JPS61251703A - シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法 - Google Patents
シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法Info
- Publication number
- JPS61251703A JPS61251703A JP60092959A JP9295985A JPS61251703A JP S61251703 A JPS61251703 A JP S61251703A JP 60092959 A JP60092959 A JP 60092959A JP 9295985 A JP9295985 A JP 9295985A JP S61251703 A JPS61251703 A JP S61251703A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- shear
- light
- lens
- luminous flux
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02097—Self-interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/15—Cat eye, i.e. reflection always parallel to incoming beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、シアリング干渉測定方式におけるシア量測定
方法に関する。
方法に関する。
（従来技術）
測定対象物の表面形状を極めて高精度に測定できる測定
方式として、シアリング干渉測定方式が知られている。
方式として、シアリング干渉測定方式が知られている。
この測定方式の原理は以下の如きものである。測定対象
物を照明したとき測定対象物の測定表面からの反射光を
測定光と呼ぶが、この測定光は測定表面の形状に関する
情報を含んでいる。この測定光を測定光束と参照光束と
に分け。
物を照明したとき測定対象物の測定表面からの反射光を
測定光と呼ぶが、この測定光は測定表面の形状に関する
情報を含んでいる。この測定光を測定光束と参照光束と
に分け。
参照光束を測定光束に対して横ずれさせる。この横ずれ
量Ｓをシア量という。測定光束と参照光束とは、同一の
波面形状を有しており、測定光束の波面形状をＷ （ｘ
）（簡単のために１次元の場合について説明する）とす
ると、参照光束の波面形状はＷ（ｘ＋ａ）となる、シア
量Ｓは一般に微小量であり、この点を考慮すると、両波
面の差Ｗ（ス＋Ｓ）−Ｗ （Ｘ）して、ΔＷ（ｘ）Ｓと
書くことができる。ΔＷ（ｘ）は。
量Ｓをシア量という。測定光束と参照光束とは、同一の
波面形状を有しており、測定光束の波面形状をＷ （ｘ
）（簡単のために１次元の場合について説明する）とす
ると、参照光束の波面形状はＷ（ｘ＋ａ）となる、シア
量Ｓは一般に微小量であり、この点を考慮すると、両波
面の差Ｗ（ス＋Ｓ）−Ｗ （Ｘ）して、ΔＷ（ｘ）Ｓと
書くことができる。ΔＷ（ｘ）は。
周知のフリンジスキャンニング干渉測定方式で、両光束
の干渉縞パターンを測定解析することによって高精度に
知ることができる。そこで、このようにして知られるΔ
Ｗ（Ｘ）にもとづいて、なる演算を行うことにより、波
面形状Ｗ（Ｘ）を知ることができる。つづいて、波面形
状と測定表面の形状との対応関係にもとづいて、形状Ｗ
（Ｘ）を補正することによって測定表面の形状を特定で
きる訳である。
の干渉縞パターンを測定解析することによって高精度に
知ることができる。そこで、このようにして知られるΔ
Ｗ（Ｘ）にもとづいて、なる演算を行うことにより、波
面形状Ｗ（Ｘ）を知ることができる。つづいて、波面形
状と測定表面の形状との対応関係にもとづいて、形状Ｗ
（Ｘ）を補正することによって測定表面の形状を特定で
きる訳である。
上の説明から明らかように、シアリング干渉測定方式で
は、測定表面の形状を精度よく測定するためには、まず
、上記（１）式の右辺が精度よく算出されねばならない
。しかるに、（１）式右辺の精度はシア量Ｓによって直
接的に影響を受けるから、結局、シアリング干渉測定方
式自体の精度が、シア量Ｓの精度に左右されることにな
る。従来、シア量Ｓは、機械精度によりコントロールさ
れており、精度が不十分であるところから、シア量Ｓを
高精度（０，１μｍのオーダーであることが望ましい）
に測定する方法が望まれていた。
は、測定表面の形状を精度よく測定するためには、まず
、上記（１）式の右辺が精度よく算出されねばならない
。しかるに、（１）式右辺の精度はシア量Ｓによって直
接的に影響を受けるから、結局、シアリング干渉測定方
式自体の精度が、シア量Ｓの精度に左右されることにな
る。従来、シア量Ｓは、機械精度によりコントロールさ
れており、精度が不十分であるところから、シア量Ｓを
