JPS61230835A - 工作機械の送り装置 - Google Patents
工作機械の送り装置Info
- Publication number
- JPS61230835A JPS61230835A JP6992785A JP6992785A JPS61230835A JP S61230835 A JPS61230835 A JP S61230835A JP 6992785 A JP6992785 A JP 6992785A JP 6992785 A JP6992785 A JP 6992785A JP S61230835 A JPS61230835 A JP S61230835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide rail
- machine tool
- feeding device
- rolling unit
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/385—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously using a gear and rack mechanism or a friction wheel co-operating with a rail
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は工作機械の送り装置に関し、ワークテーブル、
主軸頭等の機械の移動体を機械の固定ベースに対して高
精度でかつ高速度で送り移動させることが可能な工作機
械の送り装置に関する。
主軸頭等の機械の移動体を機械の固定ベースに対して高
精度でかつ高速度で送り移動させることが可能な工作機
械の送り装置に関する。
工作機械の送り装置は従来より種々の構成が採られてお
９、普通は送りねじとこれに噛合したナツトの組合せに
よりて過多機構を形成し、送フねじをサーがモータ等の
駆動上−夕によって正逆回転させることによシ、ナツト
と結合した移動体を所望の軸線方向に直進動作させる構
成が採られている。
９、普通は送りねじとこれに噛合したナツトの組合せに
よりて過多機構を形成し、送フねじをサーがモータ等の
駆動上−夕によって正逆回転させることによシ、ナツト
と結合した移動体を所望の軸線方向に直進動作させる構
成が採られている。
また％特開昭５５−１５０９５１号は、上述した送りね
じとナツトの組合せを排し、レール形状の長尺摩擦板の
両側面に圧接した転勤ローラを設け、これら摩擦板と転
勤ロー２を基台と移動体にそれぞれ振シ分けて取付け、
該転勤ローラを歯車の介在によりて駆動モータによシ駆
動し、移動体の直進運動を生せしめるようＫした工作機
械の送り装置を開示している。
じとナツトの組合せを排し、レール形状の長尺摩擦板の
両側面に圧接した転勤ローラを設け、これら摩擦板と転
勤ロー２を基台と移動体にそれぞれ振シ分けて取付け、
該転勤ローラを歯車の介在によりて駆動モータによシ駆
動し、移動体の直進運動を生せしめるようＫした工作機
械の送り装置を開示している。
然しなから、前者の送りねじとナツトの組合せを有した
過少装置の場合には、駆動モータに掛る送りねじのイナ
ークヤ負荷が大きく、またバックラッシェを回避できな
いので送〕装置におけるサー＆ｒインを上げることが出
来ず、曲線加工や工作物のコーナー加工に当って切削送
り速度に制限が生ずる不都合があシ、また直進ストロ−
・りの延長を図るときに送りねじのねじれが発生し、送
プ精度に悪影響を与えている。
過少装置の場合には、駆動モータに掛る送りねじのイナ
ークヤ負荷が大きく、またバックラッシェを回避できな
いので送〕装置におけるサー＆ｒインを上げることが出
来ず、曲線加工や工作物のコーナー加工に当って切削送
り速度に制限が生ずる不都合があシ、また直進ストロ−
・りの延長を図るときに送りねじのねじれが発生し、送
プ精度に悪影響を与えている。
また、後者の送り装置では、直進ストロークが長い場合
にも摩擦板又は転勤ローラの何れか一方を移動方向に対
し直角方向に弾性的に変位可能な構造として上述した前
者の欠点を解消しているが、駆動モータと転動ローラの
間に歯車機構が介在することによシ、構造が複雑になる
難点がある。
にも摩擦板又は転勤ローラの何れか一方を移動方向に対
