JP3267869B2 - Test method of light receiving device - Google Patents
Test method of light receiving deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光電変換素子と増
幅回路等の信号処理回路とが設けられた受光装置に係
り、特に増幅回路の飽和を防止するための電流バイアス
回路が設けられた増幅回路の試験方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light receiving device provided with a photoelectric conversion element and a signal processing circuit such as an amplifier circuit, and more particularly to an amplifier provided with a current bias circuit for preventing saturation of the amplifier circuit. The present invention relates to a circuit test method.
【0002】[0002]
【従来の技術】データ伝送用の赤外線信号受信機に使用
される受光装置1は、図7に示すように、光信号(赤外
線信号)を受光して光電流信号を発生する光電変換素子
であるフォトダイオード2と、光電流信号を増幅する増
幅回路AMPと、増幅回路AMPの出力をスレッシュレ
ベルVthと比較するコンパレータ3とを備えている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 7, a light receiving device 1 used in an infrared signal receiver for data transmission is a photoelectric conversion element which receives a light signal (infrared signal) and generates a photocurrent signal. It comprises a photodiode 2, an amplifier circuit AMP for amplifying a photocurrent signal, and a comparator 3 for comparing the output of the amplifier circuit AMP with a threshold level Vth.
【0003】増幅回路AMPは、フォトダイオード2に
接続されたヘッドアンプとしての第一増幅器4と、第一
増幅器4にコンデンサ5を介して接続された交流アンプ
としての第二増幅器6とからなり、第二増幅器6によっ
て低周波外乱光による出力分が除去される。The amplifier circuit AMP includes a first amplifier 4 as a head amplifier connected to the photodiode 2, and a second amplifier 6 as an AC amplifier connected to the first amplifier 4 via a capacitor 5. The output component due to the low-frequency disturbance light is removed by the second amplifier 6.
【0004】そして、このような赤外線信号受信機で
は、図8(a)に示すように、赤外線信号送信機の発光
ダイオード(LED)等の発光素子から一定の規則に則
ってパルス駆動された光信号が送信されたとき、フォト
ダイオード2で光信号を受光して光電流信号に変換す
る。In such an infrared signal receiver, as shown in FIG. 8 (a), a pulsed light is emitted from a light emitting element such as a light emitting diode (LED) of the infrared signal transmitter according to a certain rule. When a signal is transmitted, the photodiode 2 receives the optical signal and converts it into a photocurrent signal.
【0005】そして、その光電流信号を第一増幅器4お
よび第二増幅器6で電圧に変換して増幅し、その増幅し
た出力信号をコンパレータ3に入力する。コンパレータ
3では、その信号を図9の如く、スレッシュレベルVt
hと比較してそれに対応する信号を作り、出力端子Vo
から出力する。こうして、赤外線信号送信機から送信さ
れる元の信号に応じたパルス信号を取り出す。 ところで、受光装置1では、フォトダイオード2に太陽
光や白熱灯等の外乱光が照射されると、その外乱光によ
って発生する直流の光電流のために第一増幅器4が飽和
し、元の信号に応じたパルス信号を確実に再生できない
不具合が発生する。[0005] The photocurrent signal is converted into a voltage by the first amplifier 4 and the second amplifier 6 and amplified, and the amplified output signal is input to the comparator 3. The comparator 3 converts the signal into a threshold level Vt as shown in FIG.
h, a corresponding signal is generated, and the output terminal Vo
Output from Thus, a pulse signal corresponding to the original signal transmitted from the infrared signal transmitter is extracted. In the light receiving device 1, when the photodiode 2 is irradiated with disturbance light such as sunlight or an incandescent lamp, the first amplifier 4 is saturated by the DC photocurrent generated by the disturbance light, and the original signal is The pulse signal cannot be reliably reproduced according to the above.
【0006】これは、フォトダイオード2に光信号とと
もに外乱光が入射されると、図8(b)に示すように、
光電流信号に大きな直流電流成分が含まれ、通常では第
一増幅器4が飽和してしまい、正常な信号(電圧)の増
幅が行えなくなるためである。[0006] When disturbance light enters the photodiode 2 together with the optical signal, as shown in FIG.
This is because a large DC current component is included in the photocurrent signal, and the first amplifier 4 is normally saturated, and normal signal (voltage) cannot be amplified.
