JPS61224234A

JPS61224234A - 光電子増倍管のダイノ−ドの被膜材料及び被膜形成方法

Info

Publication number: JPS61224234A
Application number: JP61016655A
Authority: JP
Inventors: ジヨン　パーセル; ジヨン　パグリス; ステイーヴン　ダケツト
Original assignee: Sangamo Weston Inc
Current assignee: Atos Origin IT Services Inc
Priority date: 1985-01-28
Filing date: 1986-01-27
Publication date: 1986-10-04
Also published as: US4639638A; EP0190079A3; EP0190079A2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、光電子増倍管に係り、特に、可視放射及び赤
外放射に対するダイノードの如き電子加速構造体の光感
度を減少させる被覆材料及び被膜形成方法に係る。

従来の技術光電子増倍管は、種々様々な形態で使用されており、一
般に、光放射性を示す材料で形成されたホトカソードを
備えている。即ち、この材料に光子が当ると、この光放
射性材料から電子が放出される。収束電極やダイノード
のような種々の電子加速構造体は、ホトカソードから離
されている。

ダイノードがホトカソードに対して正となって、　　　
　　　１ホトカソードの面から放射された電子を吸引す
るように、ホトカソード、収束電極及びダイノードに直
流電位が印加される。電子加速構造体とホトカソードと
の間の電位差は、ホトカソードから放出された光電子を
ダイノードに向けて加速するように働く。これにより、
ダイノードに当って収集される光電子は、ホトカソード
から最初に放出された時よりも高いエネルギーをもつこ
とになる。

通常、ダイノードは、良好な二次電子放出性を示す酸化
ベリリウムのような材料で被覆される。即ち、ダイノー
ドの面に一次電子が当ると、ダイノードを覆っている二
次電子放射性の材料から１つ以」二の二次電子が放出さ
れる。

第１のダイノードから僅かな距離だけ離れたところに第
２のダイノードを設け、第１のダイノードに対して正と
なるように第２のダイノードに直流電位を印加すること
により、これらの二次電子を更に加速することができる
。それ故、第１のダイノードと構造が類似した第２のダ
イノードに向かって二次電子が加速される。このダイノ
ード構造体は、必要に応じて多数の段として幾つも設け
ることができる。光電子増倍管の最終段はアノードであ
り、これは、最後のダイノードよりも更に正にされると
共に、最後のダイノード段によって放出された二次電子
を収集するように働く。

ダイノードから放出された各々の二次電子は、それに続
くダイノードから１つ以上の二次電子を放出させるので
、連鎖的な作用が生じ、第１のダイノードによって収集
された１つの入射光電子から、数千もしくは数百万の二
次電子が光電子増倍管の最終段（アノード）に収集され
ることになる。

以上の説明は、光電子増倍管の一般的な構造の説明であ
るが、別の形式の光電子増倍管も入手できることが明ら
かであろう。従って、ダイノードは、別々の構造にする
こともできるし、或いはマイクロチャンネルプレート型
の光電子増倍管のように、ダイノードを連続的な管状の
構造にして、その内面に電子放出性の材料を被覆するよ
うにしてもよい。一般的な形式の光電子増倍管の構造例
が１９８０年のＲＣＡ社の「ホトマルチプライヤ・ハン
ドブック（Ｐｈｏｔｏｍｕｌｔｉｐｌｉｅｒ　Ｈａｎｄ
ｂｏｏｋ）Ｊの第２６−３５頁に掲載されている。

光電子増倍管は、通常、特定の用途に用いるように設計
されていると共に、特定の範囲のエネルギー又は波長の
光子を検出するように設計されている。それ故、使用す
る特定のホトカソード材料は、問題とする特定のエネル
ギー又は波長によって左右される。

このような形式の光電子増倍管の１つは、いわゆる「ソ
ラー・ブラインド（日よけ用ブラインド）」型の光電子
増倍管であり、これは紫外線スペクトル領域の光子を感
知するものである。紫外線感知の光電子増倍管は、３５
０ないし３８０ナノメータ以上の波長、即ち、可視及び
赤外線スペクトルの放射に対応するエネルギーの光子に
は殆ど又は全く応答しない。というのは、これらの放射
は、それより波長の短い紫外放射に「隠れて」しまう傾
向があるからである。

紫外線を感知する材料は多数ある。このような材料は、
塩化第一銅、塩化ナトリウム、臭化カリウム、ヨウ化銅
、ヨウ化セシウム、テルル化セシウム、ヨウ化ルビジウ
ム、テルル化ルビジウム、及びテルル化カリウムを含む
。紫外線スペクトルのどの部分を問題とするかによって
特定の材料が選択される。

