JPS6122323A - コヒ−レントな放射線のビ−ムの位相特性を変更する方法および装置 - Google Patents
コヒ−レントな放射線のビ−ムの位相特性を変更する方法および装置Info
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- JPS6122323A JPS6122323A JP60089955A JP8995585A JPS6122323A JP S6122323 A JPS6122323 A JP S6122323A JP 60089955 A JP60089955 A JP 60089955A JP 8995585 A JP8995585 A JP 8995585A JP S6122323 A JPS6122323 A JP S6122323A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コヒーレントな放射線のビームの位相特性を
変更する方法及び装置に関する。
変更する方法及び装置に関する。
いくつかの分野においては、コヒーレントな放射線、特
にレーザ光のビームを光ファイバに沿って伝達すること
が要求される。コヒーレントな放射線は、波が空間的及
び時間的に同位相にあるような放射線である。この場合
、光ファイバに屈曲部があると、それらの屈曲によりビ
ームの様々に異なる部分が光ファイバの壁に沿ってわず
かに異なる位置で反射され、強め合う干渉及び弱め合う
干渉に至るような幾つかの異なるモードの伝播が起こり
、光ファイバから発せられるビー１、はスペソクルパタ
ーン又は粒状化を示すので、問題が生じる。この現象は
、放射線を統計的に拡散する媒体を介して放射線が伝達
される場合のより一般的な現象の一例である。
にレーザ光のビームを光ファイバに沿って伝達すること
が要求される。コヒーレントな放射線は、波が空間的及
び時間的に同位相にあるような放射線である。この場合
、光ファイバに屈曲部があると、それらの屈曲によりビ
ームの様々に異なる部分が光ファイバの壁に沿ってわず
かに異なる位置で反射され、強め合う干渉及び弱め合う
干渉に至るような幾つかの異なるモードの伝播が起こり
、光ファイバから発せられるビー１、はスペソクルパタ
ーン又は粒状化を示すので、問題が生じる。この現象は
、放射線を統計的に拡散する媒体を介して放射線が伝達
される場合のより一般的な現象の一例である。
記録媒体とレーザ光ビームの相対運動の間にトーン密度
情報に従って変調されるレーザ光ビームで記録媒体が露
光される画像発生の分野においては、レーザ光ビームが
光ファイバを介して伝達されることに起因するスペック
ルパターンは特に望ましくなく、画像再生の質を低下さ
せる。画像は最大強さと最小強さとの統計的分布を示す
。
情報に従って変調されるレーザ光ビームで記録媒体が露
光される画像発生の分野においては、レーザ光ビームが
光ファイバを介して伝達されることに起因するスペック
ルパターンは特に望ましくなく、画像再生の質を低下さ
せる。画像は最大強さと最小強さとの統計的分布を示す
。
この問題を解決しようとする試みの１つは米国特許第３
，９４Ｌ４５６号に記載されている。この米国特許に記
載される装置は、音響光学装置に入射する放射線のビー
ムを拡張する拡散物体を提供する。
，９４Ｌ４５６号に記載されている。この米国特許に記
載される装置は、音響光学装置に入射する放射線のビー
ムを拡張する拡散物体を提供する。
音響光学装置は、この装置において複数の超音波周波数
を励起することにより発生される非振動超音波により制
御される。この励起形態は粒状化を減少させる。この装
置は、拡散物体と、複数の超音波周波数を励起するため
の手段とを設けなければならないという欠点を有する。
を励起することにより発生される非振動超音波により制
御される。この励起形態は粒状化を減少させる。この装
置は、拡散物体と、複数の超音波周波数を励起するため
の手段とを設けなければならないという欠点を有する。
上述の問題を解決する別の試みは、［超音波による光学
的コヒーレント変調（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎ
ｃｅＭｏｄｕｌａｔｉｏｎ ｂｙ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉ
ｃ Ｗａｖｅｓ） Ｊと題する文献：応用光学（Ａｐｐ
ｌｉｅｄ ０ｐｔｉｃｓ）第１９巻第２０号、 ３５４
１〜３５４３ページに記載されている。この場合にも拡
散物体が使用され、拡散された光学的放射線はミラーか
らの反射により音響光学装置を２度通過する。装置は１
０ＭＨｚの超音波により制御される。同様に拡散物体と
、付加的ミラーとを使用しなければならないので、構成
は複雑になる。
的コヒーレント変調（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｏｈｅｒｅｎ
ｃｅＭｏｄｕｌａｔｉｏｎ ｂｙ Ｕｌｔｒａｓｏｎｉ
ｃ Ｗａｖｅｓ） Ｊと題する文献：応用光学（Ａｐｐ
ｌｉｅｄ ０ｐｔｉｃｓ）第１９巻第２０号、 ３５４
１〜３５４３ページに記載されている。この場合にも拡
