JPS61258147A - ガス検出方法及び装置 - Google Patents
ガス検出方法及び装置Info
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- JPS61258147A JPS61258147A JP61056775A JP5677586A JPS61258147A JP S61258147 A JPS61258147 A JP S61258147A JP 61056775 A JP61056775 A JP 61056775A JP 5677586 A JP5677586 A JP 5677586A JP S61258147 A JPS61258147 A JP S61258147A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
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- G—PHYSICS
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガス検出装置、特に低濃度のガスを検出・測定
する装置及び方法に関わる。
する装置及び方法に関わる。
各種工業プロセスの反応生成物の分析に利用する分析装
置に対する需要はますます増大しつつある。有毒ガスの
検出というような用途では、問題のガスをｐｐｍレベル
の極めて低い濃度まで測定しなければならないのが普通
である。問題となるガスの濃度を測定する方法として、
従来は周囲空気のサンプルを光学セル中に採集し、赤外
線の特定波長における問題の特定分子の吸収量を測定し
た。分子濃度は極めて低いはずであるから、測定すべき
赤外線の吸収量もまた極めて小さい。吸収量を大きくす
るため、多くの場合、ミラー間で多重反射させることに
よりて２０ｍにも達する長い光路を得ることのできる長
光路光学セルを採用する。この方式の欠点は多重バス光
学セルが大型化し、重く、コストが高いことにある。従
って、職場環境でこれらのガスの許容レベルを規制する
０、Ｓ、Ｈ，Ａ、の規制を守るのに必要な、装置に要求
される携帯性という条件に合わない。
置に対する需要はますます増大しつつある。有毒ガスの
検出というような用途では、問題のガスをｐｐｍレベル
の極めて低い濃度まで測定しなければならないのが普通
である。問題となるガスの濃度を測定する方法として、
従来は周囲空気のサンプルを光学セル中に採集し、赤外
線の特定波長における問題の特定分子の吸収量を測定し
た。分子濃度は極めて低いはずであるから、測定すべき
赤外線の吸収量もまた極めて小さい。吸収量を大きくす
るため、多くの場合、ミラー間で多重反射させることに
よりて２０ｍにも達する長い光路を得ることのできる長
光路光学セルを採用する。この方式の欠点は多重バス光
学セルが大型化し、重く、コストが高いことにある。従
って、職場環境でこれらのガスの許容レベルを規制する
０、Ｓ、Ｈ，Ａ、の規制を守るのに必要な、装置に要求
される携帯性という条件に合わない。
市販の測定装置ではこのようなガス測定セルを１個だけ
使用するから、先ずセルに濾過した空気を充填して「基
準」吸収を測定した後、この空気を抜き取り、あらため
て周囲空気を充填しなければならない。周囲空気につい
て吸収を測定し、２つの測定値を比較することにより問
題のガスを吸収値を求める。このような手順は当然のこ
とながら多大の時間を要し、測定間のエレクトロニクス
偏差による誤差を生じ易い。測定すべきガスの濃度が極
めて低い場合、２つの測定値の理論上の差は極めて小さ
い。従って、小さい差信号を得るために２つの大きい伝
送値間で減算しなければならず、これらの大きい伝送値
に偏差があれば真の吸収値がこの偏差の中に埋もれてし
まう。
使用するから、先ずセルに濾過した空気を充填して「基
準」吸収を測定した後、この空気を抜き取り、あらため
て周囲空気を充填しなければならない。周囲空気につい
て吸収を測定し、２つの測定値を比較することにより問
題のガスを吸収値を求める。このような手順は当然のこ
とながら多大の時間を要し、測定間のエレクトロニクス
偏差による誤差を生じ易い。測定すべきガスの濃度が極
めて低い場合、２つの測定値の理論上の差は極めて小さ
い。従って、小さい差信号を得るために２つの大きい伝
送値間で減算しなければならず、これらの大きい伝送値
に偏差があれば真の吸収値がこの偏差の中に埋もれてし
まう。
従来型の測定装置に採用されている方式の他の弱点は赤
外線光源を吸収値に適した波長に同調するため干渉フィ
ルタ・ホイールを使用することにある。干渉フィルタ・
ホイールはこの種の測定に必要な高度の赤外線エネルギ
ー流量を達成できるが、特定赤外線波長の分解能が極め
て低い。その結果、異種ガス間で吸収値が干渉し合い、
これも測定誤差の原因となる。
外線光源を吸収値に適した波長に同調するため干渉フィ
ルタ・ホイールを使用することにある。干渉フィルタ・
ホイールはこの種の測定に必要な高度の赤外線エネルギ
ー流量を達成できるが、特定赤外線波長の分解能が極め
て低い。その結果、異種ガス間で吸収値が干渉し合い、
これも測定誤差の原因となる。
本発明は、閉鎖チェンバを画定する壁、その壁に作動的
に関連してチェンバにガス・サンプルを導入したり、チ
ェンバからガス・サンプルを排出したりする弁手段、チ
ェンバ内の音響乱れを検出する手段及びチェンバの互い
に対向する側にあって赤外線がチェンバを通過できるよ
うにする窓手段を含む光・音響検出手段と、赤外線パル
スの狭帯域部分をしてチェンバを通過せしめ、特定ガス
が存在する時、チェンバ内でサンプル・ガスと相互作用
させてチェンバ内にパルス状の音響乱れが発生するよう
に、光・音響検出手段と作動的に関連する赤外線光源手
段と、光・音響検出手段と赤外線光源手段の間に配置さ
れ、赤外線が通過する光学的整列結晶体、及び可変周波
数エネルギー源及び音響・光学的結晶体に結合されて、
結晶体中に音波を送り込み、ｒｆエネルギー及び結晶体
中に送り込まれる音波の周波数に応じて異なる赤外線の
狭帯域部分と相互作用させてこの部分を残りの赤外線部
分から弁別できるようにする音響トランスジューサ手段
を含む音響・光学同調フィルタとから成ることを特徴と
する、ガス・サンプル中の特定のガスを検出する装置を
提案する。
に関連してチェンバにガス・サンプルを導入したり、チ
ェンバからガス・サンプルを排出したりする弁手段、チ
ェンバ内の音響乱れを検出する手段及びチェンバの互い
に対向する側にあって赤外線がチェンバを通過できるよ
うにする窓手段を含む光・音響検出手段と、赤外線パル
スの狭帯域部分をしてチェンバを通過せしめ、特定ガス
