JPS61230009A - 走査検出制御装置 - Google Patents
走査検出制御装置Info
- Publication number
- JPS61230009A JPS61230009A JP7088285A JP7088285A JPS61230009A JP S61230009 A JPS61230009 A JP S61230009A JP 7088285 A JP7088285 A JP 7088285A JP 7088285 A JP7088285 A JP 7088285A JP S61230009 A JPS61230009 A JP S61230009A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scan
- signal
- ccd
- scanning
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査鏡を使用してパターンを検出する装置の走
査検出制御装置に係り、特に、電荷結合素子（以下ＣＣ
Ｄという）でなるイメージセンサでパターンを検出する
のに好適な走査検出制御装置に関する。
査検出制御装置に係り、特に、電荷結合素子（以下ＣＣ
Ｄという）でなるイメージセンサでパターンを検出する
のに好適な走査検出制御装置に関する。
パターンを走査して検出する方法として、従来からスリ
ット走査方法が良（知られている。
ット走査方法が良（知られている。
この方法は、スリット部に光電子増倍管（ホトマル）等
の光電素子を設け、スリットを通過する光を、スリット
を走査することＫより生ずる時間的な変化としてとらえ
るものである。しかしこの方法は、スリットが移動する
ことから、スリットと光電素子との間の相対位置の安定
性を長時間保持するのが困難であるという欠点があった
。これに代るものとして近年ＣＣＤイメージセンサが出
現した。このイメージセンサは本来ファクシミリ用Ｋ１
１Ｍ発されたものであるが、その利用価値は高（、パタ
ーン検出装置全般に適用範囲は広がっている。ＣＣＤイ
メージセンサは、微小画素が多数直線的あるいは平面的
に配置されているもので、これ一つが上記したスリット
走査におけるスリットと光電素子に置き代る。しかし、
ＣＣＤイメージセンサを利用したとしても、従来の照明
方法によると検出範囲全体を照明しなければならず、照
射強度の低下が免れない。これ九対しスペクトル幅の狭
いレーザ光を照明光源に用いると、単に検出範囲を照明
しただけでは粒状性パターンに対してはスペクトルが発
生しパターンの検出を困離にする。そこで照明光の入射
角度を走査鏡で変化させながら照射し、この間イメージ
センサで反射光を蓄積するとスペクトルのない検出信号
が得られる。
の光電素子を設け、スリットを通過する光を、スリット
を走査することＫより生ずる時間的な変化としてとらえ
るものである。しかしこの方法は、スリットが移動する
ことから、スリットと光電素子との間の相対位置の安定
性を長時間保持するのが困難であるという欠点があった
。これに代るものとして近年ＣＣＤイメージセンサが出
現した。このイメージセンサは本来ファクシミリ用Ｋ１
１Ｍ発されたものであるが、その利用価値は高（、パタ
ーン検出装置全般に適用範囲は広がっている。ＣＣＤイ
メージセンサは、微小画素が多数直線的あるいは平面的
に配置されているもので、これ一つが上記したスリット
走査におけるスリットと光電素子に置き代る。しかし、
ＣＣＤイメージセンサを利用したとしても、従来の照明
方法によると検出範囲全体を照明しなければならず、照
射強度の低下が免れない。これ九対しスペクトル幅の狭
いレーザ光を照明光源に用いると、単に検出範囲を照明
しただけでは粒状性パターンに対してはスペクトルが発
生しパターンの検出を困離にする。そこで照明光の入射
角度を走査鏡で変化させながら照射し、この間イメージ
センサで反射光を蓄積するとスペクトルのない検出信号
が得られる。
しかる忙、例えば特開昭５９−１２４５１８号公報に開
示されている従来の走査鏡制御方法をＣＣＤイメージセ
ンサを用いた検出装置に適用しても、照明光（走査鏡の
反射光）の走査とＣＤの走査の同期がとれず、映像信号
が不安定になるという不具合がある。
示されている従来の走査鏡制御方法をＣＣＤイメージセ
ンサを用いた検出装置に適用しても、照明光（走査鏡の
反射光）の走査とＣＤの走査の同期がとれず、映像信号
が不安定になるという不具合がある。
本発明の目的は、ＣＣＤイメージセンサの光蓄積効果を
最大限に利用し、しかも検出照明の走査とイメージセン
サの走査を同期化した走査検出制御装置を提供すること
にある。
最大限に利用し、しかも検出照明の走査とイメージセン
サの走査を同期化した走査検出制御装置を提供すること
にある。
〔発明の概要〕
本発明は上記目的達成のため、ＣＣＤイメージセンサの
一走査の間に繰出される駆動パルスを計数し、計数値を
アドレス情報としてリードメモリからデータを読み出し
、このデータにより走査−の回転角度を変化させて、検
出光に所定の走査を得ることを特徴としている。
一走査の間に繰出される駆動パルスを計数し、計数値を
アドレス情報としてリードメモリからデータを読み出し
、このデータにより走査−の回転角度を変化させて、検
