JPS6121769A - 空気で運ばれる粒子を粒子サイズの種類に分離する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エーロゾル（煙霧質）の粒子のような、空気
で運ばれる粒子を粒子サイズによる梯類に分離するため
の装置に関する。

〔従来の技術〕

現在手に入れることのできる上記装置は粒子の分配を計
量するものと考えられてきた。

事実、これらの装置は空気（エーロゾル）中に懸濁して
いる粒子を分離しまたこれらの粒子を分離を保つフィル
ター上に集める装置である。沈殿に際し、エーロゾルの
粒子サイズ分離を得るために、産業上及び環境上の健康
、医業、一般の粉体技術にとって折々必要とされる全て
の分析を行うことができる。このような装置は一般に、
矩形断面のかつろ過された空気が通過するＬ形状の１つ
の通路を具備し、粒子搬送空気が、第１の部分を第２の
部分から分離するわん曲部の上流側の前記通路の第１の
部分の中に注入され、前記通路の鋭いわん曲部を通過す
る際にこれら粒子はその慣性によりその向きと方向を保
持する傾向があるが、その流れに沿って運ばれるもので
ある。同じ大きさを有する粒子は、フィルターの具合良
く区画形成された区域に接触するようになる同じ流れの
線上に配置されるようになシ、そのためこのような粒子
は空気力学的な直径のみの作用である成る距離だけ流動
体の最初の流れから分離され、フィルターはこれら粒子
の空気力学的な大きさに従って異なった位置に配置され
る粒子を集める。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明の目的は、空気で運ばれる粒子、詳細にはエーロ
ゾルの粒子を粒子サイズの種類に分離することができ、
また他の粒子から隔離すべき１つの粒子サイズの種類の
粒子を、この粒子から最も多くの情報が得られるように
し、一方においてこれら粒子を懸濁状態に保持するよう
な、最初に述べた型の装置を提供することである。

本発明のさらに他の目的及び利点は以下の記載から明ら
かとなるであろう。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本発明によれば、空気で運ばれる粒子を粒子サイズの種
類に分離するための装置であって次の構成からなること
を％徴とする装置が提供される。

上方に向って開放されたカップ形状の第１の基底本体で
あって、その中に連続して、これまだ上方に向って開放
された第１．第２及び第３の室が形成され、これらの室
の中には使用中それぞれの所定の値の低圧がつくり出さ
れる、第１の基底本体と、 実質的にＬ形状の第２の上部本体の中に形成された第１
の通路であって、使用中ろ過された空気がその中に流れ
る第１の空洞と、前記第１、第２及び第３の室の入口に
対面しかつ鋭いわん曲部を介して前記第１の空洞に連通
ずる第２の空洞とを有する、第１の通路と、 前記Ｗ１の空洞の中に配置されたノズルであって、前記
わん曲部を通過した後のその中に存在する塵埃の粒子が
その直径に従って種々の粒子サイズの種類に分離し、前
記第１．第２及び第３の室の中に存在する種々の圧力値
に従う量でこれら各室の中に流れるように、ある量の粒
子搬送空気を、前記わん曲部に接近して前記空洞の中に
注入するよう作用する、ノズル とを具備してなる装置。

以下余白 〔実施例〕 本発明をより良く理解するために、添付図面を参照し、
何ら制限されない実例を純粋に示すことにより、好適な
実施態様が訣明されるが、この図面において、空気で運
ばれる多くの粒子を粒子サイズの種類に分離することの
できる装置の部分断面図が示され、そしてこれが符号１
でその全体が表わされている。この装置１は円筒状基底
壁３を有するカップ形状の基部本体２を具備し、この基
底壁３の側面端から上方に円筒形状の側壁４が延びてい
る。この側壁４の上端から外側に、前記基底壁３に平行
に、環状突出部５が延びている。本体２の内部に、７．
８及び１１でそれぞれが示されている３つの同中心の環
状室が形成はれている。

基底壁３の上面の中央部分から上方に円筒状要素１２が
延び、基底３の上面からさらに、要素１２と同中心の２
つの環状要素１３と１４とが上方に延びてお、りそして
これら要素のうち要素１４の方が他の要素の内側に位置
している。最も外側の室７は側壁４の内面と要素１３の
外面とによって区画形成され、室８は要素１３の内面と
要素１４の外面とによって区画形成され、そして最も内
側の室１１は要素１４の内面と要素１２の外面とによっ
て区画形成されている。

