JPS61239210A - 光電変換装置 - Google Patents
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- JPS61239210A JPS61239210A JP61082406A JP8240686A JPS61239210A JP S61239210 A JPS61239210 A JP S61239210A JP 61082406 A JP61082406 A JP 61082406A JP 8240686 A JP8240686 A JP 8240686A JP S61239210 A JPS61239210 A JP S61239210A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
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- H01L31/02164—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors for shielding light, e.g. light blocking layers, cold shields for infrared detectors
-
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/024—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、q個の放射感知素子から成るp列のマトリッ
クスであって1個の放射感知素子の寸法に比べて大きな
表面領域を有すると共にp×q個の出力信号を作成する
マトリックスと、所望のスペクトル感知域において透明
であって、観察される被写体から発する有用な放射光を
前記感知素子に伝播する冷却された光ファイバのバンド
ルとを具え、放射光を電子信号に変換する光電変換装置
に関するものである。
クスであって1個の放射感知素子の寸法に比べて大きな
表面領域を有すると共にp×q個の出力信号を作成する
マトリックスと、所望のスペクトル感知域において透明
であって、観察される被写体から発する有用な放射光を
前記感知素子に伝播する冷却された光ファイバのバンド
ルとを具え、放射光を電子信号に変換する光電変換装置
に関するものである。
このような光電変換装置においては、背景の温度が高く
背景から検出器の感度波長域にある放射光が放射される
場合、検出器又は感知装置の視野を規制する必要がある
。このような場合不所望な背景からの光束によってノイ
ズ及び検出器から出力されるd、c信号が背景温度の関
数として増大する不都合が生じてしまう。
背景から検出器の感度波長域にある放射光が放射される
場合、検出器又は感知装置の視野を規制する必要がある
。このような場合不所望な背景からの光束によってノイ
ズ及び検出器から出力されるd、c信号が背景温度の関
数として増大する不都合が生じてしまう。
この不所望な光束に対処する簡単な方法は、検出器の前
面に低温シールドを配置し、不所望な光束が入射する立
体角を規制して被写体から放射する放射光と対応する有
用な値を作成することである。
面に低温シールドを配置し、不所望な光束が入射する立
体角を規制して被写体から放射する放射光と対応する有
用な値を作成することである。
検出器が複数の検出素子を有する場合、低温シールドを
用いても各検出素子の視野を別の方法で規制する必要が
ある。この低温シールドによって規制される角度は、各
検出素子の低温シールドに対する相対位置に応じて定ま
る。
用いても各検出素子の視野を別の方法で規制する必要が
ある。この低温シールドによって規制される角度は、各
検出素子の低温シールドに対する相対位置に応じて定ま
る。
本発明は、矩形領域に亘って分布する複数の素子からな
るマトリックスを一般的に有する焦点面アレイ検出器に
特に関するものである。低温シールドに対して特定の位
置を占める各感知素子は、別の素子によって受光される
光束とは異なる光束をそれぞれ受光する。受光される光
束の一部は有用な光束(通常対物レンズから発する中心
光束)であり、それ以外の部分は背景光束(通常対物レ
ンズのマウントから発し角度を有する光束)である。
るマトリックスを一般的に有する焦点面アレイ検出器に
特に関するものである。低温シールドに対して特定の位
置を占める各感知素子は、別の素子によって受光される
光束とは異なる光束をそれぞれ受光する。受光される光
束の一部は有用な光束(通常対物レンズから発する中心