が存在する時、チェンバ内でサンプル・ガスと相互作用
させてチェンバ内にパルス状の音響乱れが発生するよう
に、光・音響検出手段と作動的に関連する赤外線光源手
段と、光・音響検出手段と赤外線光源手段の間に配置さ
れ、赤外線が通過する光学的整列結晶体、及び可変周波
数エネルギー源及び音響・光学的結晶体に結合されて、
結晶体中に音波を送り込み、ｒｆエネルギー及び結晶体
中に送り込まれる音波の周波数に応じて異なる赤外線の
狭帯域部分と相互作用させてこの部分を残りの赤外線部
分から弁別できるようにする音響トランスジューサ手段
を含む音響・光学同調フィルタとから成ることを特徴と
する、ガス・サンプル中の特定のガスを検出する装置を
提案する。
本発明は更に、周囲環境から採取されたガス・サンプル
中の特定のガスを検出する方法において、閉鎖チェンバ
を画定する壁、その壁と作動的に関連してチェンバにガ
ス・サンプルを導入したり、チェンバからガス・サンプ
ルを排出したりする弁手段、チェンバ内の音響乱れを検
出する手段及びチェンバの互いに対向する側にあって赤
外線がチェンバを通過できるようにする窓手段を含む光
・音響検出手段にガス・サンプルを導入し、特定ガスが
存在する時、チェンバ内でサンプル・ガスと相互作用し
てチェンバ内にパルス状の音響乱れを発生させるように
、光・音響検出手段と作動的に関連して赤外線パルスの
狭帯域部分を放射してチェンバを通過させる赤外線光源
手段を設け、赤外線が通過する光学的整列結晶体、及び
可変周波数エネルギー源及び音響・光学結晶体に結合さ
れて、結晶体中に音波を送り込み、ｒｆエネルギー及び
結晶体中に送り込まれる音波の周波数に応じて異なる赤
外線の狭帯域部分と相互作用させてこの部分を残りの赤
外線部分から弁別できるようにする音響トランスジュー
サ手段を含む音響・光学同調フィルタを光・音響検出手
段と赤外線光源手段の間に配置することを特徴とする方
法を提案する。
中の特定のガスを検出する方法において、閉鎖チェンバ
を画定する壁、その壁と作動的に関連してチェンバにガ
ス・サンプルを導入したり、チェンバからガス・サンプ
ルを排出したりする弁手段、チェンバ内の音響乱れを検
出する手段及びチェンバの互いに対向する側にあって赤
外線がチェンバを通過できるようにする窓手段を含む光
・音響検出手段にガス・サンプルを導入し、特定ガスが
存在する時、チェンバ内でサンプル・ガスと相互作用し
てチェンバ内にパルス状の音響乱れを発生させるように
、光・音響検出手段と作動的に関連して赤外線パルスの
狭帯域部分を放射してチェンバを通過させる赤外線光源
手段を設け、赤外線が通過する光学的整列結晶体、及び
可変周波数エネルギー源及び音響・光学結晶体に結合さ
れて、結晶体中に音波を送り込み、ｒｆエネルギー及び
結晶体中に送り込まれる音波の周波数に応じて異なる赤
外線の狭帯域部分と相互作用させてこの部分を残りの赤
外線部分から弁別できるようにする音響トランスジュー
サ手段を含む音響・光学同調フィルタを光・音響検出手
段と赤外線光源手段の間に配置することを特徴とする方
法を提案する。
本発明の目的は極めて低いレベルの特定ガスの濃度を検
出、測定できるように改良した装置及び方法を提供する
ことにある。
出、測定できるように改良した装置及び方法を提供する
ことにある。
本発明の装置・方法を用いると、有毒ガス測定に関する
Ｏ、Ｓ、）１．Ａの規則に適合できるコンパクトで携帯
可能なガス検出・測定装置“が得られる。
Ｏ、Ｓ、）１．Ａの規則に適合できるコンパクトで携帯
可能なガス検出・測定装置“が得られる。
上記目的を達成する上で、チェンバ壁がチェンバ内の音
響乱れを検出する手段及びチェンバの互いに対向する側
にあって赤外線を通過させる窓手段を具備することが好
ましい。
響乱れを検出する手段及びチェンバの互いに対向する側
にあって赤外線を通過させる窓手段を具備することが好
ましい。
赤外線光源を光・音響検出装置と作動的に興連させて前
記チェンバに赤外線を通過させる。光・音響装置と赤外
線光源との間に音響・光学同調フィルタを介在させる。
記チェンバに赤外線を通過させる。光・音響装置と赤外
線光源との間に音響・光学同調フィルタを介在させる。
この音響・光学同調フィルタ（ＡＯＴＦ）は光学的に整
列させた音響・光学結晶体から成り、結晶体光学軸に対
して所定の角度で赤外線が結晶体を通過する。音響トラ
ンスジューサを可変周波数「ｆエネルギー源及び音響・
光学結晶体に作動的に関連させることにより、結晶体中
へ音波を送入し、赤外線の所定の狭帯域部分と相互作用
させる。音波と赤外線のこの相互作用が所定狭帯域部分
を残りの赤外線部分から区別する。狭帯域部分はｒｆエ
ネルギー及び音波の周波数に応じて異なる。所定の赤外
線狭帯域部分がチェンバ窓を通過してチェンバ内のサン
プル・ガスと相互作用し、もしチェンバ内に特定のガス
が存在すれば音響孔れが発生する。
列させた音響・光学結晶体から成り、結晶体光学軸に対
して所定の角度で赤外線が結晶体を通過する。音響トラ
ンスジューサを可変周波数「ｆエネルギー源及び音響・
光学結晶体に作動的に関連させることにより、結晶体中
へ音波を送入し、赤外線の所定の狭帯域部分と相互作用
させる。音波と赤外線のこの相互作用が所定狭帯域部分
を残りの赤外線部分から区別する。狭帯域部分はｒｆエ
ネルギー及び音波の周波数に応じて異なる。所定の赤外
線狭帯域部分がチェンバ窓を通過してチェンバ内のサン
プル・ガスと相互作用し、もしチェンバ内に特定のガス
が存在すれば音響孔れが発生する。
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明
する。
する。
本発明のガス検出装置は音響・光学同調フィルタ（ＡＯ
ＴＦ）及び光・音響（ＰＡ）検出セルを含む、 ＡＯ
ＴＦは例えば砒化セレン化タリウム（ｔｈａｌＨｕｍ
ａｒｓｅｎｌｄｅ ５ｅｌｅｎｉｄｅ）のような適当な
材料で構成され、高い分解能で赤外線を選択的に濾過す
る高スルーブツト・ソースとして働く。米国特許第４，
０５２，１２１号明細書には音響・光学同調フィルタの
非共線的構成が開示されている。また、米国特許出願第 ３４５．１２３号明細書には、狭帯域同調音響・光学フ
ィルタを所定のｒｆ周波数信号に選択的に同調すること
により、識別・分析すべき特定分子に対応する該当の狭
帯域だけを透過することできるシステムが記載されてい
る。このシステムは濾過された赤外線信号を電気信号に
変換する赤外線検出器からの検知信号を測定及び比較す
るため、連携の記憶装置中にマイクロコンピュータを含
む。記憶装置はコンピータに対する制御信号及びフィル
タを同調するために供給される「ｆエネルギーのシーケ
ンスと周波数を制御するための制御信号を提供する。こ