出光に所定の走査を得ることを特徴としている。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図は走査検出制御装置の全体構成ブロック図である。
１図は走査検出制御装置の全体構成ブロック図である。
ｆｌｌ、１図において、走ｆ：＊１は矢印Ｇで示すよう
に回動自在に設けられ、該走査鏡１で入射光２は反射さ
れる。入射光２の反射魚を焦点位置とするように凸レン
ズ５が配設され、反射光は該凸レンズ５で平行光線にさ
れ、被検査体つまり試料面４を照明する。この照明光の
反射光、即ち試料面のパターン情報を含む元信号は、光
学系１５を介してＣＣＤイメージセンサ５に入射される
。ここで走査鏡１に矢印Ｇのような回転が与えられると
、回転角に応じ符号６１〜６５で示すような光路を形成
し、それぞれの光路で導かれた光はイメージセンサ５上
の位置Ｐ、〜Ｐ、に入射される。検出範囲ｌと走査鏡１
の回転角度の関係は凸レンズ５の焦点距離等から必然的
に求まる。又、検出範囲ｌとイメージセンサ５上の位置
Ｐ、〜Ｐ、との関係は、試料面４からイメージセンサ５
の間の光路の途中に設けた光学系１５を調整するととＫ
より任意に設定できる。走査鏡１は本実施例では電流計
の原理を利用しており、電流を流し込むことにより針の
先忙取り付けられた鏡が回転するようになっている。
に回動自在に設けられ、該走査鏡１で入射光２は反射さ
れる。入射光２の反射魚を焦点位置とするように凸レン
ズ５が配設され、反射光は該凸レンズ５で平行光線にさ
れ、被検査体つまり試料面４を照明する。この照明光の
反射光、即ち試料面のパターン情報を含む元信号は、光
学系１５を介してＣＣＤイメージセンサ５に入射される
。ここで走査鏡１に矢印Ｇのような回転が与えられると
、回転角に応じ符号６１〜６５で示すような光路を形成
し、それぞれの光路で導かれた光はイメージセンサ５上
の位置Ｐ、〜Ｐ、に入射される。検出範囲ｌと走査鏡１
の回転角度の関係は凸レンズ５の焦点距離等から必然的
に求まる。又、検出範囲ｌとイメージセンサ５上の位置
Ｐ、〜Ｐ、との関係は、試料面４からイメージセンサ５
の間の光路の途中に設けた光学系１５を調整するととＫ
より任意に設定できる。走査鏡１は本実施例では電流計
の原理を利用しており、電流を流し込むことにより針の
先忙取り付けられた鏡が回転するようになっている。
クロック発生器７を工、ＣＣＤイメージセンサ５から映
像信号Ｖを得るに必要なりロック信号φＴφＩを発生さ
せる一方、これ等のクロック信号φＴ、φｌを計数器８
にも供給する。この計数器８は、クロック信号φＴ、で
ゼロクリアされ、クロックφＩを計数するものである。
像信号Ｖを得るに必要なりロック信号φＴφＩを発生さ
せる一方、これ等のクロック信号φＴ、φｌを計数器８
にも供給する。この計数器８は、クロック信号φＴ、で
ゼロクリアされ、クロックφＩを計数するものである。
リードメモリ９には計数値Ｃに対応した回転角データＤ
が格納されており、このリードメモリ９の出力がちり。
が格納されており、このリードメモリ９の出力がちり。
変換器１０．安定信号発生器１１を介して電気入力部１
２に加えられ、電気入力部１２が走査鏡１を回転するよ
うに構成しである。
２に加えられ、電気入力部１２が走査鏡１を回転するよ
うに構成しである。
次に第２図を参照しながらｍ１図に示した走査検出制御
装置の動作を説明する。
装置の動作を説明する。
クロック発生器７から発生されたクロック信号φＴ、φ
！がＣＣＤイメージセンサ５に加えられると、 ＣＣＤ
イメージセンサ５はクロックφＴの周期で一走査の間に
蓄積した元情報（電荷）を保持し、クロックφＩでこの
保持した電荷を画素順に送出する。従って、走査１で送
出される映像信号は１つ前の走査Ｔ。Ｉの間圧蓄積した
元情報である。
！がＣＣＤイメージセンサ５に加えられると、 ＣＣＤ
イメージセンサ５はクロックφＴの周期で一走査の間に
蓄積した元情報（電荷）を保持し、クロックφＩでこの
保持した電荷を画素順に送出する。従って、走査１で送
出される映像信号は１つ前の走査Ｔ。Ｉの間圧蓄積した
元情報である。
一方、計数器８はクロック信号φＴ％のクロック信号φ
Ｉの数を計数し、計数値Ｃをアドレス情報としてリード
メモリ９に加えると、リードメモリ９は該計数値Ｃに対
応した走査鏡１の回転角データＤを送出する。この回転
角データＤは次に次段の”／Ａ変換器１０でアナログ信
号ＡＫｆ換される。安定信号発生器１１はアナログ値Ａ
Ｋ比例した信号（本実施例の場合は電流Ｉ。）を作り出
し、走査鏡１の電気入力部１２に、この信号を与えて、
回転角度Ｒを得る。もし、電気入力部１２が電圧入力で
あれば、安定信号発生器１１は不要で、”／Ａ変換器１
０の電圧出力Ａがそのまま電気入力部１２に加えられる
。
Ｉの数を計数し、計数値Ｃをアドレス情報としてリード
メモリ９に加えると、リードメモリ９は該計数値Ｃに対
応した走査鏡１の回転角データＤを送出する。この回転
角データＤは次に次段の”／Ａ変換器１０でアナログ信
号ＡＫｆ換される。安定信号発生器１１はアナログ値Ａ
Ｋ比例した信号（本実施例の場合は電流Ｉ。）を作り出
し、走査鏡１の電気入力部１２に、この信号を与えて、
回転角度Ｒを得る。もし、電気入力部１２が電圧入力で
あれば、安定信号発生器１１は不要で、”／Ａ変換器１
０の電圧出力Ａがそのまま電気入力部１２に加えられる
。
今、アナログ信号Ａと回転角凡の関係を一般的１ｃＲ＝
