JPS61237055A - 材料物性測定方法 - Google Patents
材料物性測定方法Info
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- JPS61237055A JPS61237055A JP60079822A JP7982285A JPS61237055A JP S61237055 A JPS61237055 A JP S61237055A JP 60079822 A JP60079822 A JP 60079822A JP 7982285 A JP7982285 A JP 7982285A JP S61237055 A JPS61237055 A JP S61237055A
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- wave
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/07—Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/11—Analysing solids by measuring attenuation of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N2291/02827—Elastic parameters, strength or force
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は被測定材料の音波を入射するとともKそO反射
波から該材料O粘弾性特性を求める材料の物性測定方法
に関する。
波から該材料O粘弾性特性を求める材料の物性測定方法
に関する。
材料物性測定に超音波t−使用する方法は従来から採用
されている。
されている。
従来の超音波利用の原理は、入射波と検出反射波との間
の強度変化から材料の減衰特性(粘性特性)1−求める
測定法、並びに、入射波と検出反射波とO間Q時間間隔
から材料O音速(弾性特性)を求める測定法O,2通り
であった。
の強度変化から材料の減衰特性(粘性特性)1−求める
測定法、並びに、入射波と検出反射波とO間Q時間間隔
から材料O音速(弾性特性)を求める測定法O,2通り
であった。
しかし、従来の超音波測定方法には欠Oような問題点が
残されていた。
残されていた。
すなわち、超音波として通常・ぐルス波を入射し、反射
・臂ルス波を検出するので、測定される特性は・ぐルス
波に含まれる連敗O周波敗成分について0平均的な値で
あり、各周波数でO特性すなわち周波数分散を求めるこ
とが離しいという問題があった。
・臂ルス波を検出するので、測定される特性は・ぐルス
波に含まれる連敗O周波敗成分について0平均的な値で
あり、各周波数でO特性すなわち周波数分散を求めるこ
とが離しいという問題があった。
さらに、材料固有の特性tm定するためには測定系O影
響は除去せねばならないが、入射波形O間歇をA (t
)とすると検出反射波はr(k。
響は除去せねばならないが、入射波形O間歇をA (t
)とすると検出反射波はr(k。
R,T、c、t)・A(t−−)となシ、両信号の四則
演算処理■みでは測定糸の特性を含むA (t)を消去
できないという間1もあった。なお、上記各記号は被測
定材料の欠0ような要素を示す。
演算処理■みでは測定糸の特性を含むA (t)を消去
できないという間1もあった。なお、上記各記号は被測
定材料の欠0ような要素を示す。
に:減衰係数 、 R:反射係数
・T:透過係数 、 C:音 速
t : 厚 み 、 ず :関 収〔目
的〕 本発明の目的は、このような従来技術O問題を解決でき
、各周波数での粘弾性特性を容易にしかも澗定系O影響
管除去した状態で求めうる材料物性測定方法を提供する
ことである。
的〕 本発明の目的は、このような従来技術O問題を解決でき
、各周波数での粘弾性特性を容易にしかも澗定系O影響
管除去した状態で求めうる材料物性測定方法を提供する
ことである。
本発明は、被測定材料0表面から音波を入射するととも
にその反射波を検出し、検出反射波信号をフーリエ変換
してそO周波数スイクトルO振巾および周期から被測定
材料の粘弾性特性を周波to関数として求めることによ
シ、上記目的を達成するものである。