のように構成すれば、所定の分子に対応する吸収帯につ
いて近−中間赤外線を分析し、燃焼プロセスなどを制御
するためのフィードバック信号を形成するこができる。
ＴＦ）及び光・音響（ＰＡ）検出セルを含む、 ＡＯ
ＴＦは例えば砒化セレン化タリウム（ｔｈａｌＨｕｍ
ａｒｓｅｎｌｄｅ ５ｅｌｅｎｉｄｅ）のような適当な
材料で構成され、高い分解能で赤外線を選択的に濾過す
る高スルーブツト・ソースとして働く。米国特許第４，
０５２，１２１号明細書には音響・光学同調フィルタの
非共線的構成が開示されている。また、米国特許出願第 ３４５．１２３号明細書には、狭帯域同調音響・光学フ
ィルタを所定のｒｆ周波数信号に選択的に同調すること
により、識別・分析すべき特定分子に対応する該当の狭
帯域だけを透過することできるシステムが記載されてい
る。このシステムは濾過された赤外線信号を電気信号に
変換する赤外線検出器からの検知信号を測定及び比較す
るため、連携の記憶装置中にマイクロコンピュータを含
む。記憶装置はコンピータに対する制御信号及びフィル
タを同調するために供給される「ｆエネルギーのシーケ
ンスと周波数を制御するための制御信号を提供する。こ
のように構成すれば、所定の分子に対応する吸収帯につ
いて近−中間赤外線を分析し、燃焼プロセスなどを制御
するためのフィードバック信号を形成するこができる。
本発明では、音響・光学同調フィルタを用いて、結晶を
通過する赤外線との音響・光学的相互作用によりフィル
タを特定の赤外線帯域に迅速に電子同調させることがで
きる。
通過する赤外線との音響・光学的相互作用によりフィル
タを特定の赤外線帯域に迅速に電子同調させることがで
きる。
光・音響（ＰＡ）検出装置は微量ガスの吸収を測定する
比較的新しい装置である。この装置は分子振動の励起に
よって赤外線中に吸収される光学的エネルギーが急速に
媒体中の熱に、従って圧力波に伝達されるという事実を
利用するものである。即ち、赤外線光源を所与の周波数
で変調すると、圧力波がこの周波数の音波を形成し、音
響トランスジューサ、即ち、マイクロホンによってこれ
を検知することができる。発生する信号は吸収されたエ
ネルギーに比例する。低レベルの吸収分子を含むガスが
吸収媒ならば、発生する音響エネルギーは吸収分子の濃
度及び入射赤外線の強さに比例する。発明者は光源が音
響・光学同調フィルタなら、固有の赤外線吸収波長によ
って分子を識別できると上述した。即ち、光・音響検出
装置を同調可能な赤外線光源と併用することにより、例
えば空気のようなバックグラウンド・ガス中に存在する
複数の異なる種類のガスを識別し、それぞれの濃度を測
定することができる。
比較的新しい装置である。この装置は分子振動の励起に
よって赤外線中に吸収される光学的エネルギーが急速に
媒体中の熱に、従って圧力波に伝達されるという事実を
利用するものである。即ち、赤外線光源を所与の周波数
で変調すると、圧力波がこの周波数の音波を形成し、音
響トランスジューサ、即ち、マイクロホンによってこれ
を検知することができる。発生する信号は吸収されたエ
ネルギーに比例する。低レベルの吸収分子を含むガスが
吸収媒ならば、発生する音響エネルギーは吸収分子の濃
度及び入射赤外線の強さに比例する。発明者は光源が音
響・光学同調フィルタなら、固有の赤外線吸収波長によ
って分子を識別できると上述した。即ち、光・音響検出
装置を同調可能な赤外線光源と併用することにより、例
えば空気のようなバックグラウンド・ガス中に存在する
複数の異なる種類のガスを識別し、それぞれの濃度を測
定することができる。
光・音響検出装置としてはすでに種々の構成のものが知
られている。ガス検出を行なうためには、壁に赤外線入
射窓と、吸収エネルギーを検知するための音響検知器と
を設けたチェンバに吸収媒を収容すればよい。感度を高
めるためには、赤外線光源の変調周波数で共鳴するよう
に構成すればよい。光・音響分光法については、１９８
３年７月刊行Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆＳｃｌａｎｔｆｆｌｃ
Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ 第５４％ （７
）に掲載されたＷｅｓｔ他の論文″Ｐｈｏｔｏ−Ａｃｏ
ｕｓｔｉｃｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ″に詳しく記載さ
れており、本明細書にその内容を引用した。光・音響検
出方式を利用することにより、従来の吸収法による検出
に比較していくつかの顕著な利点が得られる。検出素子
はマイクロホンであり、高価な赤外線検出装置は不要で
ある。発生する信号は分子の濃度に比例する。従って、
本明細書冒頭の背景の項で述べたような従来の光学的吸
収法の場合のように大きい信号の小さい変化を検出する
必要はない。光・音響検出システムはコンパクトかつ軽
量に構成できるから、ポータプルな測定装置として実施
できる。
られている。ガス検出を行なうためには、壁に赤外線入
射窓と、吸収エネルギーを検知するための音響検知器と
を設けたチェンバに吸収媒を収容すればよい。感度を高
めるためには、赤外線光源の変調周波数で共鳴するよう
に構成すればよい。光・音響分光法については、１９８
３年７月刊行Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆＳｃｌａｎｔｆｆｌｃ
Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ 第５４％ （７
）に掲載されたＷｅｓｔ他の論文″Ｐｈｏｔｏ−Ａｃｏ
ｕｓｔｉｃｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ″に詳しく記載さ
れており、本明細書にその内容を引用した。光・音響検
出方式を利用することにより、従来の吸収法による検出
に比較していくつかの顕著な利点が得られる。検出素子
はマイクロホンであり、高価な赤外線検出装置は不要で
ある。発生する信号は分子の濃度に比例する。従って、
本明細書冒頭の背景の項で述べたような従来の光学的吸
収法の場合のように大きい信号の小さい変化を検出する
必要はない。光・音響検出システムはコンパクトかつ軽
量に構成できるから、ポータプルな測定装置として実施
できる。
音響・光学同調フィルタ及び光・音響検出装置は広帯域
赤外線光源と併用される。好ましい赤外線光源は本発明
のシステムにおいて利用される広帯域赤外線を発生する
ネルンスト灯（Ｎｅｒｎｓｔ ｇｌｏｗｅｒ） 、また
は炭化ケイ素のグローバーランプである。＾ＯＴＦフィ
ルタの赤外線における高いエネルギー・スルーブツト及
