JPS61256620A - ウエ−ハの識別装置 - Google Patents
ウエ−ハの識別装置Info
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- JPS61256620A JPS61256620A JP9861885A JP9861885A JPS61256620A JP S61256620 A JPS61256620 A JP S61256620A JP 9861885 A JP9861885 A JP 9861885A JP 9861885 A JP9861885 A JP 9861885A JP S61256620 A JPS61256620 A JP S61256620A
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- Japan
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- wafer
- resonator
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- resonators
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体装置の製造ラインで使用されるウェー
ハの識別装置に関する。
ハの識別装置に関する。
半導体装置の製造ラインにおいてはウェー八単位で各工
程がなされるため、各工程の製造装置間でウェーハの搬
送が行われる。
程がなされるため、各工程の製造装置間でウェーハの搬
送が行われる。
通常、このウェーハの搬送は、同一工程に供される複妓
のウェーハを同一のカセットに収納し、これをコンベア
等の搬送機構によって移送するようにしている。その際
、カセットめ一送先を識別するために、従来は、第４図
（Ａ）に示されるように、ウェーハ１１０の識別情報を
記入した紙カード又は磁気カード１３０をカセット１２
０やカセット１２０を保護するカセットケース１４０に
添付したり、あるいは、同図（Ｂ）に示されるように、
カセット１２０に穴１５０を開けてその位置を発光素子
１６ｏ１受光素子１７０を用いて読み取るなどの方法を
用いている。そして、読み取った情報をコンピュータに
登録されているコード番号とつき合わせて工程管理を行
うようにしている。
のウェーハを同一のカセットに収納し、これをコンベア
等の搬送機構によって移送するようにしている。その際
、カセットめ一送先を識別するために、従来は、第４図
（Ａ）に示されるように、ウェーハ１１０の識別情報を
記入した紙カード又は磁気カード１３０をカセット１２
０やカセット１２０を保護するカセットケース１４０に
添付したり、あるいは、同図（Ｂ）に示されるように、
カセット１２０に穴１５０を開けてその位置を発光素子
１６ｏ１受光素子１７０を用いて読み取るなどの方法を
用いている。そして、読み取った情報をコンピュータに
登録されているコード番号とつき合わせて工程管理を行
うようにしている。
しかしながら、この従来の識別方法には次のような問題
がある。
がある。
（１）、紙カードを用いる方法
記入を人間が行なうため間違いや紛失が多く、また、紙
を使うためダストが生じ歩留低下の原因ともなる。また
、コンピュータの導入に伴う自動記入、自動読み取り化
に適応し難い。更に、最近のＬＳＩ製造工程では工程が
非常に複雑で長くなるため、記入項目が非常に多くなり
、間違いの発生やカード寸法の長大化などの不都合があ
る。
を使うためダストが生じ歩留低下の原因ともなる。また
、コンピュータの導入に伴う自動記入、自動読み取り化
に適応し難い。更に、最近のＬＳＩ製造工程では工程が
非常に複雑で長くなるため、記入項目が非常に多くなり
、間違いの発生やカード寸法の長大化などの不都合があ
る。
（２＞、ｉｔ気カードを用いる方法
記入、読み取りはカードリーダで自動的に行え書き替え
も容易であるという利点はあるが、人手によりカードリ
ーダに挿入しなければならないという不便がある。そこ
で、何らかの方法によりカセットやカセツｌ−ケースに
直接磁性体を塗布したとしても、読み取りの際にリーダ
ヘッドが接触するため、発塵源となり歩留り低下の原因
となる。
も容易であるという利点はあるが、人手によりカードリ
ーダに挿入しなければならないという不便がある。そこ
で、何らかの方法によりカセットやカセツｌ−ケースに
直接磁性体を塗布したとしても、読み取りの際にリーダ
ヘッドが接触するため、発塵源となり歩留り低下の原因
となる。
（３）、穴を間ける方法
識別の信頼性を確保するため穴の大きさには限界があっ
である程度以下に小さくづることはできないが、数百個
のカセットを識別するためには１０個程度の穴を開ける
位置を確保しなければならないので、このための相当に