【0007】そこで、上記受光装置1の増幅回路AMP
には、外乱光による直流電流成分を除去し、第一増幅器
4の動作レンジを拡大して飽和しないようにするため
に、電流バイアス回路として直流電流供給回路(オート
バイアスカレントコントロール回路)7が設けられてい
る。Therefore, the amplifier circuit AMP of the light receiving device 1
A DC current supply circuit (auto-bias current control circuit) 7 is provided as a current bias circuit in order to remove a DC current component caused by disturbance light, expand an operation range of the first amplifier 4 and prevent saturation. Have been.
【0008】従来、上記のような受光装置1のウェハテ
スト(ウェハ状態での試験)において、直流電流供給回
路7の良否試験では、受光装置1の入力端子INに電圧
計8と定電流源9とを接続し、その入力端子INから電
流を引き抜き(入力側から負の電流を流し込み)、その
ときの受光装置1の入力端子INでの電圧を電圧計8に
より測定している。そして、この電圧の測定値の大きさ
が正常であるか否かで直流電流供給回路7の良否を判定
している。Conventionally, in the above-described wafer test of the light receiving device 1 (test in a wafer state), in a pass / fail test of the DC current supply circuit 7, a voltmeter 8 and a constant current source 9 are connected to the input terminal IN of the light receiving device 1. Are connected, a current is drawn from the input terminal IN (a negative current flows from the input side), and the voltage at the input terminal IN of the light receiving device 1 at that time is measured by the voltmeter 8. The quality of the DC current supply circuit 7 is determined based on whether or not the magnitude of the measured value of the voltage is normal.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように直流電流供給回路7の良否判定を行う試験方法で
は、受光装置1の入力端子INでの電圧が正常であった
場合でも、直流電流供給回路7の能力が不十分であれば
第一増幅器4が飽和し、受光装置1が正常に動作しない
場合が発生し、直流電流供給回路7の良否判定を正確に
行うことができない。However, in the test method for judging the quality of the DC current supply circuit 7 as described above, even when the voltage at the input terminal IN of the light receiving device 1 is normal, the DC current supply If the capacity of the circuit 7 is insufficient, the first amplifier 4 is saturated, and the light receiving device 1 may not operate normally. This makes it impossible to accurately determine whether the DC current supply circuit 7 is good or not.
【0010】また、上記のような受光装置1において、
増幅回路AMPのアンプゲイン(増幅利得)を求める場
合、受光装置1の入力端子INから所定の信号を入力
し、増幅回路AMPの出力端子Amp−Outから出力
される信号を直接測定して求めてもよいが、受光装置1
がウェハ状態である場合では、周囲のノイズ環境等の影
響により測定が困難であった。In the light receiving device 1 as described above,
When obtaining the amplifier gain (amplification gain) of the amplifier circuit AMP, a predetermined signal is input from the input terminal IN of the light receiving device 1 and the signal output from the output terminal Amp-Out of the amplifier circuit AMP is directly measured and obtained. The light receiving device 1
Is in a wafer state, the measurement is difficult due to the influence of the surrounding noise environment and the like.
【0011】本発明は、上記に鑑み、電流バイアス回路
の能力の正確な測定が行え、かつ周囲のノイズ環境等の
影響を受けることなく増幅回路のアンプゲインを求める
ことができる受光装置の試験方法を提供することを目的
とする。In view of the above, the present invention provides a method for testing a light receiving device capable of accurately measuring the capability of a current bias circuit and obtaining the amplifier gain of an amplifier circuit without being affected by a surrounding noise environment or the like. The purpose is to provide.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題解決手段は、光
を電流に変換する光電変換素子と、光電変換素子で変換
された電流を増幅する増幅回路と、増幅回路の飽和を防
ぐ電流バイアス回路とを備えた受光装置において、増幅
回路を動作させてその出力電圧を複数回測定し、測定値
のばらつきの分散から電流バイアス回路の良否の判定を
行うものである。これにより、増幅回路の出力が正常で
あるにもかかわらず、電流バイアス回路の能力が中途半
端であるような場合もあるが、このような場合でも正確
に電流バイアス回路の良否判定が行える。Means for solving the above problems include a photoelectric conversion element for converting light into a current, an amplifier circuit for amplifying the current converted by the photoelectric conversion element, and a current bias circuit for preventing saturation of the amplifier circuit. In the light receiving device provided with the above, the output voltage of the amplifier circuit is measured a plurality of times by operating the amplifier circuit, and the quality of the current bias circuit is determined based on the dispersion of the variation of the measured value. As a result, there is a case where the current bias circuit is halfway in spite of the fact that the output of the amplifier circuit is normal. In such a case, the quality of the current bias circuit can be accurately determined.