光束)であり、それ以外の部分は背景光束(通常対物レ
ンズのマウントから発し角度を有する光束)である。
この作用は検出器の素子の感度や振幅に影響を及ぼし、
又これらの素子と検出器に生じた電荷を処理するための
回路との結合にも影響を及ぼすことになる。対物レンズ
のマウントから発した光束はこのマウントの温度の関数
となるから、この影響を補正して直接入射する光束に対
して全ての検出素子を均一に応答させねばならない。
又これらの素子と検出器に生じた電荷を処理するための
回路との結合にも影響を及ぼすことになる。対物レンズ
のマウントから発した光束はこのマウントの温度の関数
となるから、この影響を補正して直接入射する光束に対
して全ての検出素子を均一に応答させねばならない。
上述した光束が光ファイバのバンドルの一端で受光され
他端が本明細書の冒頭部で述べた検出器に結合ささてい
れば、補正を行うことができる。
他端が本明細書の冒頭部で述べた検出器に結合ささてい
れば、補正を行うことができる。
ファイバの受光角に等しい立体角で入射する被写体から
発する放射光は検出器の各感知素子で受光され、一方背
景部分から発し入射角がファイバの受光角より大きい不
所望な光束は光ファイバのクラッドで吸収される。
発する放射光は検出器の各感知素子で受光され、一方背
景部分から発し入射角がファイバの受光角より大きい不
所望な光束は光ファイバのクラッドで吸収される。
特願昭58−43673号公報には、光ファイバのバン
ドルの一端がショットキーバリヤー光検出器を有する検
出素子と接触しているこの種の装置が開示されている。
ドルの一端がショットキーバリヤー光検出器を有する検
出素子と接触しているこの種の装置が開示されている。
この装置の検出器アレイは、放射光の入射面と対向する
表面に複数の電極が配置され、冷却されねばならず、検
出器を液体窒素内に浸漬することにより冷却を行ってい
る。この光ファイバの機能は他端で受光される光束を伝
送すると共に検出器と光ファイバとの接触点及び光ファ
イバと冷却液体との間の接触点を介して検出器を均一に
冷却することである。従って、この装置は視野を規制す
るように機能せず、しかも特に後側表面が露出し冷媒中
に浸漬する作業が必要となるショットキーバリヤー検出
器に関するものである。
表面に複数の電極が配置され、冷却されねばならず、検
出器を液体窒素内に浸漬することにより冷却を行ってい
る。この光ファイバの機能は他端で受光される光束を伝
送すると共に検出器と光ファイバとの接触点及び光ファ
イバと冷却液体との間の接触点を介して検出器を均一に
冷却することである。従って、この装置は視野を規制す
るように機能せず、しかも特に後側表面が露出し冷媒中
に浸漬する作業が必要となるショットキーバリヤー検出
器に関するものである。
このため、一端が外部雰囲気温度中にあり他端が冷媒中
にある著しく長いファイババンドルを用いる必要がある
。この結果、冷却液体が実質的に消失する不都合が生じ
てしまう。
にある著しく長いファイババンドルを用いる必要がある
。この結果、冷却液体が実質的に消失する不都合が生じ
てしまう。
本発明による光電変換装置は、検出器マトリックスの視
野を規制すると共に視野を一様なものとするように作用
する。本発明は浸漬することなく通常の方法で冷却され
る全ての型式の検出器に関するものである。
野を規制すると共に視野を一様なものとするように作用
する。本発明は浸漬することなく通常の方法で冷却され
る全ての型式の検出器に関するものである。
本発明は明細書冒頭部分の光電変換装置において、前記
光ファイババンドルが、複数の面のうちの1個の面が低
温支持部材に接続される薄いファイバプレートを有し、
前記複数の素子から成るマトリックスが低熱伝導率の周
囲部材の内側で前記低温支持部材に装着され、前記ファ
イバプレートが前記スペクトル域に対して透明なカバー
に対向配置され、放射を受光する各感知素子の均一な立
体角がファイバの受光角と等しくなるように構成したこ
とをvf徴とするものである。
光ファイババンドルが、複数の面のうちの1個の面が低
温支持部材に接続される薄いファイバプレートを有し、
前記複数の素子から成るマトリックスが低熱伝導率の周
囲部材の内側で前記低温支持部材に装着され、前記ファ
イバプレートが前記スペクトル域に対して透明なカバー
に対向配置され、放射を受光する各感知素子の均一な立
体角がファイバの受光角と等しくなるように構成したこ
とをvf徴とするものである。
光ファイバに入射した放射光がコアとクラッドとの間で
もはや全反射せず種々のファイバが相互に結合されてフ
ァイバアレイを形成するための材料によって吸収されて