し直角方向に弾性的に変位可能な構造として上述した前
者の欠点を解消しているが、駆動モータと転動ローラの
間に歯車機構が介在することによシ、構造が複雑になる
難点がある。
依って、本発明は上述した後者の利点を生かし、なおか
つ構造を改良して簡単にした工作機械の送り装置を提供
せんとするものである。
つ構造を改良して簡単にした工作機械の送り装置を提供
せんとするものである。
本発明は上述の目的を達成すべく、機械の固定ベースと
移動体の何れか一方に送り長さに従って取付けた長手案
内レールと、前記案内レールの両側面にそれぞれ転がり
係合する少くとも１対の駆動ローラと押付はロー２から
なる転がりュニットと、可撓継手を介して前記駆動ロー
ラを駆動するモータと、前記転が〕ユニットに組み込ん
だ押付け圧設定手段と、前記転がりュニットを送〕方向
に対して垂直方向にのみ微動自在に保持して前記移動体
又は固定ベースに取付ける可撓性の結合手段とを具備し
て構成され、前記モータの正逆回転に従って移動体を送
り移動させるように構成したことを特徴とする工作機械
の送り装置を提供し、駆動ローラとモータ間に介挿した
可撓継手と、転がりュニットを移動体又は固定ベースＫ
Ｍ合する可撓性結合手段とによって歯車機構の介在を要
することなく案内レールと駆動、押圧ロール間の摩擦転
動を可能にしている。以下、本発明を添付図面に示す実
施例に基いて更に詳細に説明する。゛〔実施例〕 第１図は、本発明による工作機械の送プ装置の１実施例
として、転がりュニットを固定ベースに結合し、案内レ
ールを機械の移動体と共に可動にした構成を示す縦断面
図、第２図は第１図の装置の転が＃）ユニットの矢視■
−■から見た側面図、第３図は第１図の矢視■−■から
見た断面図である。
移動体の何れか一方に送り長さに従って取付けた長手案
内レールと、前記案内レールの両側面にそれぞれ転がり
係合する少くとも１対の駆動ローラと押付はロー２から
なる転がりュニットと、可撓継手を介して前記駆動ロー
ラを駆動するモータと、前記転が〕ユニットに組み込ん
だ押付け圧設定手段と、前記転がりュニットを送〕方向
に対して垂直方向にのみ微動自在に保持して前記移動体
又は固定ベースに取付ける可撓性の結合手段とを具備し
て構成され、前記モータの正逆回転に従って移動体を送
り移動させるように構成したことを特徴とする工作機械
の送り装置を提供し、駆動ローラとモータ間に介挿した
可撓継手と、転がりュニットを移動体又は固定ベースＫ
Ｍ合する可撓性結合手段とによって歯車機構の介在を要
することなく案内レールと駆動、押圧ロール間の摩擦転
動を可能にしている。以下、本発明を添付図面に示す実
施例に基いて更に詳細に説明する。゛〔実施例〕 第１図は、本発明による工作機械の送プ装置の１実施例
として、転がりュニットを固定ベースに結合し、案内レ
ールを機械の移動体と共に可動にした構成を示す縦断面
図、第２図は第１図の装置の転が＃）ユニットの矢視■
−■から見た側面図、第３図は第１図の矢視■−■から
見た断面図である。
第１図から第３図において、固定ベース１０は移動体１
２に対する機械の静止部を形成し、例えばベッドがサド
ルに対して、また該サドルがテーブルに対し、更にコラ
ムが主軸頭に対してそれぞれ固定ベースに対する移動体
を形成している。第１図においては、上記移動体１２が
固定ベースｌＯに対して紙面に垂直な方向に移動可能な
例を示し、故に直進ガイド１４が両者間に設けられてい
る。固定ベース１０は直立部１６に取付けられたツラケ
ット１８を有し、との゛ブラケット１８は固定ベース１
０の上方に突出した突出板１８ａを有している。２０は
ｆラケット１８を直立部１６に固定するねじ２ルトであ
る。このような固定ベースｌＯと移動体１２との間に設
けられる送ル装置は、案内レール２２を有し、この案内
レール２２は移動体１２の移動方向に延設された長尺部
材として形成され、両端は第３図に示すように適宜の固
定手段２４．２６によって移動体１２と−体に結合され
ている。すなわち、本実施例では案内レール２２も移動
部材として設けられている。
２に対する機械の静止部を形成し、例えばベッドがサド
ルに対して、また該サドルがテーブルに対し、更にコラ
ムが主軸頭に対してそれぞれ固定ベースに対する移動体
を形成している。第１図においては、上記移動体１２が
固定ベースｌＯに対して紙面に垂直な方向に移動可能な