散物体が使用され、拡散された光学的放射線はミラーか
らの反射により音響光学装置を２度通過する。装置は１
０ＭＨｚの超音波により制御される。同様に拡散物体と
、付加的ミラーとを使用しなければならないので、構成
は複雑になる。
「ファイバ照明器の出力端におけるスペックルパターン
を平滑にする方法（Ｍｃｔｈｏｄｓ ｏｆ Ｓｍｏｏｔ
ｈ−４ｎｇ ｔｈｅ ５ｐｅｃｋｌｅ Ｐａｔｔｅｒｎ
ａｔ ｔｈｅ ｏｕｔｐｕｔ ｏｆ ｆｉ−ｂｒｅ
ｉｌｌｕｍｉｎａｔｏｒｓ） Ｊと題する文献ニオブト
・スペクトローズ（Ｏｐｔ、５ｐｅｃｔｒｏｓｅ）ソ連
、４４（２）１９７８年２月、２１９〜２２１ページに
は、問題を解決するさらに別の方法が記載されている。
を平滑にする方法（Ｍｃｔｈｏｄｓ ｏｆ Ｓｍｏｏｔ
ｈ−４ｎｇ ｔｈｅ ５ｐｅｃｋｌｅ Ｐａｔｔｅｒｎ
ａｔ ｔｈｅ ｏｕｔｐｕｔ ｏｆ ｆｉ−ｂｒｅ
ｉｌｌｕｍｉｎａｔｏｒｓ） Ｊと題する文献ニオブト
・スペクトローズ（Ｏｐｔ、５ｐｅｃｔｒｏｓｅ）ソ連
、４４（２）１９７８年２月、２１９〜２２１ページに
は、問題を解決するさらに別の方法が記載されている。
この方法においては、放射線のビームは、ビームがファ
イバに入る角度を変化させるように振動されるある長さ
の光ファイバに入射される。ファイバのこの機械的偏向
ば非常に低速であり、高精度画像発生システムには不十
分である。
イバに入る角度を変化させるように振動されるある長さ
の光ファイバに入射される。ファイバのこの機械的偏向
ば非常に低速であり、高精度画像発生システムには不十
分である。
〔問題点を解決するための手段、および作用〕本発明の
一つの形態によれば、コヒーレントな放射線のビームの
位相特性を変更する方法は、放射線のビームを位相回折
格子に通す過程と、位相回折格子に制御関数を加える過
程であって、格子の伝達特性が制御関数の周波数に応答
することから成り、制御関数の周波数は比較的速い速度
で動作周波数の範囲にわたり繰返し掃引され、それによ
り、位相回折格子から実質的に空間的にインコヒーレン
トな放射線のビームが伝達されることを特徴とする。
一つの形態によれば、コヒーレントな放射線のビームの
位相特性を変更する方法は、放射線のビームを位相回折
格子に通す過程と、位相回折格子に制御関数を加える過
程であって、格子の伝達特性が制御関数の周波数に応答
することから成り、制御関数の周波数は比較的速い速度
で動作周波数の範囲にわたり繰返し掃引され、それによ
り、位相回折格子から実質的に空間的にインコヒーレン
トな放射線のビームが伝達されることを特徴とする。
本発明の第２の形態によれば、画像発生装置は、コヒー
レントな放射線のビームを発生ずる放射線源と；放射線
に対して感光する記録媒体の支持体であって、放射線の
ビーム及び記録媒体の支持体は、放射線のビームが記録
媒体の支持体を走査するように互いに相対的に移動自在
であるものと；画像情報に従って放射線のビームを変調
する第１の変調手段と；位相回折格子から成る第２の変
調手段と；位相回折格子から実質的に空間的にインコヒ
ーレントな放射線のビームが伝達されるように、格子の
伝達特性を制御するために比較的速い速度で成る周波数
の範囲にわたり繰返し掃引される周波数を有する制御関
数を発生する制御関数発生器とを具備する。
レントな放射線のビームを発生ずる放射線源と；放射線
に対して感光する記録媒体の支持体であって、放射線の
ビーム及び記録媒体の支持体は、放射線のビームが記録
媒体の支持体を走査するように互いに相対的に移動自在
であるものと；画像情報に従って放射線のビームを変調
する第１の変調手段と；位相回折格子から成る第２の変
調手段と；位相回折格子から実質的に空間的にインコヒ
ーレントな放射線のビームが伝達されるように、格子の
伝達特性を制御するために比較的速い速度で成る周波数
の範囲にわたり繰返し掃引される周波数を有する制御関
数を発生する制御関数発生器とを具備する。
本発明においては、繰返し掃引される周波数を有する制
御関数を使用するため、コヒーレントな放射線の様々に
異なる部分の位相は異なる量だけ遅延され、従って、ビ
ームの異なる部分の間に相関がなくなり、実質的に空間
的にインコヒーレントなビームが得られる。
御関数を使用するため、コヒーレントな放射線の様々に
異なる部分の位相は異なる量だけ遅延され、従って、ビ
ームの異なる部分の間に相関がなくなり、実質的に空間
的にインコヒーレントなビームが得られる。
「比較的高速」であるとは、掃引周波数のいくつかのサ
イクル（たとえば３あるいはそれ以上）が記録媒体の積
分時間において生じるということを意味する。
イクル（たとえば３あるいはそれ以上）が記録媒体の積
分時間において生じるということを意味する。
位相回折格子の１つの特に好都合な形態は音響光学（Ａ
１０）変調器である。音響光学変調器においては、電圧
信号がガラス又は適切な水晶に取付けられるトランスジ
ューサに印加されることにより、水晶の内部に音響信号
が発生され、この信号は圧縮波及び膨張波の形態で水晶
の中を伝達される。水晶の屈折率はそれらの圧縮波に応
答して変化し、圧縮波領域では相対的に高く、非圧縮波
領域では相対的に低い。このような屈折率の差によって