び波長分解能は文献に記載されており、１９８１年刊行
の５ＰＩＥ第２６８巻、第１６０頁に掲載されたＳｔｅ
ｉｎｂｒｕｅｇｇｅ他の論文” ＡｕｔｏｍａｔｅｄＡ
ＯＴＦ Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ａｎａｌｙｚｅｒ”に詳述
されており、その内容は本明細書にも引用した。
赤外線光源と併用される。好ましい赤外線光源は本発明
のシステムにおいて利用される広帯域赤外線を発生する
ネルンスト灯（Ｎｅｒｎｓｔ ｇｌｏｗｅｒ） 、また
は炭化ケイ素のグローバーランプである。＾ＯＴＦフィ
ルタの赤外線における高いエネルギー・スルーブツト及
び波長分解能は文献に記載されており、１９８１年刊行
の５ＰＩＥ第２６８巻、第１６０頁に掲載されたＳｔｅ
ｉｎｂｒｕｅｇｇｅ他の論文” ＡｕｔｏｍａｔｅｄＡ
ＯＴＦ Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ａｎａｌｙｚｅｒ”に詳述
されており、その内容は本明細書にも引用した。
添付図面において、本発明の音響・光学同調フィルタ／
光・音響検出装置を組合わせたシステムを一括して参照
番号１で示した。このシステムの主要構成要素は赤外線
光源３、音響・光学同調フィルタ５、光・音響検出サン
プリング回路７、データ形成／制御手段９などである。
光・音響検出装置を組合わせたシステムを一括して参照
番号１で示した。このシステムの主要構成要素は赤外線
光源３、音響・光学同調フィルタ５、光・音響検出サン
プリング回路７、データ形成／制御手段９などである。
すでに指摘した通り、赤外線光源３としてはネルンスト
灯のような広帯域赤外線光源が好ましい。赤外線光源３
と光・音響検出装置７との間に光学的に整列する音響・
光学同調フィルタは、光学入力面１１、光学出力面１３
、及び音響・光学フィルタの少なくとも一方の側に配置
されて非共線フィルタを構成するトランスジューサ手段
１５を含む。トランスジューサ手段１５はデータ形成／
制御手段９に含まれる可変周波数ｒｆエネルギー源と接
続している。
灯のような広帯域赤外線光源が好ましい。赤外線光源３
と光・音響検出装置７との間に光学的に整列する音響・
光学同調フィルタは、光学入力面１１、光学出力面１３
、及び音響・光学フィルタの少なくとも一方の側に配置
されて非共線フィルタを構成するトランスジューサ手段
１５を含む。トランスジューサ手段１５はデータ形成／
制御手段９に含まれる可変周波数ｒｆエネルギー源と接
続している。
光・音響検出装置７は弁手段２１及び２３を含む閉鎖チ
ェンバ１９を画定する壁１７を含み、前記弁手段２Ｉ及
び２３は壁１７に作動的に関連してチェンバ１９にガス
・サンプルを導入したり、チェンバからガス・サンプル
を排出したりする。チェンバ壁１７はチェンバ１９内の
音響孔れを検知する手段２５と、チェンバ１９の互いに
対応する側にあって赤外線を通過させる窓手段２７．２
９を含む。検知手段２５はデータ形成／制御手段９と電
気的に交信して検知内容を前記手段９によって処理させ
る。
ェンバ１９を画定する壁１７を含み、前記弁手段２Ｉ及
び２３は壁１７に作動的に関連してチェンバ１９にガス
・サンプルを導入したり、チェンバからガス・サンプル
を排出したりする。チェンバ壁１７はチェンバ１９内の
音響孔れを検知する手段２５と、チェンバ１９の互いに
対応する側にあって赤外線を通過させる窓手段２７．２
９を含む。検知手段２５はデータ形成／制御手段９と電
気的に交信して検知内容を前記手段９によって処理させ
る。
本発明による音響・光学同調フィルタ／光・音響検出装
置システムを微量ガス検出システムとして構成し、使用
した。赤外線光源として、赤外線を音響・光学同調フィ
ルタに集束する放物面ミラーを含み、１２００℃で作用
する小さいコイル形ニクロム線ヒータを使用した。音響
・光学同調フィルタの有効波長同調範囲は１．５乃至１
６μｍであった。フィルタからの狭帯域の光が赤外線透
過性の窓を通って光・音響セルに入射した。マイクロホ
ンは外部振動を消去し、バックグラウンド・ノイズを軽
減するように配置した。この実施例の場合、光・音響チ
ェンバは４ｋ）ｌｚで共鳴し、 ＡＯＴＦも同じ周波数
でパルスを発生する。制御システムとしては、波長範囲
を走査して完全吸収を得るか、あるいは所定の波長まで
飛越して特定ガスの濃度を測定する制御システムを採用
すればよい。この制御システムの性能をメタン及びベン
ゼンで試験した結果、理論上予想される性能と一致した
。添付図面に略伝し、上述した構成は０５）ＩＡが規制
する蒸気の濃度をｐｐｍ単位で測定することができる。
置システムを微量ガス検出システムとして構成し、使用
した。赤外線光源として、赤外線を音響・光学同調フィ
ルタに集束する放物面ミラーを含み、１２００℃で作用
する小さいコイル形ニクロム線ヒータを使用した。音響
・光学同調フィルタの有効波長同調範囲は１．５乃至１
６μｍであった。フィルタからの狭帯域の光が赤外線透
過性の窓を通って光・音響セルに入射した。マイクロホ
ンは外部振動を消去し、バックグラウンド・ノイズを軽
減するように配置した。この実施例の場合、光・音響チ
ェンバは４ｋ）ｌｚで共鳴し、 ＡＯＴＦも同じ周波数
でパルスを発生する。制御システムとしては、波長範囲
を走査して完全吸収を得るか、あるいは所定の波長まで
飛越して特定ガスの濃度を測定する制御システムを採用
すればよい。この制御システムの性能をメタン及びベン
ゼンで試験した結果、理論上予想される性能と一致した
。添付図面に略伝し、上述した構成は０５）ＩＡが規制
する蒸気の濃度をｐｐｍ単位で測定することができる。
この測定は公知の吸収式微量ガス分析装置を使用する従
来の方法では５乃至１０分間という長い時間が必要であ
ったのに対して数秒間で行なうことができる。
来の方法では５乃至１０分間という長い時間が必要であ
ったのに対して数秒間で行なうことができる。
以上に述べたシステムは広帯域赤外線光源、この赤外線
のいくつかの波長を選択的に通過させる音響・光学フィ
ルタ、及び光・音響検出装置を、低濃度ガスを検出・測
定する新規の測定システムを構成するように組合わせた
ものである。
のいくつかの波長を選択的に通過させる音響・光学フィ
ルタ、及び光・音響検出装置を、低濃度ガスを検出・測
定する新規の測定システムを構成するように組合わせた
ものである。
添付の図面は本発明のガス検出装置の実施例を略伝する
ブロックダイヤグラムである。 ３・・・・赤外線光源 ５・・・・音響・光学同調フィルタ ７・・・・光・音響検出装置 ９・・・・データ形成／制御回路 １５・・・・トランスデユーサ １９・・・・チェンバ ２１、、．２３・・・・弁手段 ２７、．２９・・・・窓手段 図面のｆｆヴｉ′（内容に変更なし） 手 続 補 正 ＩＦ（方 式）昭和