高精度（０，１μｍのオーダーであることが望ましい）
に測定する方法が望まれていた。
（目 的）
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって
、その目的とするところは、シア量Ｓを、極めて高精度
に測定できる、シア量測定方法の提供にある。
、その目的とするところは、シア量Ｓを、極めて高精度
に測定できる、シア量測定方法の提供にある。
（構 成）
以下、本発明を説明する。
本発明によるドア量測定方法では、まず１表面形状を測
定すべき測定対象物が、シアリング干渉測定装置のキャ
ッツアイポイントにおかれる。キャッツアイポイントと
は、コンバーターレンズによる集束性の照明光が、測定
対象物の測定表面上に集束するような位置である。コン
バーターレンズは、光源からの平行光束を集束光束に変
換して測定表面を照射させる機能を有する。測定対象物
がキャッツアイポイントにおかれるときは、測定表面か
らの反射光すなわち測定光は球面波となって発散し、コ
ンバーターレンズを逆方向に透過すると平面波となる。
定すべき測定対象物が、シアリング干渉測定装置のキャ
ッツアイポイントにおかれる。キャッツアイポイントと
は、コンバーターレンズによる集束性の照明光が、測定
対象物の測定表面上に集束するような位置である。コン
バーターレンズは、光源からの平行光束を集束光束に変
換して測定表面を照射させる機能を有する。測定対象物
がキャッツアイポイントにおかれるときは、測定表面か
らの反射光すなわち測定光は球面波となって発散し、コ
ンバーターレンズを逆方向に透過すると平面波となる。
測定光は測定光束と参照光束に分離され、参照光束は測
定光束に対して横ずらしされる。
定光束に対して横ずらしされる。
両光束は結像レンズを介してそれぞれ平面波としてエリ
アセンサーへ入射する。そしてエリアセンサー上に生ず
る干渉縞パターンは、フリンジスキャンニング法で高精
度に測定され、測定光波面と参照光波面の間の傾き角θ
が、解析的に求められる。
アセンサーへ入射する。そしてエリアセンサー上に生ず
る干渉縞パターンは、フリンジスキャンニング法で高精
度に測定され、測定光波面と参照光波面の間の傾き角θ
が、解析的に求められる。
傾き角θと結像レンズの焦点距Ｗｔｆとから、シア量Ｓ
が、Ｓ＝ｆ・しａｎθとして算出される。
が、Ｓ＝ｆ・しａｎθとして算出される。
以下１図面を参照しながら説明する。
第２図は、シアリング干渉測定装置の１例を要部のみ示
している。まず、この装置による測定対象物１００の表
面形状の測定につき簡単に説明する。
している。まず、この装置による測定対象物１００の表
面形状の測定につき簡単に説明する。
符号１０は光源（一般にレーザー光源である）、符号１
２はビームエキスパンダー、符号１４．２０はビームス
プリッタ−１符号１６はコンバーターレンズ。
２はビームエキスパンダー、符号１４．２０はビームス
プリッタ−１符号１６はコンバーターレンズ。
符号１８はリレーレンズ、符号２２．２４はコーナーキ
ューヴプリズム、符号２６は結像レンズ、符号２８はエ
リアセンサーを、それぞれ示す。なお、以下の説明では
、ビームスプリッタ−を単にスプリッター、コーナーキ
ューヴプリズムを単にプリズムと略記することにする。
ューヴプリズム、符号２６は結像レンズ、符号２８はエ
リアセンサーを、それぞれ示す。なお、以下の説明では
、ビームスプリッタ−を単にスプリッター、コーナーキ
ューヴプリズムを単にプリズムと略記することにする。
光源１０から出た光は、ビームエキスパンダー１２で光
束径を広げられ、平行光束（平面波）となってスプリッ
ター１４に入射し、左方に反射されると。
束径を広げられ、平行光束（平面波）となってスプリッ
ター１４に入射し、左方に反射されると。
コンバーターレンズ１６により集束光（球面波）とされ
て、測定対象物１００に入射する。
て、測定対象物１００に入射する。
測定光、すなわち、測定対象物１００からの反射光は、
コンバーターレンズ１６を逆向きに透過し、スプリッタ
ー１４、リレーレンズ１８を介してスプリッター２０に
入射し、スプリッター２０により測定光束と参照光束に
分離される。
コンバーターレンズ１６を逆向きに透過し、スプリッタ
ー１４、リレーレンズ１８を介してスプリッター２０に
入射し、スプリッター２０により測定光束と参照光束に
分離される。
測定光束はプリズム２２に入射し、折返されてスプリッ
ター２０．結像レンズ２６を介してエリアセンサー２８
上に入射する。
ター２０．結像レンズ２６を介してエリアセンサー２８
上に入射する。
一方、参照光束はプリズム２４に入射し、折返されてス
プリッター２０、結像レンズ２６を介してエリアセンサ
ー２８八入射する。両光束とも、結像レンズ２６の作用
により、測定表面における測定光の波面形状をエリアセ
ンサー２８上で再現する。
プリッター２０、結像レンズ２６を介してエリアセンサ
ー２８八入射する。両光束とも、結像レンズ２６の作用
により、測定表面における測定光の波面形状をエリアセ