しまう角度を超える最大受光角を光ファイバが有するこ
とは既知である。このファイバ結合部材の屈折率をno
+ コアの屈折率をnl’+ クラッドの屈折率をn2
とすれば、受光角Uは次式で定まる。
もはや全反射せず種々のファイバが相互に結合されてフ
ァイバアレイを形成するための材料によって吸収されて
しまう角度を超える最大受光角を光ファイバが有するこ
とは既知である。このファイバ結合部材の屈折率をno
+ コアの屈折率をnl’+ クラッドの屈折率をn2
とすれば、受光角Uは次式で定まる。
no 51nu= (n+” nz”) ’Aファイ
バアレイは冷却されるので、一層大きな角度の光線によ
るエネルギー分布は無視さ、ファイバアレイは全ての検
出素子に対して同一の角度を画成する低温シールドとし
て機能する。
バアレイは冷却されるので、一層大きな角度の光線によ
るエネルギー分布は無視さ、ファイバアレイは全ての検
出素子に対して同一の角度を画成する低温シールドとし
て機能する。
ファイバアレイの入射側に対物レンズを配置し、この対
物レンズの出射瞳を無限遠に位置させると共にその開口
をファイバの開口と等しいか又はそれ以上に大きくすれ
ば、測定すべき放射光を放射する被写体から発した光線
だけが検出器に入射することになる。
物レンズの出射瞳を無限遠に位置させると共にその開口
をファイバの開口と等しいか又はそれ以上に大きくすれ
ば、測定すべき放射光を放射する被写体から発した光線
だけが検出器に入射することになる。
従って、検出素子の位置に依存したりマウントの温度に
依存する不所望な光束の変化によるような欠点および不
所望な光束によって生ずるノイズが軽減されることにな
る。
依存する不所望な光束の変化によるような欠点および不
所望な光束によって生ずるノイズが軽減されることにな
る。
以下図面に基づき本発明の詳細な説明する。
第1図は1個の検出器のある感知素子(例えば素子1.
16及び32)に対する実際の立体角Ω8を示す。これ
らの立体角は、焦点面F内に配置した検出器から距離Z
の位置に配置した低温シールド已によって規制される。
16及び32)に対する実際の立体角Ω8を示す。これ
らの立体角は、焦点面F内に配置した検出器から距離Z
の位置に配置した低温シールド已によって規制される。
これらの素子は立体角Ω□、ΩRI&及びΩR3□にそ
れぞれ対応している。
れぞれ対応している。
この第1図には各素子のを効な視野Uも図示する。
本例では低温シールドEは32 X 32個の検出器素
子から構成されるマトリックスから51の位置に配置さ
れ、これら素子は50μmの幅を有し互いに50μmだ
け離間している。このマトリックスがfナンバーF/4
を存する開放光学系の焦点に配置されている場合、素子
の位置に応じて0.49〜0.62ステラジアンの範囲
で変化する実際の立体角かえられ、この結果有効視野は
0.05ステラジアンとなる。
子から構成されるマトリックスから51の位置に配置さ
れ、これら素子は50μmの幅を有し互いに50μmだ
け離間している。このマトリックスがfナンバーF/4
を存する開放光学系の焦点に配置されている場合、素子
の位置に応じて0.49〜0.62ステラジアンの範囲
で変化する実際の立体角かえられ、この結果有効視野は
0.05ステラジアンとなる。
第2図に示す本発明による装置は光ファイバから成る薄
いプレート1を有し、この薄いプレート1が低温支持部
材2に装着され、低温支持部材2上に検出器4が取り付
けられており、光ファイバは検出器4と当接し又は検出
器4かられずかな距離だけ離間している。
いプレート1を有し、この薄いプレート1が低温支持部
材2に装着され、低温支持部材2上に検出器4が取り付
けられており、光ファイバは検出器4と当接し又は検出
器4かられずかな距離だけ離間している。
支持部材2は、カバー5によって前面が閉じている周囲
部材3の一部分を形成する。
部材3の一部分を形成する。
ファイバアレイ及びカバー5は所望の伝播スペクトル域
において透明であり、装置のスペクトル感度を特定の使
用条件に適合させるように選択することができる。この
構成により光ファイバを低温シールドとして使用するこ
とができ、背景光束が減少し検出器の感度が改善される
。
において透明であり、装置のスペクトル感度を特定の使
用条件に適合させるように選択することができる。この
構成により光ファイバを低温シールドとして使用するこ
とができ、背景光束が減少し検出器の感度が改善される
。
周囲部材3及びカバー5によって囲まれる空間6は真空
とするか又は低熱伝導率のガスで充填される。
とするか又は低熱伝導率のガスで充填される。
