JPS6126619B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6126619B2
JPS6126619B2 JP54093641A JP9364179A JPS6126619B2 JP S6126619 B2 JPS6126619 B2 JP S6126619B2 JP 54093641 A JP54093641 A JP 54093641A JP 9364179 A JP9364179 A JP 9364179A JP S6126619 B2 JPS6126619 B2 JP S6126619B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
electric heater
cavity
upper layer
sio
Prior art date
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Expired
Application number
JP54093641A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5618382A (en
Inventor
Mitsuteru Kimura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
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Publication of JPS5618382A publication Critical patent/JPS5618382A/ja
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Granted legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Surface Heating Bodies (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 従来より、接触燃焼式ガス検出器、半導体式ガ
ス検出器、熱線式流量計、ピラニー真空計等検出
素子を加熱する電熱器を必要とするセンサーは種
種存在する。しかし、斯様なセンサーに使用され
る電熱器は消費電力が少なくかつ熱時定数の小さ
いものが望ましく、そのためには、電熱器を小型
化して熱容量を小さくする必要があり、更には、
大量生産に適した構造としてコストを低廉化する
ことが望まれている。
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、以下、図面を参照しながら詳細に説明す
る。
第1図は、本発明による電熱器の製造方法の一
実施例を説明するための平面図、第2図は、第1
図の−線よりみた断面図で、図中、はシリ
コン(Si)ウエハー、10はSiウエハー上に形
成されたシリコン熱酸化(SiO2)層で、このSiO2
10は耐熱性かつ電気絶縁性に富み、機械的強
度も比較的強く、また、エツチング液もSiウエハ
とは異なつている。はSiウエハー1に設け
られた空洞、11はSiO210に設けられたス
リツトで、これら空洞及びスリツトは、製作しよ
うとする電熱器の外周に連続した溝を形成して
SiO210を10aと10bに分類しており、
例えば、次のようにして作られる。まず、Siウエ
ハーの表面を水蒸気雰囲気中において、1100℃
で、数時間熱酸化して厚み1.0μm程度のSiO2
10を成長させる。次に、スリツト11に相当す
るパターンを有するフオトレジスト.パターンを
用いて公知のフオトエツチング法によりSiO2
10を、例えば、フツ化アンモニウム系エツチン
グ液でエツチングし、次いで、Siウエハーをシ
ルバーグリコールエツチング液等の結晶方向によ
つてエツチング速度があまり変らないエツチング
液を用いて適当な深さの溝をつくる。その後、Si
の異方性エツチング液であり、かつ、SiO2はほ
とんど侵さないエチレンジアミン水溶液等を用い
たエツチング液で前記Siウエハーの溝の両側面
をエツチングするとともに、後述する発熱部
13c′の下部をアンダーカツトによつて貫通させて
空洞部2aを作り、その上にSiO2層の橋を作
る。斯様にして形成した基板の上に、例えば、ガ
ス検出器の電熱器を構成する場合には、被検出ガ
スに対して触媒作用を有する物質、又は、抵抗温
度係数の大きい抵抗体にPtやPd等を混合した物
質を真空中で蒸気又はスパツタリングすると、蒸
着又はスパツタリング粒子がSiO210の上に
付着して導電体層13を形成するが、溝11部に
飛翔してきた粒子は該溝11を通過して空洞
底に付着するので(第2図13b参照)、該溝1
1を境にして該溝11の外内の導電体層13a,
13cを電気的に分離することができる。この内
側の導体層13cに橋架部13c′をはさんでリー
ド線15a,15bを設け、これらの間に電流を
流すと橋架部13c′が発熱し、ここに発熱部を形
成することができる。
以上の説明から明らかなように、本発明による
と、従来より周知のフオトパターンを用いて多数
の電熱器を同時に微細加工できるので、消費電力
が少なくかつ熱時定数の小さい電熱器を底廉に生
産することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による電熱器の製造方法の一
実施例を説明するための平面図、第2図は、第1
図の−線よりみた断面図である。 1……Si層、,2a,2b,2c……空洞、
10,10a,10b……SiO2層、11……ス
リツト、13,13a,13b,13c……導電
体層、13c′……発熱部、15a,15b……リ
ード線。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 耐熱性かつ電気的絶縁性の物質から成る上部
    層と該上部層とは異なる物質から成る電気的絶縁
    物質の下部層とを含む基板を用い、前記下部層の
    一部を除去して前記上部層の下部に空洞を形成
    し、前記上部層の上に導電性物質の層を配して発
    熱部を形成する電熱器の製造方法において、前記
    空洞を形成する工程において、前記基板に前記電
    熱器を一周する溝を形成し、その後、上部より導
    電性物質を蒸着、スパツタリング等により付着さ
    せて前記導電性物質の層を形成して前記一周溝の
    内外を電気的に分離するようにしたことを特徴と
    する電熱器の製造方法。
JP9364179A 1979-07-25 1979-07-25 Method of manufacturing electric heater Granted JPS5618382A (en)

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JPS5618382A JPS5618382A (en) 1981-02-21
JPS6126619B2 true JPS6126619B2 (ja) 1986-06-21

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4542650A (en) * 1983-08-26 1985-09-24 Innovus Thermal mass flow meter
JPH079411B2 (ja) * 1986-03-24 1995-02-01 リコ−精器株式会社 雰囲気検出装置

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JPS5618382A (en) 1981-02-21

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