例を示し、故に直進ガイド１４が両者間に設けられてい
る。固定ベース１０は直立部１６に取付けられたツラケ
ット１８を有し、との゛ブラケット１８は固定ベース１
０の上方に突出した突出板１８ａを有している。２０は
ｆラケット１８を直立部１６に固定するねじ２ルトであ
る。このような固定ベースｌＯと移動体１２との間に設
けられる送ル装置は、案内レール２２を有し、この案内
レール２２は移動体１２の移動方向に延設された長尺部
材として形成され、両端は第３図に示すように適宜の固
定手段２４．２６によって移動体１２と−体に結合され
ている。すなわち、本実施例では案内レール２２も移動
部材として設けられている。
この案内レール２２は金属棒又は耐摩耗性にすぐれ、熱
変形の少いセラミックス等の棒材によって形成され、そ
の両側面は駆動ロー２２８、押付はロー２４０が圧接転
動する互いに平行な摩擦面に形成されている。駆動ロー
２２８はその両端を支持体３０．３２に保持され、ロー
ラハウジング３４内に保持された回転軸受３６．３６に
よって回転可能に軸承され、かつ一端側の支持体３２が
軸継手の下部７ランジ３８と楔着、固定されている。
変形の少いセラミックス等の棒材によって形成され、そ
の両側面は駆動ロー２２８、押付はロー２４０が圧接転
動する互いに平行な摩擦面に形成されている。駆動ロー
２２８はその両端を支持体３０．３２に保持され、ロー
ラハウジング３４内に保持された回転軸受３６．３６に
よって回転可能に軸承され、かつ一端側の支持体３２が
軸継手の下部７ランジ３８と楔着、固定されている。
他方、押付ローラ４０は、案内レール２２の摩擦面に圧
接され、その押付ローラ４０は回転軸４２に圧入等によ
シ一体的に結合されている。その回転軸４２の両端はロ
ーラ／Ｓウジフグ４４に保持された回転軸受４６．４６
によって回転可能に軸承されている。そして上述した駆
動ロー２２８のローラハウジング３４と後者の押付ロー
ラ４０のローラハウジング４４は第３図に明示の如く、
空隙Ｇを介して複数のねじメルト５２によシ結合され、
皿はね５４を介挿して両者間を強固に結合している。す
なわち、駆動ローラ２８、押付ローラ４０．ｏ ？ハ
ウジング３４．４４等によって転がりュニットを構成し
ている。この転がりュニットは第１図に示す如く、１対
の板ばね４８゜５０によってブラケット１８の突出板１
８ｍに適宜のねじ手段を用いて結合されている。従って
、この２つの板ばね４８，５０を可撓性の結合手段とし
て固定ベースｌ０Ｋ一体のブラケット１８に転がりュニ
ットを結合しているのである・なお、両板ばね４８．５
０と両ローラハウジング３４゜４４との結合は当板５６
を介してねじによ〕固定されている。なお、上述した転
がりュニットにおける駆動ロー２２８は案内レール２２
との圧接部分は耐摩耗性にすぐれた材料で形成すること
が好ましく、故に金属材料又はセラぽツクス等の材料が
選定される。同様に押付ローラ４０もセラミックス等の
材料で形成することが好ましい。そして両口−２２８，
４０は滑シなく案内レール２２の両側面に圧接され、後
者を挾持するようにして設けられているものである。
接され、その押付ローラ４０は回転軸４２に圧入等によ
シ一体的に結合されている。その回転軸４２の両端はロ
ーラ／Ｓウジフグ４４に保持された回転軸受４６．４６
によって回転可能に軸承されている。そして上述した駆
動ロー２２８のローラハウジング３４と後者の押付ロー
ラ４０のローラハウジング４４は第３図に明示の如く、
空隙Ｇを介して複数のねじメルト５２によシ結合され、
皿はね５４を介挿して両者間を強固に結合している。す
なわち、駆動ローラ２８、押付ローラ４０．ｏ ？ハ
ウジング３４．４４等によって転がりュニットを構成し
ている。この転がりュニットは第１図に示す如く、１対
の板ばね４８゜５０によってブラケット１８の突出板１
８ｍに適宜のねじ手段を用いて結合されている。従って
、この２つの板ばね４８，５０を可撓性の結合手段とし
て固定ベースｌ０Ｋ一体のブラケット１８に転がりュニ
ットを結合しているのである・なお、両板ばね４８．５
０と両ローラハウジング３４゜４４との結合は当板５６
を介してねじによ〕固定されている。なお、上述した転
がりュニットにおける駆動ロー２２８は案内レール２２
との圧接部分は耐摩耗性にすぐれた材料で形成すること
が好ましく、故に金属材料又はセラぽツクス等の材料が
選定される。同様に押付ローラ４０もセラミックス等の
材料で形成することが好ましい。そして両口−２２８，
４０は滑シなく案内レール２２の両側面に圧接され、後
者を挾持するようにして設けられているものである。
さて、上述した転がりュニットは板ばね４８゜５０の可
撓弾性によって送り方向に対して垂直方向に撓み可能に
設けられているが、送り方向に対しては高い剛性を有す
るように取付けられている。
撓弾性によって送り方向に対して垂直方向に撓み可能に
設けられているが、送り方向に対しては高い剛性を有す
るように取付けられている。
更に駆動ロー２２８は既述した下部７ランジ３８が可撓
継手６０を介して駆動モータＭの出力軸に楔着、固定さ
れた上部７ランジ５８に接続されている。すなわち、可
撓継手６０は本実施例では突出板１８ａの貫通孔中に配
置されたベローズによって形成され、とのベローズの両
端が上、下の７ランジ５８．３８にそれぞれ結合される
ことによシ、駆動モータＭの回転出力は精密に駆動ロー
ラ２８に伝達すると同時に回転軸心はベローズからなる
可撓継手６０の部分で撓み可能に形成されている。この
ように可撓継手６０を備えたことによりて、上述した転
がりュニットの可撓結合手段を形成する板ばね４８．５
０の撓み構造゛と相俟って駆動ロー２２８、押付はロー
ラ４０における転動時に長尺の案内レール２２側に撓み
が生じていても、該撓みをこれら可撓継手６０及び可撓
結合手段によって吸収し、直進方向の移動には全く影響
を及ぼすことなく、円滑な直進移動を可能にするもので
ある。なお、両板ばね４８，５０によって形成される可
撓結合手段は直進方向には剛性を保持し、送り動作にお
ける誤差の発生を防止している点に注目を要する。
継手６０を介して駆動モータＭの出力軸に楔着、固定さ
れた上部７ランジ５８に接続されている。すなわち、可
撓継手６０は本実施例では突出板１８ａの貫通孔中に配
置されたベローズによって形成され、とのベローズの両
端が上、下の７ランジ５８．３８にそれぞれ結合される
ことによシ、駆動モータＭの回転出力は精密に駆動ロー
ラ２８に伝達すると同時に回転軸心はベローズからなる
可撓継手６０の部分で撓み可能に形成されている。この
ように可撓継手６０を備えたことによりて、上述した転
がりュニットの可撓結合手段を形成する板ばね４８．５
０の撓み構造゛と相俟って駆動ロー２２８、押付はロー
ラ４０における転動時に長尺の案内レール２２側に撓み
が生じていても、該撓みをこれら可撓継手６０及び可撓
結合手段によって吸収し、直進方向の移動には全く影響
を及ぼすことなく、円滑な直進移動を可能にするもので
ある。なお、両板ばね４８，５０によって形成される可
撓結合手段は直進方向には剛性を保持し、送り動作にお
ける誤差の発生を防止している点に注目を要する。
上述した構成からなる送り装置の作用は、駆動モータＭ
を介して転がりュニットの駆動ロー２２８を回転するこ
とによシ、該駆動ロー２２８が押付はローラ４０と共に
案内レール２２を圧接挾持しているから圧接面において
摩擦力による直進作用が案内レール２２に付与され、該
突内レール２２と共に移動体１２の直進移動が生じるも
のである。勿論、駆動そ一タＭをサーがモータによって
形成すれば、該サー？モータの回転数と回転方向とを制
御することによシ、移動体１２を所薫の軸線方向、例え
ばＸ軸方向に所望量移動させ、移動体１２上のワーク、
工具等を所望の位置に位置決めすることができる。また
、上述した実施例とは逆に案内レール２２を固定ベース
１０に適宜固定し、駆動モータと転がりュニットとを取
付けたブラケット１８を移動体１２に結合した構成とし
ても作用効果は上述した図示実施例の場合と同じである
。なお、可撓継手６０は本実施例のベローズによシ形成
したものに代えて市販のヘリカルたわみ軸継手を利用す
ることも可能である。
を介して転がりュニットの駆動ロー２２８を回転するこ
とによシ、該駆動ロー２２８が押付はローラ４０と共に
案内レール２２を圧接挾持しているから圧接面において
摩擦力による直進作用が案内レール２２に付与され、該
突内レール２２と共に移動体１２の直進移動が生じるも
のである。勿論、駆動そ一タＭをサーがモータによって
形成すれば、該サー？モータの回転数と回転方向とを制
御することによシ、移動体１２を所薫の軸線方向、例え
ばＸ軸方向に所望量移動させ、移動体１２上のワーク、