例えば、テルル化セシウム（Ｃ５２Ｔｅ）は、量子効率
（入射光子当りに放出される光電子の数）が約１０５な
いし３００ナノメータの波長において２％以上である。

別の一般的な紫外線感知ホトカソード材料は、テルル化
ルビジウム（Ｒｂ２Ｔｅ）であり、これは量子効率が約
１０５ないし２９０ナノメータの波長において２％以上
である。

発明が解決しようとする問題点ソラー・ブラインド型の光電子増倍管に関連した１つの
間点題は、ホトカソードの処理に通常使用されているア
ルカリ金属（例えば、セシウム、ルビジウム又はカリウ
ム）がガス拡散プロセスを用いて付着されることである
。このような場合には、ホトカソードだけでなく、ダイ
ノードや他の電子加速構造体例えば収束電極にもアルカ
リ金属が過剰に付着してしまう。この遊離したアルカリ
金属は、それ自体が光放射性であり、可視及び赤外線領
域の波長に対応するエネルギーを有する光子を感知する
。ソラー・ブラインド型の光電子増倍管を形成するのに
用いられる紫外線感知のホトカソード材料は一般に半透
明であって、光電子増倍管に入射する可視光線又は赤外
線がダイノードに当り、光電子増倍管の出力に不所望な
応答を生じさせる。

光感知性のアルカリ金属成分をホトカソードに付着する
のに用いられる拡散プロセスの性質上、遊離したアルカ
リ金属を光電子増倍管内の不所望な領域から完全に除去
することはできない。

問題点を解決するための手段光電子増倍管の電子加速構造体が汚れるという問題は、
ホトカソードの全部又は一部分を形成した後、電子加速
構造体、主として、光電子増倍管の第１ダイノードに被
膜を施し、この被膜は、二次電子放出性の材料を少なく
とも１層含むものとし、この材料は、二次電子放出係数
が１以」二のものであって（即ち、その装置の通常の加
速電圧範囲において材料に各−次組子が入射するたびに
少なくとも１つの二次電子が放出される）且つこの材料
は、４００ナノメータ以上の波長において例えば１０−
３未満の低い量子効率を有するものであるようにするこ
とにより、解消できることが分かった。

これらの望ましい特性を有する材料は、バンドギャップ
の大きい（即ち、３電子ポル１〜以」二の）半導体又は
絶縁体である。特に、これらの望ましい特性を呈するも
のはハロゲン化アルカリであることが分かった。このよ
うなハロゲン化アルカリは、例えば、ヨウ化セシウム、
臭化セシウム、塩化セシウム、臭化カリウム、塩化カリ
ウム、ヨウ化カリウム、フッ化リチウム、臭化すｌ〜ツ
リウム塩化ナトリウム、フッ化す１ヘリウム、ヨウ化ナ
トリウム、塩化ルビジウム及び臭化ルビジウムである。

これらの材料は、比較的優れた二次電子放射材であり、
４００ナノメータ以」二の波長において量子効率が小さ
い（即ち、１０−３％未満）。

ハロゲン化アルカリ材料は、比較的優れた二次電子放出
材であると共に４００ナノメータ以」二の波長の光子に
対して比較的不感であるのに加えて、ガス拡散ではなく
方向性の蒸着プロセスによって光電子増倍管のダイノー
ドや他の電子加速構造体に付着することができる。この
ようにして、望ましからぬ領域、例えば、ホ１−カソー
ド上に、この材料が付着するのを防止するように、この
ハロゲン化アルカリの付着を制御することができる。

遊離したアルカリ金属を不動態化する厳密な機構は明ら
かでないが、ダイノード又は他の電子加速構造体に付着
されたハロゲン化アルカリ材料は、単に、遊離したアル
カリ金属を覆うためのものに過ぎないものの、これらの
遊離したアルカリ金属と成る程度は反応し得ると考えら
れる。

本発明の一実施例においては、電子加速構造体に付着す
るように選択されたハロゲン化アルカリは、ホトカソー
ドの形成に使用される遊離したアルカリから形成される
ハロゲン化アルカリよりも格子定数が大きく、従って、
遊離したアルカリを格子へと容易に移動して捕獲するこ
とができる。

例えば、テルル化ルビジウム（Ｒｂ２Ｔｅ）又はテルル
化カリウム（Ｋ２Ｔｅ）のカソードを使用する場合には
、臭化セシウムをハロゲン化アルカリとして使用するこ
とができる。或いは又、ハロゲン化アルカリは、ホトカ
ソードに塗布されるアルカリ金属と同様の電気陰極性も
しくはそれ以上の電気陰極性をもつアルカリ金属のハロ
ゲン化物として選択されてもよい。

１２一本発明の別の実施例においては、電子加速構造体に付着
するように選択されたハロゲン化アルカリは、ホトカソ
ードの１成分として使用されるアルカリ金属のハロゲン
化アルカリに相当するものである。例えば、ホトカソー
ドの１成分がセシウムである場合には、ダイノードの被
膜材料としてヨウ化セシウムが使用される。