にその反射波を検出し、検出反射波信号をフーリエ変換
してそO周波数スイクトルO振巾および周期から被測定
材料の粘弾性特性を周波to関数として求めることによ
シ、上記目的を達成するものである。
使用する音波の周波数は、−重または多重反射波すなわ
ち1以上O反射波を検出できる範囲であればよく、例え
ば、0.1〜1000 MHz O広い範囲内で自由に
設定することができる。
ち1以上O反射波を検出できる範囲であればよく、例え
ば、0.1〜1000 MHz O広い範囲内で自由に
設定することができる。
また、被測定材料としてはゴムやグラスチックの池金属
など各種O材料を対象にすることができる。
など各種O材料を対象にすることができる。
本発明による材料物性測定方法は、音波の検出反射波信
号’t7−!J工変換して得られる周波数スイクトルが
被測定材料0物性値(粘弾性特性を示す値)を・42メ
ータとして含んでいるという原理を利用したもOである
。この原理は理論的にも立証できる。
号’t7−!J工変換して得られる周波数スイクトルが
被測定材料0物性値(粘弾性特性を示す値)を・42メ
ータとして含んでいるという原理を利用したもOである
。この原理は理論的にも立証できる。
すなわち、検出される反射波信号は各n回反射波、成分
O重ね合せで表わすことができ、また、この各n回反射
波成分のそれぞれは元の入射波波形関数に材料物性に係
る係数を剰じるとともに反射回教による位相差補正を施
した関数で表わすことができ、検出反射波信号を数式化
してこれを解析的にフーリエ変換すれば理論的周波数x
ベクトルが得られる。
O重ね合せで表わすことができ、また、この各n回反射
波成分のそれぞれは元の入射波波形関数に材料物性に係
る係数を剰じるとともに反射回教による位相差補正を施
した関数で表わすことができ、検出反射波信号を数式化
してこれを解析的にフーリエ変換すれば理論的周波数x
ベクトルが得られる。
例えば、第1図に示すように、被測定材料へに波形関数
A (t) (D音波を入射し、物質Bとの界面A/8
からO反射波1.(t) 、 1□(t: ・・・・
・が存在するとすれば、これらの反射波は、入射波A
(t)に、材料A中での減衰係&におよび界面A/Bで
0反射係数R1を乗じ、かつ反射回数による位相補正を
施した関数で表わすことができる。
A (t) (D音波を入射し、物質Bとの界面A/8
からO反射波1.(t) 、 1□(t: ・・・・
・が存在するとすれば、これらの反射波は、入射波A
(t)に、材料A中での減衰係&におよび界面A/Bで
0反射係数R1を乗じ、かつ反射回数による位相補正を
施した関数で表わすことができる。
こ\で、k = e ム 、a :吸収係数。
ム
゛x:伝幡距離。
RAM = (PACA FICI)/ (ll’A
cA + PBCJ *PI:材料i1D密度、 ci
:’材料l中でO音速をそれぞれ示す。
cA + PBCJ *PI:材料i1D密度、 ci
:’材料l中でO音速をそれぞれ示す。
こうして検出反射波信号を数式化し、これをフーリエ変
換すれば、理論的周波数スイクトルを得ることができる
。すなわち、入射波波形間歇A (t)と反射波の周波
数スペクトル九関関係は門出信号でも対応させることが
できる。
換すれば、理論的周波数スイクトルを得ることができる
。すなわち、入射波波形間歇A (t)と反射波の周波
数スペクトル九関関係は門出信号でも対応させることが
できる。
以下この対応関係を具体的に説明する。
第2図において、厚さdO被測定材料lO表面に探触子
Oを当て\音波A (t)を入射し、図示Oような界面
1/2からの反射波が門出されたとする。各n回反射波
成分は次Oように表わさせる。
Oを当て\音波A (t)を入射し、図示Oような界面
1/2からの反射波が門出されたとする。各n回反射波
成分は次Oように表わさせる。
1□(t) = k工・R工、・k工・べt)let)
=に工・R工、・k工・R工。(k工・R工、・k工)
・A(t−−)全反射波R(t)はこれらO重ね合せで
ある。
=に工・R工、・k工・R工。(k工・R工、・k工)
・A(t−−)全反射波R(t)はこれらO重ね合せで
ある。
R(t)=1 □(1) + 1.(t)+ ・・・・
・7−リエ変換をFC)で表わす。
・7−リエ変換をFC)で表わす。
F (h(t))= h(t)・ d t=h