【0013】このとき、測定値のばらつきと増幅回路の
アンプゲインには相関関係があり、増幅回路の出力電圧
を測定するだけで間接的にアンプゲインを求めることが
できる。At this time, there is a correlation between the variation in the measured value and the amplifier gain of the amplifier circuit, and the amplifier gain can be obtained indirectly only by measuring the output voltage of the amplifier circuit.
【0014】さらに、上記受光装置の試験方法におい
て、受光装置の入力端子に定電流源を接続して増幅回路
を動作させると、受光装置の入力端子に流す電流を一定
にすることができ、増幅回路に入力される入力電流の変
動による悪影響が少なくなる。Further, in the above-described method for testing a light receiving device, when a constant current source is connected to the input terminal of the light receiving device to operate the amplifier circuit, the current flowing through the input terminal of the light receiving device can be made constant. The adverse effect due to the fluctuation of the input current input to the circuit is reduced.
【0015】また、受光装置が光電変換素子と増幅回路
と電流バイアス回路とが同一チップ内に集積化されたも
のでも、光電変換素子に光を照射して増幅回路を動作さ
せると、上記と同様に電流バイアス回路の良否判定が正
確に行え、かつ、受光装置の周囲のノイズ環境に影響を
受けず容易に増幅回路のアンプゲインを間接的に測定で
きる。また、増幅回路を動作させるための定電流源を受
光装置に接続する必要がなくなり、さらに光電変換素子
の試験も同時に行なうことができる。Even if the light receiving device has a photoelectric conversion element, an amplifier circuit, and a current bias circuit integrated in the same chip, when the photoelectric conversion element is irradiated with light to operate the amplifier circuit, the same as described above is obtained. In addition, the quality of the current bias circuit can be accurately determined, and the amplifier gain of the amplifier circuit can be easily and indirectly measured without being affected by the noise environment around the light receiving device. Further, it is not necessary to connect a constant current source for operating the amplifier circuit to the light receiving device, and the test of the photoelectric conversion element can be performed at the same time.
【0016】このとき、光電変換素子に照射される光を
検出して光量を一定になるように制御すると、再現性の
良い試験が行え、増幅回路に入力される入力電流の変動
による悪影響が少なくなり、正確に試験を行うことが可
能となる。At this time, if the light irradiated to the photoelectric conversion element is detected and controlled so that the light amount becomes constant, a test with good reproducibility can be performed, and the adverse effect due to the fluctuation of the input current input to the amplifier circuit is reduced. Thus, the test can be performed accurately.
【0017】[0017]
(第一の実施形態)本実施形態の受光装置1は、フォト
ダイオード2、増幅回路AMP、コンパレータ3、直流
電流供給回路7とを備えており、図7に示した従来のも
のと同じものである。そして、増幅回路AMPのウェハ
テストを行うために、本実施形態では、従来の受光装置
1のウェハテストのように、電圧計8を受光装置1の入
力端子INに接続するのではなく、図1に示すように、
増幅回路AMPの出力端子Amp−Outに電圧計8を
接続し、定電流源9により入力端子INから直流電流を
流す(入力側から電流を引き抜くか、または入力側に電
流を流し込む)ことにより増幅回路AMPを動作させ、
そのときの増幅回路AMPの出力電圧(アンプ出力直流
電圧)を電圧計8で測定するものである。このとき、定
電流源9により電流を供給しているので、非常に安定し
た電流が流せる。なお、受光装置1への電圧計8の接続
および定電流源9の接続は、プローブカードを介して行
う。このプローブカードは、テスト時に外部の計測器等
と回路のテストパッドとをプローブを介して接触させる
ための電気的デバイスである。(First Embodiment) A light receiving device 1 of this embodiment includes a photodiode 2, an amplifier circuit AMP, a comparator 3, and a DC current supply circuit 7, and is the same as the conventional one shown in FIG. is there. In order to perform a wafer test of the amplifier circuit AMP, in the present embodiment, the voltmeter 8 is not connected to the input terminal IN of the light receiving device 1 as in the wafer test of the conventional light receiving device 1, but in FIG. As shown in
The voltmeter 8 is connected to the output terminal Amp-Out of the amplifier circuit AMP, and a DC current is supplied from the input terminal IN by the constant current source 9 (a current is extracted from the input side or a current is supplied to the input side). Activate the circuit AMP,
The output voltage (amplifier output DC voltage) of the amplifier circuit AMP at that time is measured by the voltmeter 8. At this time, since the current is supplied by the constant current source 9, a very stable current can flow. The connection of the voltmeter 8 and the connection of the constant current source 9 to the light receiving device 1 are performed via a probe card. The probe card is an electrical device for bringing an external measuring instrument or the like into contact with a test pad of a circuit via a probe during a test.