大きいスペースを必要とするという問題がある。更に、
穴にダストが付着して読み取り間違いが生じることがあ
るという問題もある。
である程度以下に小さくづることはできないが、数百個
のカセットを識別するためには１０個程度の穴を開ける
位置を確保しなければならないので、このための相当に
大きいスペースを必要とするという問題がある。更に、
穴にダストが付着して読み取り間違いが生じることがあ
るという問題もある。
本発明は、上記問題点を解消すべくなされたもので、人
手を介在させずに完全に自動的に読み取りが行え、かつ
非接触で読み取れるのでダストの発生もなく、更に多く
の識別情報を記入することができるウェーハの識別装置
を提供することを目的とする。
手を介在させずに完全に自動的に読み取りが行え、かつ
非接触で読み取れるのでダストの発生もなく、更に多く
の識別情報を記入することができるウェーハの識別装置
を提供することを目的とする。
（発明の概要）
上記目的達成のため、本発明は、ウェーハの識別情報に
対応する共振周波数を有する１又は２以上の共振子及び
これに接続されたループコイルとをウェーハ収納カセッ
トに埋め込み、このカセットが搬送路を走行中この搬送
路近傍に設けられた送信アンテナから前記共振子へ向け
て周波数が前記各共振子の共振周波数を包含する所定の
周波数帯域を時間と共に変化する掃引電磁波を送出して
その周波数に対応した共振子を共振させ、この共振した
共振子から前記ループコイルを介して発せられた反射波
を前記搬送路近傍に設けられた受信アンテナで受けて前
記識別情報を読み取るようにしたものである。
対応する共振周波数を有する１又は２以上の共振子及び
これに接続されたループコイルとをウェーハ収納カセッ
トに埋め込み、このカセットが搬送路を走行中この搬送
路近傍に設けられた送信アンテナから前記共振子へ向け
て周波数が前記各共振子の共振周波数を包含する所定の
周波数帯域を時間と共に変化する掃引電磁波を送出して
その周波数に対応した共振子を共振させ、この共振した
共振子から前記ループコイルを介して発せられた反射波
を前記搬送路近傍に設けられた受信アンテナで受けて前
記識別情報を読み取るようにしたものである。
（発明の実施例〕
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例を説明する
。
。
第１図（Ａ＞及び（Ｂ）は、本発明に係るウェーハの識
別装置の全体構成を示す斜視図及び側面図である。
別装置の全体構成を示す斜視図及び側面図である。
この第１図に示されるように、ウェーハ１を収納した例
えばフッ素樹脂やポリイミド樹脂製のカセット２は、搬
送路を構成Ｊる例えばコンベア３上に載置されて各工程
の製造装置間を移送される。
えばフッ素樹脂やポリイミド樹脂製のカセット２は、搬
送路を構成Ｊる例えばコンベア３上に載置されて各工程
の製造装置間を移送される。
カセット２の搬送方向に平行な一方側側面を形成する側
壁２ａ内には共振回路ユニット４が埋設されている。ま
た、コンベア３に隣接して、通過するカセット２の共振
回路ユニット４が埋設された側の側面と対向するように
読取装置５が設置されている。読取装置５は所定の掃引
電磁波を放射すると共に、この掃引電磁波に応答して共
振回路ユニット４が送り返して来た反射波を受信し、こ
の反射波から搬送されているウェーハの識別情報を読み
取るものである。尚、読取装置５と共振回路ユニット４
との交信は、受信感度上両者が例えば１０ｃ１１以下の
距離まで近づかなければできないようになっているため
、他のカセット２との混信が生じることはない。
壁２ａ内には共振回路ユニット４が埋設されている。ま
た、コンベア３に隣接して、通過するカセット２の共振
回路ユニット４が埋設された側の側面と対向するように
読取装置５が設置されている。読取装置５は所定の掃引
電磁波を放射すると共に、この掃引電磁波に応答して共
振回路ユニット４が送り返して来た反射波を受信し、こ
の反射波から搬送されているウェーハの識別情報を読み
取るものである。尚、読取装置５と共振回路ユニット４
との交信は、受信感度上両者が例えば１０ｃ１１以下の
距離まで近づかなければできないようになっているため
、他のカセット２との混信が生じることはない。
第２図は、共振回路ユニット４の構造及び埋設状況を示
す一部を切欠いた斜視図である。
す一部を切欠いた斜視図である。
この第２図に示されるように、共振回路ユニット４は、
１又は２以上のセラミック共振子６と、セラミック共振
子６の周囲を包囲し各セラミック共振子６に接続された
ループアンテナとして機能するループコイル７とから構
成されている。共振回路ユニット４は、カセット２を成
型する際に側壁２ａ内に封入したり、あるいは、カセッ
ト２成型後に側壁２ａに穴をｎ Ｇ−Ｊこの穴内に挿入
した後樹脂で密封する等の方法により、側壁２ａ内に埋