工具等を所望の位置に位置決めすることができる。また
、上述した実施例とは逆に案内レール２２を固定ベース
１０に適宜固定し、駆動モータと転がりュニットとを取
付けたブラケット１８を移動体１２に結合した構成とし
ても作用効果は上述した図示実施例の場合と同じである
。なお、可撓継手６０は本実施例のベローズによシ形成
したものに代えて市販のヘリカルたわみ軸継手を利用す
ることも可能である。
以上の説明から明らかなように、本発明は案内レールと
転勤四−２とを固定ベースと移動体に振）分けて取付け
た送り装置を形成し、しかも駆動モータから転動ローラ
へ可撓継手を介して軸結合するとともに転が）ユニット
は移動体の直進方向には高い剛性を保ちながら直進方向
と交叉する方向に可撓結合手段による撓み構造を設けた
から、移動体に無理な作用力を与えることなく案内面に
そりた送りが得られ、高精度な送り装置が得られた。ま
た、送り装置内に全く歯車機構のない簡単な動作伝達機
構を形成することができたので、従来の送りねじナツト
組合せ構造からなる送り装置と対比して、駆動モータに
掛るイナーシャ負荷が低減でき、しかも送り長さを増加
してもイナーシャ負荷の増加は生じないという有利な効
果が得られたのである。加えて、ねじや歯車によるバッ
クラッシェの発生がないことからサーが系のｒインを高
めて高速送フ系を構成することもできる。更にセラミツ
Ａ藉料を巧みに利用することにより摩擦熱の発生を阻止
して熱変形の発生も防止でき、しかもストローク延長も
凧に案内レールの延長によって達成できるという簡便性
も享受できるのである。
転勤四−２とを固定ベースと移動体に振）分けて取付け
た送り装置を形成し、しかも駆動モータから転動ローラ
へ可撓継手を介して軸結合するとともに転が）ユニット
は移動体の直進方向には高い剛性を保ちながら直進方向
と交叉する方向に可撓結合手段による撓み構造を設けた
から、移動体に無理な作用力を与えることなく案内面に
そりた送りが得られ、高精度な送り装置が得られた。ま
た、送り装置内に全く歯車機構のない簡単な動作伝達機
構を形成することができたので、従来の送りねじナツト
組合せ構造からなる送り装置と対比して、駆動モータに
掛るイナーシャ負荷が低減でき、しかも送り長さを増加
してもイナーシャ負荷の増加は生じないという有利な効
果が得られたのである。加えて、ねじや歯車によるバッ
クラッシェの発生がないことからサーが系のｒインを高
めて高速送フ系を構成することもできる。更にセラミツ
Ａ藉料を巧みに利用することにより摩擦熱の発生を阻止
して熱変形の発生も防止でき、しかもストローク延長も
凧に案内レールの延長によって達成できるという簡便性
も享受できるのである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による工作機械の送り装置におけるｌ実
施例の要部を示す縦断面図、第２図は第１図の■−■矢
視による部分側面図、第３図は第１図の矢視■−■によ
る断面図。 １０・・・固定ベース、１２・・・移動体、２２・・・
案内レール、２８・・・駆動ローラ、４０・・・押付は
ローラ、４８．５０・・・板ばね、６０−・・可撓継手
、Ｍ・・・駆動モータ。
施例の要部を示す縦断面図、第２図は第１図の■−■矢
視による部分側面図、第３図は第１図の矢視■−■によ
る断面図。 １０・・・固定ベース、１２・・・移動体、２２・・・
案内レール、２８・・・駆動ローラ、４０・・・押付は
ローラ、４８．５０・・・板ばね、６０−・・可撓継手
、Ｍ・・・駆動モータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、工作機械の送り装置において、機械の固定ベースと
移動体の何れか一方に送り長さに従って取付けた長手案
内レールと、前記案内レールの両側面にそれぞれ転がり
係合する少くとも１対の駆動ローラと押付けローラから
なる転がりユニットと、可撓継手を介して前記駆動ロー
ラを駆動するモータと、前記転がりユニットに組込んだ
押付け圧設定手段と、前記転がリユニットを送り方向に
対して垂直方向にのみ微動自在に保持して前記移動体又
は固定ベースに取付ける可撓性の結合手段とを具備して
構成され、前記モータの正逆回転に従って移動体を送り
移動させるように構成したことを特徴とする工作機械の
