JPS61235747A - 超音波顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 未発明は、超音波顕微鏡に関するものである。

〔発明の背景〕

超音波顕微鏡としては、例えば、特開昭５０−１１６０
５８号公報に記載のように種々の構成のものが提案さ１
ている。こ１ら従来の超音波顕微鏡を第２図により説明
する。

第２図で、超音波の集束及び送受は球面レンズ１＃こよ
り行わｎ、る。球面レンズ】の上には、圧電薄膜２が電
＆３１Ｃはさマｊ、で設けられている。パルス発振器４
からパルス５が圧電Ｎ１１Ｉ２に印加さｊ、これにより
超音波６が発生する。音波レンズ１と試料７との間ｔこ
け超音波６を試料７Ｐ：伝播させるための媒質、例えば
、水８が潰たさｊ、ている。

超音波６は音波レンズ】の中を平面波となって伝播し音
波レンズ１と水８との音速の差により屈折作用が生じ試
料７面上に集束した超音波が照射さｊる。逆に試料７か
ら反射された超音波は音波レンズ１＃こより集音整相さ
ｎ、平面波となって圧電薄膜２に達し、ここでＲＦ信号
９ｔこ変換さｒる。このＲＦ信号９は受信器】Ｏで受信
さｒる・受信器１０でダイオード検波してビデオ信号】
１に変換さｒ画像メモリ１５を介してＣＲＴディスプレ
イ１２の入力信号として用いろ１．る。走査軸切換えス
イッチ】６は、音波レンズ】に直角１こ走査して（第２
図ではＸ方向、Ｙ方向）！Ｉｌｌ像するＣモードの走査
方向Ｙ軸と、第２５ｉｎのＸ方向とＺ方向１ご走査して
撮像するＸ−ｚモードのＺ軸との走査軸を切換えるもの
である。制御器】７は、測定モード（Ｃモード、Ｘ−Ｚ
モード）に応じた走査軸切換えスイ゛ソチ】６の切換え
と倍率をこ応じて機械走査の送り量を制御するものであ
る。画像メモリ】５のＸ、Ｙアドレスのカウンター１８
ａ、１８ｂは、Ｘ−Ｙ走査（０％−Ｆ）、Ｘ−Ｚ走査（
Ｘ−Ｚモード）の測定時の試料７の走査位置によｎ決め
らｊるものであり、制御器】７の走査位置？こより制御
器】７で算出して指示さｊ、る。尚、】９は、測定モー
ド入力スイッチ、２０は１倍率入力スイッチである。

試料観察をこおいては、測定モード（Ｃモード。

Ｘ−Ｚモード）が目的１こ事じて切換えらする。上記の
ような超音波顕微鏡では、このような測定モードの切換
えは、適当な位置で機械走査を止めて行わｎる。このた
め５ｗＡ察位置が、機械走査を止めた位置をこよって決
まることｔこなり１次の測定モードの画像を見ながら目
的の位置ｔこ含わせて観察されている。また１元め測定
モードに切換えても同様ｔこ位置伊わせな行う必要があ
る。従って、測定モードを切換えて試料観察を行う場合
ｔこは、その観察時間が増大するという問題がある。

〔発明の目的〕

本発明の主な目的は、前の測定モードでの画像によって
測定モード切換えによる試料の観察位置を設定できるよ
うにすることで、測定モードを切換えて試料観察を行う
場合の試料の観察時間を短縮できる超音波顕微鏡を提供
することにある。

〔発明の概要〕

未発明は、試料からのしよう乱音波により試料゛を撮像
する超音波顕微鏡において、表示部によりカーソル位置
入力を行うカーソル位置操作部と。

前記表示部に表示さｊたカーソル位１を記憶する位置レ
ジスタと、餌の測定モードを記憶する前測定モードレジ
スタと、前記表示部に表示さｊた現在走査位置を記憶す
るアドレスレジスタと、該アドレスレジスタと前記前゛
測定モードレジスタと少なくとも測定モードに応じｔ走
査軸切換えスイッチの切換えに応じて機械走査の送り駿
を制御する制御器−こ測定モードを入力する１ｌｌ１足
モード入力スイッチとによりセットさ１．た条件の差に
よりステージの各軸の移動紘を算出して餌記制嘗器に指
令し前記ステージの駆動装置による各軸の移動鎗を演算
する演算部とを具備したことを特徴とするもので、訂の
測定モードの画像によって測定モード切換えによる試料
の観察位置を設定できるようｔこしたものである。