検出器4の支持部材として作用する周囲部材3の支持部
材2は凹部7を画成し、その内壁は任意の方法によって
、例えば液体窒素のような冷媒に直接接触させたり、開
回路中でのガスの流通、閉回路中で冷却機を用いたりし
て冷却される。
材2は凹部7を画成し、その内壁は任意の方法によって
、例えば液体窒素のような冷媒に直接接触させたり、開
回路中でのガスの流通、閉回路中で冷却機を用いたりし
て冷却される。
空間6内に配置した検出器4は、q個の素子から成るp
列のマトリックスを有している。光フアイバアレイは入
射ビームと検出器4との間に配置されているので、各素
子で受光される光線は光ファイバの受光角と対応する立
体角Ω1中に位置している。これらq個の素子から成る
p列のマトリックスから検出器の機能としてp×q個の
出力信号が形成される。検出器の機能とば別にp×q個
の出力信号を多重出力して単一の出力を形成することが
必要な場合には、ハイブリッド構造を用いたり2次発生
赤外線検出器におけるモノリシック検出器構造を用いて
これら2種の機能を結合することができる。
列のマトリックスを有している。光フアイバアレイは入
射ビームと検出器4との間に配置されているので、各素
子で受光される光線は光ファイバの受光角と対応する立
体角Ω1中に位置している。これらq個の素子から成る
p列のマトリックスから検出器の機能としてp×q個の
出力信号が形成される。検出器の機能とば別にp×q個
の出力信号を多重出力して単一の出力を形成することが
必要な場合には、ハイブリッド構造を用いたり2次発生
赤外線検出器におけるモノリシック検出器構造を用いて
これら2種の機能を結合することができる。
第3図、第4図及び第5図に冷却した光ファイバを用い
て各検出素子に対する有効な視野Ω工を画成する例を示
す。これらの線図は、上述した特徴を有するマトリック
ス及び光学装置に関するものである。各ファイバアレイ
はクラッド(−−−−−−−−−−−q、、−+ 、q
、、、(ln−+−−−−−−−)が設けされると共に
樹脂製のカプセル部材により相互接続されるか又は第3
図及び第4図に示すように互いに溶着されたファイバ本
体(−−−−−−・f n−1* f n + f
n+1 ’−’)を有し、コアガラス及び外側ガラス
を有する各ファイバは単一の検出器素子と協働している
ことを明記すべきである。
て各検出素子に対する有効な視野Ω工を画成する例を示
す。これらの線図は、上述した特徴を有するマトリック
ス及び光学装置に関するものである。各ファイバアレイ
はクラッド(−−−−−−−−−−−q、、−+ 、q
、、、(ln−+−−−−−−−)が設けされると共に
樹脂製のカプセル部材により相互接続されるか又は第3
図及び第4図に示すように互いに溶着されたファイバ本
体(−−−−−−・f n−1* f n + f
n+1 ’−’)を有し、コアガラス及び外側ガラス
を有する各ファイバは単一の検出器素子と協働している
ことを明記すべきである。
第3図では検出素子−・・−・en−1+ en +
en+1−−−−一−−は対応するファイバと接触
しているが、これに対して第4図においては各検出器は
ファイバから距離dだけ離間している。
en+1−−−−一−−は対応するファイバと接触
しているが、これに対して第4図においては各検出器は
ファイバから距離dだけ離間している。
1本の光ファイバを検出器の各素子と協働させる場合に
は、光ファイバを検出素子に対して正確に位置決めする
必要がある。この問題は検出素子の寸法に比べて小さい
寸法の赤外線光ファイバを用いることにより解消するこ
とができる。第5図に示す例では各検出素子はに個のフ
ァイバf、と協働している。これらのファイバも相互接
続され、検出器と接触しまたは離間し適切に冷却される
アレイを形成することができる。
は、光ファイバを検出素子に対して正確に位置決めする
必要がある。この問題は検出素子の寸法に比べて小さい
寸法の赤外線光ファイバを用いることにより解消するこ
とができる。第5図に示す例では各検出素子はに個のフ
ァイバf、と協働している。これらのファイバも相互接
続され、検出器と接触しまたは離間し適切に冷却される
アレイを形成することができる。
第1図は低温シールドから距離Zの位置の焦点面内に配
置した検出器に対する立体角を示す線図、第2図は本発
明による検出器マトリックスの視野を規制する装置の構
成を示す線図、 第3図は検出器が光ファイバと対向配置されて各検出素
子が1個の光ファイバと協働する本発明による装置の第
1実施例の構成を示す線図、第4図は検出器が光ファイ
バから距離dだけ離間し各検出素子が1個の光ファイバ
