JPS61270603A - 二層構造板材の板厚比測定方法 - Google Patents
二層構造板材の板厚比測定方法Info
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- JPS61270603A JPS61270603A JP11185285A JP11185285A JPS61270603A JP S61270603 A JPS61270603 A JP S61270603A JP 11185285 A JP11185285 A JP 11185285A JP 11185285 A JP11185285 A JP 11185285A JP S61270603 A JPS61270603 A JP S61270603A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
[産業上の利用分野]
本発明は、二層1(1造板材の板厚比測定方法に係り、
特に、組成が予め分析されていて電気抵抗率が既知であ
る二種類の金属よりなるクラツド板の板厚比をリアルタ
イムで測定(る際に用いるのに好適な、異種材質でなる
二層構造板4Aに電流を流し、該二層構造板材の電気抵
抗を測定して板厚比を測定する二層構造板材の板厚比測
定方法に関する。 [従来の技術) 一般に電気現象を利用した摩さ測定は汎用性があり、し
かも高精度である。この方法は、被測定物に電流を通じ
て、それによる電位分布、又は電気抵抗を測定して厚さ
を求めるものである。 実際には、現場にお(′Jる鋼板の板厚測定には、装置
が比較的簡単であること、操作が複雑でないこと等の理
由で電気抵抗法が広く利用されている。 この電気抵抗法による測定原理は、良導体の電気抵抗賄
が、その抵抗率や肉厚の)ηいによって変化覆ることに
基づいている。 測定方法は、第3図に示づ如く、一定電流を点電流電極
1.4から鋼板8に加え、別の電極2.3で電位差を求
めることにより抵抗値を求める方法を用いている。この
とき電極は、点電極とみなされる針状ヌは槍形のもので
ある。なお、図中の符号5は電流計、6は直流電源、7
は電圧計を示上記のような装置で、被覆層8Aの抵抗率
ρ0、母IFi 8 Bの抵抗率ρが既知である二種の
金属からなるクラッド根の二種金属の板厚比を測定する
場合、第3図に示づような焦電圧電極2.3間の電気抵
抗Rは、該焦電圧電極2.3間の距離aと被覆層8△の
厚さ7Nの関数として次式のように表わされる。 R= V /′I−ρo/′2π11/’a+4ダQ”
(1/′へ馬−2−@−”””’−で1丁−戸どネ1 −1 /’ i’ + (2’−k を丁”lj・・・
〈1)ここで、Q=(ρ−ρo ) / (ρ→−ρ0
)である。 上記(1)式から被覆層8Aの厚みtを求めるには、t
−/a、Q、ρα/ρ0(ραはρo1ρの影響を8慮
したみかけの抵抗率)をパラメータとして取り扱い、測
定で腎られたみかけの抵抗率ρユと既知であるQWを用
いて、複雑な形の前出(1)式から[を逆算しなければ
ならない。 (発明が解決しようとする問題点] 前記電気抵抗法による板厚測定方法を、鉄鋼等の高速圧
延ラインでの板厚測定に応用する場合、前記電(fi1
〜4の鋼板8への接触面圧を一定にすること、針状の電
極1〜4の接触によって鋼板8=3− の表面に疵か生じないこと、舶用(1〉式を高速度で演