(at)そこで全反射波R(t)を7−リエ変換する。
(at)そこで全反射波R(t)を7−リエ変換する。
r(R(t))雪F(1、(t)) + F (1ノー
))+・・・・・・・・・・=ki−Rよ、・F(A(
t))+ k士・R¥2・R工。・F(A(t−Q))
+ ・・・・・・・・・・ 7−リエ変換では一般に次式が成立する。
))+・・・・・・・・・・=ki−Rよ、・F(A(
t))+ k士・R¥2・R工。・F(A(t−Q))
+ ・・・・・・・・・・ 7−リエ変換では一般に次式が成立する。
F (h(t−to)) = e−”to−h(s)従
って、 F(Nt))=kfiR工、べ→+kiR¥2Rよ。i
i“(τ)A(ω汁…・・こ\で、次O量St一定義す
る。
って、 F(Nt))=kfiR工、べ→+kiR¥2Rよ。i
i“(τ)A(ω汁…・・こ\で、次O量St一定義す
る。
従って1
、、.1 m(2−d)
S雪20jOg l 1+kfi(R工、R工。)・
0 +・・・・・1゛こうして得られたSはに、
Rjc、d等の被測定材料Q物性定敗を・々ラメータと
して含み、しかも周波数ego周期関数である。
0 +・・・・・1゛こうして得られたSはに、
Rjc、d等の被測定材料Q物性定敗を・々ラメータと
して含み、しかも周波数ego周期関数である。
従って、SO振巾0解析から被測定材料O減衰特性が、
また、周期O解析から被測定材料O音速(弾性率)が1
、それぞれ周波wtO関数として求まる。すなわち1粘
弾性特性O周波教分散が得られ、各周波WtIlcおけ
る物性値が求まる。
また、周期O解析から被測定材料O音速(弾性率)が1
、それぞれ周波wtO関数として求まる。すなわち1粘
弾性特性O周波教分散が得られ、各周波WtIlcおけ
る物性値が求まる。
さらに、上記フーリエ変換Oため、Sは入射波波形間歇
A (t)を含んでおらず、被測定材料固有の物性値Q
みを含む関数形になっている。
A (t)を含んでおらず、被測定材料固有の物性値Q
みを含む関数形になっている。
以上O*明から明らかなごとく1本発明によれば、被測
定材料0表面から音波を入射するばとともにその反射波
を検出し、検出反射波信号をフーリエ変換してその周波
数スペクトルO振巾および周期から被測定材料の粘弾性
特性を周波数O関係として求めるOで、各周波数に対す
る物性値を容易かつ正確に測定することができ、しかも
、測定系O影響を除宏し之被測定材料固有の正確な値を
得ることができる。
定材料0表面から音波を入射するばとともにその反射波
を検出し、検出反射波信号をフーリエ変換してその周波
数スペクトルO振巾および周期から被測定材料の粘弾性
特性を周波数O関係として求めるOで、各周波数に対す
る物性値を容易かつ正確に測定することができ、しかも
、測定系O影響を除宏し之被測定材料固有の正確な値を
得ることができる。
以下、本発明を実1lIO111定に:a用し九場合O
実施例を説明する。
実施例を説明する。
実施例I(ゴムθ減衰係数の測定):
am配合O厚さ1.5 mm 10 E P D M
M −f A板を被測定材料とし、第3図に示すごとく
、該材料lに対し、超音波探傷装置4、広帯域探触子5
を使用して、5MH2O超音波A (t)を入射した。
M −f A板を被測定材料とし、第3図に示すごとく
、該材料lに対し、超音波探傷装置4、広帯域探触子5
を使用して、5MH2O超音波A (t)を入射した。
その多重反射波を同じ探触子5で受はオシaxコープ6
でモニターした。一方、前記多重反射波を電気的に取シ
出してスペクトラムアナライデー7に入力して7−リエ
変換を行なった。
でモニターした。一方、前記多重反射波を電気的に取シ
出してスペクトラムアナライデー7に入力して7−リエ
変換を行なった。
なお、超音波探傷装置4として日本ノタナメトリクス社
WSOモデル5052UAt−1探触子5として日本/
#ナメトリクス社製V115型を、オシロスコーf6と
I、てヒューレットノ母ツカード社製1740Amを、
スペクトラムアナ2イデ−7としてと二−レットノ臂ツ
カード社製3585AMiIP1!!用した。
WSOモデル5052UAt−1探触子5として日本/
#ナメトリクス社製V115型を、オシロスコーf6と
I、てヒューレットノ母ツカード社製1740Amを、
スペクトラムアナ2イデ−7としてと二−レットノ臂ツ
カード社製3585AMiIP1!!用した。