と協働する本発明による装置の第2実施例の構成を示す
線図、第5図は光ファイバが検出素子と対向又は離間し
て配置された検出器の各検出素子かに個の光ファイバと
協働する本発明による装置の第3実施例の構成を示す線
図である。 1・・・プレート 2・・・支持部材3・・・
周囲部材 4・・・検出器5・・・カバー
6・・・空間7・・・凹部 01%−II eI’ll ’! +141・・・検出
素子f n−1+ f I’ll f n41 ・・・
光ファイバg n−1+ g III g fiel・
・・クラッドΩ1・・・視野 ■・・・カプセル部材 FIG、1
置した検出器に対する立体角を示す線図、第2図は本発
明による検出器マトリックスの視野を規制する装置の構
成を示す線図、 第3図は検出器が光ファイバと対向配置されて各検出素
子が1個の光ファイバと協働する本発明による装置の第
1実施例の構成を示す線図、第4図は検出器が光ファイ
バから距離dだけ離間し各検出素子が1個の光ファイバ
と協働する本発明による装置の第2実施例の構成を示す
線図、第5図は光ファイバが検出素子と対向又は離間し
て配置された検出器の各検出素子かに個の光ファイバと
協働する本発明による装置の第3実施例の構成を示す線
図である。 1・・・プレート 2・・・支持部材3・・・
周囲部材 4・・・検出器5・・・カバー
6・・・空間7・・・凹部 01%−II eI’ll ’! +141・・・検出
素子f n−1+ f I’ll f n41 ・・・
光ファイバg n−1+ g III g fiel・
・・クラッドΩ1・・・視野 ■・・・カプセル部材 FIG、1
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、q個の放射感知素子から成るp列のマトリックスで
あって、1個の放射感知素子の寸法に比べて大きな表面
領域を有すると共にp×q個の出力信号を作成するマト
リックスと、所望のスペクトル感知域において透明であ
って、観察される被写体から発する有用な放射光を前記
感知素子に伝播する冷却された光ファイバのバンドルと
を具え、放射光を電子信号に変換する光電変換装置にお
いて、前記光ファイババンドルが、複数の面のうちの1
個の面が低温支持部材に接続される薄いファイバプレー
トを有し、前記複数の素子から成るマトリックスが低熱
伝導率の周囲部材の内側で前記低温支持部材に装着され
、前記ファイバプレートが前記スペクトル域に対して透
明なカバーに対向配置され、放射を受光する各感知素子
の均一な立体角がファイバの受光角と等しくなるように
構成したことを特徴とする光電変換装置。 2、前記周囲部材が真空状態とされていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の光電変換装置。 3、前記周囲部材が低熱伝導率のガスで充填されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光電変換
装置。 4、前記検出器がp×q個の信号を出力する検出機能に
加えて、この検出器がp×q個の信号出力を多重出力す
る機能を達成して1個の単一出力を形成するように構成
したことを特徴とする特許請求の範囲第1項から第3項
のいずれか1に記載の光電変換装置。 5、前記検出素子の各々が、前記ファイバアレイプレー
トの1個の単一光ファイバと協働するように構成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項から第4項のいず
れか1に記載の光電変換装置。 6、前記検出素子の各々が、前記ファイバプレートの複
数の光ファイバと協働するように構成したことを特徴と
する特許請求の範囲第1項から第4項のいずれか1に記
載の光電変換装置。 7、前記光ファイバのスペクトロ伝播域が特定の使用条
件に適合され、入射信号が濾波され及び/又は検出器の
感度が低温フィルタを使用することにより改善されるよ
うに構成したことを特徴とする特許請求の範囲第1項か
ら第6項のいずれか1に記載の光電変換装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8505519A FR2580394B1 (fr) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | Dispositif de limitation et d'uniformisation du champ de vue de mosaiques de detecteurs ir |
