JPS61265508A - パタ−ン位置検出方法 - Google Patents
パタ−ン位置検出方法Info
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- JPS61265508A JPS61265508A JP60107649A JP10764985A JPS61265508A JP S61265508 A JPS61265508 A JP S61265508A JP 60107649 A JP60107649 A JP 60107649A JP 10764985 A JP10764985 A JP 10764985A JP S61265508 A JPS61265508 A JP S61265508A
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- Granted
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60107649A JPS61265508A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | パタ−ン位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60107649A JPS61265508A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | パタ−ン位置検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61265508A true JPS61265508A (ja) | 1986-11-25 |
JPH0380241B2 JPH0380241B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-12-24 |
Family
ID=14464539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60107649A Granted JPS61265508A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | パタ−ン位置検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61265508A (enrdf_load_stackoverflow) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54103373A (en) * | 1978-02-01 | 1979-08-14 | Hitachi Ltd | Precision pattern position detector |
-
1985
- 1985-05-20 JP JP60107649A patent/JPS61265508A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54103373A (en) * | 1978-02-01 | 1979-08-14 | Hitachi Ltd | Precision pattern position detector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0380241B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-12-24 |
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