＆Ａ（＆：比例定数）とすると、デジタル値りと回転角
度Ｈは次式で示される ここでＦはＤ７．変換器１０の最大出力値、ルはデジタ
ル値りのビット数である。従って、イメージセンサ５の
一回の走査の間で、走査鏡１の走査分の離散的な回転角
凡のデータＤをクロックφＩの全数分だけ上式から求め
、これを予めリードメモリ９に書き込んでおけば、第２
図に示すようにイメージセンサ５の走査と同期して走査
鏡１を階段状に角度制御が可能となり、イメージセンサ
５の蓄積効果により安定した高感度の映像信号が得られ
る。
＆Ａ（＆：比例定数）とすると、デジタル値りと回転角
度Ｈは次式で示される ここでＦはＤ７．変換器１０の最大出力値、ルはデジタ
ル値りのビット数である。従って、イメージセンサ５の
一回の走査の間で、走査鏡１の走査分の離散的な回転角
凡のデータＤをクロックφＩの全数分だけ上式から求め
、これを予めリードメモリ９に書き込んでおけば、第２
図に示すようにイメージセンサ５の走査と同期して走査
鏡１を階段状に角度制御が可能となり、イメージセンサ
５の蓄積効果により安定した高感度の映像信号が得られ
る。
尚、第１図の走査検出制御装置は一例を示したものであ
り、例えば光学系により試料面４への光の入射角を変化
させれば、試料４が粒状性であっても、スペックルノイ
ズのない映像信号が得られる。
り、例えば光学系により試料面４への光の入射角を変化
させれば、試料４が粒状性であっても、スペックルノイ
ズのない映像信号が得られる。
以上説明したように、本発明によれば、ＣＣＤイメージ
センサの走査と走査鏡の走査を同期化できるので、安定
で検出能力の高い映像信号が得られる。
センサの走査と走査鏡の走査を同期化できるので、安定
で検出能力の高い映像信号が得られる。
第１図は本発明の一実施例に係る走査検出制御装置の全
体構成ブロック図、第２図は第１図に示す装置の動作説
明図である。 １・・・走査鏡、５・−ＣＣＤイメージセンサ、７・−
クロック発生器、８・・・計数器、９・・・リードメモ
リ、１０・・・Ｄ／Ａ変換器、１２・・・走責鏡電気入
力部。
体構成ブロック図、第２図は第１図に示す装置の動作説
明図である。 １・・・走査鏡、５・−ＣＣＤイメージセンサ、７・−
クロック発生器、８・・・計数器、９・・・リードメモ
リ、１０・・・Ｄ／Ａ変換器、１２・・・走責鏡電気入
力部。
Claims (1)
- ＣＣＤイメージセンサを検出器とするパターン検出装置
において、ＣＣＤを駆動するパルスを計数する手段と、
この計数値をアドレス情報とするリードメモリと、この
リードメモリから得られる出力データに応じて振り角度
が決定される走査鏡と、該走査鏡からの照明の反射光で
被検査体を照射して得た光信号を前記ＣＣＤに導く光学
系を備えたことを特徴とする走査検出制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088285A JPS61230009A (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | 走査検出制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088285A JPS61230009A (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | 走査検出制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61230009A true JPS61230009A (ja) | 1986-10-14 |
| JPH0575045B2 JPH0575045B2 (ja) | 1993-10-19 |
Family
ID=13444350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7088285A Granted JPS61230009A (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | 走査検出制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61230009A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100636505B1 (ko) | 2004-03-24 | 2006-10-18 | 진 호 정 | Line CCD를 이용하여 패턴을 검사하는 광학계용 조명장치 |
-
1985
- 1985-04-05 JP JP7088285A patent/JPS61230009A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100636505B1 (ko) | 2004-03-24 | 2006-10-18 | 진 호 정 | Line CCD를 이용하여 패턴을 검사하는 광학계용 조명장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0575045B2 (ja) | 1993-10-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |