JPS6124026A - Manufacture of magnetic recording medium - Google Patents

Manufacture of magnetic recording medium

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Publication number
JPS6124026A
JPS6124026A JP14572984A JP14572984A JPS6124026A JP S6124026 A JPS6124026 A JP S6124026A JP 14572984 A JP14572984 A JP 14572984A JP 14572984 A JP14572984 A JP 14572984A JP S6124026 A JPS6124026 A JP S6124026A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide rolls
substrate
temperature
guide
surface temperature
Prior art date
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Pending
Application number
JP14572984A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Mizumura
哲夫 水村
Kunio Wakai
若居 邦夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
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Publication of JPS6124026A publication Critical patent/JPS6124026A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

PURPOSE:To suppress effectively fold by adjusting the surface temperature of a guide roll to >=15 deg.C so as to improve the mating with a base. CONSTITUTION:The base 6 made of a polyester film moves on a peripheral side face of a cylindrical can 5 from a supply roll 7 via guide rolls 8, 9 and wound on a winding roll 12 via 10, 11. Then a heater is incorporated in guide rolls 8-11 and the surface temperature is adjusted to 15-80 deg.C, the base 6 is run and guided while being adhered closely in an excellent way to the guide rolls. Further, since the base reaches a comparatively high temperature at the same time, the quantity of charge is decreased and folds are suppressed effectively.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野および目的〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に関し、その目的とするところは強磁性金
属薄膜層形成時に発生するしわを抑制し、しわのない前
記の磁気記録媒体を製造する方法を提供することにある
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field and Objectives] The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer as a recording layer, and its purpose is to reduce wrinkles that occur during the formation of the ferromagnetic metal thin film layer. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing the above-mentioned magnetic recording medium that suppresses wrinkles and is wrinkle-free.

〔背景技術〕[Background technology]

強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基板を真空槽内に配設し
た種々のガイドロールを介して円筒状キャンの周側面に
沿って案内走行させ、この基板上に強磁性材を真空蒸着
するなどしてつくられている。
A magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer as a recording layer is usually produced by guiding a substrate such as a polyester film along the circumferential side of a cylindrical can via various guide rolls disposed in a vacuum chamber. It is made by vacuum-depositing a ferromagnetic material onto this substrate.

ところが、この製造方法では、強磁性材蒸発源からの輻
射熱により基板が伸びたり、あるいは極めて平滑な基板
と各ガイドロール間の摩擦や強磁性材を溶融するのに使
用する電子銃の二次電子などによる帯電等で基板の走行
に支障が生じたりして、走行中の基板にしわが発生し易
(、特にガイドロールが比較的低温である場合は、基板
のガイドロールに対する密着性が悪く、帯電量も多いた
めしわが発生し易い。このため、各ガイドロール間の機
械的精度を向上させたり、または基板およびガイドロー
ルの表面粗度を適度にし、さらに基板の裏面に潤滑剤を
塗布するなどして、基板にかかる張力のアンバランスの
解消や、基板と各ガイドロール間の摩擦およびこれによ
って発生する帯電などを低減し、しわの発生を抑制する
ことが行われているが、未だ充分にしわの発生を抑制す
ることができず、特にこれらの方法では基板が比較的低
温のガイドロールに走行案内されることによって生じる
しわを効果的に抑制することができない。
However, with this manufacturing method, the substrate may stretch due to radiant heat from the ferromagnetic material evaporation source, friction between the extremely smooth substrate and each guide roll, or secondary electrons from the electron gun used to melt the ferromagnetic material. The running of the board may be hindered by static electricity caused by such things, and wrinkles may occur on the running board (particularly if the guide roll is relatively low temperature, the adhesion of the board to the guide roll is poor, and Wrinkles are likely to occur due to the large amount of lubricant.For this reason, it is necessary to improve the mechanical precision between each guide roll, or to moderate the surface roughness of the substrate and guide roll, and to apply lubricant to the back side of the substrate. Efforts have been made to eliminate the unbalance of tension applied to the substrate, reduce friction between the substrate and each guide roll, and the resulting electrical charge, and thereby suppress the occurrence of wrinkles, but this is still insufficient. The generation of wrinkles cannot be suppressed, and in particular, these methods cannot effectively suppress wrinkles that occur when the substrate is guided by relatively low-temperature guide rolls.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

この発明はかかる欠点を改善するためガイドロールにつ
いて種々検討を行った結果、ガイドロールを加熱してそ
の表面温度を15℃以上の温度に調整すると、基板のガ
イドロールに対する密着性が向上し、帯電量も減少して
、基板とのなじみが良好となり、しわの発生が効果的に
抑制されることを見いだしてなされたもので、ガイドロ
ールの表面温度を15℃以上の温度に加温調整し、この
ガイドロールにより走行案内されて基板支持体に沿って
移動する基板に、強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流
を差し向けて強磁性金属薄膜層を形成することを特徴と
するものである。
As a result of conducting various studies on guide rolls in order to improve this drawback, the present invention found that when the guide rolls are heated and their surface temperature is adjusted to a temperature of 15°C or higher, the adhesion of the substrate to the guide rolls improves, and the electrostatic charge increases. This was done based on the discovery that the amount of wrinkles was reduced, the compatibility with the substrate was improved, and the occurrence of wrinkles was effectively suppressed.The surface temperature of the guide roll was adjusted to a temperature of 15°C or higher, A ferromagnetic metal thin film layer is formed by directing a vapor flow of ferromagnetic material from a ferromagnetic material evaporation source onto a substrate that is guided by the guide rolls and moves along the substrate support. be.

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。The present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、■
は真空槽でこの真全槽1の内部は仕切板2によって区画
分離され、それぞれ排気系3および4によって真空に保
持される。5は真空槽1の中央部に前記区画分離された
2室に跨がり配設された円筒状キャンであり、ポリエス
テルフィルム等の基板6は原反ロール7より、ガイドロ
ール8および9を介してこの円筒状キャン5の周側面に
沿って移動し、ガイドロール10および11を介して巻
き取りロール12に巻き取られる。この間、円筒状キャ
ン5の周側面に沿って移動する基板6に対向して真空槽
1の下部に配設された強磁性材蒸発源13で強磁性材1
4が加熱蒸発され、この蒸気流が基板6に差し向けられ
て蒸着が行われる。
Figure 1 shows a cross-sectional view of the vacuum evaporation equipment.
is a vacuum chamber, and the inside of this vacuum chamber 1 is divided into sections by a partition plate 2, and maintained in a vacuum by exhaust systems 3 and 4, respectively. Reference numeral 5 denotes a cylindrical can disposed in the center of the vacuum chamber 1 spanning the two compartmented chambers. It moves along the circumferential side of this cylindrical can 5 and is wound onto a winding roll 12 via guide rolls 10 and 11. During this time, a ferromagnetic material evaporation source 13 disposed at the bottom of the vacuum chamber 1 faces the substrate 6 moving along the circumferential side of the cylindrical can 5.
4 is heated and evaporated, and this vapor flow is directed toward the substrate 6 for vapor deposition.

ここでガイドロール8.9.10.11は内部にヒータ
を内臓し、このヒータによってその表面温度が15℃以
上の温度となるように調整され、基板6はこれらの加温
されたガイドロールに走行案内されて真空蒸着が行われ
る。このようにこれらのガイドロール8.9.10.1
1はいずれも表面温度が15℃以上の温度に調整されて
いるため、基板6はこれらのガイドロールに良好に密着
しながら走行案内される。また同時にこれらのガイドロ
ールにより基体の温度が比較的高い温度に加温されるた
め、帯電量も減少し、しわの発生が効果的に抑制される
。このようにこれらのガイドロールはその表面温度を1
5℃以上の温度に加温調整するのが好ましく、ガイドロ
ールの表面温度が15℃より低い温度では、基板6のガ
イドロールに対する密着性が悪く、帯電量も多いため、
しわの発生を良好に抑制することができない。
Here, the guide rolls 8.9.10.11 have a built-in heater, and this heater adjusts the surface temperature to 15°C or higher, and the substrate 6 is placed on these heated guide rolls. Vacuum deposition is performed while being guided. Thus these guide rolls 8.9.10.1
1, the surface temperature of each of them is adjusted to a temperature of 15° C. or higher, so that the substrate 6 is guided while being in close contact with these guide rolls. At the same time, since the temperature of the substrate is heated to a relatively high temperature by these guide rolls, the amount of charge is also reduced, and the generation of wrinkles is effectively suppressed. In this way, these guide rolls have a surface temperature of 1
It is preferable to adjust the heating to a temperature of 5° C. or higher. If the surface temperature of the guide roll is lower than 15° C., the adhesion of the substrate 6 to the guide roll is poor and the amount of charge is large.
The generation of wrinkles cannot be suppressed well.

これらのガイドロール8.9.10.11の中、ガイド
ロール8および9はその表面温度を40℃以上にすると
、その後の円筒状キャン5の表面で基板6に発生するし
わを完全に防止することができるため、40℃以上の温
度に調整するのがより好ましく、またガイドロール10
および11はその表面温度を35℃以上にすると、その
後の巻き取りロール12に取り込まれるしわを完全に防
止することができるため、35℃以上の温度に調整する
のがより好ましい。しかし、耐熱温度の低61基板、た
とえば、ポリエステルフィルム等を使用する場合は、い
ずれのガイドロールも、表面温度を80℃以上の温度に
すると、ポリエステルフィルム表面からのアウトガスに
より円筒状キャン5との密着不良を起こしたり、熱収縮
を起こすため、これらのガイドロール8.9.10.1
1の温度調整は15〜80℃の範囲内で行うのが好まし
い。またこれらのガイドロールの表面温度の調整によっ
てしわの発生を抑制する場合、しわの減少は基板の厚み
が薄いほど著しく、またガイドロール10および11と
の接触長さが長く、接触時間が増加するほど良好な結果
が得られる。
Among these guide rolls 8.9.10.11, the guide rolls 8 and 9 completely prevent wrinkles from occurring on the substrate 6 on the surface of the cylindrical can 5 after that when the surface temperature thereof is set to 40°C or higher. Therefore, it is more preferable to adjust the temperature to 40°C or higher, and the guide roll 10
It is more preferable to adjust the surface temperature of 11 to 35° C. or higher, since wrinkles that are subsequently introduced into the winding roll 12 can be completely prevented. However, when using a substrate with a low heat-resistant temperature, such as a polyester film, if the surface temperature of any guide roll reaches 80°C or higher, outgas from the surface of the polyester film will cause the cylindrical can 5 to 8.9.10.1 These guide rolls may cause poor adhesion or heat shrinkage.
The temperature adjustment in step 1 is preferably carried out within the range of 15 to 80°C. In addition, when suppressing the occurrence of wrinkles by adjusting the surface temperature of these guide rolls, the reduction in wrinkles becomes more pronounced as the thickness of the substrate becomes thinner, and the longer the contact length with the guide rolls 10 and 11, the longer the contact time increases. The more you use it, the better the results will be.

強磁性金属薄膜層を形成する基板としては、ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用されている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層の形成は
、コバルト、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これら
の合金あるいは酸化物、およびCo−Ps Co−Ni
 −Pなど一般に使用される強磁性材を真空蒸着するこ
とによって形成される。
As the substrate for forming the ferromagnetic metal thin film layer, a plastic film made of commonly used polymer moldings such as polyester, polyimide, polyamide, etc. and a nonmagnetic metal plate such as copper are used to form the ferromagnetic metal thin film layer. includes elemental metals such as cobalt, nickel, and iron, as well as their alloys or oxides, and Co-Ps Co-Ni.
- It is formed by vacuum deposition of a commonly used ferromagnetic material such as P.

〔実施例〕〔Example〕

次に、この発明の実施例について説明する。 Next, embodiments of the invention will be described.

実施例1 第1図に示す真空蒸着装置を使用し、約13μ厚のポリ
エステルフィルム6を原反ロール7よりガイドロール8
および9を介して円筒状キャン5の周側面に沿って移動
させ、ガイドロール10および11を介して巻き取りロ
ール12に巻き取るようにセットするとともに強磁性材
蒸発源13にコバルト14をセットした。次いで、排気
系3および4で真空槽1内を5×10″5トールにまで
真空排気し、コバルト14を加熱蒸発させるとともにポ
リエステルフィルム6を10m/分の速度で走行させ、
ガイドロール10および11の温度を一10℃〜80℃
の範囲内で種々に調整して真空蒸着を行い、ポリエステ
ルフィルム6上に厚さが1000人のコバルトからなる
強磁性金属薄11!!層を形成した。しかる後、これを
所定の巾に裁断して磁気テープをつくった。なお、ガイ
、トロール8.9.10.11は、いずれも表面粗度が
0.ISで直径が4cmのものを使用した。
Example 1 Using the vacuum evaporation apparatus shown in FIG.
Cobalt 14 was moved along the circumferential side of the cylindrical can 5 via guide rolls 10 and 9, and set to be wound up on a take-up roll 12 via guide rolls 10 and 11, and cobalt 14 was set in the ferromagnetic material evaporation source 13. . Next, the inside of the vacuum chamber 1 was evacuated to 5×10″5 torr using the exhaust systems 3 and 4, and the cobalt 14 was heated and evaporated, and the polyester film 6 was run at a speed of 10 m/min.
The temperature of guide rolls 10 and 11 is -10°C to 80°C.
A thin ferromagnetic metal 11 made of cobalt having a thickness of 1000 mm is deposited on the polyester film 6 by vacuum deposition with various adjustments within the range of . ! formed a layer. Afterwards, this was cut to a predetermined width to make magnetic tape. In addition, both Gai and Troll 8.9.10.11 have a surface roughness of 0. An IS with a diameter of 4 cm was used.

実施例2 実施pIJ 1において、直径が4cmのガイドロール
lOに代えて、表面粗度がQ、Isで直径が16cmの
ガイドロール10を使用した以外は、実施例1と同様に
して磁気テープをつ(った。
Example 2 A magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1, except that in implementation pIJ 1, a guide roll 10 with a surface roughness of Q and Is and a diameter of 16 cm was used instead of the guide roll lO with a diameter of 4 cm. It was.

実施例3 実施例1において、ポリエステルフィルム6の走行速度
を10m/分から20m/分に変更し、コバルトの蒸着
速度をポリエステルフィルム60走行速度に合わせて変
更した以外は、実施例1と同様にして磁気テープをつく
った。
Example 3 The procedure was the same as in Example 1, except that the running speed of the polyester film 6 was changed from 10 m/min to 20 m/min, and the cobalt deposition speed was changed to match the running speed of the polyester film 60. I made magnetic tape.

実施例4 実施例1において、ガイドロール10および11の温度
調整を行わず、これらのガイドロールに代えてガイドロ
ール8および9の温度を一10℃〜80℃の範囲内で種
々に調整した以外は、実施例1と同様にして磁気テープ
をつくった。
Example 4 In Example 1, the temperature of guide rolls 10 and 11 was not adjusted, and instead of these guide rolls, the temperature of guide rolls 8 and 9 was adjusted variously within the range of -10°C to 80°C. A magnetic tape was made in the same manner as in Example 1.

実施例5 実施例1において、さらにガイドロール8および9の温
度も一10℃〜80℃の範囲内で種々に調整した以外は
、実施例1と同様にして磁気テープをつくった。
Example 5 A magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1, except that the temperatures of guide rolls 8 and 9 were also varied within the range of -10°C to 80°C.

比較例1 実施例1において、ガイドロール10および11の温度
調整を省いた以外は、実施例1と同様にして磁気テープ
をつくったところ、100m当たりのしわの発生長さの
総和は1.2mを中心にして1.2−0.5 m〜1.
2+0.8 mであった。
Comparative Example 1 A magnetic tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the temperature adjustment of guide rolls 10 and 11 was omitted, and the total length of wrinkles per 100 m was 1.2 m. 1.2-0.5 m~1.
It was 2+0.8 m.

各実施例で得られた磁気テープについて、100m当た
りのしわ長さの総和を求めた。第2図な。
The total wrinkle length per 100 m was determined for the magnetic tape obtained in each example. Figure 2.

いし第6図はこのようにして求めたしわ長さの総和を、
温度調整したガイドロールの表面温度でプロットしたも
のであり、第2図は実施例1で得られた結果を示し、以
下第3図は実施例2で得られた結果、第4図は実施例3
で得られた結果、第5図は実施例4で得られた結果、第
6図は実施例5で得られた結果をそれぞれ示したもので
ある。
Figure 6 shows the total wrinkle length obtained in this way,
Figure 2 shows the results obtained in Example 1, Figure 3 shows the results obtained in Example 2, and Figure 4 shows the results obtained in Example 2. 3
FIG. 5 shows the results obtained in Example 4, and FIG. 6 shows the results obtained in Example 5.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

第2図ないし第6図から明らかなように、従来の磁気テ
ープではしわの発生が多いのに対し、ガイドロールの表
面温度を15℃以上に加温調整して得られるこの発明の
磁気テープ(第2図ないし第6図)は、いずれもしわの
発生が効果的に抑制されており、このことからこの発明
の製造方法によれば、しわの発生が極めて良好に抑制さ
れ、しわのない磁気記録媒体が得られるのがわかる。
As is clear from FIGS. 2 to 6, conventional magnetic tapes often have wrinkles, whereas the magnetic tape of the present invention obtained by heating and adjusting the surface temperature of the guide roll to 15°C or higher ( 2 to 6), the generation of wrinkles is effectively suppressed. Therefore, according to the manufacturing method of the present invention, the generation of wrinkles is extremely well suppressed, and the wrinkle-free magnetic It can be seen that a recording medium is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の1例を示す概略断面図、第2図ないし第
6図は実施例1ないし5で得られた磁気テープの100
mあたりのしわ長さの総和を、ガイドロールの表面温度
でプロットしたものを示すグラフである。 1・・・真空槽、5・・・円筒状キャン、6・・・基板
、8.9.10.11・・・ガイドロール、13・・・
強磁性材蒸発源、14・・・強磁性材 第1図 第2図 ガイドロール表面温度(0c) 第4図 ガイドロール表111111i1度(0c)第5図
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a vacuum evaporation apparatus used to carry out the manufacturing method of the present invention, and FIGS. 2 to 6 show 100% of the magnetic tape obtained in Examples 1 to 5.
It is a graph showing what the total wrinkle length per m is plotted against the surface temperature of the guide roll. 1... Vacuum chamber, 5... Cylindrical can, 6... Substrate, 8.9.10.11... Guide roll, 13...
Ferromagnetic material evaporation source, 14...Ferromagnetic material Fig. 1 Fig. 2 Guide roll surface temperature (0c) Fig. 4 Guide roll table 111111i1 degree (0c) Fig. 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、真空雰囲気内で、基板を基板支持体に沿って移動す
るように走行案内するガイドロールの表面温度を15℃
以上の温度に加温調整し、このガイドロールにより走行
案内されて基板支持体に沿って移動する基板に、強磁性
材蒸発源から強磁性材の蒸気流を差し向けて強磁性金属
薄膜層を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法
1. In a vacuum atmosphere, the surface temperature of the guide roll that guides the substrate to move along the substrate support is set to 15℃.
The temperature is adjusted to above, and a ferromagnetic metal thin film layer is formed by directing a vapor flow of ferromagnetic material from a ferromagnetic material evaporation source onto the substrate, which is guided by the guide rolls and moves along the substrate support. A method for manufacturing a magnetic recording medium characterized by forming
JP14572984A 1984-07-12 1984-07-12 Manufacture of magnetic recording medium Pending JPS6124026A (en)

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