ンサー２８上で再現する。
プリズム２４を第２図の左右方向もしくは図面に直交す
る方向へ変位させて、参照光束を測定光束に対して横ず
らしさせると、エリアセンサー２８上に、干渉縞があら
れれる。そこで、プリズム２２を図示されないＰＺＴに
より、第２図右方へＮ段階に微小距離ずつ変位させる。
る方向へ変位させて、参照光束を測定光束に対して横ず
らしさせると、エリアセンサー２８上に、干渉縞があら
れれる。そこで、プリズム２２を図示されないＰＺＴに
より、第２図右方へＮ段階に微小距離ずつ変位させる。
するとそれに応じて。
エリアセンサー２８上の干渉縞パターンが変化するので
、エリアセンサー２８により、このＮ種の互いにことな
る干渉縞パターンを読みとり、所定の演算を施して、エ
リアセンサー２８上の測定光束の波面形状を特定する（
フリンジスキャンニング測定方式）。この波面形状は、
測定対象物１００の測定表面の球面からのずれと考えら
れるものであり、従って、この波面形状を球面で補正す
ることによって測定表面の形状を得ることができる。な
お、フリンジスキャンニング測定方式による測定は、プ
リズム２４による、参照光束の、第２図左右方向および
図面に直交する方向の２方向について各々行なわれ、各
測定により得られる結果にもとづき、３次元的な波面形
状が特定されるのである。
、エリアセンサー２８により、このＮ種の互いにことな
る干渉縞パターンを読みとり、所定の演算を施して、エ
リアセンサー２８上の測定光束の波面形状を特定する（
フリンジスキャンニング測定方式）。この波面形状は、
測定対象物１００の測定表面の球面からのずれと考えら
れるものであり、従って、この波面形状を球面で補正す
ることによって測定表面の形状を得ることができる。な
お、フリンジスキャンニング測定方式による測定は、プ
リズム２４による、参照光束の、第２図左右方向および
図面に直交する方向の２方向について各々行なわれ、各
測定により得られる結果にもとづき、３次元的な波面形
状が特定されるのである。
また、光量調整のために、ビームエキスパンダー１２と
スプリッター１４の間、結像レンズ２６とエリアセンサ
ー２８との間にＮＤフィルターが用いられうる。
スプリッター１４の間、結像レンズ２６とエリアセンサ
ー２８との間にＮＤフィルターが用いられうる。
以上が５シアリング干渉測定のあらましである。
次に本発明によるシア量測定を説明する。まず、第１図
（１）に示すように測定対象物１００を、キャッツアイ
ポイントに位置させる。このキャッツアイポイントでは
、コンバーターレンズ１６による集束光は、測定対象物
１００の測定表面上に集束するので測定光は球面波とな
り、コンバーターレンズ１６を透過すると平面波となる
。なお、測定対象物１００をキャッツアイポイントの位
置におくには、例えば、コンバーターレンズとスプリッ
ター１４との間に他のスプリッターをおいて、測定光の
一部をとり出し、これをＣＣＤセンサー上に集光させて
おき、測定対象物１００を光軸方向へ移動させつつ、上
記ＣＣＤセンサーの出力が最大となる位置をさがせばよ
い。
（１）に示すように測定対象物１００を、キャッツアイ
ポイントに位置させる。このキャッツアイポイントでは
、コンバーターレンズ１６による集束光は、測定対象物
１００の測定表面上に集束するので測定光は球面波とな
り、コンバーターレンズ１６を透過すると平面波となる
。なお、測定対象物１００をキャッツアイポイントの位
置におくには、例えば、コンバーターレンズとスプリッ
ター１４との間に他のスプリッターをおいて、測定光の
一部をとり出し、これをＣＣＤセンサー上に集光させて
おき、測定対象物１００を光軸方向へ移動させつつ、上
記ＣＣＤセンサーの出力が最大となる位置をさがせばよ
い。
この平面波は、スプリッター１４を介しリレーレンズ１
８に入射し、スプリッター２０により測定光束と参照光
束とに分離し、各光束は、それぞれプリズム２２．２４
中で集束するが、この集束点の位置は、結像レンズ２６
の物体側の焦点位置となっている。
８に入射し、スプリッター２０により測定光束と参照光
束とに分離し、各光束は、それぞれプリズム２２．２４
中で集束するが、この集束点の位置は、結像レンズ２６
の物体側の焦点位置となっている。
従って、両光束とも、結像レンズ２６を透過すると平面
波となってエリアセンサー２８へと到達する。
波となってエリアセンサー２８へと到達する。
この状態において、プリズム２４（第２図）により、参
照光束に横ずれを与える。
照光束に横ずれを与える。
すると、測定光束の光軸は、結像レンズ２６の光軸に合
致しているため、エリアセンサー２８上における測定光
波面は第１図（ＩＩ）の平面ＳＯの如きものとなる。一
方、参照光束の光軸は、結像レンズ２６の直前では測定
光束の光軸に平行であるが結像レンズ２６以後、レンズ
光軸に対し角θだけ傾き、従って、参照光波面は、エリ
アセンサー２８の受光部の位置で平面Ｓ１の如きものと
なる。平面波の波面は光束光軸に直交するから、平面５