算できること、等の条件が必要となる。 しかしながら、前記接触面圧や疵の問題は、電極1〜4
の機械的構造やその材質を工夫することで解決の可能性
があるが、前出(1)式を高速度で演算しようとする場
合には、演算ユニットの規模も大きくなり、余分な設備
投資が強いられるという問題点を有する。 [発明の目的] 本発明は、前記従来の問題点を解消でるべくなされたも
ので、異種材質でなる二層構造板材の板厚比を測定する
に際し、演算ユニットの規模を増大することなくその演
算を容易に且つ高速に行うことができる二層Jf4造板
祠の板厚比測定方法を提供することを目的とする。 [問題点をw1決するための手段] 本発明は、異種材質でなる二層構造板材に電流を流し、
該二s、ti造板材の電気抵抗を測定して板厚比を測定
覆る二層構造板材の板厚比測定方法において、行限な接
触面積をもつ電極を使用して、二層構造U、λ祠の片面
側二点間及び両面二点間の電気抵抗を測定し、該電気抵
抗の測定結果を、二層構造板材の各層の抵抗率と板厚と
の関係式に代入して、二つの板厚を未知数とした数式を
二つ得て、該二つの数式を連立させて解くことにより、
二つの板厚から板厚比を求めることににって、前記目的
を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記二つの数式を連立させて
解くことにより板厚比を求めるに際し、二層構造板材の
板厚を下、二層構造板材の一方の層の厚さをし、二層構
造板材の一方の層の抵抗室をρ。、他方の層の抵抗率を
ρ、正方形とした電極の一辺の長さを1)、片面側二電
極間の距離を、eとしたとき、次式、 の関係から板厚比[/′Tを求めるようにしたものであ
る。 (11用) 以1(、本発明の作用を第1図及び第2図を参照し−C
説明−する。 二層構造(膜材としてのクラッド板100片面側二点間
の電気抵抗R1は、クラツド板10の板厚を−T、該ク
ララ1−1反10の被覆層10Aの厚さをt、その抵抗
率をρo1クラッド板10の母110Bの厚みを丁−1
、その抵抗率をρ、クラツド板10との接触面を正方形
とした電極18.20.26の一辺の長さをb、片面側
の二つの電極18.20間の距離を(としたとき、被覆
層10Aの電気抵抗ρ0βy1) jと、母層10Bの
電気抵抗ρ℃/l+(T−t)とを並列結合した場合の
電気抵抗と考えることができる。従って、二つの電気抵
抗を並列結合した場合の電気抵抗、即ち、クラッド4:
ti 10の片面側二点間の電気抵抗R1は、次式のよ
うに表わされる。 1 、’R+ =bt、□ ρ 0 ρ + 1
) < 1−−1 ) / ρ A・・
・(2) 又、クラッド(kloの両面二点間の電気抵抗R2は、
被?1J10Aの抵抗ρo t 、/i) 2と、母層
10Bの電気抵抗ρ(丁−1) 112@を直列結合
した場合の電気抵抗と考えることかできる。即ち、電極
18.26が有限断面積1)2をもつため;こ、一方の
電極から放たれた自由電子は、断面偵b2長さTの流束
となって他方の電極に達J−るど考えられるからである
。従って、二つの電気抵抗を直列結合した場合の電気抵
抗、即ち、クラツド板10の両面二点間電気抵抗R2は
、次式のように表わされる。 R2−ρ oj/N〕 2 +ρ (T−t )
/b 2−=・<3 )上記(2)、(3)式におい
て、各層10A、10Bの抵抗率ρ0、ρ、電極18.