まず、第1!i射波1.1t)10みを取シ出してフー
リエ変換し、これをda表示で画面に表示するとともに
メモリに■として記゛憧させた。次に、全反射波を取り
出してフーリエ変換し、同じくdB表示で画面に表示す
るとともにメモリに■として記憶させた。
リエ変換し、これをda表示で画面に表示するとともに
メモリに■として記゛憧させた。次に、全反射波を取り
出してフーリエ変換し、同じくdB表示で画面に表示す
るとともにメモリに■として記憶させた。
絖いて、スペクトラムアナライダー7で■−〇〇演算を
行ない、前述1DyIj&sK対応する演算値を得た。
行ない、前述1DyIj&sK対応する演算値を得た。
この場合、#E4図(A)に示すような反射波1、・・
・・・Ioおよび第4図(8)に示すような各反射波成
分に対応する周波数スペクトルが考えられる。
・・・Ioおよび第4図(8)に示すような各反射波成
分に対応する周波数スペクトルが考えられる。
こ\で、サブスクリプト1は被測定材料(fム)を、2
は空気を、0は探触子を表わす。
は空気を、0は探触子を表わす。
すると、各n回反射波は欠Oように表わせる。
R工、にΔt)・A(を−判)
全反射波R(t)は次のように表わせる。
R(t)冨1.(t)刊、(t)刊、(t)+・・・・
・・・・これをフーリエ変換し関数!5を求める。
・・・・これをフーリエ変換し関数!5を求める。
第5図(A) KこO周波数スペクトルO理論値を第5
図(B)にそのfIA定値を示す。
図(B)にそのfIA定値を示す。
きく生じ、
SSml5x=−20jo (1+−kiR,。R1,
)とな)、最小値は一=ntのとき生じ、 l Sm1n =−20!og (l−s、−R,。R,)
となる。
)とな)、最小値は一=ntのとき生じ、 l Sm1n =−20!og (l−s、−R,。R,)
となる。
第6図は周波数スペクトルから5rnaxおよびSm1
n O信号強度を読み取り、これらを上式に代入して各
周液数に対するl k;R工。R工、Io値をグロット
し九もOである。
n O信号強度を読み取り、これらを上式に代入して各
周液数に対するl k;R工。R工、Io値をグロット
し九もOである。
実施例1(fム内の音速の測定):
前述O実施例■における観測スペクトル(711定値)
および理論スペクトル(計算値)から音速C工O周波周
波数を求めた。
および理論スペクトル(計算値)から音速C工O周波周
波数を求めた。
実施例110理論スペクトルsの周期解析から1置で生
じ、こ0位置く対応する周波数’(2n−0)から として求めることができる。
じ、こ0位置く対応する周波数’(2n−0)から として求めることができる。
従って、IIfaスペクトルO最大値が生じる周波数を
求めれば、上式よシ音速clO膚波歇分散を求めること
ができる。
求めれば、上式よシ音速clO膚波歇分散を求めること
ができる。
実施例10場合と同じ測定条件で、[PQMfム、N0
R(=)すk f A ) gよびNR/5BRO3つ
O材料につき音速C)114波敗分散を求めた結果を第
7図に示す。音速C工、弾性率Eおよび密*pO関係は
c=4−Σ;−である。
R(=)すk f A ) gよびNR/5BRO3つ
O材料につき音速C)114波敗分散を求めた結果を第
7図に示す。音速C工、弾性率Eおよび密*pO関係は
c=4−Σ;−である。
実施例厘(接着剤硬化前後で10m定):工11!中シ
系接着剤(アテルダイトAV13B/HV99g)を被
測定材料lとし、第8図に示すごと<、L5mrn厚さ
Oスペーt8内に該接着剤1t−入れ、その上から探触
子0を置き、周波数10MHzO音波を入射し、実施例
IおよびIO場合と同様O方法で接着剤1硬化前後で0
減衰係数および音速t−測測定た。
系接着剤(アテルダイトAV13B/HV99g)を被
測定材料lとし、第8図に示すごと<、L5mrn厚さ
Oスペーt8内に該接着剤1t−入れ、その上から探触
子0を置き、周波数10MHzO音波を入射し、実施例
IおよびIO場合と同様O方法で接着剤1硬化前後で0
減衰係数および音速t−測測定た。
第9図は該測定によって得られ友減衰係歇O膚波敗分散
を表わし、纏Xは硬化前を、纏Yは硬化後を示す。
を表わし、纏Xは硬化前を、纏Yは硬化後を示す。
また、第10図は上記測定によって得られた音速(m/