〔発明の実施例〕

試料観察における測定モード（Ｃモード、Ｘ−２モード
）の切換えを、機械走査を停止ｌ−た位置で行うのでは
なぐ、前の測定モードで測定した画像によって行えるよ
うにすｎ、ば効率的である。

このように、前の測定モードで測定した画像によって測
定モードの切換えを行う場合は、Ｃモード上のある点の
Ｘ−Ｚモードをとったり、Ｘ−Ｚモード結果のある点の
Ｃモードをとったりする必要がある。こｊ、を満足する
ためには、Ｃモード（Ｘ−Ｚモード）ｍ像後１ｃＸ−Ｚ
モード　（Ｃモー　Ｆ）で撮像する場合、モードを指示
し餌の撮像画面にカーソルを持って行って位置を指示し
該位置でのＸ−Ｚモード（Ｃモード）の撮像を開始すｎ
ばよい。

尚、訂のモードの撮像画面を利用して倍率を変える場合
は、倍率のセット変史後に前の位ｌ！にカーソルを持っ
て行って位置を指示し該位置を中心として撮像な開始す
るようにすれば良い。麩に、試料観察においては、前の
画像を残し該画像と新しいモードでの観察画像とを組合
わせて撮像画面に表示する方が分り易い場参が多い。こ
のため、撮像画面を分割して前の画像を残し該画像と新
しいモードでの画像とを組労わせて１つの撮像画面に表
示するようにｆｊｌば便利である。

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１図で、制御器】７には、測定モード入カスイ゛ソチ
１９．＠率入力スイッチ２０の他−こ開始ボタン２１が
接続されている。開始ボタン２１は。

新しくセットさｒた条件と前の条件文び表示部であるＣ
ＲＴディスプレイ１２画面上の位置指令によｎステージ
を移動して測定を開始するものである。演算部２２１こ
は、カーソル位ＩＩｉ操作部２３と位置レジスタ２４と
前測定モードレジスタ２５とアドレスレジスタ２７とが
接続さｊ、こノ池に、前倍率レジスタ２６と分割位置レ
ジスタ２８と分割スイッチ２９とが接続さ１ている。演
算部２２は、この場曽、阿測定モードレジスク２５と前
倍率レジスタ２６とアドレスレジスタ２７と測定モード
入力スイッチ】９と倍率入力スイッチ２０とによりセッ
トさまた条件の差ＶこよりステージのＸ。

Ｙ、Ｚ軸の移動量？計算して制御器１７に指令し駆動装
置１３によるステージの各軸の移動量な演算するもので
ある。カーソル位置操作部２３は、ＣＲＴディスプレイ
】２によりカーソル位置入力を行うためのもので、こｒ
により入力されたカーソル位置をＣＲＴディスプレイ１
２画面上に表示する。位置レジスタ２４は、ＣＲＴディ
スプレイ】２画面上のカーソル位置を記憶するものであ
る。

前測定モードレジスタ２５は、前の測定モードを記憶す
るものである。前倍率レジスタ２６は、前ノ倍率を記憶
するものである。アドレスレジスタ２７は、ＣＲＴディ
スプレイ１２＠面上の現在走査位置を記憶するものであ
る。分割位置レジスタ２８は、画面分割時のＣＲＴディ
スプレイ１２画面上の位置を記憶するものである。分割
スイッチ２９は、ＣＲＴディスプレイ１２の画面を分割
して前の画像を残しておく場合に用いるもので、その分
割位置の指定はカーソル位置操作部２３により行われる
。尚、第１図で、その他９Ｊ２図と同−装置等は同一符
号で示し説明を省略する。

１１！】図で、測定モードを変える場合は、測定モード
の変更により前の測定モードはＭ測定モードレジスタ２
５に：セットさｎ、、ＣＲＴディスプレイ】２画面上の
現在位置はアドレスレジスタ２７Ｃセツトさｎ、る。ま
た、カーソル位置をカーソル位置操作部２３ｔＣより目
的とする位置へ指示し開始ボタン２１を押すことで、演
算部２２により移動軸と移動量とが演算さｊ、制御器】
７を介してステージの駆動袋ｒｊＩＬ】３＃ｒ−より位
置参わせが行われる。

