JPS61235769A - Method and device for aging or screening semiconductor laser - Google Patents

Method and device for aging or screening semiconductor laser

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JPS61235769A
JPS61235769A JP7747385A JP7747385A JPS61235769A JP S61235769 A JPS61235769 A JP S61235769A JP 7747385 A JP7747385 A JP 7747385A JP 7747385 A JP7747385 A JP 7747385A JP S61235769 A JPS61235769 A JP S61235769A
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JP
Japan
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semiconductor laser
current
differential amplifier
constant
output
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JP7747385A
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Akira Abe
晃 阿部
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Japan Engineering Corp
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Japan Engineering Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To calculate a threshold current for deciding the life of a semiconductor laser by linear approximation by applying a bias voltage to a semiconductor photodetector so that the light-current conversion characteristic of the semiconductor photodetector has linearity. CONSTITUTION:A high-temperature thermostatic chamber 2 where the semiconductor laser 1 to be aged or screened is arranged and a room-temperature thermostatic chamber 4 where the semiconductor photodetector 3, i.e. germanium detector is arranged are both provided. An optical transmission means 5 such as an optical fiber is which allows the thermostatic chambers 2 and 4 to communicate optically with each other and guide the light output of the laser 1 to the detector 3. Further, a detecting circuit 6 is provided which makes the driving current of the laser 1 and detects variation in its light output with time by the detector 3, or makes the light output of the laser 1 and detects variation in its driving current with time. Then, the bias voltage is applied to the detector 3 so that the light-current conversion characteristic of the detector 3 is linear.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体レーザのエージング又はスクリーニン
グ方法及び装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for aging or screening semiconductor lasers.

従来の技術 半導体レーザは、最近では、高度情報通信網(INS)
や高付加価値通信網(VAN)などで利用される光通信
の発光源等に使用されている。
Conventional technology Semiconductor lasers have recently been
It is used as a light-emitting source for optical communication used in high-value-added communication networks (VANs), etc.

このような半導体レーザの信軌性を高めるための評価試
験システムとして、エージング又はスクリーニング装置
が開発されている。また、ビデオ・ディスクやオーディ
オ・ディスクに使用される半導体レーザの評価にも、こ
のようなテストシステムが使用されてきている。この種
の半導体レーザのエージングとは、寿命テストとも呼ば
れるもので、短期間で特性評価するため、半導体レーザ
を高温度中で動作させてその特性の変化を調べるもので
ある0通常、このエージングは、半導体レーザを60℃
〜80℃の高温にて何千時間という時間連続動作させて
その特性の変化を調べるものである、このエージングに
は、主として、ACC(Automatic Curr
ent Control )と称される定電流駆動モー
ドと、 A P C(Automatic Power
 Cont−rol )と称される定光出力駆動モード
とがある。
An aging or screening device has been developed as an evaluation test system for improving the reliability of such semiconductor lasers. Such test systems have also been used to evaluate semiconductor lasers used in video discs and audio discs. Aging of this type of semiconductor laser is also called a lifetime test, and in order to evaluate the characteristics in a short period of time, the semiconductor laser is operated at high temperature and changes in its characteristics are investigated.Normally, this aging is , semiconductor laser at 60℃
This aging is performed by continuously operating for thousands of hours at a high temperature of ~80°C to examine changes in its characteristics.
constant current drive mode called ENT Control), and APC (Automatic Power
There is a constant light output drive mode called Control.

定電流駆動モードでは、半導体レーザの駆動電流を一定
としてその光出力の時間的変化を検出する。
In the constant current drive mode, the drive current of the semiconductor laser is kept constant and temporal changes in the optical output are detected.

一方、定光出力駆動モードでは、半導体レーザの光出力
を一定としてそのための駆動電流の時間的変化を検出す
る。
On the other hand, in the constant light output drive mode, the light output of the semiconductor laser is kept constant and temporal changes in the drive current are detected.

半導体レーザのスクリーニングは、前述したエージング
と同様のテストをするものであるが、これは、エージン
グが半導体レーザの寿命をテストするものであるのに対
して、半導体レーザの初期不良を判定するためのもので
あり、従って、半導体レーザを60℃〜80℃の高温に
て約100時間から150時間に亘って動作させてその
特性の変化を調べるのである。
Semiconductor laser screening is a test similar to the aging described above, but whereas aging tests the lifespan of a semiconductor laser, this is a test to determine initial failure of a semiconductor laser. Therefore, a semiconductor laser is operated at a high temperature of 60° C. to 80° C. for approximately 100 to 150 hours to examine changes in its characteristics.

このようなエージング又はスクリーニングを行なう従来
の方法としては、エージング又はスクリーニングすべき
半導体レーザを高温に保ち、半導体光検出器を常温に保
ち、半導体レーザからの光出力を半導体光検出器にて受
けることにより、半導体レーザの駆動電流を一定として
その光出力の時間的変化を検出し又は半導体レーザの光
出力を一定としてそのための駆動電流の時間的変化を検
出することが行なわれている。従来、その半導体光検出
器としては、シリコン検出器やゲルマニウム検出器が使
用されており、シリコン検出器は、オーディオディスク
に使用する半導体レーザからの800nm程の短波長の
光出力のための短波長用として使用されその光−電流変
換特性の直線性はよいので特に問題はなかった。
A conventional method for performing such aging or screening is to keep the semiconductor laser to be aged or screened at a high temperature, keep a semiconductor photodetector at room temperature, and receive the optical output from the semiconductor laser at the semiconductor photodetector. Accordingly, the driving current of a semiconductor laser is kept constant and a temporal change in its optical output is detected, or the optical output of a semiconductor laser is kept constant and a temporal change in the driving current is detected. Conventionally, silicon detectors and germanium detectors have been used as semiconductor photodetectors, and silicon detectors are suitable for short wavelength light output of about 800 nm from semiconductor lasers used in audio discs. There were no particular problems because the linearity of its photo-current conversion characteristics was good.