20.26のクラツド板10との接触面寸法1)、片面
側の二つの!118.20間の距離℃は既知であり、又
、クラッド板100片面側二点間の電気抵抗R1及び両
面二点間の電気抵抗R2は測定により求められるため、
米!11]数はクラツド板10の板厚Tと被覆層10A
の厚さtとの二つであり、この二つの未知¥lT、tを
含んだ数式が二つ冑られることになる、。 このようにして得られた二つの板厚T、tを未知数どじ
た上記〈2)式、く3)式を連立させて解くことにより
、二つの板厚T、[から板厚比t//1を求める。 即ち、上記(2)式及び(3)式の電気抵抗を、未知数
t、Tについて整理すると、次のような行列式が得られ
る。 上記(4)式において、左辺の係数行列の逆行列を計綽
ツることにより、二種金属の板厚t、T及び板厚比t7
/Tを容易に求めることができる。 従って、クラツド板のような二層構造板材の板厚比を容
易に測定覆ることができるようになる。 この結果、前記板厚比を圧延機等の加工装置にフィード
バックすることにより、被覆層の厚み制御やクラツド板
の板/9制御が可能となり、被覆層の厚みを均一にする
ことができるようになる。従って、クラツド板の品質を
向上することができる。
特に、組成が予め分析されていて電気抵抗率が既知であ
る二種類の金属よりなるクラツド板の板厚比をリアルタ
イムで測定(る際に用いるのに好適な、異種材質でなる
二層構造板4Aに電流を流し、該二層構造板材の電気抵
抗を測定して板厚比を測定する二層構造板材の板厚比測
定方法に関する。 [従来の技術) 一般に電気現象を利用した摩さ測定は汎用性があり、し
かも高精度である。この方法は、被測定物に電流を通じ
て、それによる電位分布、又は電気抵抗を測定して厚さ
を求めるものである。 実際には、現場にお(′Jる鋼板の板厚測定には、装置
が比較的簡単であること、操作が複雑でないこと等の理
由で電気抵抗法が広く利用されている。 この電気抵抗法による測定原理は、良導体の電気抵抗賄
が、その抵抗率や肉厚の)ηいによって変化覆ることに
基づいている。 測定方法は、第3図に示づ如く、一定電流を点電流電極
1.4から鋼板8に加え、別の電極2.3で電位差を求
めることにより抵抗値を求める方法を用いている。この
とき電極は、点電極とみなされる針状ヌは槍形のもので
ある。なお、図中の符号5は電流計、6は直流電源、7
は電圧計を示上記のような装置で、被覆層8Aの抵抗率
ρ0、母IFi 8 Bの抵抗率ρが既知である二種の
金属からなるクラッド根の二種金属の板厚比を測定する
場合、第3図に示づような焦電圧電極2.3間の電気抵
抗Rは、該焦電圧電極2.3間の距離aと被覆層8△の
厚さ7Nの関数として次式のように表わされる。 R= V /′I−ρo/′2π11/’a+4ダQ”
(1/′へ馬−2−@−”””’−で1丁−戸どネ1 −1 /’ i’ + (2’−k を丁”lj・・・
〈1)ここで、Q=(ρ−ρo ) / (ρ→−ρ0
)である。 上記(1)式から被覆層8Aの厚みtを求めるには、t
−/a、Q、ρα/ρ0(ραはρo1ρの影響を8慮
したみかけの抵抗率)をパラメータとして取り扱い、測
定で腎られたみかけの抵抗率ρユと既知であるQWを用
いて、複雑な形の前出(1)式から[を逆算しなければ
ならない。 (発明が解決しようとする問題点] 前記電気抵抗法による板厚測定方法を、鉄鋼等の高速圧
延ラインでの板厚測定に応用する場合、前記電(fi1
〜4の鋼板8への接触面圧を一定にすること、針状の電
極1〜4の接触によって鋼板8=3− の表面に疵か生じないこと、舶用(1〉式を高速度で演
算できること、等の条件が必要となる。 しかしながら、前記接触面圧や疵の問題は、電極1〜4
の機械的構造やその材質を工夫することで解決の可能性
があるが、前出(1)式を高速度で演算しようとする場
合には、演算ユニットの規模も大きくなり、余分な設備
投資が強いられるという問題点を有する。 [発明の目的] 本発明は、前記従来の問題点を解消でるべくなされたも
ので、異種材質でなる二層構造板材の板厚比を測定する
に際し、演算ユニットの規模を増大することなくその演
算を容易に且つ高速に行うことができる二層Jf4造板
祠の板厚比測定方法を提供することを目的とする。 [問題点をw1決するための手段] 本発明は、異種材質でなる二層構造板材に電流を流し、