更に、本発明は、ダイノードに被膜材料を付着する方法
、特に、ホトカソード材料の付着に続いてダイノードの
被膜材料を熱蒸着によって付着するような方法にも関す
る。

実施例本発明のこれら及び他の特徴並びに効果は、添付図面を
参照とした好ましい実施例の以下の詳細な説明より明ら
かとなろう。

第１図は、本発明の被膜材料及び被膜形成方法を使用す
ることのできる公知の典型的な光電子増倍管構造体の１
つを示している。第１図に示されて以下に説明する構造
体は、本発明を解説するためのものに過ぎず、本発明の
材料及び技術は、マイクロチャンネルプレー１・型のも
のを含む他の公知形式の光電子増倍管構造体にも等しく
適用できることが理解されよう。

光電子増倍管１は、当該放射の波長を比較的透過する材
料で形成されたフェイスプレー１〜即ち窓３を備えてい
る。紫外線に使用する場合、このフェイスブレーＩ〜の
窓は、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、フッ化バ
リウム、サファイア及び成る種の紫外線透過性のガラス
といった材料で形成することができる。窓３の内面には
ホトカソード材料５が付着される。このホトカソード５
は、テルル化ルビジウム、テルル化セシウム、ヨウ化セ
シウム又はヨウ化ルビジウムといった種々の紫外線感知
材料で形成される。テルル化セシウム及びテルル化ルビ
ジウムは、紫外線領域において良好な量子係数を示すと
共に、テルリウムについては蒸着プロセスをそしてルビ
ジウム又はセシウムについてはガス拡散プロセスを各々
用いて容易に付着できるので、特に有用である。ホトカ
ソードの形成プロセスについては、以下で詳細に述べる
。

れたところに、少なくとも１つの環状の収束電極７が設
けられる。又、第１及び第２のダイノード段１１−及び
１３も示されており、これらは、構造が同様であり、直
流電圧源に接続される環状電極１５と、ダイノード１７
（ここでは、ペニス風ブラインド型のものとして示され
ている）と、メツシュスクリーン即ちグリッド１９とを
含んでいる。

電極１５、ダイノード１７及びグリッド１９は、通常は
、全て互いに電気的に接続されて、同じ電位となるよう
にされている。通常は、ダイノード段１１及び１−３と
構造が同様な更に別のダイノード段があるが、図示明瞭
化のため第１図から省かれている。

ディスク状の収集アノードは、第１図に示されておらず
、これは、光電子増倍管１の窓３とは反対の端に配置さ
れ、最終ダイノード段により放射された電子を収集する
ように働く。

第１図に示すように、各々のダイノード段は、一連のガ
ラスリング即ちスペーサ２１、により、その隣接するダ
イノード段から離間される。窓３は、環状のガラススペ
ーサ２３により収束電極７及びダイノード構造体から離
間されている。

作動中、ホトカソード材料５が感知する放射（例えば、
紫外線）の光子がホトカソード材料によって吸収され、
ホトカソード材料の後面から光電子が放出される。ホト
カソード５と各々の電子加速構造体（収束電極７及びダ
イノード段１］１．１３等）との間に直流電位が印加さ
れ且つ次々の各電子加速構造体に印加される電位がその
手前のものよりも更に正にされた（例えば、ダイノード
段１．３がダイノード段１１よりも更に正にされた）場
合には、ホトカソード材料５によって放出された光電子
が第１のダイノード段１１に向かって加速され、ダイノ
ード１７に衝突させられる。ダイノード１７の面には、
良好な二次電子放射特性を示す材料、例えば、酸化ベリ
リウムが被覆されている。−次の光電子が衝突すると、
ダイノードの面から１つ以上の二次電子が放射される。

これらの二次電子は、次のダイノード段（これには、更
に正の電位が印加されている）へ吸引され、各法々のダ
イノード段ごとにこのプロセスが行なわれて、やがて電
子がアノードに収集される。このようにして、使用され
るダイノード段の数により、数千又は数百万の利得を得
ることができる。

ダイノード段のグリッド１９は、ダイノード１７から放
出された二次電子がダイノードから短い距離だけ移動で
きるようにすることにより、これら二次電子の収集性を
改善するように働くことに注意されたい。これは、グリ
ッド１９がダイノード１７と同じ電位に保たれることに
よるものである。グリッド１９は、非常に小さいメツシ
ュであり、ダイノードに向かって加速される一次電子の
移動を著しく妨げるものではない。

前記したように、いわゆる「ソラー・ブラインド」型の
光電子増倍管に伴う１つの問題点は、ホトカソード材料
５を窓３に付着するための処理技術及び材料により、電
子加速構造体（例えば、収束電極７、ダイノード段１１
．１３等）の面がホトカソードの形成の用いられるアル
カリ金属で不所望に汚れることである。この汚れにより
、電子加速構造体が不所望な波長（例えば、３５０ない
し４００ナノメータ以上の波長）において光放射性とな
ってしまう。

この問題がいかに生じるかを説明するためには、ホトカ
ソードを形成する１つの一般的なプロセスについて簡単
に述べることが必要であろう。

説明上、紫外線を感知するホトカソードを形成するのに
テルル化セシウムを使用するものとする。テルル化セシ
ウムのホトカソードの形成は、公知であり、１９８０年
ニューヨークのロブト・イー・クリーガ（Ｒｏｂｔ、　
Ｅ、Ｋｒｅｊｇｅｒ）出版の第１７９ないし１８２頁に
掲載されたエイ・エイチ・サマー（Ａ、　ＨｌＳｏｍｍ
ｅｒ）氏の「光放射性の材料（Ｐｈｏｔ。

ｅｍｉｓｓｉｖｅ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）Ｊという論文
、及び１９５３年２月のジャーナル・オブ・オプチカル
ソサエテ−１’・オブ・アメリカ（、Ｉｏｕｅｎａｌ　
ｏｆ　ｔｈｅ　０ｐｔｉｃａｌＳｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　
Ａｍｅｒｉｃａ）、第４３巻、第２号の第８１ないし８
３頁に掲載されたイー・タフト（Ｅ。

Ｔａｆｔ）及びエル・アブカー（Ｌ、　Ａｐｋｅｒ）氏
の［テルル化セシウム及びテルル化ルビジウムからの光
放射（Ｐｈｏｔｏｅｍｊｓｓｊ、ｏｎ　ｆｒｏｍ　Ｃｅ
ｓｉｕｍ　ａｎｄ　ＲｕｂｊｄｉｕｍＴｅ］、１ｕｒｉ
ｄｅｄ）　Ｊと題する論文に述べられており、これらを
参照としてここに取り」二げる。

このようなホトカソードに対する典型的なプロセスは、
次の通りである。

第２図に示すように、蒸着ユニット２５により、金属又
は他の導電性の下被膜の薄い層を窓３の内面に付着する
。蒸着ユニット２５は、一対の導電性ワイヤ２４及び２
６を有し、それらの自由端には金属の小さなビード２７
が配置されている。

このビード２７は、耐火性の材料で形成された保護シー
ルド、いわゆる、「ボート」２９によって部分的に包囲
されている。

蒸着ユニット２５は、光電子増倍管１の壁に形成された
開口、いわゆる、「管状部」３１を通して挿入される。

詳細に示されていないが、蒸着ユニット２５は、マニホ
ルド内に配置され、管状部３１に接続された包囲体３２
によって取り巻かれる。この包囲体３２は、ホトカソー
ドの処理中真空状態（約１０−６ｔｏｒｒ）にされる。

第２図に示すように、光電子増倍管１には、第２の管状
部３５を経てアルカリ金属発生ユニット３３が接続され
る。このユニット３３は、例えば、セシウムのようなア
ルカリ金属で形成されたフィラメン１−３４を含み、こ
のフィラメントに電流が通流される。

蒸着ユニット２５は、ビード２７が光電子増倍管１の長
手軸にはゾ沿って配置され且つボート２９の開放端が窓
３に向くように、管状部３１を経て挿入される。約６な
いし８アンペアの電流が蒸着ユニット２５のワイヤに流
され、金属ビードの温度がほりその融点に上昇され、約
１５ないし３０秒間維持される。ビードの面から金属が
蒸発し、窓３の内面に付着する。この種の蒸着は、方向
性がある（即ち、ビード２７の面に対してはゾ垂直であ
る）。ボート２９は、蒸発した金属がダイノード１７の
ような不所望な領域に向かって移動しないようにする。

導電性金属の被膜は、窓３を通る白色光の透過度が、成
る割合、典型的に、］−〇％ないし２０％低下するまで
付着される。この導電性の被膜は、ホトカソードの主材
料が比較的導電性の劣る電気導体であるため、次の処理
段階中に電極として働く。

次いで、ホトカソード材料が付着される。ホトカソード
の付着段階の前に、光電子増倍管の窓領域の温度が約１
００℃まで下げられ、系統（光電子増倍管、蒸着ユニッ
ト及びアルカリ金属発生ユニット）の真空が約１０−”
ｔｏｒｒに維持される。

約５ないし６アンペアの電流が発生ユニット３３のセシ
ウムフィラメント３４に通電され、セシウムがその沸点
に上昇され、このアルカリ金属が光電子増倍管に追加供
給される。成る時間（約１５ないし２０分）の後、セシ
ウムガスが光電子増倍管に拡散され、ホトカソード領域
５に付着し始める。セシウムの付着は、紫外線に対する
光電子増倍管の応答がピークに達するまで続けられる。

光電子増倍管の光応答は、ホトカソード５の一部分を形
成する導電性金属電極と収束電極７との間に、ホトカソ
ードが収束電極より負になるように直流電圧（約１５０
ボルト）を印加し、電極とホトカソードとの間に流れる
電流を測定することによって、測定される。ホトカソー
ドと収束電極との間に流れる電流は、ｌＳ３の被膜から
放出されて電極７に収集される光電子によって生じる。

次いで、蒸着ユニット２５と構造が類似しているがテル
リウムのビードを支持している第２の蒸着ユニットを管
状部３１から光電子増倍管１の内部に挿入する。２ない
し３アンペアの電流をこの蒸着ユニットに通電し、テル
リウムビードの温度を約４５２℃の融点付近に」二昇し
、材料の蒸気圧を蒸発開始点まで上昇する。テルリウム
蒸着ユニットの保護ボート２９は、ビードから蒸発され
るテルリウムが窓３に向かうような方向に設置される。

テルリウムは、ホトカソードの光応答性（紫外線の）が
そのピークから約５０％（通常は、そのピークの４０な
いし６０％）低下するまで蒸発される。

セシウム発生ユニットをもう一度オンにし、光電子増倍
管の光応答性を、その前のピークより高い新たなピーク
まで一般的に上昇させる。次いで、セシウム発生ユニッ
トをオフにし、テルリウム蒸着ユニットをオンにして、
光電子増倍管の光応答測定値がその前のピークの５０％
に下がるまでオンに保つ。新たなセシウムピークが古い
セシウムピークを越えなくなるまでこのプロセスを続け
る。一般に、これは、ホトカソードを完成するまでに全
部で９ないし１６のセシウム及びテルリウムの層を必要
とする。以上のプロセスにより、ホトカソードの組成が
はゾ化学量論的なものとなり、即ち、ホトカソードに存
在するセシウム及びテルリウムのはゾ全部が結合されて
、テルル化セシウム（Ｃｓ２Ｔｅ）を形成するようにさ
れる。

ホトカソードの処理に続き、管状部３５を絞って密封し
、セシウム発生ユニット３３を取り外す。次いで、光電
子増倍管を約１２０ないし１２５℃に加熱してこの温度
に約３０分維持し、光電子増倍管内に存在する汚染物を
焼き尽くす。その−２３〜後、光電子増倍管を室温まで冷却する。

上記のホトカソード形成プロセスでは、ホトカソードを
形成するのに用いるアルカリ金属成分（例えば、セシウ
ム）がホトカソード領域以外の光電子増倍管の面に成る
程度付着することが明らかである。特に、アルカリ金属
成分は、収束電極やダイノードのような電子加速構造体
に付着する。

これは、ホトカソードの処理中にセシウムのようなアル
カリ金属を付着するガス拡散プロセスによるものである
。不都合なことに、これらのアルカリ金属は、望ましく
ない波長、即ち、３５０ないし４００ナノメータ以上の
波長において、良好な光電子放射体となってしまう。又
、これらのホトカソード材料は半透明であるから、電子
加速構造体に付着したアルカリ金属の汚染物により、望
ましくない波長において相当な光応答性（光感知性）が
生じてしまう。

本発明の主たる特徴は、電子加速構造体上に存在する遊
離したアルカリ金属を覆い及び／又はその光放射特性を
不動態化する一方、良好な二次電子放射性も示すような
ハロゲン化アルカリの被膜を電子加速構造体に付着する
ことである。

電子加速構造体にこのような被膜を形成するプロセスを
、被膜材料の一例としてヨウ化セシウム（ＣｓＩ）を使
用して以下に説明する。然し乍ら、良好な二次電子放射
係数を示すと共に、比較的低い量子係数を有するもので
あれば、別のハロゲン化アルカリも被膜材料として使用
できることが理解されよう。例えば、臭化セシウム、塩
化セシウム、臭化ルビジウム、塩化ルビジウム、臭化カ
リウム、塩化カリウム、ヨウ化カリウム、フッ化リチウ
ム、臭化ナトリウム、塩化ナトリウム、フッ化ナトリウ
ム及びヨウ化ナトリウムは、どれも、本発明の範囲内に
おいて被膜材料として有用であると分かった。このよう
なハロゲン化アルカリは、１以上の二次電子放射係数を
示すと共に、４００ナノメータ以上の波長において低い
量子係数（１０−３％以下）を示す。特に、ヨウ化セシ
ウム、塩化セシウム、塩化ルビジウム及び臭化ルビジウ
ムは、３５０ないし４００ナノメータ以上の波長におい
て光放射を抑制するように特に良好に働くことが分かっ
た。

ダイノードの面においては遊離したアルカリ金属の存在
によって光感知性を招くという重大な問題が生じるので
、光電子増倍管１の第１ダイノード１７について被膜形
成プロセスを説明する。

このダイノードは、窓３を通して光電子増倍管に入る放
射がこのダイノード面に当るような向きとされているた
めに、遊離したアルカリ金属の汚染の影響を最も受は易
いものである。

成る形式の標準的なダイノードは、ベリリウム銅、例え
ば、約２％のベリリウムで合金化された銅から形成され
る。ベリリウム銅のダイノードは、一般に、良好な二次
電子放出特性を示す材料、例えば、酸化ベリリウム（Ｂ
ａＯ）の表面被膜を有している。ホトカソードの遊離し
たアルカリ金属成分は、この酸化ベリリウム面に付着し
、３５０ないし４００ナノメータ以上の波長に対し不所
望な光感知性をもたらすと考えられる。

ダイノードの処理は、第１ダイノード段１１と収束電極
７との間に、ダイノードが収束電極に対して負となるよ
うに、直流電圧（約１５０ポルＩ〜）を印加することに
よって開始される。」二記のテルリウム蒸着ユニットと
構造が類似したヨウ化セシウムの蒸着ユニツ１〜］−２
５を、第３図に示すように、管状部３１．を経て光電子
増倍管に挿入する。然し乍ら、この蒸着ユニットは、そ
のシールド即ち「ボート」　１２９がヨウ化セシウムを
ダイノード１７に向けるような方向とされる点で、テル
リウムの蒸着ユニットとは異なる。

２ないし３アンペアの電流を蒸着ユニットに流し、ヨウ
化セシウムビード１２７の温度をその融点付近まで上昇
し、ビードの蒸気圧を蒸発開始に充分な高さまで上昇さ
せる。１．　ＯＯワットの電球（図示せず）を光電子増
倍管の窓３上約５０ａｎのところからダイノード１７に
向けて下方に光を収束し、これを用いて、ダイノードの
光応答性、即ち、ダイノード１７の表面からの光電子放
出により第１ダイノード段１］と収束電極７との間に生
じる電流を測定する。

ヨウ化セシウムを付着する前のダイノードの光応答性は
、一般に、工ないし５　Ｘ　１０−１０アンペアの範囲
である。ヨウ化セシウムがダイノード１７に蒸着するに
つれて、光応答性は、工ないし２Ｘ１０−１２アンペア
未満に達するまで低下する。

これには、一般に、１．５ないし３分を要する。

光応答性がｉ−Ｘ　１０−”２アンペア程度以下に低下
した時に、蒸着を停止し、ダイノードの処理を完了する
。ダイノードの処理中、光電子増倍管は室温に保持し、
光電子増倍管の内圧は、できるだけ１０−８ｔｏｒｒ付
近に保持する。

次いで、ヨウ化セシウムの蒸着ユニットを光電子増倍管
から取り出し、管状部３１を絞り（光電子増倍管１内を
真空に維持したま＞）、光電子増倍管の処理を終了する
。

第４図は、ホトカソードを処理し、ダイノードの被膜形
成処理を終了した後のダイノード１７の面の構造を示し
ている。ダイノードは、ベリリウム銅の基体即ち下層３
７を含み、その上に酸化ベリリウムの層３９が付着され
ている。この酸化ベリリウム層の上には、遊離したアル
カリ金属、例えば、セシウムの層があり、これは、ホト
カソードの蒸着プロセス中に不所望にも付着したもので
ある。最後に、このアルカリ金属層４１の」二には、ハ
ロゲン化アルカリのダイノード被膜材料、例えば、前記
のヨウ化セシウムの層４３が付着される。

前記したように、ハロゲン化アルカリの層４３は、ダイ
ノードの面を汚染する遊離したアルカリ金属を覆って、
窓３を通して入る放射による光放出を抑制するように働
くだけのもであるか、或いは、遊離したアルカリ金属の
層４１と実際に反応して、遊離したアルカリ金属の若干
又は全部を化学的に結着（不動態化）するものであるか
、今のところ分かっていない。又、被膜材料として用い
るように選択されたハロゲン化アルカリのアルカリ金属
成分は、ホトカソードの１成分として用いられるアルカ
リ金属と同程度の電気陰極性又はそれ以上の電気陰極性
でなければならないと考えられる。

別々のダイノードを有する光電子増倍管について」二記
した材料及び技術は、連続チャンネル型のような他の形
式の光電子増倍管構造にも容易に適用できることが明ら
かであろう。第５図に示すように、連続チャンネル型の
光電子増倍管は、ガラスのような材料で形成された管状
の連続ダイノード即ちチャンネル４５を備え、その内面
４７は、良好な二次電子放射性及び電子導電性を示す材
料、例えば、水素ガス中で還元された酸化鉛でドープさ
れている。チャンネル４５の前面及び後面は、電極４９
及び５１を形成するように導電性の材料が被覆されてお
り、これら電極には直流電圧が印加される。出口電極５
１に印加される直流電圧は、入口電極４９に印加される
電圧よりも更に正にされる。