Ｏｔ＝対する平面Ｓ１の傾き角は、角θである。また参
照光束の光軸は、結像レンズ２６の像側焦点Ｃの位置を
通るから。
致しているため、エリアセンサー２８上における測定光
波面は第１図（ＩＩ）の平面ＳＯの如きものとなる。一
方、参照光束の光軸は、結像レンズ２６の直前では測定
光束の光軸に平行であるが結像レンズ２６以後、レンズ
光軸に対し角θだけ傾き、従って、参照光波面は、エリ
アセンサー２８の受光部の位置で平面Ｓ１の如きものと
なる。平面波の波面は光束光軸に直交するから、平面５
Ｏｔ＝対する平面Ｓ１の傾き角は、角θである。また参
照光束の光軸は、結像レンズ２６の像側焦点Ｃの位置を
通るから。
上記傾き角θが知れれば、結像レンズ２６の焦点距離ｆ
を用いて、シア量Ｓを Ｓ＝ｆ ・ しａｎ θ
（２）として知ることができる。
を用いて、シア量Ｓを Ｓ＝ｆ ・ しａｎ θ
（２）として知ることができる。
測定光束、参照光束ともに平面波であって、その波面は
平面であるので、エリアセンサー２８上の干渉縞パター
ンは１例えば第１図（ｍ）に示す如き平行な縞パターン
となる。
平面であるので、エリアセンサー２８上の干渉縞パター
ンは１例えば第１図（ｍ）に示す如き平行な縞パターン
となる。
そこで、フリンジスキャンニング測定方法で測定を行う
と、参照光波面（第１図（ＩＩ）の平面Ｓｌ）の形状が
特定される。そこで、測定光波面（第１図（ｎ）の平面
ＳＯを、例えばｘｙ平面とし、参照光波面Ｓ１の方程式
Ｑ ｘ＋ｍｙ＋ｎＺ＋ Ｐ ＝＝ Ｏの、係数０゜ｍ、
ｎ、Ｐを、最小自乗法により参照光波面にもっともフィ
ツトするように決定し、平面Ｓ１の解析的表現を求め、
これを用いて、測定光波面ＳＯと参照光波面Ｓ１との傾
き角θを解析的に算出し、かくして得られる傾き角θと
、予め正確に知られている、焦点距離ｆを用いて、（２
）式に従って、シア量Ｓを算出するのである。
と、参照光波面（第１図（ＩＩ）の平面Ｓｌ）の形状が
特定される。そこで、測定光波面（第１図（ｎ）の平面
ＳＯを、例えばｘｙ平面とし、参照光波面Ｓ１の方程式
Ｑ ｘ＋ｍｙ＋ｎＺ＋ Ｐ ＝＝ Ｏの、係数０゜ｍ、
ｎ、Ｐを、最小自乗法により参照光波面にもっともフィ
ツトするように決定し、平面Ｓ１の解析的表現を求め、
これを用いて、測定光波面ＳＯと参照光波面Ｓ１との傾
き角θを解析的に算出し、かくして得られる傾き角θと
、予め正確に知られている、焦点距離ｆを用いて、（２
）式に従って、シア量Ｓを算出するのである。
最小自乗法による平面Ｓ１の解析的表現の算出、傾き角
θの算出、（２）式によるシア量Ｓの算出は。
θの算出、（２）式によるシア量Ｓの算出は。
すべて、フリンジスキャンニング測定等の演算を行なう
演算手段（マイクロコンピュータ−等）で行なうことが
できる。
演算手段（マイクロコンピュータ−等）で行なうことが
できる。
（効 果）
以上、本発明によれば、シアリング干渉測定方式におけ
る、シア量測定方法を提供できる。この測定方法は、上
記の如く構成されているので、シア量を正確に知ること
ができ、シアリング干渉測定の精度を有効に向上させる
ことができる。
る、シア量測定方法を提供できる。この測定方法は、上
記の如く構成されているので、シア量を正確に知ること
ができ、シアリング干渉測定の精度を有効に向上させる
ことができる。
実験によれば、傾き角θのくり返し測定精度は±０．３
秒であった。従って結像レンズ２６として、焦点距離ｆ
＝６０のものを用いると、シア量Ｓのくり返し測定精度
は±０．１０２μ■と極めて高精度になる。
秒であった。従って結像レンズ２６として、焦点距離ｆ
＝６０のものを用いると、シア量Ｓのくり返し測定精度
は±０．１０２μ■と極めて高精度になる。
第１図は、本発明を説明するための図、第２図は、シア
リング干渉測定装置の１例を示す図である。 ｌＯＯ・・・・測定対象物、１６・・・・コンバーター
レンズ、２６・・・・結像レンズ、ＳＯ・・・・測定光
波面、Ｓｌ・・・・参照光波面、Ｓ・・・・シア量。
リング干渉測定装置の１例を示す図である。 ｌＯＯ・・・・測定対象物、１６・・・・コンバーター
レンズ、２６・・・・結像レンズ、ＳＯ・・・・測定光
波面、Ｓｌ・・・・参照光波面、Ｓ・・・・シア量。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 測定対象物の表面形状を測定するシアリング干渉測定
方式において、測定光束と参照光束との間のシア量を測
定する方法であって、 測定対象物をキャッツアイポイントの位置におくことに
より、コンバーターレンズを透過した測定光を平面波と
し、 測定光束に対して参照光束を横ずらしし、 エリアセンサー上に生ずる干渉縞パターンをフリンジス
キャンニング法で測定して、測定光波面と参照光波面と
の傾き角θを求め、 この傾き角θと結像レンズの焦点距離ｆとにより、Ｓ＝
ｆ・ｔａｎθとして、シア量Ｓを算出することを特徴と