【0018】まず、入力端子INに電流を流し、そのと
きのアンプ出力直流電圧を電圧計8により測定する。そ
して、このときの電圧の測定値を正常時の電圧値と比較
することにより増幅回路AMPが正常か否かを判定す
る。First, a current is supplied to the input terminal IN, and a DC voltage output from the amplifier at that time is measured by the voltmeter 8. Then, the measured value of the voltage at this time is compared with the voltage value in the normal state to determine whether or not the amplifier circuit AMP is normal.
【0019】ここで、受光装置1への入力電流と増幅回
路AMPのアンプゲインとの相関関係は、図2に示すよ
うに、受光装置1が良品であると、入力電流を大きくし
ていった時のアンプゲインの減少は緩やかである。一
方、不良品であると、アンプゲインは入力電流に対して
反比例して減少する。Here, as shown in FIG. 2, the correlation between the input current to the light receiving device 1 and the amplifier gain of the amplifier circuit AMP increases as the light receiving device 1 is non-defective. The decrease in the amplifier gain at the time is gradual. On the other hand, if the product is defective, the amplifier gain decreases in inverse proportion to the input current.
【0020】この結果が正常でないと判定された場合、
テスト不合格として、その受光装置1が不良品であるこ
とを表示するために赤インク(Bad Mark)を付
ける。そして、その受光装置1のテストは終了して、別
の受光装置1のテストに移る。なお、アンプ出力直流電
圧の測定値が正常でない場合には、以下に述べる測定を
正しく行うことができない。If it is determined that the result is not normal,
As a test failure, red ink (Bad Mark) is applied to indicate that the light receiving device 1 is defective. Then, the test of the light receiving device 1 is completed, and the process proceeds to a test of another light receiving device 1. If the measured value of the amplifier output DC voltage is not normal, the following measurement cannot be performed correctly.
【0021】測定値の判定の結果が正常な場合は、続け
てアンプ出力直流電圧を複数回(例えば10回程度)測
定する。If the result of the determination of the measured value is normal, the amplifier output DC voltage is continuously measured a plurality of times (for example, about 10 times).
【0022】このとき、直流電流供給回路7が正常であ
る場合、図2のa点における入力電流値のアンプ出力直
流電圧波形をみると、図3(a)に示すように振幅B1
が大となり、複数回(例えば10回)アンプ出力直流電
圧を測定したとき測定値がばらつく。また、アンプ出力
直流電圧が正常であるにもかかわらず直流電流供給回路
7が不良である場合、図2のb点における入力電流値の
アンプ出力直流電圧波形をみると、図3(b)に示すよ
うに振幅B2が小となり、複数回(例えば10回)アン
プ出力直流電圧を測定したときの測定値のばらつきが少
ない。At this time, when the DC current supply circuit 7 is normal, looking at the amplifier output DC voltage waveform of the input current value at point a in FIG.
Becomes large, and the measured value varies when the amplifier output DC voltage is measured a plurality of times (for example, 10 times). When the DC current supply circuit 7 is defective despite the normality of the amplifier output DC voltage, the amplifier output DC voltage waveform of the input current value at point b in FIG. As shown, the amplitude B2 is small, and the variation in the measured value when the amplifier output DC voltage is measured a plurality of times (for example, 10 times) is small.
【0023】これは、第一増幅器4が飽和することなく
正常に動作していれば、すなわち直流電流供給回路7が
正常に機能していれば、第二増幅器6の出力側の電圧に
はノイズ(増幅回路AMP自身から発生するノイズ等)
が発生し、アンプ出力直流電圧の測定値がばらつき、大
きな分散が発生するからである。This is because if the first amplifier 4 is operating normally without being saturated, that is, if the DC current supply circuit 7 is functioning normally, the voltage on the output side of the second amplifier 6 will have noise. (Noise generated from the amplifier circuit AMP itself)
Occurs, the measured value of the amplifier output DC voltage varies, and a large variance occurs.