発明が解決しようとする問題点 しかし、光通信に使用する半導体レーザからの1300
 nm程の長波長の光出力のための長波長用ゲルマニウ
ム検出器は、その光−電流変換特性の直線性が悪いので
次のような問題があった。
Problems to be Solved by the Invention However, 1300
A long-wavelength germanium detector for outputting light at a wavelength as long as nanometers has the following problem because its light-to-current conversion characteristics have poor linearity.

すなわち、光−電流変換特性の直線性の悪い半導体光検
出器を用いて半導体レーザの順方向電流対先出力特性を
測定する場合には、添付図面の第4図に例示するように
、本来、直線的なものが得られるべきなのに、非直線的
なものが得られてしまう、従って、エージング又はスク
リーニングにおいて、駆動電流を一定として半導体レー
ザの光出力の時間的変化を検出する場合、その光出力に
よって検出器の検出感度が異なるので、正確な測定値を
得ることができない、そして、実際の光出力を求めるた
めには、めんどうな補正のための計算が必要となってい
た。また、光出力を一定として半導体レーザの駆動電流
の時間的変化を調べる場合でも、光出力を例えは、3m
wの値に一定にして駆動電流の時間的変化を検出し、ま
た、光出力を例えは、5mwの値に一定にして駆動電流
の時間的変化を検出することが必要とされるので、光出
力の変化に従って光検出器の感度が変化してしまったの
では、3mwでの特性と5 m wでの特性とをそのま
一比較することができず、問題があった。
That is, when measuring the forward current vs. output characteristic of a semiconductor laser using a semiconductor photodetector with poor linearity of the light-to-current conversion characteristic, as illustrated in FIG. 4 of the accompanying drawings, originally, Although a linear value should be obtained, a non-linear one is obtained. Therefore, when detecting temporal changes in the optical output of a semiconductor laser with a constant drive current during aging or screening, its optical output Since the detection sensitivity of the detector varies depending on the type of light, accurate measurement values cannot be obtained, and troublesome calculations for correction are required to determine the actual light output. Furthermore, even when examining temporal changes in the drive current of a semiconductor laser with the optical output constant, the optical output is
It is necessary to detect temporal changes in the drive current by keeping the value of w constant, and also to detect temporal changes in the drive current by keeping the optical output constant at a value of, for example, 5mW. If the sensitivity of the photodetector changed as the output changed, there was a problem in that the characteristics at 3 mW and the characteristics at 5 mW could not be directly compared.

また、半導体レーザの発振による発光の開始点の順方向
駆動電流をしきい値電流といい、半導体レープの寿命又
は初期不良を判定するのにそのしきい値電流の変化を目
安にする方法がある。このしきい値電流を求めるには、
半導体レーザの順方向駆動電流対光出力特性は、本来、
直線性のあるものなので、その特性曲線のうちの2点の
みを測定して、その2点の値から直線近似にて得るのが
普通である。しかし、光検出器の光−電流変換特性が直
線性でないと、このような直線近似にて半導体レーザの
しきい値電流を求めることもできなくなってしまう。
In addition, the forward drive current at the starting point of light emission due to oscillation of a semiconductor laser is called the threshold current, and there is a method that uses changes in the threshold current as a guide to determine the lifespan or initial failure of the semiconductor laser. . To find this threshold current,
The forward drive current vs. optical output characteristic of a semiconductor laser is originally
Since it has linearity, it is common to measure only two points on the characteristic curve and obtain the values at those two points by linear approximation. However, if the light-to-current conversion characteristics of the photodetector are not linear, the threshold current of the semiconductor laser cannot be determined by such linear approximation.

本発明の目的は、前述したような従来の問題点を解消し
た半導体レーザのエージング又はスクリーニング方法及
び装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method and apparatus for aging or screening a semiconductor laser, which eliminates the conventional problems as described above.

