力に含ま
れる空間周波数スペクトラムの分布に対して、トラップ
直線・・・・・・L(−1)、L(1) 、L (3)
・・・・・・と、トラップ直線・・・・・・R(−1)
 、R(1) 、R(3)−・−と、■方向に平行に延
長するトラップ直線TR(2)とを発生する。
トラップ直線・・・・・・L(−1)、L(1)、L(
3)・・・・・・は、それぞれ周波数位置・・・・・・
(−1,0)、(1,0)、(3、O)・・・・・・を
通る負の勾配をもつ平行線でなり、またトラップ直線・
・・・・・R(−1) 、R(1) 、R(3)・・・
・・・は順次周波数位置・・・・・・(−1,0)、(
1,0)、(3,0)・・・・・・を通る正の勾配を有
する平行線でなる。かくしてトラップ直線・・・・・・
L (−1)、L (1)、L (3)・・・・・・、
及び・・・・・・R(−1)、R(1)、R(3)・・
・・・・は互いに交差するように延長することにより、
空間周波数スペクトラム上に、周波数位置Crs ”0
、fv=o)を中心にして対称的に展開する多数のひし
影領域を形成することになる。
また第3のトラップ直線TR(2)は周波数位置(f3
 =2、fV−0)を通りかつV軸と平行に延長し、か
くして周波数位置(fs=1、fv=0)より高い周波
数f、の位置にV軸方向に沿って展開しているひし影領
域を横切るようなトラップ直線を形成する。
その結果サンプリング出力に含まれる不要なキャリア成
分に対するトラップ効果は第3図に示すように、周波数
位置(fs=x、fv−0)においてトラップ直!L 
(1)及びR(1)によって2重にトラップ効果を受け
ることにより、当該周波数位置におけるキャリア成分を
充分に除去することができる。また周波数位置(fs−
0,fv−1)近傍に発生する不要キャリア成分につい
て、トラップ直線L(1)及びR(−1)が近傍位置に
おいて交差することにより、2重にトラップ効果を受け
て、当該キャリア成分を充分に除去し得る。
これに加えてトラップ直1!TR(2)がV軸と平行に
形成されることにより、周波数位置(rs−2、fv”
”0)、(fs”’2、fV−1/2)、(fs”2、
rv−i)に発生する不要キャリア成分をトラップ直線
TR(2)によって存効に除去し得る。
なお上述においてはトラップ直線TR(2)を周波数位
置(fs−2、tV−O)の位置に発生させるようにし
たが、この、周波数位置は、必要に応じて次式 %式%(5) のようにf3−1〜2の間に任意に選定してもよい、こ
のトラップ直線TR(2)の位置の調整は、第2の水晶
板12による異常光線の分離距離P。
を調整することによって容易に達成し得る。
H発明の効果 以上のように本発明によれば、周波数位置(f、−0、
rv =O)にあるベースバンド成分を減衰させること
なく、それ以外の不要なキャリア成分を有効に除去し得
る固体撮像装置を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による光学的フィルタの構成を示す路線
図、第2図及び第3図はその空間周波数トラップ特性を
示す特性曲線図、第4図〜第6図は固体撮像チップの構
成を示す路線図、第7図は従来の固体撮像チップの構成
を示す路線図、第8図はそのサンプリング出力の空間周
波数特性を示す特性曲線図、第9図は光学的フィルタの
原理構成を示す路線図、第10図は第9図の光学的フィ
ルタの点拡散関数によって拡散された光線の位置関係を
示す路線図である。 11.12.13・・・・・・水晶板、21・・・・・
・固体撮像チップ、21G、21B、21R・・・・・
・緑色、青色、赤色チップ。 四 T四 四 口 ぐ 宗も来の光営泊9フィルタ0貞s1匁 羊 10 図 手続補正書 昭和60年P月)0日 特許庁長官  宇 賀 道 部 殿 昭和60年特許願第113464号 2、発明の名称 固体盪像装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住所 東京部品用図化品用6丁目7番35号名称(21
8)ソ ニ − 株 式 会 社代表者 大 賀 典 
雄 4、代理人 〒150(電話03−470−6591)
住所 東京都渋谷区神宮前三丁目22番10号明細書の
「発明の詳細な説明」の欄 6、補正の内容 (1)  明細書、第10頁5〜6行、r2P、/’2
Jを、「/了P、/2Jと訂正する。 (2)同、第15頁(1)式を、以下のように訂正する

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 固体撮像チップの水平走査方向に対して+45°の方向
    へ常光線及び異常光線を分離する第1の水晶板と、上記
    水平走査方向と平行に常光線及び異常光線を分離する第
    2の水晶板と、上記水平走査方向に対して−45°の方
    向へ常光線及び異常光線を分離する第3の水晶板とを有
    し、上記第2の水晶板が中間に位置するように、上記第
    1の水晶板、上記第2の水晶板及び上記第3の水晶板が
    積層配置されてなる光学的フィルタを具え、上記光学的
    フィルタによつて入射光を点拡散して上記固体撮像チッ
    プに入射するようになされた固体撮像装置において、 上記固体撮像チップは、緑色チップ、青色チップ及び赤
    色チップを積層してなり、 上記光学的フィルタは、 サンプリング出力の空間周波数スペクトラムに含まれる
    周波数位置(f_s=1、f_v=0)を通り、かつ正
    及び負の傾斜をもつ第1及び第2のトラップ直線と、 周波数位置(1≦f_s≦2、f_v=0)を通つて垂
    直走査方向に沿つて延長する第3のトラップ直線と を形成することを特徴とする固体撮像装置。
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