作動中、ホＩ・カソード５３から放出された光電子は、
電極４９に印加された正の直流電圧により、チャンネル
４５の入口に向かって加速される。

これらの光電子は、チャンネル４５のトープされた内面
４７に当り、１つ以上の二次電子を放出させる。これら
の二次電子は、出口電極５］−に印加された更に高い正
の直流電圧により、チャンネル４５の出口に向かって加
速される。これらの二次電子は、チャンネル４５の内面
の更に別の部分に当り、このような二次電子を連鎖的に
生じさせる。

これらの二次電子は、出口電極よりも更に正にされたア
ノード５５に収集される。このようなチャンネル型の増
倍管構造体を１つ以上並列に束ね、マイクロチャンネル
プレート型の光電子増倍管装置を形成することができる
。

ホトカソードの成分としてアルカリ金属が付着されるた
めにチャンネル４５の内面４７に遊離したアルカリ金属
が存在することによりチャンネル内に不所望な光放射性
が生じることが明らかである。このような不所望な応答
性は、第１図ないし第３図について前記したようにハロ
ゲン化アルカリの被膜をチャンネルの内面に付着するこ
とによって減少又は排除できる。

本発明の原理によって被膜形成されたダイノードを有す
る第１図ないし第３図に示す形式の光電子増倍管と、処
理されないダイノードを有する光電子増倍管との比較が
第６図に示されている。

実線は、本発明の原理によって処理されたダイノードを
有する８本の光電子増倍管のグループの平均応答を示す
もので、点線は、同じ構造で同じ処理を受けるがダイノ
ードが本発明のように処理されていない１８本の光電子
増倍管のグループの平均応答を示している。このグラフ
は、光電子増倍管の量子効率（％）を波長の関数として
示している。第６図から明らかなように、約３５０ない
し４０’Ｏナノメータ以上の波長においては、本発明の
原理によって処理された光電子増倍管の感度が、このよ
うな処理を受けない同様の光電子増倍管に比して相当に
減少されている（５５０ナノメータにおいて約１００倍
）。

」二記したダイノードの処理は、光電子増倍管の利得特
性には悪影響を及ぼさず、即ち、二次電子放出特性は、
未処理のダイノードの場合と実質的に同様であることが
分かった。

以上、本発明の詳細な説明したが、種々の変更や修正が
当業者に明らかであろう。従って、以上の説明は、本発
明を解説するためのものに過ぎず、本発明をこれに限定
するものではない。本発明は、特許請求の範囲のみによ
って規定されるものとする。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明を使用することのできる成る形式の光
電子増倍管構造体の部分断面図、第２図は、第１図の光
電子増倍管にホトカソードを付着するプロセスを示す図
、第３図は、ダイノードに被膜を形成するプロセス中の第
１図の光電子増倍管を示す図、第４図は、第１図ないし
第３図に示した光電子増倍管のダイノードの一部分を示
す断面図、第５図は、連続チャンネル型の光電子増倍管
の断面図、そして第６図は、被膜が形成されていないダイノードを有する
光電子増倍管の量子効率（点線）と、本発明により被膜
が形成されたダイノー１−を有する光電子増倍管の量子
効率（実線）とを入射放射の波長の関数としてプロット
したグラフである。１・・・光電子増倍管　　　３・・・窓５・・・ホ１ヘ
カソード　　　７・・・収束電極１１９．１３・・・ダ
イノード段１．５・・・環状電極　　　コア・・・ダイノード１９
・・・グリッド２１．２３・・・スペーサ２５・・・蒸着ユニツ１− ２４．２６・・・ワイヤ　２７・・・ビード２９・・・
シールド即ちボート３１．３５・・・管状部３３・・・アルカリ金属発生ユニット３４・・・フィラメント　３７・・・基体３９・・・酸
化ベリリウムの層４１・・・アルカリ金属の層４３・・・ハロゲン化アルカリの層４５・・・チャンネル手続補正書（方式）昭和　　年　　月　　日１、事件の表示　　　昭和６１年特許願第１６６５５号
３、補正をする者事件との関係　　出願人４、代理人５補正命令の日付　　昭和６１年３月２５日（向合（こ
莢史７よし〕 −’７！ｌ１１７−