６１年６月よ日 １ 事件の表ボ 昭和１月年特許願箪５６７７５号
２、発明の名称 ガス検出方法及び装置３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 アメリカ合衆国、ペンシルベニア州、ピ
ッツバーグ。 ゲイトウェイ・センター（番地ナシ） 名 １％（７１１） ウェスチングハウス・エレク
トリック・コーポレーション 代表者 イー・ジエイ・キャタビアニＬｉ１ｎ７
′ノリカ合衆国 ４、代理人 住 所 神戸市中央区京町フロの２番地入江ビル
クエスヂングハウス・エレクトリック・ジャパン６、補
正の対象 図面
ブロックダイヤグラムである。 ３・・・・赤外線光源 ５・・・・音響・光学同調フィルタ ７・・・・光・音響検出装置 ９・・・・データ形成／制御回路 １５・・・・トランスデユーサ １９・・・・チェンバ ２１、、．２３・・・・弁手段 ２７、．２９・・・・窓手段 図面のｆｆヴｉ′（内容に変更なし） 手 続 補 正 ＩＦ（方 式）昭和
６１年６月よ日 １ 事件の表ボ 昭和１月年特許願箪５６７７５号
２、発明の名称 ガス検出方法及び装置３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 住 所 アメリカ合衆国、ペンシルベニア州、ピ
ッツバーグ。 ゲイトウェイ・センター（番地ナシ） 名 １％（７１１） ウェスチングハウス・エレク
トリック・コーポレーション 代表者 イー・ジエイ・キャタビアニＬｉ１ｎ７
′ノリカ合衆国 ４、代理人 住 所 神戸市中央区京町フロの２番地入江ビル
クエスヂングハウス・エレクトリック・ジャパン６、補
正の対象 図面
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、閉鎖チェンバを画定する壁、その壁に作動的に関連
してチェンバにガス・サンプルを導入したり、チェンバ
からガス・サンプルを排出したりする弁手段、チェンバ
内の音響乱れを検出する手段及びチェンバの互いに対向
する側にあって赤外線がチェンバを通過できるようにす
る窓手段を含む光・音響検出手段と、赤外線パルスの狭
帯域部分をしてチェンバを通過せしめ、特定ガスが存在
する時、チェンバ内でサンプル・ガスと相互作用させて
チェンバ内にパルス状の音響乱れが発生するように、光
・音響検出手段と作動的に関連する赤外線光源手段と、
光・音響検出手段と赤外線光源手段の間に配置され、赤
外線が通過する光学的整列結晶体、及び可変周波数エネ
ルギー源及び音響・光学的結晶体に結合されて、結晶体
中に音波を送り込み、ｒｆエネルギー及び結晶体中に送
り込まれる音波の周波数に応じて異なる赤外線の狭帯域
部分と相互作用させてこの部分を残りの赤外線部分から
弁別できるようにする音響トランスジューサ手段を含む
音響・光学同調フィルタとから成ることを特徴とする、
ガス・サンプル中の特定のガスを検出する装置。 ２、音響・光学同調フィルタが砒化セレン化タリウム結
晶体を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載の装置。 ３、音響・光学同調フィルタの同調範囲が約１．５乃至
１６μｍであることを特徴とする特許請求の範囲第１項
または第２項に記載の装 置。 ４、赤外線光源手段がネルンスト灯であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項から第３項までのいずれかに
記載の装置。 ５、光・音響検出装置の閉鎖チェンバが４ｋＨｚで共鳴
することを特徴とする特許請求の範囲第４項に記載の装
置。 ６、赤外線光源手段が赤外線を音響・光学同調フィルタ
に集束する放物面ミラーを含むコイル形ヒータ線手段か
ら成ることを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の
装置。 ７、周囲環境から採取されたガス・サンプル中の特定の
ガスを検出する方法において、閉鎖チェンバを画定する
壁、その壁と作動的に関連してチェンバにガス・サンプ
ルを導入したり、チェンバからガス・サンプルを排出し
たりする弁手段、チェンバ内の音響乱れを検出する手段
及びチェンバの互いに対向する側にあって赤外線がチェ
ンバを通過できるようにする窓手段を含む光・音響検出
手段にガス・サンプルを導入し、特定ガスが存在する 時、チェンバ内でサンプル・ガスと相互作用してチェン
バ内にパルス状の音響乱れを発生させるように、光・音
響検出手段と作動的に関連して赤外線パルスの狭帯域部
分を放射してチェンバを通過させる赤外線光源手段を設
け、赤外線が通過する光学的整列結晶体、及び可変周波
数エネルギー源及び音響・光学結晶体に結合されて、結
晶体中に音波を送り込み、ｒｆエネルギー及び結晶体中
に送り込まれる音波の周波数に応じて異なる赤外線の狭
帯域部分と相互作用させてこの部分を残りの赤外線部分
から弁別できるようにする音響トランスジューサ手段を
含む音響・光学同調フィルタを光・音響検出手段と赤外
線光源手段の間に配置することを特徴とする方法。 ８、光・音響検出手段の閉鎖チェンバが所定の周波数で
共鳴し、赤外線が所定の周波数でパルス状となることを
特徴とする特許請求の範囲第７項に記載の方法。 ９、所定の周波数が４ｋＨｚであることを特徴とする特
許請求の範囲第８項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US714582 | 1985-03-21 | ||
| US06/714,582 US4622845A (en) | 1985-03-21 | 1985-03-21 | Method and apparatus for the detection and measurement of gases |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61258147A true JPS61258147A (ja) | 1986-11-15 |
Family
ID=24870626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61056775A Pending JPS61258147A (ja) | 1985-03-21 | 1986-03-14 | ガス検出方法及び装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4622845A (ja) |
| EP (1) | EP0195685A3 (ja) |
| JP (1) | JPS61258147A (ja) |