【0024】それに対して、第一増幅器4が飽和して正
常に動作していないとき、すなわち直流電流供給回路7
の動作が不十分であるときは、第二増幅器6の出力側に
発生するノイズが小さくなり、アンプ出力直流電圧の測
定値のばらつきが小さくなり、分散が小さくなるからで
ある。On the other hand, when the first amplifier 4 is saturated and is not operating normally, that is, when the DC current supply circuit 7
Is insufficient, the noise generated on the output side of the second amplifier 6 becomes smaller, the variation in the measured value of the amplifier output DC voltage becomes smaller, and the variance becomes smaller.
【0025】このようなことから、測定値の分散の値か
ら直流電流供給回路7の良否判定が行える。分散は、ア
ンプ出力直流電圧の測定値xと、測定回数nから次の式
より求めることができる。Thus, the quality of the DC current supply circuit 7 can be determined from the variance of the measured values. The variance can be obtained from the following equation from the measured value x of the amplifier output DC voltage and the number of measurements n.
【0026】[0026]
【数1】 (Equation 1)
【0027】したがって、上式より求めた分散値を直流
電流供給回路7が正常であるときの分散値あるいは直流
電流供給回路7が不良であるときの分散値と比較するこ
とにより、直流電流供給回路7の良否判定を行い、最終
的に受光装置1の良品、不良品を区別する。Therefore, by comparing the dispersion value obtained by the above equation with the dispersion value when the DC current supply circuit 7 is normal or the dispersion value when the DC current supply circuit 7 is defective, the DC current supply circuit 7, the quality of the light receiving device 1 is finally distinguished from the defective product.
【0028】また、アンプ出力直流電圧波形の振幅(測
定ばらつきの振幅)と増幅回路AMPのアンプゲインと
の相関関係を図4に示す。これより、アンプゲインは測
定ばらつきの振幅に比例することがわかる。したがっ
て、アンプ出力直流電圧を測定し、測定ばらつきの振幅
が分かれば、アンプゲインが求められる。すなわち、測
定ばらつきの振幅からアンプゲインを間接的に求めるこ
とができる。FIG. 4 shows a correlation between the amplitude of the DC voltage waveform of the amplifier output (the amplitude of the measurement variation) and the amplifier gain of the amplifier circuit AMP. This shows that the amplifier gain is proportional to the amplitude of the measurement variation. Therefore, the amplifier output DC voltage is measured, and if the amplitude of the measurement variation is known, the amplifier gain can be obtained. That is, the amplifier gain can be obtained indirectly from the amplitude of the measurement variation.
【0029】このように、受光装置1の入力端子INに
電流を流して増幅回路AMPを駆動し、その出力端子A
mp−Outから出力されるアンプ出力直流電圧を複数
回測定するだけで、その測定値のばらつきの分散から直
流電流供給回路7の良否を正確に判定できる。したがっ
て、直流電流供給回路7の電流供給能力を簡易な方法で
試験することができる。As described above, the current flows to the input terminal IN of the light receiving device 1 to drive the amplifier circuit AMP, and the output terminal A
Only by measuring the amplifier output DC voltage output from mp-Out a plurality of times, the quality of the DC current supply circuit 7 can be accurately determined from the dispersion of the variation of the measured value. Therefore, the current supply capability of the DC current supply circuit 7 can be tested by a simple method.
【0030】さらに、測定値のばらつきの振幅とアンプ
ゲインとは相関関係にあることから、特別な測定を行う
ことなしにノイズ環境に影響されずに正確かつ容易にア
ンプゲインを求めることができる。Furthermore, since there is a correlation between the amplitude of the variation of the measured value and the amplifier gain, the amplifier gain can be accurately and easily obtained without being affected by the noise environment without performing a special measurement.
【0031】また、受光装置1の入力端子INに定電流
源9により電流を供給して、アンプ出力直流電圧を測定
しているので、入力電流の変動による悪影響が少なくな
り、安定した受光装置1の試験が可能となる。Further, since a current is supplied from the constant current source 9 to the input terminal IN of the light receiving device 1 and the DC voltage output from the amplifier is measured, the adverse effect due to the fluctuation of the input current is reduced, and the stable light receiving device 1 is obtained. Test is possible.
【0032】さらに、一回目のアンプ出力直流電圧の測
定で回路全体の良否の判定することができ、不合格の場
合次の無用なテストをする必要がなくなり、非常に効率
よくテストが行える。Further, it is possible to judge the quality of the entire circuit by the first measurement of the amplifier output DC voltage, and if it fails, there is no need to perform the next unnecessary test, and the test can be performed very efficiently.