その後、切換え後の測定モードでの撮像が開始さｎる。

また、第１図で、同一測定モードで倍率を変え、その中
心位置を指示する場合は、倍率の変更によす前倍率は前
倍率レジスタ２６にセットさｎ、ＣＲＴディスプレイ】
２上画面の現在位置はアドレスレジスタ２７にセットさ
れる。その後、測定モード切換えの場合と同様に移動軸
と移動量とが演算部２２で演算さｒｔ、ｍ動装！】３に
より位置合わせが行わｎ、る。

ｊ！に、第１図で、画像を分割する場合は、カーソル位
置操作部２３によりカーソル位置を指示し、指示さｊた
カーソル位置は、分割位置レジスタ２８に記憶さｎる。

その分割指示は１分割スイッチ２９により行う。分割し
た場合、一方の画像は保持さｊ他方の範囲でのみ走査が
行わｒる。この場合の分割位置の判定は、分割位置レジ
スタ２８にセットさｎ、た値を用いて行わｒる。また、
分割した場合で、かつ１倍率の変更又は測定モードの切
換えを行った場合、画像の残る側の測定条件を各レジス
タに保持するようにすｒ、ば、残る側の画面では残った
側の条件で位置を指示することもできる。また、残った
側の位置を記憶していｊ、ば。

分割前の測定位置にもどすこともできる。

本実施例では、次のような効果を得ることができる。

（］）前の測定モードでの画像によって測定モード切換
えによる試料の視察位置を設定できるので。

測定モードを切換えて試料観察を行う場合の試料の観察
時間を短縮できる。

（２）前のモードの撮像画面を利用して倍率を変えるこ
とができるので１倍率を変更して試料観察を行う場合の
試料の観察時間を短縮できる。

（３）前の撮像結果を残し新しい撮像結果と争わせて１
つの画面に表示でとるので、測定における位置奮わせ、
測定モード、倍率の違いによる結果の差を明確にでｒ試
料の観察時間を短縮できる。

尚、本実施例の他にコンピュータ・プログラム化して上
記した機能を達成するようにしでも勿論良い。

〔発明の効果〕

本発明は、以上説明したように、前の測定モードでの画
像によって測定モード切換えによる試料の観察位置を設
定でするので、ｉｌｌｌｌ−ドを切換えて試料観察を行
う場菅の観察時間を短縮できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による超音波顕微鏡の一実施例を示す
構成図、第２図は従来の超音波顕微鏡の構成図である。 】・・・・・・球面レンズ、２・・・・・・圧電薄膜、
３・・・・・・電極、４・・・・・・パルス発振器、１
０・・・・・・受信器、】２・・・・・・ＣＲＴディス
プレイ、１３・・・・・・駆動装置、】５・・・・・°
画像メモリ、】６°°゛・・・走査軸切換スイッチ、１
７・・・・・・制御器、１９・・・・・・測定モード入
力スイッチ、２２・・・・・・演算部、２３・・・・・
・カーソル位置操作部、２４・・・・・・位置レジスタ
、２５・・・・・・！ｆｆ測定第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、試料からのじよう乱音波により試料を撮像する超音
   波顕微鏡において、表示部によりカーソル位置入力を行
   うカーソル位置操作部と、前記表示部に表示されたカー
   ソル位置を記憶する位置レジスタと、前の測定モードを
   記憶する前測定モードレジスタと、前記表示部に表示さ
   れた現在走査位置を記憶するアドレスレジスタと、該ア
   ドレスレジスタと前記前測定モードレジスタと少なくと
   も測定モードに応じた走査軸切換えスイッチの切換えに
   応じて機械走査の送り量を制御する制御器に測定モード
   を入力する測定モード入力スイッチとによりセットされ
   た条件の差によりステージの各軸の移動量を算出して前
   記制御器に指令し前記ステージの駆動装置による各軸の
   移動量を演算する演算部とを具備したことを特徴とする
   超音波顕微鏡。