Claims

【特許請求の範囲】

（１）光電子増倍管のダイノード等の如き電子加速構造
体のための被膜であって、電子加速構造体上に付着され
た二次電子放出性材料の層を少なくとも１つ含み、この
二次電子放出性の材料は、二次電子放出係数が１以上で
あり且つ量子効率が４００ナノメータ以上の波長におい
て１０＾−＾３％以下であることを特徴とする被膜。
（２）上記二次電子放出性の材料は、ヨウ化セシウム、
臭化セシウム、塩化セシウム、臭化ルビジウム、塩化ル
ビジウム、臭化カリウム、塩化カリウム、ヨウ化カリウ
ム、フッ化リチウム、臭化ナトリウム、塩化ナトリウム
、フッ化ナトリウム及びヨウ化ナトリウムより成る群か
ら選択されたハロゲン化アルカリである特許請求の範囲
第（１）項に記載の被膜。
（３）少なくともアルカリ金属又はその化合物で形成さ
れたホトカソードを有する光電子増倍管のダイノード等
の如き電子加速構造体用の被膜において、電子加速構造
体上に付着された二次電子放出性材料の層を少なくとも
１つ含み、この二次電子放出性の材料は、ヨウ化セシウ
ム、臭化セシウム、塩化セシウム、臭化ルビジウム、塩
化ルビジウム、臭化カリウム、塩化カリウム、ヨウ化カ
リウム、フッ化リチウム、臭化ナトリウム、塩化ナトリ
ウム、フッ化ナトリウム及びヨウ化ナトリウムより成る
群から選択されたハロゲン化アルカリであることを特徴
とする被膜。
（４）選択されたハロゲン化アルカリは、ホトカソード
に付着されたアルカリ金属のハロゲン化物である特許請
求の範囲第（１）項、第（２）項又は第（３）項に記載
の光電子増倍管。
（５）上記の電子加速構造体は、複数の別々のダイノー
ドを含んでいる特許請求の範囲第（１）項、第（２）項
、第（３）項又は第（４）項に記載の光電子増倍管。
（６）上記の電子加速構造体は、連続チャンネル型のも
のである特許請求の範囲第（１）項、第（２）項、第（
３）項又は第（４）項に記載の光電子増倍管。
（７）上記の電子加速構造体は、ベリリウム銅から形成
された基体を含み、この基体上には酸化ベリリウムの層
が形成され、その上に二次電子放出性の材料が付着され
る特許請求の範囲の前記各項いずれかに記載の光電子増
倍管。
（８）光放射性材料で形成されたホトカソードを有する
光電子増倍管のダイノード等の如き電子加速構造体を被
覆する方法において、電子加速構造体上に二次電子放出
性材料の層を少なくとも１枚付着し、この二次電子放射
性の材料はハロゲン化アルカリであることを特徴とする
方法。
（９）上記のハロゲン化アルカリは、ヨウ化セシウム、
臭化セシウム、塩化セシウム、臭化ルビジウム、塩化ル
ビジウム、臭化カリウム、塩化カリウム、ヨウ化カリウ
ム、フッ化リチウム、臭化ナトリウム、塩化ナトリウム
、フッ化ナトリウム及びヨウ化ナトリウムより成る群か
ら選択される特許請求の範囲第（８）項に記載の方法。
（１０）二次電子放出性の材料を電子加速構造体に付着
する前記段階の前に、少なくとも１つのアルカリ金属又
はその化合物をホトカソードに付着する段階を含む特許
請求の範囲第（８）項又は第（９）項に記載の方法。
（１１）選択されたハロゲン化アルカリは、ホトカソー
ドに付着されるアルカリ金属と同様の電気陰極性又はそ
れ以上の電気陰極性をもつアルカリ金属のハロゲン化物
である特許請求の範囲第（１０）項に記載の方法。
（１２）選択されたハロゲン化アルカリは、ホトカソー
ドに付着されるアルカリ金属のハロゲン化物である特許
請求の範囲第（１１）項に記載の方法。
（１３）アルカリ金属は、ガス拡散によって付着される
特許請求の範囲第（１６）項、第（１７）項又は第（１
８）項に記載の方法。
（１４）ハロゲン化アルカリは、熱蒸着によって付着さ
れる特許請求の範囲第（８）項ないし第（１３）項のい
ずれかに記載の方法。
（１５）光放射性材料で形成されたホトカソードを有す
る光電子増倍管のダイノード等の如き電子加速構造体を
被覆する方法において、ａ）少なくとも１つのアルカリ金属をガス拡散によって
ホトカソードに付着し、そしてｂ）ヨウ化セシウム、塩化セシウム、塩化ルブジウム及
び臭化ルビジウムより成る群から選択した被覆材料を上
記電子加速構造体に付着し、この被覆材料は、前記段階
ａ）の間に上記アルカリ金属の拡散により電子加速構造
体の面に存在する遊離したアルカリ金属を覆うものであ
り、これにより、４００ナノメータ以上の波長の放射に
対する電子加速構造体の光感度を減少したことを特徴と
する方法。