問題点を解決するための手段 本発明によれは、エージング又はスクリーニングすべき
半導体レーザを高温の恒温槽に配置し、半導体光検出器
を常温の恒温槽内に配置し、前記高温恒温槽と前記常温
恒温槽との間を光学的に連通させて前記半導体レーザか
らの光出力を前記半導体光検出器へ導く光伝達手段を配
設し、前記半導体レーザの駆動電流を一定としてその光
出力の時間的変化を前記半導体光検出器にて検出し又は
前記半導体レーザの光出力を一定としてそのための駆動
電流の時間的変化を検出する半導体レーザのエージング
又はスクリーニング方法において、前記半導体光検出器
の光−電流変換特性の直線性を与えるように前記半導体
光検出器にバイアス電圧を加える また、本発明によれは、エージング又はスクリーニング
すべき半導体レーザを配置するための高温の恒温槽と、
半導体光検出器を配置するための常温の恒温槽と、前記
高温恒温槽と前記常温恒温槽との間を光学的に連通させ
て前記半導体レーザからの光出力を前記半導体光検出器
へ導くための光伝達手段と、前記半導体レーザの駆動電
流を一定としてその光出力の時間的変化を前記半導体光
検出器にて検出し又は前記半導体レーザの光出力を一定
としてそのための駆動電流の時間的変化を検出するため
の検出回路とを備えた半導体レーザのエージング又はス
クリーニング装置において、前記検出回路は、前記半導
体光検出器の光−電流変換特性の直線性を与えるための
バイアス電圧手段と、第1及び第2の入力端子及び1つ
の出力端子を有した第1の差動増幅器と、定電流駆動モ
ードにおける定電流値及び定光出力駆動モードにおける
定光出力を設定するための駆動レベル設定手段と、第1
及び第2の入力端子及び1つの出力端子を有したコンパ
レータと、制御ゲートを有した電流バンファと、駆動電
流検出抵抗とを備えており、前記半導体光検出器は、前
記バイアス電圧手段と前記第1の差動増幅器の前記第1
の入力端子との間に接続されており、前記第1の差動増
幅器の前記第2の入力端子は、アースに接続されており
、前記第1の差動増幅器の前記出力端子は、前記半導体
レーザの光出力の読取り指示を与える光出力読取り指示
端子に関連付けられると共に、第1の抵抗を介して前記
第10差動増幅器の前記第1の入力端子に接続され、そ
この電圧を常に零電位に保つようにされており、前記駆
動レベル設定手段は、前記コンパレータの前記第2の入
力端子に接続されており、前記電流バッファ及び前記駆
動電流検出抵抗は、前記半導体レーザの駆動電流回路に
直列に接続されており、前記コンパレータの前記出力端
子は、前記電流バッファの前記制御ゲートに接続されて
おり、前記電流バッファと前記駆動電流検出抵抗との接
続点は、前記半導体レーザの駆動電流の読取り指示を与
える駆動電流読取り指示端子に接続されており、前記切
換え手段は、定電流駆動モードにおいては前記電流バッ
ファと前記駆動電流検出抵抗との前記接続点を前記コン
パレータの前記第1の入力端子に接続し、定光出力駆動
モードにおいては前記第1の差動増幅器の前記出力端子
を前記コンパレータの前記第1の入力端子に関連付ける
Means for Solving the Problems According to the present invention, a semiconductor laser to be aged or screened is placed in a constant temperature bath at high temperature, a semiconductor photodetector is placed in a constant temperature bath at room temperature, and the semiconductor laser to be aged or screened is placed in a constant temperature bath at room temperature. A light transmission means is provided that optically communicates with a room temperature constant temperature bath to guide the light output from the semiconductor laser to the semiconductor photodetector, and the drive current of the semiconductor laser is kept constant and the time of the light output is controlled. In the aging or screening method for a semiconductor laser, the semiconductor laser aging or screening method detects a temporal change in the driving current by the semiconductor photodetector, or the optical output of the semiconductor laser is kept constant and detects a temporal change in the drive current for the purpose. Applying a bias voltage to the semiconductor photodetector so as to provide linearity of current conversion characteristics The present invention also includes a high-temperature thermostat in which the semiconductor laser to be aged or screened is placed;
A room-temperature constant temperature bath in which a semiconductor photodetector is disposed, and optical communication between the high temperature constant temperature bath and the room temperature constant temperature bath to guide optical output from the semiconductor laser to the semiconductor photodetector. a light transmitting means, and a temporal change in the optical output of the semiconductor laser with a constant driving current detected by the semiconductor photodetector, or a temporal change in the driving current for that purpose with the optical output of the semiconductor laser constant. A semiconductor laser aging or screening device comprising: a detection circuit for detecting a first and a first differential amplifier having a second input terminal and one output terminal, a drive level setting means for setting a constant current value in constant current drive mode and a constant light output in constant light output drive mode, 1
and a comparator having a second input terminal and one output terminal, a current bumper having a control gate, and a drive current detection resistor, and the semiconductor photodetector includes a comparator having a second input terminal and one output terminal, and a drive current detection resistor. 1 of the first differential amplifier.
The second input terminal of the first differential amplifier is connected to ground, and the output terminal of the first differential amplifier is connected between the input terminal of the first differential amplifier and the second input terminal of the first differential amplifier. is associated with an optical output read instruction terminal that provides an instruction to read the optical output of the laser, and is connected to the first input terminal of the tenth differential amplifier via a first resistor, so that the voltage thereon is always kept at zero potential. The drive level setting means is connected to the second input terminal of the comparator, and the current buffer and the drive current detection resistor are connected in series to the drive current circuit of the semiconductor laser. The output terminal of the comparator is connected to the control gate of the current buffer, and the connection point between the current buffer and the drive current detection resistor is connected to the drive current of the semiconductor laser. The switching means connects the connection point between the current buffer and the drive current detection resistor to the first input terminal of the comparator in the constant current drive mode. and associating the output terminal of the first differential amplifier with the first input terminal of the comparator in a constant light output drive mode.

実施例 次に、添付図面の第1図、第2図及び第3図に基づいて
本発明の実施例について本発明をより詳細に説明る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments of the present invention based on FIGS. 1, 2, and 3 of the accompanying drawings.