する、シア量測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60092959A JPS61251703A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60092959A JPS61251703A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61251703A true JPS61251703A (ja) | 1986-11-08 |
Family
ID=14068981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60092959A Pending JPS61251703A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61251703A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1113243A2 (en) * | 1999-12-27 | 2001-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical interference apparatus and position detection apparatus |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP60092959A patent/JPS61251703A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1113243A2 (en) * | 1999-12-27 | 2001-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical interference apparatus and position detection apparatus |
| EP1113243A3 (en) * | 1999-12-27 | 2005-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical interference apparatus and position detection apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110132125A (zh) | 光栅剪切干涉光学元件缺陷检测装置与检测方法 | |
| JPS61251703A (ja) | シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法 | |
| JP2001174233A (ja) | 面形状等を測定するための干渉計及びその測定方法 | |
| JPS60253945A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPS61253405A (ja) | シアリング干渉測定方式におけるシア量測定方法 | |
| JPS63241407A (ja) | 微細凹部の深さ測定方法及びその装置 | |
| JP2823660B2 (ja) | 測長装置 | |
| JP2949179B2 (ja) | 非接触式形状測定装置及び形状測定法 | |
| JPH07311117A (ja) | 多眼レンズ位置測定装置 | |
| JPH03128409A (ja) | 三次元形状センサ | |
| JP2000097633A (ja) | マーク位置検出装置およびこれを用いたマーク位置検出方法 | |
| JPH0251005A (ja) | 深さ測定方法および装置 | |
| JPS60211306A (ja) | 縞走査シエアリング干渉測定装置における光学系調整方法 | |
| JP2005147703A (ja) | 面間隔測定装置および面間隔測定方法 | |
| JPH11304640A (ja) | 光学素子検査装置 | |
| JPH047446B2 (ja) | ||
| JPS6318207A (ja) | 面形状測定装置 | |
| JP3635350B2 (ja) | 非接触式形状計測方法 | |
| JPH0549922B2 (ja) | ||
| SU1402802A1 (ru) | Способ контрол кривизны плоской поверхности | |
| JPH06109435A (ja) | 表面変位計 | |
| JPH08166225A (ja) | 微小光学部品の角度測定方法及び装置 | |
| JPS63182506A (ja) | シアリング干渉計 | |
| SU1442817A1 (ru) | Способ определени глубины дефектов на поверхности объекта | |
| JP2527176B2 (ja) | 縞走査シアリング干渉測定装置 |