s)O周波数分散を表わし1纏Xは硬化前を、纏Yは硬
化後を示す。
s)O周波数分散を表わし1纏Xは硬化前を、纏Yは硬
化後を示す。
実施例IY(7”ラスチックO吸収係数および音速O測
定)ニアクリル樹脂、ず−リy1557およびパ?り樹
脂03檻類O材料について、実施例■と同様Os定装置
を使用するとともに、2次反射波までを検出し、 S冨20jOg IFCIが)+ Ijt) )/ F
(l工(t) ) 10関教でスペクトル解析するこ
とKより、吸収係数M h) O1〜10 MHz@囲
でO周波数分散と音速C(平均値)とを求めた。
定)ニアクリル樹脂、ず−リy1557およびパ?り樹
脂03檻類O材料について、実施例■と同様Os定装置
を使用するとともに、2次反射波までを検出し、 S冨20jOg IFCIが)+ Ijt) )/ F
(l工(t) ) 10関教でスペクトル解析するこ
とKより、吸収係数M h) O1〜10 MHz@囲
でO周波数分散と音速C(平均値)とを求めた。
なお、減衰係* k(@と吸収係数α←)とは前述Oご
とく、k (#) =・−吻hx O関係がある。ここ
でΔXは材料O厚さ02倍O長さである。
とく、k (#) =・−吻hx O関係がある。ここ
でΔXは材料O厚さ02倍O長さである。
第11図紘測定結果O解析から得られた各材料OV&収
係歇m (@0周波数分教を示し、同図中iaxはアク
リル樹脂の場合を、線Yはサージ/155フ0場合を、
線2はバッタ樹脂O場合をそれぞれ表わす。
係歇m (@0周波数分教を示し、同図中iaxはアク
リル樹脂の場合を、線Yはサージ/155フ0場合を、
線2はバッタ樹脂O場合をそれぞれ表わす。
また、各材料O音速は第1表のような値であった。
第 1 表
〔効 果〕
以上の説明から明らかなごとく、本発明によれば、広い
帯域での各周波ff1K対する材料O粘弾性特性を容易
に測定でき、しかも測定、I%O影響を除去した材料固
有の正確な値が得られる材料物性測定方法が提供される
。
帯域での各周波ff1K対する材料O粘弾性特性を容易
に測定でき、しかも測定、I%O影響を除去した材料固
有の正確な値が得られる材料物性測定方法が提供される
。
第1図は材料に入射される音波およびそO反射波を例示
する模式的説明図、第2図は探触子によシ音波を入射し
その反射波を検出する状態をコ例示する模式的説明図、
第3図は本発明による物性測定方法を実施するため0装
置を例示する模式的説明図、第4図(A)および第4図
(B)は反射波成分およびこれに対応する周波数スペク
トルを例示する模式的説明図、第5図偽)および第5図
(2))は周波数スペクトルO理論値およびa測値を例
示するグラフ、第6図はfムO減衰係教O周波教分散を
例示するグツ7、第7図は3種@ Q f五の音速0屑
波敗分散を例示するグツ7、第8図は接着剤O入射波お
よび反射波を例示する模式的説明図、第9図は第8図O
m定結果から求めた硬化前後の減衰係数の周波分散を示
す〆う7、第1θ図は第一図0flA定結果から求めた
硬化前後O音、速の周波数分散を示すグラフ、第11図
は311類C)fラステ、ツクO吸収係教O周波数分散
・を例示するグラフである。 l・・・・・被測定材料。 A (t)・・・・・音波O入射波波形関数。 1□(t)#I□(1)〜・・・・・音波O反射波波形
関数。 k・・・・・材料O減衰係数。 C・・・・・材料Of速。 S・・・・・周波数スペクトル。 代理人 弁理士 大 音 康 毅 第1図 第2図 第3N 0 7r 27t 3τ 4′1を第8図 第9図
する模式的説明図、第2図は探触子によシ音波を入射し
その反射波を検出する状態をコ例示する模式的説明図、
第3図は本発明による物性測定方法を実施するため0装
置を例示する模式的説明図、第4図(A)および第4図
(B)は反射波成分およびこれに対応する周波数スペク
トルを例示する模式的説明図、第5図偽)および第5図
(2))は周波数スペクトルO理論値およびa測値を例
示するグラフ、第6図はfムO減衰係教O周波教分散を
例示するグツ7、第7図は3種@ Q f五の音速0屑
波敗分散を例示するグツ7、第8図は接着剤O入射波お
よび反射波を例示する模式的説明図、第9図は第8図O
m定結果から求めた硬化前後の減衰係数の周波分散を示
す〆う7、第1θ図は第一図0flA定結果から求めた
硬化前後O音、速の周波数分散を示すグラフ、第11図