第1図は、本発明による一実施例としての半導体レーザ
のエージング又はスクリーニング装置の構成を略示して
いる。この第1図に示されるように、このエージング又
はスクリーニング装置は、主として、エージング又はス
クリーニングすべき半導体レーザ1を配置するための高
温の恒温槽2と、例えは、ゲルマニウム検出器である半
導体光検出器3を配置するための常温の恒温槽4と、高
温恒温槽2と常温恒温槽4との間を光学的に連通させて
半導体レーザ1からの光出力を半導体光検出器3へ導く
ための、例えば光ファイバの如き光伝達手段5と、半導
体レーザ1の駆動電流を一定としてその光出力の時間的
変化を半導体光検出器3にて検出し又は半導体レーザ1
の光出力を一定としてそのための駆動電流の時間的変化
を検出するための検出回路6とを備えている。高温恒温
槽2は、例えは、その内部を70℃の高温に一定に保つ
ようになっており、常温恒温槽4は、例えは、その内部
を20℃の常温に一定に保つようなっている。
FIG. 1 schematically shows the configuration of a semiconductor laser aging or screening apparatus as an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, this aging or screening apparatus mainly includes a high-temperature constant temperature bath 2 in which a semiconductor laser 1 to be aged or screened is placed, and a semiconductor photodetector such as a germanium detector. A room-temperature constant temperature bath 4 for arranging the device 3, and an optical communication between the high temperature constant temperature bath 2 and the room temperature constant temperature bath 4 to guide the optical output from the semiconductor laser 1 to the semiconductor photodetector 3. , for example, a light transmission means 5 such as an optical fiber, and a semiconductor laser 1 whose drive current is kept constant and a semiconductor photodetector 3 detects a temporal change in the optical output.
A detection circuit 6 is provided for keeping the optical output constant and detecting temporal changes in the drive current. The high-temperature constant temperature bath 2 is designed to maintain its interior at a constant high temperature of 70° C., and the room temperature constant temperature bath 4 is configured to maintain its interior at a constant normal temperature of 20° C., for example. .

第2図は、検出回路6の詳細を示しており、第2図に示
されるように、検出回路6は、半導体光検出器3の光−
電流変換特性の直線性を与えるためのバイアス電圧手段
61と、正入力端子及び負入力端子及び出力端子を有し
た第1の差動増幅器62と、バイアス電流キャンセル用
電圧手段としての第1のポテンショメータ63と、正入
力端子及び負入力端子及び出力端子を有した第2の差動
増幅器64と、定電流駆動モード(A CC)と定光出
力駆動モード(APC)との間の切り換えを行なうため
の切換え手段65と、定電流駆動モードにおける定電流
値及び定光出力駆動モードにおける定光出力を設定する
ための駆動レベル設定手段としての第2のポテンショメ
ータ66と、正入力端子及び負入力端子及び出力端子を
有したコンパレータ67と、入力インピーダンスの高い
ユニジャンクショントランジスタ等の制御ゲートを有し
た電流バッファ68と、駆動電流検出抵抗69とを備え
ている。
FIG. 2 shows details of the detection circuit 6. As shown in FIG.
A bias voltage means 61 for providing linearity of current conversion characteristics, a first differential amplifier 62 having a positive input terminal, a negative input terminal, and an output terminal, and a first potentiometer as a bias current canceling voltage means. 63, a second differential amplifier 64 having a positive input terminal, a negative input terminal, and an output terminal, and a second differential amplifier 64 for switching between constant current drive mode (ACC) and constant light output drive mode (APC). A switching means 65, a second potentiometer 66 as a drive level setting means for setting a constant current value in the constant current drive mode and a constant light output in the constant light output drive mode, and a positive input terminal, a negative input terminal, and an output terminal. A current buffer 68 having a control gate such as a unijunction transistor with high input impedance, and a drive current detection resistor 69 are provided.

半導体光検出器3は、バイアス電圧手段61と第1の差
動増幅器62の負入力端子との間に接続されている。差
動増幅器62の正入力端子はアースに接続されており、
差動増幅器62の出力端子は、第2の差動増幅器64の
負入力端子に抵抗R1を介して接続されると共に、抵抗
R2を介して第1の差動増幅器62の負入力端子に接続
され、その接続点J1の電圧を常に零電位に保つように
されている。すなわち、差動増幅器62は、入力インピ
ーダンスの低い電流増幅器として使用されている。第1
のポテンショメータ63は、第2の差動増幅器64の正
入力端子に接続されている。第20差動増幅器64の出
力端子は、半導体レーザ1の光出力の読取り指示を与え
る光出力読取り指示端子T1に接続されると共に抵抗R
3を介してその第2の差動増幅器64の負入力端子に接
続されバイアス電圧出力によるバイアス電流を打ち消す
ようにしている。第2のポテンショメータ66は、コン
パレータ67の正入力端子に接続されている。ユニジャ
ンクショントランジスタ68及び駆動電流検出抵抗69
は、半導体レーザ1の駆動電流回路Eに直列に接続され
る。コンパレータ67の出力端子は、ユニジャンクショ
ントランジスタ68の制御ゲートに接続されており、ユ
ニジャンクショントランジスタ68と駆動電流検出抵抗
69との接続点J2は、半導体レーザ1の駆動電流の読
取り指示を与える駆動電流読取り指示端子T2に接続さ
れている。切換え手段65は、定電流駆動モード(AC
C)においては、ユニジャンクショントランジスタ68
と駆動電流検出抵抗69との接続点J2をコンパレータ
67の負入力端子に接続し、定光出力駆動モード(AP
C)においては、第2の差動増幅器64の出力端子をコ
ンパレータ67の負入力端子に接続しうるようになって
いる。
The semiconductor photodetector 3 is connected between the bias voltage means 61 and the negative input terminal of the first differential amplifier 62. The positive input terminal of the differential amplifier 62 is connected to ground,
The output terminal of the differential amplifier 62 is connected to the negative input terminal of the second differential amplifier 64 via a resistor R1, and is also connected to the negative input terminal of the first differential amplifier 62 via a resistor R2. , the voltage at the connection point J1 is always kept at zero potential. That is, the differential amplifier 62 is used as a current amplifier with low input impedance. 1st
The potentiometer 63 is connected to the positive input terminal of the second differential amplifier 64. The output terminal of the 20th differential amplifier 64 is connected to an optical output read instruction terminal T1 that gives an instruction to read the optical output of the semiconductor laser 1, and is connected to a resistor R.
3 to the negative input terminal of the second differential amplifier 64 so as to cancel the bias current caused by the bias voltage output. The second potentiometer 66 is connected to the positive input terminal of the comparator 67. Unijunction transistor 68 and drive current detection resistor 69
is connected in series to the drive current circuit E of the semiconductor laser 1. The output terminal of the comparator 67 is connected to the control gate of the unijunction transistor 68, and the connection point J2 between the unijunction transistor 68 and the drive current detection resistor 69 is connected to the drive current that gives an instruction to read the drive current of the semiconductor laser 1. It is connected to the read instruction terminal T2. The switching means 65 selects a constant current drive mode (AC
In C), the unijunction transistor 68
The connection point J2 between the drive current detection resistor 69 and the drive current detection resistor 69 is connected to the negative input terminal of the comparator 67, and the constant light output drive mode (AP
In C), the output terminal of the second differential amplifier 64 can be connected to the negative input terminal of the comparator 67.