【0033】(第二の実施形態)本実施形態の受光装置
1は、フォトダイオード2および増幅回路AMP、直流
電流供給回路7、コンパレータ3等の信号処理回路が同
一チップ内に集積化されてなる。そして、このモノシリ
ック化された受光装置1のウェハテストは、図5に示す
ように、発光ダイオード(LED)20によりフォトダ
イオード2に直接光(P)を照射し、光電流信号を発生
させて、入力側から電流を引き抜くものである。LED
20には、定電流源9が接続され、その定電流源9から
一定の電流を供給することにより駆動する。なお、その
他の構成部材は第一の実施形態と同じであり、同じもの
には同符号を付す。(Second Embodiment) The light receiving device 1 of the present embodiment is configured by integrating a signal processing circuit such as a photodiode 2, an amplifier circuit AMP, a DC current supply circuit 7, and a comparator 3 in the same chip. . In the wafer test of the monolithic light-receiving device 1, as shown in FIG. 5, light (P) is directly irradiated on the photodiode 2 by the light-emitting diode (LED) 20, and a photocurrent signal is generated. It draws current from the input side. LED
The constant current source 9 is connected to 20, and is driven by supplying a constant current from the constant current source 9. The other components are the same as those of the first embodiment, and the same components are denoted by the same reference numerals.
【0034】このような構成により、LED20を駆動
し光を放射させ、フォトダイオード2がその光を受光し
て光電流に変換し、その光電流により増幅回路AMPを
動作させる。そして、このときの増幅回路AMPの出力
端子Amp−Outに出力されるアンプ出力直流電圧を
電圧計8により測定する。なお、このときアンプ出力直
流電圧が無かった場合は、フォトダイオード2の動作不
良であると判定できる。With such a configuration, the LED 20 is driven to emit light, the photodiode 2 receives the light, converts the light into a photocurrent, and operates the amplifier circuit AMP by the photocurrent. Then, the amplifier output DC voltage output to the output terminal Amp-Out of the amplifier circuit AMP at this time is measured by the voltmeter 8. At this time, if there is no amplifier output DC voltage, it can be determined that the photodiode 2 is malfunctioning.
【0035】以後、第一実施形態と同様に、測定値から
受光装置1の回路が正常であるか否かを判定し、正常で
なければ不良品として処理する。正常ならば続いてアン
プ出力直流電圧を複数回(例えば10回程度)測定し、
その測定値のばらつきの分散を求め、直流電流供給回路
7の良否判定を行う。また、測定値のばらつきの振幅か
ら間接的にアンプゲインを求める。Thereafter, as in the first embodiment, it is determined whether or not the circuit of the light receiving device 1 is normal from the measured values. If normal, measure the amplifier output DC voltage several times (for example, about 10 times)
The variance of the variation in the measured values is obtained, and the quality of the DC current supply circuit 7 is determined. Further, the amplifier gain is indirectly obtained from the amplitude of the variation of the measured value.
【0036】このとき、図6の如く、フォトダイオード
2に照射されるLED20からの光をプローブカード2
1上に設けたモニタ用のフォトダイオード22により検
出しておく。そして、フォトダイオード2に照射される
その光量が一定になるように、制御回路等によりLED
20に流す電流値を制御する。At this time, as shown in FIG. 6, light from the LED 20 radiated to the photodiode 2 is applied to the probe card 2.
1 is detected by the monitoring photodiode 22 provided on the first side. The control circuit or the like controls the LED so that the amount of light radiated to the photodiode 2 becomes constant.
20 is controlled.
【0037】このように、フォトダイオード2に光を照
射することにより、受光装置1に電流を流して増幅回路
AMPを駆動しているので、第一の実施形態と同様に直
流電流供給回路7の良否判定が正確に行え、かつ、受光
装置1の周囲のノイズ環境に影響を受けず容易に増幅回
路AMPのアンプゲインを求めることができる。As described above, by irradiating the photodiode 2 with light, a current flows through the light receiving device 1 to drive the amplifying circuit AMP. The pass / fail judgment can be made accurately, and the amplifier gain of the amplifier circuit AMP can be easily obtained without being affected by the noise environment around the light receiving device 1.