| CN (1) | CN1007015B (ja) |
| CA (1) | CA1254281A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7515245B2 (en) | 2003-09-18 | 2009-04-07 | Asml Netherlands B.V | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Families Citing this family (55)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NO880891L (no) * | 1987-03-03 | 1988-09-05 | Elizabeth May Dowling | Fremgangsmaate og apparat for maaling eller deteksjon av konsentrasjonen av en substans. |
| US4866681A (en) * | 1988-03-09 | 1989-09-12 | Mine Safety Appliances Company | Photo-acoustic detector |
| US4940316A (en) * | 1988-05-13 | 1990-07-10 | Westinghouse Electric Corp. | Apparatus and method for increasing the efficiency of an acousto optic diffractive device |
| DK160590C (da) * | 1988-09-12 | 1991-09-16 | Fls Airloq As | Fremgangsmaade til detektering af en gasart ved hjaelp af fotoakustisk spektroskopi |
| US5129255A (en) * | 1989-10-06 | 1992-07-14 | The Aerospace Corporation | Photoacoustic detection and tracking apparatus |
| US5069551A (en) * | 1989-11-24 | 1991-12-03 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Method and apparatus of measuring unburned carbon in fly ash |
| US5201220A (en) * | 1990-08-28 | 1993-04-13 | Schlumberger Technology Corp. | Apparatus and method for detecting the presence of gas in a borehole flow stream |
| US5167149A (en) * | 1990-08-28 | 1992-12-01 | Schlumberger Technology Corporation | Apparatus and method for detecting the presence of gas in a borehole flow stream |
| DE4119461A1 (de) * | 1991-06-13 | 1992-12-17 | Hartmann & Braun Ag | Abstimmbares optisches filter |
| US5216484A (en) * | 1991-12-09 | 1993-06-01 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Real-time imaging spectrometer |
| US5406082A (en) * | 1992-04-24 | 1995-04-11 | Thiokol Corporation | Surface inspection and characterization system and process |
| US5541413A (en) * | 1992-04-24 | 1996-07-30 | Thiokol Corporation | Acousto-optic tunable filter-based surface scanning system and process |
| GB2271181A (en) * | 1992-09-30 | 1994-04-06 | Marconi Gec Ltd | Photoacoustic Gas Analyser. |
| US5576480A (en) * | 1992-11-06 | 1996-11-19 | Pall Corporation | System and method for testing the integrity of porous elements |
| US5373160A (en) * | 1993-05-04 | 1994-12-13 | Westinghouse Electric Corporation | Remote hazardous air pullutants monitor |
| DE69409736T2 (de) * | 1993-08-30 | 1998-10-01 | Millipore Invest Holdings | Prüfung der Unversehrtheit poröser Strukturen mittels Schallemission |
| EP0685728B1 (en) * | 1994-06-04 | 2002-12-11 | Orbisphere Laboratories Neuchatel Sa | Photoacoustic analyzer |
| US5596146A (en) * | 1994-06-06 | 1997-01-21 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Photoacoustic measurement of unburned carbon in fly-ash |
| US5444528A (en) * | 1994-07-27 | 1995-08-22 | The Titan Corporation | Tunable spectrometer with acousto-optical tunable filter |