次に、このような構成のエージング又はスクリーニング
装置の動作について簡単に説明する。
Next, the operation of the aging or screening apparatus having such a configuration will be briefly described.

先ず、定電流駆動モードにてエージング又はスクリーニ
ングを行なう場合には、切換え手段65をACC側に投
入して、また、第2のポテンショメータ66を調整して
所望の走部動電流値に対応する電圧を基準値としてコン
パレータ67の正入力端子に加えるようにする。そして
、駆動電流回路Eを付勢して半導体レーザlへ駆動電流
■。を流すようにする。この駆動電流11は、駆動電流
検出抵抗69端の電圧降下として端子T2にて読み取ら
れると共に、コンパレータ67の負入力端子に加えられ
る。コンパレータ67は、コノ実際の駆動電流値I、に
対応する電圧と、ポテンショメータ66によって与えら
れている所望の走部動電流値に対応する電圧基準値とを
比較してそれらの間に差があるときには、その差に応じ
てユニジャンクシ目ントランジスタ68の通電度を制御
して、実際の駆動電流1.が常に所望の走部動電流値に
等しくなるような制御を行なう、一方、半導体光検出器
3は、半導体レーザlからの光出力を受けてその光−電
流変換特性に応じた電流を流す。
First, when aging or screening is performed in the constant current drive mode, the switching means 65 is turned on to the ACC side, and the second potentiometer 66 is adjusted to set the voltage corresponding to the desired running current value. is applied to the positive input terminal of the comparator 67 as a reference value. Then, the drive current circuit E is energized and the drive current ■ is applied to the semiconductor laser I. to flow. This drive current 11 is read at the terminal T2 as a voltage drop across the drive current detection resistor 69 and is applied to the negative input terminal of the comparator 67. The comparator 67 compares the voltage corresponding to the actual driving current value I with the voltage reference value corresponding to the desired travel driving current value given by the potentiometer 66, and detects a difference between them. Sometimes, the degree of energization of the unijunction transistor 68 is controlled according to the difference, so that the actual drive current 1. On the other hand, the semiconductor photodetector 3 receives the light output from the semiconductor laser 1 and flows a current according to its light-to-current conversion characteristics.

この電流は、第1の差動増幅器62にて変換され、第2
の差動増幅器64を介して光出力読取り指示端子T1に
て半導体レーザ1の光出力値として読み取られる。この
ようにして、定電流駆動モードにおいては、半導体レー
ザ1の駆動電流1.を一定とした状態での半導体レーザ
1の光出力の時間豹変化を検出することができる。
This current is converted by the first differential amplifier 62, and the second
It is read as the optical output value of the semiconductor laser 1 at the optical output reading instruction terminal T1 via the differential amplifier 64. In this way, in the constant current drive mode, the drive current of the semiconductor laser 1 is 1. It is possible to detect a temporal change in the optical output of the semiconductor laser 1 while keeping it constant.

次に、定光出力駆動モードにてエージング又はスクリー
ニングを行なう場合には、切換え手段65をAPC側に
投入して、また、第2のポテンショメータ66を調整し
て所望の定光出力値に対応する電圧を基準値としてコン
パレータ67の正入力端子に加えるようにする。そして
、駆動電流回路Eを付勢して半導体レーザ1へ駆動電流
l。
Next, when performing aging or screening in the constant light output drive mode, the switching means 65 is turned on to the APC side, and the second potentiometer 66 is adjusted to set the voltage corresponding to the desired constant light output value. It is added to the positive input terminal of the comparator 67 as a reference value. Then, the drive current circuit E is energized to supply a drive current l to the semiconductor laser 1.