は311類C)fラステ、ツクO吸収係教O周波数分散
・を例示するグラフである。 l・・・・・被測定材料。 A (t)・・・・・音波O入射波波形関数。 1□(t)#I□(1)〜・・・・・音波O反射波波形
関数。 k・・・・・材料O減衰係数。 C・・・・・材料Of速。 S・・・・・周波数スペクトル。 代理人 弁理士 大 音 康 毅 第1図 第2図 第3N 0 7r 27t 3τ 4′1を第8図 第9図
Claims (1)
- (1)被測定材料の表面から音波を入射するとともにそ
の反射波を検出し、検出反射波信号をフーリエ変換して
その周波数スペクトルの振巾および周期から被測定材料
の粘弾性特性を周波数の関数として求めることを特徴と
する材料物性測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60079822A JPS61237055A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 材料物性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60079822A JPS61237055A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 材料物性測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61237055A true JPS61237055A (ja) | 1986-10-22 |
Family
ID=13700897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60079822A Pending JPS61237055A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 材料物性測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61237055A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0868781A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-12 | Ricoh Co Ltd | ガスセンサシステム |
JP2011087900A (ja) * | 2009-03-31 | 2011-05-06 | Nidek Co Ltd | 非接触式超音波眼圧計 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57179745A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-05 | Fujitsu Ltd | Method and device for measuring material property by ultrasonic wave |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP60079822A patent/JPS61237055A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57179745A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-05 | Fujitsu Ltd | Method and device for measuring material property by ultrasonic wave |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0868781A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-12 | Ricoh Co Ltd | ガスセンサシステム |
JP2011087900A (ja) * | 2009-03-31 | 2011-05-06 | Nidek Co Ltd | 非接触式超音波眼圧計 |
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