| US5483088A (en) * | 1994-08-12 | 1996-01-09 | S.R.I. International | Compounds and infrared devices including In1-x Tlx Q, where Q is As1-y Py and 0≦y≦1 |
| NO300078B1 (no) * | 1995-02-10 | 1997-04-01 | Sinvent As | Fotoakustisk gassdetektor |
| US5900533A (en) * | 1995-08-03 | 1999-05-04 | Trw Inc. | System and method for isotope ratio analysis and gas detection by photoacoustics |
| US5780724A (en) * | 1997-03-27 | 1998-07-14 | United Technologies Corp | Photo-acoustic leak detector with improved signal-to-noise response |
| US5869749A (en) * | 1997-04-30 | 1999-02-09 | Honeywell Inc. | Micromachined integrated opto-flow gas/liquid sensor |
| US6154307A (en) | 1998-09-18 | 2000-11-28 | United Technologies Corporation | Method and apparatus to diffract multiple beams |
| US6089076A (en) * | 1998-09-18 | 2000-07-18 | United Technologies Corporation | System to control the power of a beam |
| US6227036B1 (en) | 1998-10-28 | 2001-05-08 | The Regents Of The University Of Michigan | Multiple microphone photoacoustic leak detection and localization system and method |
| JP2000241782A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Fujitsu Ltd | 可変波長選択フィルタおよび分岐・挿入装置 |
| US7034943B1 (en) * | 2000-03-03 | 2006-04-25 | Aritron Intrumente AG | Gas sensors |
| WO2002066966A1 (en) * | 2001-01-08 | 2002-08-29 | California Analytical Instruments, Inc. | Method and apparatus for the determination of total sulfur in a gas |
| DE10112579C2 (de) * | 2001-03-15 | 2003-02-13 | Siemens Ag | Infrarot-Gasanalysator |
| US6565352B2 (en) | 2001-04-09 | 2003-05-20 | Ken E. Nielsen | Smoke density monitor |
| KR100419094B1 (ko) * | 2001-06-28 | 2004-02-19 | (주)나노믹스 | 기체 식별기 |
| US6975402B2 (en) * | 2002-11-19 | 2005-12-13 | Sandia National Laboratories | Tunable light source for use in photoacoustic spectrometers |
| FR2852155B1 (fr) * | 2003-03-03 | 2006-08-25 | Fastlite | Procede et dispositif pour le controle de l'amplitude du spectre en longueurs d'ondes des impulsions lumineuses ultra breves emises par les amplificateurs laser a passages multiples |
| EA009547B1 (ru) * | 2003-06-11 | 2008-02-28 | ФАРРИ БРАЗЕРС ЛЛСи | Способ визуального обнаружения утечки химиката, выделяющегося из объекта |
| US7151787B2 (en) * | 2003-09-10 | 2006-12-19 | Sandia National Laboratories | Backscatter absorption gas imaging systems and light sources therefore |
| US7375814B2 (en) * | 2005-03-11 | 2008-05-20 | Sandia Corporation | Natural gas leak mapper |
| US9274949B2 (en) * | 2007-08-27 | 2016-03-01 | International Business Machines Corporation | Tracking data updates during memory migration |
| GB2471048B (en) * | 2008-04-09 | 2012-05-30 | Halliburton Energy Serv Inc | Apparatus and method for analysis of a fluid sample |
| WO2011078835A1 (en) | 2009-12-22 | 2011-06-30 | Ima Life North America Inc. | Monitoring freeze drying with gas measurement on vaccum pump exhaust |