該二s、ti造板材の電気抵抗を測定して板厚比を測定
覆る二層構造板材の板厚比測定方法において、行限な接
触面積をもつ電極を使用して、二層構造U、λ祠の片面
側二点間及び両面二点間の電気抵抗を測定し、該電気抵
抗の測定結果を、二層構造板材の各層の抵抗率と板厚と
の関係式に代入して、二つの板厚を未知数とした数式を
二つ得て、該二つの数式を連立させて解くことにより、
二つの板厚から板厚比を求めることににって、前記目的
を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記二つの数式を連立させて
解くことにより板厚比を求めるに際し、二層構造板材の
板厚を下、二層構造板材の一方の層の厚さをし、二層構
造板材の一方の層の抵抗室をρ。、他方の層の抵抗率を
ρ、正方形とした電極の一辺の長さを1)、片面側二電
極間の距離を、eとしたとき、次式、 の関係から板厚比[/′Tを求めるようにしたものであ
る。 (11用) 以1(、本発明の作用を第1図及び第2図を参照し−C
説明−する。 二層構造(膜材としてのクラッド板100片面側二点間
の電気抵抗R1は、クラツド板10の板厚を−T、該ク
ララ1−1反10の被覆層10Aの厚さをt、その抵抗
率をρo1クラッド板10の母110Bの厚みを丁−1
、その抵抗率をρ、クラツド板10との接触面を正方形
とした電極18.20.26の一辺の長さをb、片面側
の二つの電極18.20間の距離を(としたとき、被覆
層10Aの電気抵抗ρ0βy1) jと、母層10Bの
電気抵抗ρ℃/l+(T−t)とを並列結合した場合の
電気抵抗と考えることができる。従って、二つの電気抵
抗を並列結合した場合の電気抵抗、即ち、クラッド4:
ti 10の片面側二点間の電気抵抗R1は、次式のよ
うに表わされる。 1 、’R+ =bt、□ ρ 0 ρ + 1
) < 1−−1 ) / ρ A・・
・(2) 又、クラッド(kloの両面二点間の電気抵抗R2は、
被?1J10Aの抵抗ρo t 、/i) 2と、母層
10Bの電気抵抗ρ(丁−1) 112@を直列結合
した場合の電気抵抗と考えることかできる。即ち、電極
18.26が有限断面積1)2をもつため;こ、一方の
電極から放たれた自由電子は、断面偵b2長さTの流束
となって他方の電極に達J−るど考えられるからである
。従って、二つの電気抵抗を直列結合した場合の電気抵
抗、即ち、クラツド板10の両面二点間電気抵抗R2は
、次式のように表わされる。 R2−ρ oj/N〕 2 +ρ (T−t )
/b 2−=・<3 )上記(2)、(3)式におい
て、各層10A、10Bの抵抗率ρ0、ρ、電極18.
20.26のクラツド板10との接触面寸法1)、片面
側の二つの!118.20間の距離℃は既知であり、又
、クラッド板100片面側二点間の電気抵抗R1及び両
面二点間の電気抵抗R2は測定により求められるため、
米!11]数はクラツド板10の板厚Tと被覆層10A
の厚さtとの二つであり、この二つの未知¥lT、tを
含んだ数式が二つ冑られることになる、。 このようにして得られた二つの板厚T、tを未知数どじ
た上記〈2)式、く3)式を連立させて解くことにより
、二つの板厚T、[から板厚比t//1を求める。 即ち、上記(2)式及び(3)式の電気抵抗を、未知数
t、Tについて整理すると、次のような行列式が得られ
る。 上記(4)式において、左辺の係数行列の逆行列を計綽
ツることにより、二種金属の板厚t、T及び板厚比t7
/Tを容易に求めることができる。 従って、クラツド板のような二層構造板材の板厚比を容
易に測定覆ることができるようになる。 この結果、前記板厚比を圧延機等の加工装置にフィード
バックすることにより、被覆層の厚み制御やクラツド板
の板/9制御が可能となり、被覆層の厚みを均一にする
ことができるようになる。従って、クラツド板の品質を
向上することができる。
以下、図面を参照して、本発明が採用された二層構造板
材としてのクラツド板10(板厚1、被頂層10Aの厚
みt)の板〜比t/′Tの測定装置の実施例を詳細に説
明ザる。 本実施例は、前出第1図及び第2図に示づ如く、クラツ
ド板10の片面側二点間の電気抵抗R1を測定する片面