を流すようにする。この駆動電流1゜は、駆動電流検出
抵抗69端の電圧降下として端子T2にて読み取られる
。一方、半導体光検出器3は、半導体レーザ1からの光
出力を受けてその光−電流変換特性に応じた電流を流す
、この電流は、第10差動増幅器62にて電圧に変換さ
れ、第2の差動増幅器64を介して光出力読取り指示端
子T1にて半導体レーザ1の光出力値として読み取られ
ると共に、コンパレータ67の負入力端子に加えられる
。コンパレータ67は、この実際の光出力に対応する電
圧と、ポテンショメータ66によって与えられている所
望の定光出力値に対応する電圧基準値とを比較してそれ
らの間に差があるときには、その差に応じてユニジャン
クショントランジスタ68の通電環を制御して、実際の
光出力が常に所望の定光出力値に等しくなるような駆動
電流1゜を流すような制御を行なう。このようにして、
定光出力駆動モードにおいては、半導体レーザ1の光出
力を一定とした状態での半導体レーザ1の駆動電流1.
の時間的変化を検出することができる。
to flow. This drive current of 1° is read as a voltage drop across the drive current detection resistor 69 at the terminal T2. On the other hand, the semiconductor photodetector 3 receives the optical output from the semiconductor laser 1 and flows a current according to its light-to-current conversion characteristics.This current is converted into a voltage by the tenth differential amplifier 62, and The signal is read as the optical output value of the semiconductor laser 1 at the optical output reading instruction terminal T1 via the two differential amplifiers 64, and is applied to the negative input terminal of the comparator 67. Comparator 67 compares the voltage corresponding to this actual light output with a voltage reference value corresponding to the desired constant light output value given by potentiometer 66, and if there is a difference between them, Accordingly, the energization ring of the unijunction transistor 68 is controlled so that a drive current of 1° is applied so that the actual light output is always equal to the desired constant light output value. In this way,
In the constant light output drive mode, the drive current of the semiconductor laser 1 is 1.
It is possible to detect temporal changes in

前述した実施例では、バイアス電流キャンセル用電圧手
段としての第1のポテンショメータ63と第2の差動増
幅器64とを設けたのであるが、バイアス電流が特に問
題にならない場合には、これらポテンショメータ63及
び差動増幅器64を設ける必要はない、この場合には、
第1の差動増幅器62の出力端子を直接的に切換え手段
65のAPC端子及び光出力読取り指示端子T1に接続
すればよい。
In the embodiment described above, the first potentiometer 63 and the second differential amplifier 64 were provided as bias current canceling voltage means, but if the bias current is not a particular problem, these potentiometers 63 and There is no need to provide a differential amplifier 64; in this case,
The output terminal of the first differential amplifier 62 may be directly connected to the APC terminal of the switching means 65 and the optical output reading instruction terminal T1.

また、多数の半導体レーザを同時にエージング又はスク
リーニングする場合には、第2図に点線で示すように、
参照番号60で示すブロック内の回路構成と同様な回路
60’、60#、60“′−−を被試験半導体レーザー
′、1“、1″の数に応じテ設けて、1つのバイアス電
圧手段61と各回路60’、60’、60 #−−−−
−−・−・との間の各半導体レーザー′、 ′、1′#
からの光出力をそれぞれ受ける半導体光検出器3′、3
″、3′″−−−−−・−を接続すればよい。
In addition, when aging or screening a large number of semiconductor lasers at the same time, as shown by the dotted line in Figure 2,
Circuits 60', 60#, 60"'-- similar to the circuit configuration in the block indicated by reference numeral 60 are provided in accordance with the number of semiconductor lasers to be tested', 1", 1" to form one bias voltage means. 61 and each circuit 60', 60', 60 #----
Each semiconductor laser ′, ′, 1′# between −−・−・
semiconductor photodetectors 3', 3 each receiving optical output from
'', 3'''-------.

発明の効果 前述したように、本発明においては、半導体光検出器に
、例えは、約3v程度の逆バイアスをかけることにより
その半導体光検出器の光−電流変換特性の直線性が改善
され矛ので、その柿果得られる半導体レーザの順方向駆
動電流対光出力特性も第3図に例示するように第4図の
ものに比較して直線性のものとなり、正確なものとされ
る。従って、半導体レーザの寿命又は初期不良を判定す
、る目安となるしきい値電流を直線近似にてより正確に
容易に求めることができる。
Effects of the Invention As described above, in the present invention, by applying a reverse bias of, for example, about 3 V to a semiconductor photodetector, the linearity of the light-to-current conversion characteristic of the semiconductor photodetector is improved. Therefore, the forward drive current vs. optical output characteristic of the resulting semiconductor laser is also more linear and accurate, as illustrated in FIG. 3, compared to that in FIG. 4. Therefore, the threshold current, which is a guide for determining the life span or initial failure of the semiconductor laser, can be more accurately and easily determined by linear approximation.