、入射光ビームは、音響信号の周波数により、従って制
御関数、すなわち電圧信号の周波数により決定される大
きさの回折角度だけ回折される。制御関数（すなわち電
圧信号）の振幅は零次伝達ビームと一次ビームとの間の
エネルギーの分布を制御する。音波と入射光ビームの相
互作用は光ビームの位相を遅延させるので、回折が達成
される。
１０）変調器である。音響光学変調器においては、電圧
信号がガラス又は適切な水晶に取付けられるトランスジ
ューサに印加されることにより、水晶の内部に音響信号
が発生され、この信号は圧縮波及び膨張波の形態で水晶
の中を伝達される。水晶の屈折率はそれらの圧縮波に応
答して変化し、圧縮波領域では相対的に高く、非圧縮波
領域では相対的に低い。このような屈折率の差によって
、入射光ビームは、音響信号の周波数により、従って制
御関数、すなわち電圧信号の周波数により決定される大
きさの回折角度だけ回折される。制御関数（すなわち電
圧信号）の振幅は零次伝達ビームと一次ビームとの間の
エネルギーの分布を制御する。音波と入射光ビームの相
互作用は光ビームの位相を遅延させるので、回折が達成
される。
通常、制御関数の動作周波数の範囲はＩＯＭ■２からｌ
ｏＯＭＨｚである。
ｏＯＭＨｚである。
一つの実施例においては、制御関数の周波数を６０ＭＨ
ｚと８０ＭＨｚとの間で掃引１−ることができる。周波
数は、たとえば５００ Ｋ Ｈｚ以−にで、ランプ方式
、のこぎり波力式又は正弦方式で掃引されれば良い。
ｚと８０ＭＨｚとの間で掃引１−ることができる。周波
数は、たとえば５００ Ｋ Ｈｚ以−にで、ランプ方式
、のこぎり波力式又は正弦方式で掃引されれば良い。
記録媒体が放射線の露光ビームに対して相対的に移動す
る画像発生方法に上述の方法を採用する場合、掃引速度
は、記録媒体が露光ビームの幅に等しい距離を移動する
のに要する時間より速いのが好ましい。これは、ビーム
幅の中では位相の変化を検出することができず、記録媒
体は位相ではなく、強さに感応するためである。このよ
うに、スペックルパターンの問題は回避される。一般に
、音響光学変調器の場合、伝達されるビームの位相の変
化は音波がビーム幅だけ移動するのに要する時間よりは
るかに速い。
る画像発生方法に上述の方法を採用する場合、掃引速度
は、記録媒体が露光ビームの幅に等しい距離を移動する
のに要する時間より速いのが好ましい。これは、ビーム
幅の中では位相の変化を検出することができず、記録媒
体は位相ではなく、強さに感応するためである。このよ
うに、スペックルパターンの問題は回避される。一般に
、音響光学変調器の場合、伝達されるビームの位相の変
化は音波がビーム幅だけ移動するのに要する時間よりは
るかに速い。
本発明の方法の主な用途の１つは、レーザ光と標準の光
ファイバ束との結合を可能にすることであり、これは、
通常のコヒーレントレーザ光を使用するときに発生する
スペックルパターンを形成することなく達成される。
ファイバ束との結合を可能にすることであり、これは、
通常のコヒーレントレーザ光を使用するときに発生する
スペックルパターンを形成することなく達成される。
放射線は、可視波帯及び／又は紫外線のような隣接する
不可視波帯の中の波長を有する光学的放射線であるのが
好ましい。
不可視波帯の中の波長を有する光学的放射線であるのが
好ましい。
通常、第１の変調手段は音響光学変調器又は電気光学（
Ｅｌｏ）変調器から構成されれば良い。
Ｅｌｏ）変調器から構成されれば良い。
しかしながら、場合によっては、第１及び第２の変調手
段を組合せて使用するか、又は単一の音響光学変調器で
構成しても良い。この場合、制御関数（印加されるｒｆ
電力）の包絡線を必要な画像信号に従うように変調する
ことができる。最大ｒｆ電力が変調器に印加されると、
入射ビームは完全に回折されてインコヒーレントビーム
となるが、ｒｆ電力の部分レベルが印加された場合には
、入射ビームの一部は偏向されないままであり、従来の
吸収器に導かれる。ビームのその他の部分は前述のよう
に回折される。エネルギーは印加されるｒｆ電力のレベ
ルに従って２つのビームに分配される。
段を組合せて使用するか、又は単一の音響光学変調器で
構成しても良い。この場合、制御関数（印加されるｒｆ
電力）の包絡線を必要な画像信号に従うように変調する
ことができる。最大ｒｆ電力が変調器に印加されると、
入射ビームは完全に回折されてインコヒーレントビーム
となるが、ｒｆ電力の部分レベルが印加された場合には
、入射ビームの一部は偏向されないままであり、従来の
吸収器に導かれる。ビームのその他の部分は前述のよう
に回折される。エネルギーは印加されるｒｆ電力のレベ
ルに従って２つのビームに分配される。
本発明の方法及び装置は、三波長混色画像発生システム
において、カラー印画紙上に校正刷りを発生ずるために
使用することができるであろう。
において、カラー印画紙上に校正刷りを発生ずるために
使用することができるであろう。
この場合、赤色、緑色及び青色に対応する３本の異なる
レーザビームが発生される。これらのビームは、電気光
学変調器又は音響光学変調器から成る従来の第１の変調
手段に供給され、次に、掃引周波数ＲＦを制御関数とす
る３つの音響光学変調器から成る第２の変調手段と、実
質的にインコヒーレントなビームが結合される３本の光
ファイバ束とに供給される。
レーザビームが発生される。これらのビームは、電気光
学変調器又は音響光学変調器から成る従来の第１の変調
手段に供給され、次に、掃引周波数ＲＦを制御関数とす
る３つの音響光学変調器から成る第２の変調手段と、実
質的にインコヒーレントなビームが結合される３本の光
ファイバ束とに供給される。
〔実施例〕
以下、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図に示される画像発生システムはクロスフィールド
・マグナスキャン６００シリーズに含まれるシステムに
類似しており、軸２に関して回転自在である露光ドラム
１を具備し、露光ドラム】は露光ヘッド３に隣接して配
置される。露光ヘッドは親ねじ４に取付けられ、使用中
、その親ねしに沿って移動する。簡単にするために、放
射線ビームを露光ヘッド３に導くための光ファイバ束５
は１本であるとして示されている。実際には、それぞれ
対応する変調器と関連する複数の光ファイバ束が設けら
れるものと考えられる。レーザ６が設けられ、レーザ６
からのレーザビーム７は電気光学変調器８に入射する。
・マグナスキャン６００シリーズに含まれるシステムに
類似しており、軸２に関して回転自在である露光ドラム
１を具備し、露光ドラム】は露光ヘッド３に隣接して配
置される。露光ヘッドは親ねじ４に取付けられ、使用中
、その親ねしに沿って移動する。簡単にするために、放
射線ビームを露光ヘッド３に導くための光ファイバ束５
は１本であるとして示されている。実際には、それぞれ
対応する変調器と関連する複数の光ファイバ束が設けら
れるものと考えられる。レーザ６が設けられ、レーザ６
からのレーザビーム７は電気光学変調器８に入射する。
電気光学変調器８は、従来のように、あらかじめ発生さ
れるトーン密度及びハーフトーン情報に応答してビーム
コンピュータ９により制御される。この場合、電気光学
変調器８からの零次ビームは音響光学変調器１０に供給
される。音響光学変調器１０の伝達特性は制御、 装置
１１により制御される。音響光学変調器１０は入射する
コヒーレントなレーザビームを実質的に空間的にインコ
ヒーレントなビーム１２に変換し、このビームは光ファ
イバ束５に供給される。
れるトーン密度及びハーフトーン情報に応答してビーム
コンピュータ９により制御される。この場合、電気光学
変調器８からの零次ビームは音響光学変調器１０に供給
される。音響光学変調器１０の伝達特性は制御、 装置
１１により制御される。音響光学変調器１０は入射する
コヒーレントなレーザビームを実質的に空間的にインコ
ヒーレントなビーム１２に変換し、このビームは光ファ
イバ束５に供給される。
動作に際して、軸２に関して比較的急速に回転される露
光ドラム１に写真フィルム１′が取付けられる。同時に
、親ねじ４は比較的低速で回転されるので、露光ヘッド
３は露光ドラム１に沿って移動し、露光ヘッド３から発
せられる光のビームは写真フィルム上に螺旋状の軌跡を
描く。
光ドラム１に写真フィルム１′が取付けられる。同時に
、親ねじ４は比較的低速で回転されるので、露光ヘッド
３は露光ドラム１に沿って移動し、露光ヘッド３から発
せられる光のビームは写真フィルム上に螺旋状の軌跡を
描く。
第２図は音響光学変調器１０をさらに詳細に示す。音響
光学変調器は適切な水晶のブロック１３を含み、このブ
ロックにトランスジューサ１４が取付けられる。代表的
な音響光学変調器はゴソチ・アンド・ハウスゴ社が製造
しているＡＯＭＯＯＩである。制御装置ｔｌｌはトラン
スジューサ１４に接続され、トランスジューサ１４に印
加されるべきｒｆ倍信号発生する。ｒｆ倍信号水晶ブロ
ック１３の内部に音波を発生させ、その音波は圧縮波及
び膨張波の形態で水晶の中を伝達される。これは図中符
号１５により概略的に示されている。圧縮波の各領域は
その位置における水晶の屈折率を大きくし、それにより
、入射レーザビームに対して位相遅延を発生させる。そ
の結果、レーザビームは角度ａだけ回折されるが、この
角度の大きさはｒｆ駆動電力の周波数によって決まる。
光学変調器は適切な水晶のブロック１３を含み、このブ
ロックにトランスジューサ１４が取付けられる。代表的
な音響光学変調器はゴソチ・アンド・ハウスゴ社が製造
しているＡＯＭＯＯＩである。制御装置ｔｌｌはトラン
スジューサ１４に接続され、トランスジューサ１４に印
加されるべきｒｆ倍信号発生する。ｒｆ倍信号水晶ブロ
ック１３の内部に音波を発生させ、その音波は圧縮波及
び膨張波の形態で水晶の中を伝達される。これは図中符
号１５により概略的に示されている。圧縮波の各領域は
その位置における水晶の屈折率を大きくし、それにより
、入射レーザビームに対して位相遅延を発生させる。そ
の結果、レーザビームは角度ａだけ回折されるが、この
角度の大きさはｒｆ駆動電力の周波数によって決まる。
音響光学変調器１０は、射出レーザビームを光ファイバ
束５へ導くレンズ１６をさらに含む。
束５へ導くレンズ１６をさらに含む。
粒状化を低減するために、ｒｆ駆動電力の周波数は動作
周波数の範囲、たとえば５０ＭＨｚから１００ＭＨｚの
範囲で掃引される。これにより、水晶フロック１３の内
部において圧縮波のランダム配列が有効に得られるので
、入射レーザビームの様々に異なる部分がそれぞれ異な
る任意の量だけ位相遅延され、従って、水晶でロック１
３により発生されるビームは実質的に空間的にインコヒ
ーレントとなる。
周波数の範囲、たとえば５０ＭＨｚから１００ＭＨｚの
範囲で掃引される。これにより、水晶フロック１３の内
部において圧縮波のランダム配列が有効に得られるので
、入射レーザビームの様々に異なる部分がそれぞれ異な
る任意の量だけ位相遅延され、従って、水晶でロック１
３により発生されるビームは実質的に空間的にインコヒ
ーレントとなる。
第１図に示される装置の場合、レーザビームの幅は通常
は１ｍｍであり１、写真フィルムがビーＪ、幅を通過す
るのに約５マイクロ秒を要する。これは「ドウエル時間
」として知られている。従って、位相の変化はドウエル
時間より速く達成されなければならず、第３図に示され
るように、ある１つの方法においては、電圧信号は１マ
イクロ秒の間に周波数範囲にわたり掃引される。これは
十分にドウエル時間内であるので、位相差は露光中のフ
ィルムに現われない。電圧信号の掃引は第３図において
はのこぎり彼方式で実施される。
は１ｍｍであり１、写真フィルムがビーＪ、幅を通過す
るのに約５マイクロ秒を要する。これは「ドウエル時間
」として知られている。従って、位相の変化はドウエル
時間より速く達成されなければならず、第３図に示され
るように、ある１つの方法においては、電圧信号は１マ
イクロ秒の間に周波数範囲にわたり掃引される。これは
十分にドウエル時間内であるので、位相差は露光中のフ
ィルムに現われない。電圧信号の掃引は第３図において
はのこぎり彼方式で実施される。
通常、ｒｆ駆動電力は数百ミリワットであるが、実際の
レベルは音響光学（Ａ１０）相互作用媒体として選択さ
れる材料と、光の波長とによって異なる。たとえば、駆
動電力を２００ ミリワットまで低くすることは可能で
あろうが、通常は４００ ミリワット以下の電力が使用
される。
レベルは音響光学（Ａ１０）相互作用媒体として選択さ
れる材料と、光の波長とによって異なる。たとえば、駆
動電力を２００ ミリワットまで低くすることは可能で
あろうが、通常は４００ ミリワット以下の電力が使用
される。
第４図に示される実施例は、変調器８．１０が共通の音
響光学変調器１７により提供されることを除いて、第１
図の実施例と同様である。この実施例においては、ｒｆ
発生器１１はビームコンピュータ９に反復的に掃引され
た制御信号を供給し、ビームコンピュータは、その制御
信号が変調器１７に印加される前に、画像密度及びハー
フトーン情報に従って制御信号を変調する。変調器１７
に印加される制御信号の形態を第５図に示す。ｒｆ発生
器１１により発生される制御信号の包絡線が画像密度情
報に従って変調されていることがわかる。
響光学変調器１７により提供されることを除いて、第１
図の実施例と同様である。この実施例においては、ｒｆ
発生器１１はビームコンピュータ９に反復的に掃引され
た制御信号を供給し、ビームコンピュータは、その制御
信号が変調器１７に印加される前に、画像密度及びハー
フトーン情報に従って制御信号を変調する。変調器１７
に印加される制御信号の形態を第５図に示す。ｒｆ発生
器１１により発生される制御信号の包絡線が画像密度情
報に従って変調されていることがわかる。
第１図は、画像発生システムの一実施例を示すブロック
線図、第２図は、レーザビームの位相特性を変調する装
置をさらに詳細に示す図、第３図は、第１゛図に示され
る音響光学変調器に印加される電圧信号の時間に伴なう
周波数の変化を示す図、第４図は、画像発生システムの
第２の実施例を示すブロック線図、第５図は、第４図に
示される音響光学変調器に印加される電圧信号の時間に
伴なう周波数の変化を示す図である。 １−露光ドラム、 １′−写真フィルム、６−レ
ーザ、 ７−レーザビーム、８−電気光学変
調器、９−ビームコンピュータ、１〇−音響光学変調器
、 １１−制御装置１（ｒｆ発生器）、 １７−共通音響光学変調器。 以下余白 手続補正書（方式） 昭和６０年８月ｔｆ；日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 １、事件の表示 昭和６０年特許願第８９９５５号 ２、 発明の名称 コヒーレントな放射線のビームの位相特性を変更する方
法および装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 クロスフィールド エレクトロニクスリミティ
ド ４、代理人 住所 〒１０５東京都港区虎ノ門−丁目８番１０号６、
補正の対象 （１）願書の１出願人の代表者」の欄 （２）委任状 （３）図 面 ７、補正の内容 （＋１ｆ２１別紙の通り （３）図面の浄書（内容に変更なし） ８、添付書類の目録
線図、第２図は、レーザビームの位相特性を変調する装
置をさらに詳細に示す図、第３図は、第１゛図に示され
る音響光学変調器に印加される電圧信号の時間に伴なう
周波数の変化を示す図、第４図は、画像発生システムの
第２の実施例を示すブロック線図、第５図は、第４図に
示される音響光学変調器に印加される電圧信号の時間に
伴なう周波数の変化を示す図である。 １−露光ドラム、 １′−写真フィルム、６−レ
ーザ、 ７−レーザビーム、８−電気光学変
調器、９−ビームコンピュータ、１〇−音響光学変調器
、 １１−制御装置１（ｒｆ発生器）、 １７−共通音響光学変調器。 以下余白 手続補正書（方式） 昭和６０年８月ｔｆ；日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 １、事件の表示 昭和６０年特許願第８９９５５号 ２、 発明の名称 コヒーレントな放射線のビームの位相特性を変更する方
法および装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 クロスフィールド エレクトロニクスリミティ
ド ４、代理人 住所 〒１０５東京都港区虎ノ門−丁目８番１０号６、
補正の対象 （１）願書の１出願人の代表者」の欄 （２）委任状 （３）図 面 ７、補正の内容 （＋１ｆ２１別紙の通り （３）図面の浄書（内容に変更なし） ８、添付書類の目録
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、コヒーレントな放射線のビーム（７）を位相回折格
子（１０）に通す過程と、位相回折格子（１０）に制御
関数を加える過程とを具備し、該格子の伝達特性は制御
関数の周波数に応答する、コヒーレントな放射線のビー
ム（７）の位相特性を変更する方法において、制御関数
の周波数は比較的速い速度で動作周波数の範囲にわたり
繰返し掃引され、それにより、位相回折格子から実質的
に空間的にインコヒーレントな放射線のビームが伝達さ
れることを特徴とする方法。 ２、制御関数の動作周波数の範囲は１０ＭＨｚから１０
０ＭＨｚである特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、動作周波数の範囲は６０ＭＨｚから８０ＭＨｚであ
る特許請求の範囲第２項記載の方法。 ４、制御関数はランプ方式、のこぎり波方式及び正弦方
式の中の１つに従って掃引される特許請求の範囲第１項
から第３項のいずれか１つの項に記載の方法。 ５、制御関数は少なくとも５００ＫＨｚで掃引される特
許請求の範囲第１項から第４項のいずれか１つの項に記
載の方法。 ６、放射線は光学的放射線である特許請求の範囲第１項
から第５項のいずれか１つの項に記載の方法。 ７、記録媒体（１′）がコヒーレントな放射線のビーム
（７）により露光され１つそれに対して相対的に移動し
、掃引速度は、露光ビームの幅に等しい距離を記録媒体
（１′）が移動するのに要する時間より速い特許請求の
範囲第１項から第６項のいずれか１つの項に記載の画像
発生方法。 ８、コヒーレントな放射線のビーム（７）を発生する放
射線源（６）と；放射線に対して感応する記録媒体（１
′）の支持体（１）であって、コヒーレントな放射線の
ビーム（７）及び記録媒体の支持体（１）はコヒーレン
トな放射線のビームが記録媒体を走査するように互いに
相対的に移動可能であるものと、画像情報に従ってコヒ
ーレントな放射線のビーム（７）を変調する第１の変調
手段（８、９）と；位相回折格子から成る第２の変調手
段（１０）と；位相回折格子（１０）から実質的に空間
的にインコヒーレントな放射線のビームが伝達されるよ
うに、格子の伝達特性を制御するために比較的速い速度
で或る周波数の範囲にわたり繰返し掃引される周波数を
有する制御関数を発生する制御関数発生器（１１）とを
具備する画像発生装置。 ９、位相回折格子は音響光学（Ａ／Ｏ）変調器（１０）
から構成される特許請求の範囲第８項記載の画像発生装
置。 １０、放射線源はレーザ（６）から構成される特許請求
の範囲第８項又は第９項記載の画像発生装置。 １１、第１及び第２の変調手段は共通音響光学変調器（
１７）により提供され、制御関数発生器は画像情報に従
って制御関数の包絡線を変調する特許請求の範囲第８項
から第１０項のいずれか１つの項に記載の画像発生装置
。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB848410973A GB8410973D0 (en) | 1984-04-30 | 1984-04-30 | Modifying coherent radiation |
| GB8410973 | 1984-04-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6122323A true JPS6122323A (ja) | 1986-01-30 |
Family
ID=10560281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60089955A Pending JPS6122323A (ja) | 1984-04-30 | 1985-04-27 | コヒ−レントな放射線のビ−ムの位相特性を変更する方法および装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4647158A (ja) |
| EP (1) | EP0162595B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6122323A (ja) |
| DE (1) | DE3572044D1 (ja) |
| GB (1) | GB8410973D0 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4685778A (en) * | 1986-05-12 | 1987-08-11 | Pollock David B | Process for nuclear hardening optics and product produced thereby |
| EP0326612B1 (en) * | 1987-08-10 | 1993-03-10 | Hughes Aircraft Company | Optical notch filter for discriminating against coherent radiation |
| US4874223A (en) * | 1987-08-10 | 1989-10-17 | Hughes Aircraft Company | Optical notch filter for discriminating against coherent radiation |
| US5264869A (en) * | 1991-08-19 | 1993-11-23 | Xerox Corporation | Electro-optical control apparatus and system for spot position control in an optical output device |
| DE19501525C1 (de) * | 1995-01-19 | 1996-04-04 | Schneider Rundfunkwerke Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Vermindern von Interferenzen eines kohärenten Lichtbündels |
| US6191887B1 (en) | 1999-01-20 | 2001-02-20 | Tropel Corporation | Laser illumination with speckle reduction |
| EP1171793B1 (de) * | 1999-04-12 | 2002-10-09 | Deutsche Telekom AG | Verfahren und vorrichtung zur reduktion der speckelbildung an einem projektionsschirm |
| DE19924519A1 (de) | 1999-04-12 | 2000-10-19 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Reduktion der Speckelsbildung an einem Projektionsschirm |
| US7136159B2 (en) * | 2000-09-12 | 2006-11-14 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Excimer laser inspection system |
| US6693930B1 (en) | 2000-12-12 | 2004-02-17 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Peak power and speckle contrast reduction for a single laser pulse |
| US7672043B2 (en) * | 2003-02-21 | 2010-03-02 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Catadioptric imaging system exhibiting enhanced deep ultraviolet spectral bandwidth |
| US7639419B2 (en) * | 2003-02-21 | 2009-12-29 | Kla-Tencor Technologies, Inc. | Inspection system using small catadioptric objective |
| US7869121B2 (en) | 2003-02-21 | 2011-01-11 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Small ultra-high NA catadioptric objective using aspheric surfaces |
| US7884998B2 (en) | 2003-02-21 | 2011-02-08 | Kla - Tencor Corporation | Catadioptric microscope objective employing immersion liquid for use in broad band microscopy |
| US7646533B2 (en) * | 2003-02-21 | 2010-01-12 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Small ultra-high NA catadioptric objective |
| US20060026431A1 (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-02 | Hitachi Global Storage Technologies B.V. | Cryptographic letterheads |
| US8665536B2 (en) * | 2007-06-19 | 2014-03-04 | Kla-Tencor Corporation | External beam delivery system for laser dark-field illumination in a catadioptric optical system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3941456A (en) * | 1973-03-29 | 1976-03-02 | U.S. Philips Corporation | Device for reducing the granulation in the transmission of optical information by means of a highly coherent beam of radiation |
| JPS5344827A (en) * | 1976-10-04 | 1978-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Frequency converter |
| JPS546903A (en) * | 1977-06-20 | 1979-01-19 | Asahi Dow Ltd | Binder for asbesto sheet |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4170028A (en) * | 1977-04-06 | 1979-10-02 | Xerox Corporation | Facet tracking in laser scanning |
| JPS5785279A (en) * | 1980-11-17 | 1982-05-27 | Mitsubishi Electric Corp | Coupler for semiconductor laser and optical fiber |
-
1984
- 1984-04-30 GB GB848410973A patent/GB8410973D0/en active Pending
-
1985
- 1985-04-24 EP EP85302862A patent/EP0162595B1/en not_active Expired
- 1985-04-24 DE DE8585302862T patent/DE3572044D1/de not_active Expired
- 1985-04-27 JP JP60089955A patent/JPS6122323A/ja active Pending
- 1985-04-30 US US06/728,897 patent/US4647158A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3941456A (en) * | 1973-03-29 | 1976-03-02 | U.S. Philips Corporation | Device for reducing the granulation in the transmission of optical information by means of a highly coherent beam of radiation |
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| JPS546903A (en) * | 1977-06-20 | 1979-01-19 | Asahi Dow Ltd | Binder for asbesto sheet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0162595B1 (en) | 1989-08-02 |
| US4647158A (en) | 1987-03-03 |
| DE3572044D1 (en) | 1989-09-07 |
| EP0162595A1 (en) | 1985-11-27 |
| GB8410973D0 (en) | 1984-06-06 |
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