設される。
１又は２以上のセラミック共振子６と、セラミック共振
子６の周囲を包囲し各セラミック共振子６に接続された
ループアンテナとして機能するループコイル７とから構
成されている。共振回路ユニット４は、カセット２を成
型する際に側壁２ａ内に封入したり、あるいは、カセッ
ト２成型後に側壁２ａに穴をｎ Ｇ−Ｊこの穴内に挿入
した後樹脂で密封する等の方法により、側壁２ａ内に埋
設される。
第３図は、共振回路ユニット４及び読取り装置５の回路
構成を示すブロック線図である。
構成を示すブロック線図である。
共振回路ユニット４は、ループコイル７とこれに並列接
続された１又は複数のセラミック共振子６１〜６ｎとか
ら構成されている。セラミック共振子６１〜６ｎはそれ
ぞれ固有の共振周波数で１〜ｆ口を有し、この周波数ｆ
１〜ｆｎの組合せによってウェーハの識別情報を符号化
している。
続された１又は複数のセラミック共振子６１〜６ｎとか
ら構成されている。セラミック共振子６１〜６ｎはそれ
ぞれ固有の共振周波数で１〜ｆ口を有し、この周波数ｆ
１〜ｆｎの組合せによってウェーハの識別情報を符号化
している。
送受信部１０は制御部２０から出力された掃引波（後述
）を送信するアンテナ１１、セラミック共振子からの反
射波を受信する受信アンテナ１２、受信アンテナづ２に
対して基本周波数ｆＯを発信して特に故障診断を行うた
めのマーカ１３、受信信号を分離してリンギング成分を
取出すフィルタ１４、フィルタリングされた信号を制御
部２０中の掃引発振器２１の出力との整合から有効な信
号成分を取出す検波器１５とを備えている。
）を送信するアンテナ１１、セラミック共振子からの反
射波を受信する受信アンテナ１２、受信アンテナづ２に
対して基本周波数ｆＯを発信して特に故障診断を行うた
めのマーカ１３、受信信号を分離してリンギング成分を
取出すフィルタ１４、フィルタリングされた信号を制御
部２０中の掃引発振器２１の出力との整合から有効な信
号成分を取出す検波器１５とを備えている。
次に制御部２０はヒラミック共撮子６１〜６ｎの共振周
波数の全てを含む周波数帯域（中波帯）を周波数が時間
と共にのこぎり波状に変化する掃引波を発生する掃引発
振器２１、この出力を増幅する増幅器２２、および検波
器１５の出力を増幅し波形整形を行う増幅整形部２３、
掃引発振器２１から発生された同期パルスで作動し、最
終的な検出信号を過去の３パルス分蓄積する３段の入力
レジスタ２４．２５．２６を有しており、この入力レジ
スタの内容は照合検定部２７および定マーク検定部２８
によって、得られた信号に含まれる情報が取出され、各
製造用装置を集中管理しているコンピュータへ送出され
る。
波数の全てを含む周波数帯域（中波帯）を周波数が時間
と共にのこぎり波状に変化する掃引波を発生する掃引発
振器２１、この出力を増幅する増幅器２２、および検波
器１５の出力を増幅し波形整形を行う増幅整形部２３、
掃引発振器２１から発生された同期パルスで作動し、最
終的な検出信号を過去の３パルス分蓄積する３段の入力
レジスタ２４．２５．２６を有しており、この入力レジ
スタの内容は照合検定部２７および定マーク検定部２８
によって、得られた信号に含まれる情報が取出され、各
製造用装置を集中管理しているコンピュータへ送出され
る。
次に本発明によるウェーハの識別装置の動作を説明する
。
。
掃引発振器２１で生成された中波帯の掃引波は増幅器２
２で増幅されて送信アンテナ１１に至る。
２で増幅されて送信アンテナ１１に至る。
この送信アンテナ１１に共振回路ユニット４が近接する
とセラミック共振子６−１〜６ｎはループコイル７で受
付けられた掃引波がその共振周波数に近づくと共振状態
に入り、共振周波数での共振状態のピークの際エネルギ
ーを反射する。すなわち反射波がループコイルから反射
される。この反射波は受信アンテナ１２により検出され
る。しかしながらこの反射波は非常に微弱である。この
ため反射波に対して特別の変調を行う必要があり、最も
効果の大きいものの一つとしてリンギング検出方式があ
る。これは送信波として掃引速度の十分速い掃引波を用
い、セラミック共振子を次々と共振させてリンギングを
起こさせ、このリンギング信号を検出する方法である。
とセラミック共振子６−１〜６ｎはループコイル７で受
付けられた掃引波がその共振周波数に近づくと共振状態
に入り、共振周波数での共振状態のピークの際エネルギ
ーを反射する。すなわち反射波がループコイルから反射
される。この反射波は受信アンテナ１２により検出され
る。しかしながらこの反射波は非常に微弱である。この
ため反射波に対して特別の変調を行う必要があり、最も
効果の大きいものの一つとしてリンギング検出方式があ
る。これは送信波として掃引速度の十分速い掃引波を用
い、セラミック共振子を次々と共振させてリンギングを
起こさせ、このリンギング信号を検出する方法である。
このリンギング信号の検出にあたっては検波器１５が行
っているように受信波を掃引波を基準周波数として同期
検波をするのが有効であり、発振波と受信波の差はリン
ギングビートと称される。このリンギングビートから有
効な情報を取出すために増幅整形器２３としてマッチド
フィルタを使用することが有効である。このようにして
セラミック共振子からの反射波はフィルタ１４、検波器
１５、増幅整形器２３を経るうちに情報パルスが取出さ
れ、これをレジスタ２４．２５．２６や各種検定部２７
．２８を通すことによって有効な情報が得られる。
っているように受信波を掃引波を基準周波数として同期
検波をするのが有効であり、発振波と受信波の差はリン
ギングビートと称される。このリンギングビートから有
効な情報を取出すために増幅整形器２３としてマッチド
フィルタを使用することが有効である。このようにして
セラミック共振子からの反射波はフィルタ１４、検波器
１５、増幅整形器２３を経るうちに情報パルスが取出さ
れ、これをレジスタ２４．２５．２６や各種検定部２７
．２８を通すことによって有効な情報が得られる。
このようなウェーハ識別装置は識別対象物が１００１に
／ｈ程度の高速で移動していても十分に信頼性の高い読
み取りが可能である。また、共振回路ユニット４はカセ
ット２内に埋設されているため、カセット２の洗浄を共
振回路ユニット４を取りはずさずに行えるという利点も
ある。
／ｈ程度の高速で移動していても十分に信頼性の高い読
み取りが可能である。また、共振回路ユニット４はカセ
ット２内に埋設されているため、カセット２の洗浄を共
振回路ユニット４を取りはずさずに行えるという利点も
ある。
なお、共振子は１個だけでもよいが、複数個を組合せる
ことにより表現できる情報量が増加する。
ことにより表現できる情報量が増加する。
ウェーハの識別にあたってはロフト番号を取出すように
するのが管理上量も好都合であるが、他の情報を表現す
るようにしてもよい。
するのが管理上量も好都合であるが、他の情報を表現す
るようにしてもよい。
また上述の実施例では共振子としてセラミック共振子を
用いており■中波もそれに合致した中波を用いているが
、他の各種の振動子およびこれに対応した電磁波を用い
ることができる。
用いており■中波もそれに合致した中波を用いているが
、他の各種の振動子およびこれに対応した電磁波を用い
ることができる。
またアンテナは送信アンテナと受信アンテナを別々に設
けても同一アンテナで兼用するようにしてもよい。
けても同一アンテナで兼用するようにしてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、識別すべきウェ
ーハに対応してウェーハ搬送カセットに共振子及びルー
プコイルを埋設しておき、これに掃引電磁波を送信する
送信部と、共振子の共振により発せられる反射波からウ
ェーハの識別情報を読み取る検出部とを設けるようにし
ているので、人手によらずに自動的に読み取りが行える
とともに、非接触で読み取れるのでダストを生じる虞れ
もない。また、共振子の共振周波数の組合せによって多
くの識別情報を設定することが可能である。
ーハに対応してウェーハ搬送カセットに共振子及びルー
プコイルを埋設しておき、これに掃引電磁波を送信する
送信部と、共振子の共振により発せられる反射波からウ
ェーハの識別情報を読み取る検出部とを設けるようにし
ているので、人手によらずに自動的に読み取りが行える
とともに、非接触で読み取れるのでダストを生じる虞れ
もない。また、共振子の共振周波数の組合せによって多
くの識別情報を設定することが可能である。
第１図は本発明に係るウェーハの識別装置の一実施例の
全体構成を示す図で同図（Ａ＞は斜視図、同図（Ｂ）は
側面図、第２図は同実施例の共振回路ユニットの構成及
び埋設状況を示す一部を切欠いた斜視図、第３図は同実
施例の回路構成を示すブロック線図、第４図（Ａ）及び
同図（Ｂ）はそれぞれ従来のウェーハの識別方法を説明
する斜視図である。 １・・・ウェーハ、２・・・ウェーハ収納カセット、３
・・・コンベア、４・・・共振回路ユニット、５・・・
読取り装置、６・・・セラミック共振子、７・・・ルー
プコイル、１０・・・送受信部、１１・・・送信アンテ
ナ。 １２・・・受信アンテナ、１４・・・フィルタ、１５・
・・検波器、 ２１・・・線引発振器、２３・・・増幅
整形部、２４．２５．２６・・・入力レジスタ、２７・
・・照合検定部、２８・・・定マーク検定部。 出願人代理人 猪 股 清 （Ａ） ＣＢ）
全体構成を示す図で同図（Ａ＞は斜視図、同図（Ｂ）は
側面図、第２図は同実施例の共振回路ユニットの構成及
び埋設状況を示す一部を切欠いた斜視図、第３図は同実
施例の回路構成を示すブロック線図、第４図（Ａ）及び
同図（Ｂ）はそれぞれ従来のウェーハの識別方法を説明
する斜視図である。 １・・・ウェーハ、２・・・ウェーハ収納カセット、３
・・・コンベア、４・・・共振回路ユニット、５・・・
読取り装置、６・・・セラミック共振子、７・・・ルー
プコイル、１０・・・送受信部、１１・・・送信アンテ
ナ。 １２・・・受信アンテナ、１４・・・フィルタ、１５・
・・検波器、 ２１・・・線引発振器、２３・・・増幅
整形部、２４．２５．２６・・・入力レジスタ、２７・
・・照合検定部、２８・・・定マーク検定部。 出願人代理人 猪 股 清 （Ａ） ＣＢ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、搬送するウェーハの識別情報に対応して定められた
共振周波数を有する１又は２以上の共振子及びこの共振
子に接続されたループコイルとを埋設したウェーハ収納
カセットと、 このウェーハ収納カセットの搬送路近傍に設けられた送
信アンテナを備え、前記各共振子の共振周波数を包含す
る所定の周波数帯域を周波数が時間とともに変化する掃
引波を生成し、この掃引波を前記送信アンテナに供給し
て掃引電磁波を放射させる送信部と、 前記搬送路近傍に設けられた受信アンテナを備え、前記
掃引電磁波に共振して前記共振子から発せられた反射波
を前記受信アンテナで受けて前記ウェーハの識別情報を
読み取る検出部と、 を有するウェーハの識別装置。 ２、前記共振子がセラミック共振子である特許請求の範
囲１項記載のウェーハの識別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9861885A JPS61256620A (ja) | 1985-05-09 | 1985-05-09 | ウエ−ハの識別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9861885A JPS61256620A (ja) | 1985-05-09 | 1985-05-09 | ウエ−ハの識別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61256620A true JPS61256620A (ja) | 1986-11-14 |
Family
ID=14224547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9861885A Pending JPS61256620A (ja) | 1985-05-09 | 1985-05-09 | ウエ−ハの識別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61256620A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63273112A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Daifuku Co Ltd | 自動走行移動車用の走行制御情報指示装置 |
| US4944908A (en) * | 1988-10-28 | 1990-07-31 | Eaton Corporation | Method for forming a molded plastic article |
| CN115200810A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-10-18 | 东晶电子金华有限公司 | 谐振器性能检测时间控制方法及装置、可读存储介质 |
-
1985
- 1985-05-09 JP JP9861885A patent/JPS61256620A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63273112A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Daifuku Co Ltd | 自動走行移動車用の走行制御情報指示装置 |
| US4944908A (en) * | 1988-10-28 | 1990-07-31 | Eaton Corporation | Method for forming a molded plastic article |
| CN115200810A (zh) * | 2022-09-14 | 2022-10-18 | 东晶电子金华有限公司 | 谐振器性能检测时间控制方法及装置、可读存储介质 |
| CN115200810B (zh) * | 2022-09-14 | 2022-12-16 | 东晶电子金华有限公司 | 谐振器性能检测时间控制方法及装置、可读存储介质 |
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