送り装置。 ２、前記押付け圧設定手段は、前記駆動ローラと押付け
ローラとを前記案内レールに挾持圧接するばねによって
形成されている特許請求の範囲第１項に記載の工作機械
の送り装置。 ３、前記可撓性の結合手段は、送り方向に板面を有した
板ばねによって形成されている特許請求の範囲第１項又
は第２項に記載の工作機械の送り装置。 ４、前記駆動ローラと押付けローラはその転がり表面が
耐摩耗性の高いセラミックス材料によって形成されてい
る特許請求の範囲第１項に記載の工作機械の送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6992785A JPS61230835A (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | 工作機械の送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6992785A JPS61230835A (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | 工作機械の送り装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61230835A true JPS61230835A (ja) | 1986-10-15 |
| JPH0141468B2 JPH0141468B2 (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=13416806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6992785A Granted JPS61230835A (ja) | 1985-04-04 | 1985-04-04 | 工作機械の送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61230835A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4934278A (en) * | 1987-07-27 | 1990-06-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving apparatus with track recessed portion to dissipate drive roller contact pressure |
| US5040427A (en) * | 1988-12-02 | 1991-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving apparatus |
| KR101398061B1 (ko) * | 2012-11-05 | 2014-05-27 | 주식회사 신성에프에이 | 리니어 스테이지 |
-
1985
- 1985-04-04 JP JP6992785A patent/JPS61230835A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4934278A (en) * | 1987-07-27 | 1990-06-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving apparatus with track recessed portion to dissipate drive roller contact pressure |
| US5040427A (en) * | 1988-12-02 | 1991-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving apparatus |
| KR101398061B1 (ko) * | 2012-11-05 | 2014-05-27 | 주식회사 신성에프에이 | 리니어 스테이지 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0141468B2 (ja) | 1989-09-05 |
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