FR8505519 | 1985-04-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61239210A true JPS61239210A (ja) | 1986-10-24 |
Family
ID=9318165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61082406A Pending JPS61239210A (ja) | 1985-04-12 | 1986-04-11 | 光電変換装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0198549A3 (ja) |
JP (1) | JPS61239210A (ja) |
FR (1) | FR2580394B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3908627A1 (de) * | 1989-03-16 | 1990-09-20 | Bodenseewerk Geraetetech | Infrarotdetektor |
JP6383460B1 (ja) * | 2017-05-31 | 2018-08-29 | 浜松ホトニクス株式会社 | エンコーダ用受光モジュール及びエンコーダ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3633031A (en) * | 1970-01-09 | 1972-01-04 | Continental Can Co | Can weld side-seam defect detector utilizing infrared detection means and collimator fiber optics |
US3963926A (en) * | 1975-01-09 | 1976-06-15 | Texas Instruments Incorporated | Detector cold shield |
JPS55121684A (en) * | 1979-03-13 | 1980-09-18 | Fujitsu Ltd | Light semiconductor device |
US4323925A (en) * | 1980-07-07 | 1982-04-06 | Avco Everett Research Laboratory, Inc. | Method and apparatus for arraying image sensor modules |
JPS57142526A (en) * | 1981-02-27 | 1982-09-03 | Fujitsu Ltd | Infrared detector |
US4421985A (en) * | 1981-06-30 | 1983-12-20 | Vought Corporation | Dark field infrared telescope |
JPS5843673A (ja) * | 1981-09-09 | 1983-03-14 | Fujitsu Ltd | 固体撮像装置 |
JPS58167928A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線検出器用コ−ルドシ−ルド構造体 |
JPS608719A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-17 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知器 |
-
1985
- 1985-04-12 FR FR8505519A patent/FR2580394B1/fr not_active Expired
-
1986
- 1986-04-10 EP EP86200610A patent/EP0198549A3/fr not_active Withdrawn
- 1986-04-11 JP JP61082406A patent/JPS61239210A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0198549A3 (fr) | 1989-01-25 |
FR2580394A1 (fr) | 1986-10-17 |
FR2580394B1 (fr) | 1987-10-09 |
EP0198549A2 (fr) | 1986-10-22 |
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