| US8695402B2 (en) * | 2010-06-03 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Integrated IR source and acoustic detector for photoacoustic gas sensor |
| JP5669950B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2015-02-18 | エンパイア テクノロジー ディベロップメント エルエルシー | 光音響センサー |
| US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
| EP2770319B2 (de) | 2013-02-25 | 2022-01-26 | Sick Ag | Gasmessgerät |
| CN104101578B (zh) * | 2014-06-23 | 2016-07-27 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于气液两相流测量装置的红外检测电路 |
| DE102015106373B4 (de) * | 2015-04-24 | 2023-03-02 | Infineon Technologies Ag | Photoakustisches gassensormodul mit lichtemittereinheit und einer detektoreinheit |
| US10352910B2 (en) * | 2016-08-31 | 2019-07-16 | Infineon Technologies Ag | Gas analyzer |
| US10466174B2 (en) * | 2016-12-13 | 2019-11-05 | Infineon Technologies Ag | Gas analyzer including a radiation source comprising a black-body radiator with at least one through-hole and a collimator |
| CN107328716B (zh) * | 2017-06-09 | 2020-02-07 | 青岛大学附属医院 | 一种医用气体探测器的非线性修正方法 |
| EP3508836B1 (en) | 2018-01-05 | 2020-07-29 | Infineon Technologies AG | Photoacoustic system and method for estimating a gas concentration |
| CN110763339B (zh) * | 2018-07-25 | 2020-09-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种双滤波能量反馈型高光谱成像偏振探测装置 |
| CN109211825B (zh) * | 2018-10-10 | 2021-07-23 | 吉林大学 | 一种采用声光效应准直光路的水中溶解气红外检测装置及方法 |
| US11624704B2 (en) | 2020-05-27 | 2023-04-11 | Utah State University | Filter incidence narrow-band infrared spectrometer |
| JP7467317B2 (ja) | 2020-11-12 | 2024-04-15 | 株式会社東芝 | 音響検査装置及び音響検査方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3948345A (en) * | 1973-06-15 | 1976-04-06 | Allan Rosencwaig | Methods and means for analyzing substances |
| JPS5764145A (en) * | 1980-10-07 | 1982-04-19 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | Flow type optoacoustic detector |
| WO1982002950A1 (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-02 | Oskar Oehler | Gas analyser,particularly audiovisual gas detector |
| US4490845A (en) * | 1982-02-02 | 1984-12-25 | Westinghouse Electric Corp. | Automated acousto-optic infrared analyzer system |
-
1985
- 1985-03-21 US US06/714,582 patent/US4622845A/en not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-03-14 JP JP61056775A patent/JPS61258147A/ja active Pending
- 1986-03-14 CA CA000504085A patent/CA1254281A/en not_active Expired
- 1986-03-19 CN CN86101760A patent/CN1007015B/zh not_active Expired
- 1986-03-21 EP EP86302098A patent/EP0195685A3/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7515245B2 (en) | 2003-09-18 | 2009-04-07 | Asml Netherlands B.V | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0195685A2 (en) | 1986-09-24 |
| CA1254281A (en) | 1989-05-16 |
| EP0195685A3 (en) | 1988-04-06 |
| US4622845A (en) | 1986-11-18 |
| CN1007015B (zh) | 1990-02-28 |
| CN86101760A (zh) | 1986-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
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