また、前述した本発明の装置の回路構成によれは、接続
点J1は、光検出器3による電流の大きさにか\わらず
常に零電位に保たれるのであるから、光検出器3にはバ
イアス電圧手段61によるバイアス電圧が常にそのま−
か\るので、正確な検出を行なうことができると共に、
第2図に示すように、1つのバイアス電圧手段61にて
多チャンネルの半導体レーザ1′、1#、I In −
−−−−−−を同時にエージング又はスクリーニングで
きる。また、前述した実施例の如く、バイアス電流キャ
ンセル用電圧手段63及び差動増幅器64を用いれは、
バイアス電流がキャンセルされるので、より正確な検出
を行なうことができる。
Furthermore, according to the circuit configuration of the device of the present invention described above, the connection point J1 is always kept at zero potential regardless of the magnitude of the current generated by the photodetector 3. The bias voltage by the bias voltage means 61 is always the same.
Therefore, accurate detection can be performed, and
As shown in FIG. 2, one bias voltage means 61 is used to control multi-channel semiconductor lasers 1', 1#, I In -
---- can be aged or screened simultaneously. Furthermore, if the bias current canceling voltage means 63 and the differential amplifier 64 are used as in the embodiment described above,
Since the bias current is canceled, more accurate detection can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による一実施例としての半導体レーザの
エージング又はスクリーニング装置の構成を示す概略図
、第2図は第1図の装置の検出回路の詳細図、第3図は
第1図の装置によって得られる半導体レーザの順方向駆
動電流対光出力特性の一例を示す図、第4図は従来の検
出装置によって得られる半導体レーザの順方向駆動電流
対先出力特性の一例を示す図である。 1・・・半導体レーザ、2・・・高温恒温槽、3・・・
半導体光検出器、4・・・常温恒温槽、5・・・光伝達
手段、6・・・検出回路、61・・・バイアス電圧手段
、62・・・第1の差動増幅器、63・・・第1のポテ
ンショメータ、64・・・第2の差動増幅器、65・・
・切換え手段、66・・・第2のポテンショメータ、6
7・・・コンパレータ、68・・・ユニジャンクション
トランジスタ、69・・・駆動電流検出抵抗、R2゜R
3・・・抵抗、T1・・・光出力読取り指示端子、T2
・・・駆動電流読取り指示端子。 −T   −一一−−−−−−−″ (イ) 第3図
FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a semiconductor laser aging or screening device as an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a detailed diagram of the detection circuit of the device in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a diagram showing an example of the forward drive current versus optical output characteristic of a semiconductor laser obtained by a conventional detection device; FIG. 4 is a diagram showing an example of the forward drive current versus optical output characteristic of a semiconductor laser obtained by a conventional detection device . 1... Semiconductor laser, 2... High temperature constant temperature chamber, 3...
Semiconductor photodetector, 4... Room temperature constant temperature bath, 5... Optical transmission means, 6... Detection circuit, 61... Bias voltage means, 62... First differential amplifier, 63... - First potentiometer, 64... Second differential amplifier, 65...
- Switching means, 66...second potentiometer, 6
7... Comparator, 68... Unijunction transistor, 69... Drive current detection resistor, R2゜R
3...Resistor, T1...Optical output reading instruction terminal, T2
...Drive current reading instruction terminal. -T -11-----------'' (a) Figure 3