側二点間電気抵抗測定装置12と、クラツド板10の両
面二点間の電気抵抗R2を測定覆る両面二点間電気抵抗
測定装置14と、前記電気抵抗mlll装定12.14
から得られる電気抵抗R1、R2、クラツド板10の被
覆層10A及び母層10Bの抵抗率ρ0、ρ、正方形の
電極18.20.26の一辺の長さb 、片面側二電極
間の距l1lIlβから、板厚比t/−「をリアルタイ
ムで算出する演算処理器16とで椙成される。 前記片面側二点間電気抵抗測定装置12は、クラツド板
10の幅方向に距離ρだけ離された、接触面形状が正方
形の二つの電極18.20と、該電極18.20を介し
クラツド板10に一定電流を流づ電流発生器22と、該
電流発生器22により両電極18.20間に電気を流し
たとき両電極18.20間に発生する電位差を測定する
電圧計24とで構成される。 又、前記両面二点間電気抵抗測定装置14は、クラツド
板10の厚さ方向にクラツド板10の厚さ分の距ITだ
け離された、接触面形状が正方形の二つの電極18.2
6と、該電極18.26を介しクラツド板10に一定電
流を流す電流発生器28と、該電流発生器28により両
電極18.26間に電気を流したとき両電極18.26
間に発生Jる電位差を測定する電圧計30とで構成され
る。 次に、本実施例の作用を説明でる。 まず、クラツド板10の片面側二点間の電気抵抗R1を
測定する。 即ち、クラツド板10の片面側の二つの電極18.20
をクラツド板10の表面に接触させ、該電極18.20
間の電圧を電圧計24によって測定覆る。このとき流れ
る電流は、電流発生器22によって一定とされているの
で、該電圧と電流とにより電気抵抗R1が求まる。 次に、クラツド板10の両面二点間の電気抵抗R2を測
定する。即ち、前記電極18.26をクラツド板10の
表裏面に接触させ、該電極18.26の間に一定電流を
電流発生器28により流し−C、両電極18.26間に
発生ずる電位差を電圧計30によって測定し、該電圧と
電流とにより、クラツド板10の両面二点間の電気抵抗
R2を求める。 前記演算処理器16では、上位コンピュータ32からの
抵抗率ρ0、ρ、電極18.20,26の接触面用法I
)、電極18.20間の距離℃、及び前記電気抵抗測定
装置12.14から得られる電気抵抗R+ 、R2に基
づいて、前出(4)式の関係から、クラツド板10の被
覆層10Aの厚さtとクラツド板10の扱厚丁と、(反
厚比【/′丁を求める。 なe、/ラッド板10の各層10A、10Bの抵抗率ρ
0、ρは、一般的に製鋼の段階でサンプルを採ることに
よってその組成が判明覆るので、それに対して抵抗率の
テーブルを作成しておくことで容易に求めることかでき
る。更に、温度と抵抗率との関係を予め求めておけば、
クラツド板10の電気抵抗R1,R2の測定と温度測定
とにより、圧延10の板厚比を知ることができる。 又、前記実施例においては、有限な接触面積をもつ電極
18.20.26の接触面形状を正方形としたが、本発
明はこれに限定されることなく、例えば、長方形として
もよい。 【発明の効果) 以−J二説明した通り、本発明によれば、簡単な計葬式
で二種金属よりなるクラツド板の板厚比をリアルタイム
で求めることができる。従って、演算器の規模も小さく
て演むので、設備コストを低減でき、又、鉄鋼等の圧延
ラインにおいて、一定距離搬送する毎に、搬送を止めて
クラツド板の上下から電+li+ Fクラッド板を挾ん
で電気抵抗を測定することで、オンラインで板厚比を測
定することか可能となる。これにより、例えば、この板
厚比測定結果を用いることにより、クラツド板の被覆層
の厚み制御も可能となり、本発明が被覆層の厚み制御に
d−3いて非常に重要な役割りを果ブことができる等の
優れた効果を有づ−る。
材としてのクラツド板10(板厚1、被頂層10Aの厚
みt)の板〜比t/′Tの測定装置の実施例を詳細に説
明ザる。 本実施例は、前出第1図及び第2図に示づ如く、クラツ
ド板10の片面側二点間の電気抵抗R1を測定する片面
側二点間電気抵抗測定装置12と、クラツド板10の両
面二点間の電気抵抗R2を測定覆る両面二点間電気抵抗
測定装置14と、前記電気抵抗mlll装定12.14
から得られる電気抵抗R1、R2、クラツド板10の被
覆層10A及び母層10Bの抵抗率ρ0、ρ、正方形の