【0038】また、増幅回路AMPを動作させるための
電流源である定電流源9等を受光装置1に接続する必要
がなくなり、さらにフォトダイオード2の動作の有無の
試験も同時に行なうことができるので、受光装置1の試
験時間を短縮できる。Further, it is not necessary to connect the constant current source 9 or the like, which is a current source for operating the amplifier circuit AMP, to the light receiving device 1, and the test of whether or not the photodiode 2 operates can be performed at the same time. The test time of the light receiving device 1 can be reduced.
【0039】さらに、フォトダイオード2に照射される
光を検出してその光量を一定になるように制御している
ので、正確に再現性の良い測定が行える。そのため、フ
ォトダイオ−ド2に照射される光量が変化したことによ
るアンプ出力直流電圧の変動が少なくなり、正確な試験
を行うことが可能となる。Further, since the light applied to the photodiode 2 is detected and the light amount is controlled so as to be constant, accurate and reproducible measurement can be performed. Therefore, the variation of the amplifier output DC voltage due to the change in the amount of light applied to the photodiode 2 is reduced, and an accurate test can be performed.
【0040】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、本発明の範囲内で上記実施形態に多く
の修正および変更を加え得ることは勿論である。例え
ば、第一の実施形態においても、フォトダイオードに光
を照射することにより増幅回路を動作させてもよい。ま
た、電圧計を第一増幅器と第二増幅器との間に接続して
アンプ出力直流電圧を測定してもよい。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that many modifications and changes can be made to the above-described embodiment within the scope of the present invention. For example, also in the first embodiment, the amplifier circuit may be operated by irradiating light to the photodiode. Further, a voltmeter may be connected between the first amplifier and the second amplifier to measure the amplifier output DC voltage.
【0041】[0041]
【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、本発明に
よると、受光装置の増幅回路を動作させてその出力電圧
を複数回測定し、その測定値のばらつきの分散を求める
ことにより、電流バイアス回路の良否を正確かつ簡易に
判定できる。さらに、測定値のばらつきがアンプゲイン
に対応しているので、アンプゲインを測定するための試
験を行う必要がなく容易にアンプゲインを求めることが
できる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the current bias is obtained by operating the amplifier circuit of the light receiving device, measuring the output voltage thereof a plurality of times, and obtaining the dispersion of the measured values. The quality of the circuit can be accurately and easily determined. Further, since the variation in the measured value corresponds to the amplifier gain, it is not necessary to perform a test for measuring the amplifier gain, and the amplifier gain can be easily obtained.
【0042】また、受光装置の入力端子に定電流源を接
続して増幅回路を動作させることにより出力電圧を測定
しているので、入力電流の変動による悪影響が少なくな
り、安定した受光装置の試験が可能となる。Further, since the output voltage is measured by connecting the constant current source to the input terminal of the light receiving device and operating the amplifier circuit, the adverse effect due to the fluctuation of the input current is reduced, and the stable test of the light receiving device is performed. Becomes possible.
【0043】そして、モノシリック化受光装置に対して
は、光電変換素子に光を照射することにより増幅回路を
動作させているので、定電流源を受光装置に接続する必
要がなくなる。しかも、光電変換素子の動作の有無の試
験も同時に行うことができるので、受光装置の試験時間
を短縮できる。For the monolithic light receiving device, the amplifier circuit is operated by irradiating the photoelectric conversion element with light, so that there is no need to connect a constant current source to the light receiving device. In addition, since the test for the operation of the photoelectric conversion element can be performed at the same time, the test time of the light receiving device can be reduced.
【0044】また、光電変換素子に照射される光を検出
して光量を一定になるように制御しているので、正確に
再現性の良い測定が行える。そのため、光電変換素子に
照射される光量が変化したことによる受光装置の出力電
圧の変動が少なくなり、正確な試験を行うことが可能と
なる。Further, since the light irradiated on the photoelectric conversion element is detected and controlled so that the light amount becomes constant, accurate and reproducible measurement can be performed. Therefore, a change in the output voltage of the light receiving device due to a change in the amount of light applied to the photoelectric conversion element is reduced, and an accurate test can be performed.
【図1】本発明の第一の実施形態の受光装置の等価回路
および試験回路を示す図FIG. 1 is a diagram showing an equivalent circuit and a test circuit of a light receiving device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】アンプゲインと入力直流電流との関係を示す図FIG. 2 is a diagram showing a relationship between an amplifier gain and an input DC current.