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)エージング又はスクリーニングすべき半導体レー
ザを高温の恒温槽に配置し、半導体光検出器を常温の恒
温槽内に配置し、前記高温恒温槽と前記常温恒温槽との
間を光学的に連通させて前記半導体レーザからの光出力
を前記半導体光検出器へ導く光伝達手段を配設し、前記
半導体レーザの駆動電流を一定としてその光出力の時間
的変化を前記半導体光検出器にて検出し又は前記半導体
レーザの光出力を一定としてそのための駆動電流の時間
的変化を検出する半導体レーザのエージング又はスクリ
ーニング方法において、前記半導体光検出器の光−電流
変換特性の直線性を与えるように前記半導体光検出器に
バイアス電圧を加えることを特徴とする半導体レーザの
エージング又はスクリーニング方法。
(1) A semiconductor laser to be aged or screened is placed in a high temperature constant temperature bath, a semiconductor photodetector is placed in a room temperature constant temperature bath, and optical communication is established between the high temperature constant temperature bath and the room temperature constant temperature bath. A light transmission means is provided to guide the optical output from the semiconductor laser to the semiconductor photodetector, and the semiconductor photodetector detects a temporal change in the optical output while keeping the driving current of the semiconductor laser constant. or in a method for aging or screening a semiconductor laser, in which the optical output of the semiconductor laser is kept constant and a temporal change in the driving current is detected; A method for aging or screening a semiconductor laser, comprising applying a bias voltage to a semiconductor photodetector.
(2)エージング又はスクリーニングすべき半導体レー
ザを配置するための高温の恒温槽と、半導体光検出器を
配置するための常温の恒温槽と、前記高温恒温槽と前記
常温恒温槽との間を光学的に連通させて前記半導体レー
ザからの光出力を前記半導体光検出器へ導くための光伝
達手段と、前記半導体レーザの駆動電流を一定としてそ
の光出力の時間的変化を前記半導体光検出器にて検出し
又は前記半導体レーザの光出力を一定としてそのための
駆動電流の時間的変化を検出するための検出回路とを備
えた半導体レーザのエージング又はスクリーニング装置
において、前記検出回路は、前記半導体光検出器の光−
電流変換特性の直線性を与えるためのバイアス電圧手段
と、第1及び第2の入力端子及び1つの出力端子を有し
た第1の差動増幅器と、定電流駆動モードと定光出力駆
動モードとの間の切り換えを行なうための切変え手段と
、定電流駆動モードにおける定電流値及び定光出力駆動
モードにおける定光出力を設定するための駆動レベル設
定手段と、第1及び第2の入力端子及び1つの出力端子
を有したコンパレータと、制御ゲートを有した電流バッ
ファと、駆動電流検出抵抗とを備えており、前記半導体
光検出器は、前記バイアス電圧手段と前記第1の差動増
幅器の前記第1の入力端子との間に接続されており、前
記第1の差動増幅器の前記第2の入力端子は、アースに
接続されており、前記第1の差動増幅器の前記出力端子
は、前記半導体レーザの光出力の読取り指示を与える光
出力読取り指示端子に関連付けられると共に、第1の抵
抗を介して前記第1の差動増幅器の前記第1の入力端子
に接続され、そこの電圧を常に零電位に保つようにされ
ており、前記駆動レベル設定手段は、前記コンパレータ
の前記第2の入力端子に接続されており、前記電流バッ
ファ及び前記駆動電流検出抵抗は、前記半導体レーザり
駆動電流回路に直列に接続されており、前記コンパレー
タの前記出力端子は、前記電流バッファの前記制御ゲー
トに接続されており、前記電流バッファと前記駆動電流
検出抵抗との接続点は、前記半導体レーザの駆動電流の
読取り指示を与える駆動電流読取り指示端子に接続され
ており、前記切換え手段は、定電流駆動モードにおいて
は前記電流バッファと前記駆動電流検出抵抗との前記接
続点を前記コンパレータの前記第1の入力端子に接続し
、定光出力駆動モードにおいては前記第1の差動増幅器
の前記出力端子を前記コンパレータの前記第1の入力端
子に関連付けることを特徴とする半導体レーザのエージ
ング又はスクリーニング装置。
(2) A high-temperature constant temperature chamber for arranging a semiconductor laser to be aged or screened, a room temperature constant temperature chamber for arranging a semiconductor photodetector, and an optical connection between the high temperature constant temperature chamber and the room temperature constant temperature chamber. a light transmitting means for guiding the light output from the semiconductor laser to the semiconductor photodetector by communicating with the semiconductor laser; and a light transmission means for guiding the light output from the semiconductor laser to the semiconductor photodetector; In the semiconductor laser aging or screening apparatus, the semiconductor laser aging or screening apparatus includes a detection circuit for detecting a change in driving current over time while keeping the optical output of the semiconductor laser constant, The light of the vessel
A bias voltage means for providing linearity of current conversion characteristics, a first differential amplifier having first and second input terminals and one output terminal, and a constant current drive mode and a constant light output drive mode. a drive level setting means for setting a constant current value in the constant current drive mode and a constant light output in the constant light output drive mode; The semiconductor photodetector includes a comparator having an output terminal, a current buffer having a control gate, and a drive current detection resistor. The second input terminal of the first differential amplifier is connected to ground, and the output terminal of the first differential amplifier is connected between the input terminal of the first differential amplifier and the second input terminal of the first differential amplifier. is associated with an optical output read instruction terminal that provides an instruction to read the optical output of the laser, and is connected to the first input terminal of the first differential amplifier via a first resistor, so that the voltage thereon is always zero. The drive level setting means is connected to the second input terminal of the comparator, and the current buffer and the drive current detection resistor are connected to the semiconductor laser drive current circuit. The output terminal of the comparator is connected to the control gate of the current buffer, and the connection point between the current buffer and the drive current detection resistor is connected to the drive current of the semiconductor laser. The switching means connects the connection point between the current buffer and the drive current detection resistor to the first input terminal of the comparator in the constant current drive mode. A semiconductor laser aging or screening device, characterized in that the output terminal of the first differential amplifier is connected to the first input terminal of the comparator in a constant light output drive mode.
(3)前記検出回路は、バイアス電流キャンセル用電圧
手段と、第1及び第2の入力端子及び1つの出力端子を
有した第2の差動増幅器とを含んでおり、前記第1の差
動増幅器の前記出力端子は、前記第2の差動増幅器の前
記第1の入力端子に接続されることにより前記光出力読
取り指示端子に関連付けられており、前記バイアス電流
キャンセル用電圧手段は、前記第2の差動増幅器の前記
第2の入力端子に接続されており、前記第2の差動増幅
器の前記出力端子は、前記光出力読取り指示端子に接続
されると共に第2の抵抗を介して前記第2の差動増幅器
の前記第1の入力端子に接続され前記バイアス電圧手段
によるバイアス電流を打ち消すようにされており、前記
切換え手段は、定光出力駆動モードにおいては前記第2
の差動増幅器の前記出力端子を前記コンパレータの前記
第1の入力端子に接続することにより前記第1の差動増
幅器の前記出力端子を前記コンパレータの前記第1の入
力端子に関連付ける特許請求の範囲第(2)項記載の半
導体レーザのエージング又はスクリーニング装置。
(3) The detection circuit includes bias current canceling voltage means and a second differential amplifier having first and second input terminals and one output terminal, and The output terminal of the amplifier is connected to the first input terminal of the second differential amplifier to be associated with the optical output read instruction terminal, and the bias current canceling voltage means is connected to the first input terminal of the second differential amplifier. The output terminal of the second differential amplifier is connected to the optical output read instruction terminal and the second input terminal of the second differential amplifier is connected to the optical output read instruction terminal through a second resistor. The switching means is connected to the first input terminal of the second differential amplifier to cancel the bias current generated by the bias voltage means, and the switching means is connected to the first input terminal of the second differential amplifier to cancel the bias current generated by the bias voltage means.
The output terminal of the first differential amplifier is associated with the first input terminal of the comparator by connecting the output terminal of the differential amplifier to the first input terminal of the comparator. A semiconductor laser aging or screening device according to item (2).
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