電極18.20.26の一辺の長さb 、片面側二電極
間の距l1lIlβから、板厚比t/−「をリアルタイ
ムで算出する演算処理器16とで椙成される。 前記片面側二点間電気抵抗測定装置12は、クラツド板
10の幅方向に距離ρだけ離された、接触面形状が正方
形の二つの電極18.20と、該電極18.20を介し
クラツド板10に一定電流を流づ電流発生器22と、該
電流発生器22により両電極18.20間に電気を流し
たとき両電極18.20間に発生する電位差を測定する
電圧計24とで構成される。 又、前記両面二点間電気抵抗測定装置14は、クラツド
板10の厚さ方向にクラツド板10の厚さ分の距ITだ
け離された、接触面形状が正方形の二つの電極18.2
6と、該電極18.26を介しクラツド板10に一定電
流を流す電流発生器28と、該電流発生器28により両
電極18.26間に電気を流したとき両電極18.26
間に発生Jる電位差を測定する電圧計30とで構成され
る。 次に、本実施例の作用を説明でる。 まず、クラツド板10の片面側二点間の電気抵抗R1を
測定する。 即ち、クラツド板10の片面側の二つの電極18.20
をクラツド板10の表面に接触させ、該電極18.20
間の電圧を電圧計24によって測定覆る。このとき流れ
る電流は、電流発生器22によって一定とされているの
で、該電圧と電流とにより電気抵抗R1が求まる。 次に、クラツド板10の両面二点間の電気抵抗R2を測
定する。即ち、前記電極18.26をクラツド板10の
表裏面に接触させ、該電極18.26の間に一定電流を
電流発生器28により流し−C、両電極18.26間に
発生ずる電位差を電圧計30によって測定し、該電圧と
電流とにより、クラツド板10の両面二点間の電気抵抗
R2を求める。 前記演算処理器16では、上位コンピュータ32からの
抵抗率ρ0、ρ、電極18.20,26の接触面用法I
)、電極18.20間の距離℃、及び前記電気抵抗測定
装置12.14から得られる電気抵抗R+ 、R2に基
づいて、前出(4)式の関係から、クラツド板10の被
覆層10Aの厚さtとクラツド板10の扱厚丁と、(反
厚比【/′丁を求める。 なe、/ラッド板10の各層10A、10Bの抵抗率ρ
0、ρは、一般的に製鋼の段階でサンプルを採ることに
よってその組成が判明覆るので、それに対して抵抗率の
テーブルを作成しておくことで容易に求めることかでき
る。更に、温度と抵抗率との関係を予め求めておけば、
クラツド板10の電気抵抗R1,R2の測定と温度測定
とにより、圧延10の板厚比を知ることができる。 又、前記実施例においては、有限な接触面積をもつ電極
18.20.26の接触面形状を正方形としたが、本発
明はこれに限定されることなく、例えば、長方形として
もよい。 【発明の効果) 以−J二説明した通り、本発明によれば、簡単な計葬式
で二種金属よりなるクラツド板の板厚比をリアルタイム
で求めることができる。従って、演算器の規模も小さく
て演むので、設備コストを低減でき、又、鉄鋼等の圧延
ラインにおいて、一定距離搬送する毎に、搬送を止めて
クラツド板の上下から電+li+ Fクラッド板を挾ん
で電気抵抗を測定することで、オンラインで板厚比を測
定することか可能となる。これにより、例えば、この板
厚比測定結果を用いることにより、クラツド板の被覆層
の厚み制御も可能となり、本発明が被覆層の厚み制御に
d−3いて非常に重要な役割りを果ブことができる等の
優れた効果を有づ−る。
第1図は、本発明が採用された二層構造板材の板厚比測
定装置の実施例の全体構成を示で、一部ブロック線図を
含む正面図、第2図は、同実施例で用いる電極の接触面
形状を示すだめの平面図、第3図は、点電極を用いた従
来の電気抵抗法による板厚測定装置の要部を示づ正面図
である。 10・・・クラツド板、 12.14・・・電気抵抗測定装置、 16・・・演算処理器、 18.20.26・・・電極、 22.28・・・電流発生器、 24.30・・・電圧計。
定装置の実施例の全体構成を示で、一部ブロック線図を
含む正面図、第2図は、同実施例で用いる電極の接触面
形状を示すだめの平面図、第3図は、点電極を用いた従
来の電気抵抗法による板厚測定装置の要部を示づ正面図