【図3】増幅回路のアンプ出力直流電圧波形を示す図
で、(a)は直流電流供給回路が正常である場合、
(b)は直流電流供給回路が不良の場合3A and 3B are diagrams illustrating an amplifier output DC voltage waveform of an amplifier circuit. FIG. 3A illustrates a case where a DC current supply circuit is normal.
(B) is when the DC current supply circuit is defective
【図4】測定ばらつきの振幅とアンプゲインとの関係を
示す図FIG. 4 is a diagram showing a relationship between amplitude of measurement variation and amplifier gain;
【図5】第二の実施形態の受光装置の等価回路および試
験回路を示す図FIG. 5 is a diagram showing an equivalent circuit and a test circuit of the light receiving device according to the second embodiment.
【図6】プローブカードを使用したときの概略図FIG. 6 is a schematic diagram when a probe card is used.
【図7】従来の受光装置の等価回路および試験回路を示
す図FIG. 7 is a diagram showing an equivalent circuit and a test circuit of a conventional light receiving device.
【図8】光電流信号の波形を示し、(a)は外乱光のな
いときの波形を示す図、(b)は外乱光が混在したとき
の波形を示す図8A and 8B show waveforms of a photocurrent signal; FIG. 8A shows a waveform when there is no disturbance light; FIG. 8B shows a waveform when disturbance light is mixed;
【図9】第二増幅器の出力とコンパレータの出力とを示
す図FIG. 9 is a diagram showing an output of a second amplifier and an output of a comparator.
1 受光装置 2 フォトダイオード 4 第一増幅器 6 第二増幅器 7 直流電流増幅回路 8 電圧計 9 定電流源 20 LED 21 プローブカード AMP 増幅回路 REFERENCE SIGNS LIST 1 light receiving device 2 photodiode 4 first amplifier 6 second amplifier 7 DC current amplifier circuit 8 voltmeter 9 constant current source 20 LED 21 probe card AMP amplifier circuit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/00 G01J 1/00 G01R 31/26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01R 31/00 G01J 1/00 G01R 31/26
Claims (5)
光電変換素子で変換された電流を増幅する増幅回路と、
該増幅回路の飽和を防ぐ電流バイアス回路とを備えた受
光装置において、前記増幅回路を動作させてその出力電
圧を複数回測定し、測定値のばらつきの分散から前記電
流バイアス回路の良否の判定を行うことを特徴とする受
光装置の試験方法。A photoelectric conversion element for converting light into a current; an amplifier circuit for amplifying the current converted by the photoelectric conversion element;
In a light receiving device including a current bias circuit for preventing saturation of the amplifier circuit, the output voltage of the amplifier circuit is measured a plurality of times by operating the amplifier circuit, and the quality of the current bias circuit is determined based on the dispersion of measured values. A method for testing a light receiving device, the method being performed.
光電変換素子で変換された電流を増幅する増幅回路と、
該増幅回路の飽和を防ぐ電流バイアス回路とを備えた受
光装置において、前記増幅回路を動作させてその出力電
圧を複数回測定し、測定値のばらつきから間接的に前記
増幅回路のアンプゲインの測定を行うことを特徴とする
受光装置の試験方法。2. A photoelectric conversion element for converting light into a current, an amplifier circuit for amplifying the current converted by the photoelectric conversion element,
In a light receiving device including a current bias circuit for preventing saturation of the amplifier circuit, the output voltage of the amplifier circuit is measured a plurality of times by operating the amplifier circuit, and the indirect measurement of the amplifier gain of the amplifier circuit is performed based on a variation in measured values. A method for testing a light receiving device.
続して前記増幅回路を動作させることを特徴とする請求
項1または2記載の受光装置の試験方法。3. The test method for a light receiving device according to claim 1, wherein a constant current source is connected to an input terminal of the light receiving device to operate the amplifier circuit.
記増幅回路と前記電流バイアス回路とが同一チップ内に
集積化されてなり、前記光電変換素子に光を照射して前
記増幅回路を動作させることを特徴とする請求項1また
は2記載の受光装置の試験方法。4. The light-receiving device according to claim 1, wherein the photoelectric conversion element, the amplifier circuit, and the current bias circuit are integrated in a same chip, and the light-receiving element irradiates light to operate the amplifier circuit. 3. The test method for a light receiving device according to claim 1, wherein the test is performed.
して、その光量が一定になるように制御することを特徴
とする請求項4記載の受光装置の試験方法。5. The test method for a light receiving device according to claim 4, wherein the light irradiated to the photoelectric conversion element is detected, and the light quantity is controlled to be constant.
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