である。 10・・・クラツド板、 12.14・・・電気抵抗測定装置、 16・・・演算処理器、 18.20.26・・・電極、 22.28・・・電流発生器、 24.30・・・電圧計。
Claims (2)
- (1)異種材質でなる二層構造板材に電流を流し、該二
層構造板材の電気抵抗を測定して板厚比を測定する二層
構造板材の板厚比測定方法において、有限な接触面積を
もつ電極を使用して、二層構造板材の片面側二点間及び
両面二点間の電気抵抗を測定し、 該電気抵抗の測定結果を、二層構造板材の各層の抵抗率
と板厚との関係式に代入して、二つの板厚を未知数とし
た数式を二つ得て、 該二つの数式を連立させて解くことにより、二つの板厚
から板厚比を求めることを特徴とする二層構造板材の板
厚比測定方法。 - (2)前記二つの数式を連立させて解くことにより板厚
比を求めるに際し、二層構造板材の板厚をT、二層構造
板材の一方の層の厚さをt、二層構造板材の一方の層の
抵抗率をρ_0、他方の層の抵抗率をρ、正方形とした
電極の一辺の長さをb、片面側二電極間の距離をlとし
たとき、次式、▲数式、化学式、表等があります▼ の関係から板厚比t/Tを求めるようにした特許請求の
範囲第1項記載の二層構造板材の板厚比測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11185285A JPS61270603A (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | 二層構造板材の板厚比測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11185285A JPS61270603A (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | 二層構造板材の板厚比測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61270603A true JPS61270603A (ja) | 1986-11-29 |
Family
ID=14571772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11185285A Pending JPS61270603A (ja) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | 二層構造板材の板厚比測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61270603A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0959323A2 (de) * | 1998-05-20 | 1999-11-24 | Alcan Deutschland Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer Zwischenschicht |
CN103134456A (zh) * | 2011-11-22 | 2013-06-05 | 夏普株式会社 | 膜厚测量方法及膜厚测量装置、半导体集成电路的制造方法、控制程序、可读存储介质 |
JP2014077782A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-05-01 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 焼き入れ深さ測定装置、焼き入れ深さ測定方法、表層深さ測定装置、表層深さ測定方法 |
JP2015055564A (ja) * | 2013-09-12 | 2015-03-23 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 表層深さ測定装置、表層深さ測定方法 |
-
1985
- 1985-05-24 JP JP11185285A patent/JPS61270603A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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