使用中、真空が室７，８及び１１内に、各室内で異なっ
た値でつくり出される。このために、各室７，８及び１
１はこの低圧を発生させるよう作動する各ポンプに連通
ずる。側壁４上にねじの切られた半径方向の貫通孔１５
が形成されておりこの貫通孔の中に第１の管ユニオン１
７のねじの切られた部分１６がねじ込まれこの外側部分
１８が孔１５から半径方向に突出し、第１のポンプを室
７と連通させるよう操作可能々図示しないダクトの端部
を支持する。基底壁３の上面上に要素１３及び１４の下
方端部全収容す”る環状溝２１が形成されている。壁３
中の溝２１には第２の管ユニオン２４の上部ねじ切り部
分２３により係合されるねじ切り貫通孔２２があり、こ
の第２管ユニオン２４の下方部分２５は、第２のポンプ
全室８に連通させるよう操作可能な、図示しない、ダク
トの端部を支持するため孔２２から下方に突出している
。部分２３から、突出部２６が溝２１の内部に向って延
び要素１３及び１４全相互に間隔をおいて保持するよう
作用する。基底壁３の下面の中央部分に対応して通路２
８により室１１に連通している空洞２７が形成されてい
る。空洞２７の側方端部の周りに、第３の管ユニオン３
４の上方部分３３により係合される中央ねじ切り貫通孔
３２を有する小さな板３１が固定され、この第３の管ユ
ニオン３４の下方部分３５は下方に延びそして第３のポ
ンプを室１１に連通きせるよう操作可能な、図示しない
ダクトの端部を支持する。

添付図面に示されるように、装置１は本体２と同軸でか
つねじ３８によりてこれに固定はれた環状本体３７を含
んでいる。この本体３７１ｄ：、実質的に円錐台形で同
じ厚さを有しかつより大きな直径の上方端部を持った中
央部分４１を有している。

部分４１の下方端部から環状突出部４２が外側に延び、
そしてその下面が本体２の突出部５の上面に対面する。

突出部５は突出部４２に形成きれたねじ切り盲孔４４の
数と同数の同軸の複数の貫通孔４３を有する。ねじ３８
がまず孔４３に係合し続いて孔４４の中にねじ込まれる
。部分４１の上方端部から第２の環状突出部４５が、突
出部４２に平行に外側へ延びている。

装置ｌは嘔らに本体３７と共軸でかつ本体３７の内側に
環状の本体４７を含んでいる。この本体４７は、実質的
に円錐台形で一定の厚さを有しかつその最上端の直径が
より小芒い中央部分４８を有している。本体３７の部分
４１の内面と本体４７の部分４８の外面とは、その頂端
から底部に向って幅が減少している環状の室５１を区画
形成する。

部分４８の下端は本体２の基底壁３に平行な円筒状の板
５２の周縁に固定され、板５２の下面は円筒状要素１２
の土壁上に載る。この板５２は本体２の側壁４の上端？
越えて延びそのため要素１２上に載っている板５２は、
その下面と壁４の上端との間に環状の空洞５３を区画形
成する。環状要素１３が壁４の上端全越えて延びまた環
状要素１４が要素１３の上端を越えて延び、要素１３及
び１４のそれぞれの上端が板５２の下面から異った距離
で離れていることが注目されるべきである。

要Ｆ１３’、１４及び１２は、そこから外側に向けてそ
れぞれの環状突出部５４．５５及び５６が延びている上
端部を有し、名突出部５４．５５及び５６は減少された
厚さを持つチー・や−状でありその上面は各要素１３．
１４及び１２の上面と同一平面上にある。突出部５４．
５５及び５６の外端は壁４、要素１３及び要素１４の上
端の角部でそれぞれ室７，８及び１１０口を区画形成し
、これらの口は空洞５３に連通ずることができる。さら
に、部分４１及び４８の名下端が異なった直径でありそ
のため、以後簡単のため出口と称することにする、環状
の排出口５１′全区画形成するという事実によりて、空
洞５３が通路５１と連通し、部分４１及び４８の名下端
の角が、通路５１から通路５３への通り路を徐々に変化
させるように丸められていることが注目されるべきであ
る。部分４８の上端から内側に突出部４５と同一平面上
に、環状の突出部５７が延びている。

装置１は、相互に共軸でありかつまた本体３７及び４７
と共軸である２つの環状板５８及び６１を含んでいる。

特に、板５８及び６１の内側リムはねじ６２によって本
体４７の突出部５７に固定されそしてこれらの板の外側
リムがねじ６３により本体３７の突出部４５に固定され
ている。板５８は突出部４５及び５７の上面上に直接載
り、またこの点に関し貫通孔６４の内側リングと貫通孔
６５の内側リングを有している。孔６４は突出部５７に
形成された対応する数のねじ切り盲孔６６と共軸であり
また孔６５は突出部４５に形成された対応する孔６７と
共軸である。板５８の中央リングは内側及び外側リムよ
りも大きい厚さを有している。この中央リングの内側及
び外側縁はそれぞれ、部分４８の上端に形成された環状
凹所６８上に載り、また部分４１の上端に形成された環
状の凹所７１上に載る。板５８の中央リングの下面は通
路５１に対面しかつ７２．７３及び７４によりそれぞれ
が示されている３つの環状溝を有している。

溝７２及び７４けそれぞれ最も内側の及び最も外側の溝
で必り同じ幅を有している。中央の溝である溝７３は他
の溝よりも大きな幅を有し、相互に共軸でかつ本体３７
及び４７と共軸の２つの環状本体７６及び７７によって
構成されているノズル７５の上端を収容し、本体７６は
本体７７の内側にありこの本体７７とともに環状通路７
８を区画形成する。これらの本体７６及び７７は複数の
ねじ８１により板５８にその上端部が固定されるが、こ
のねじ８１はその１つだけが簡単のために図示され本体
７７を板５６に固定しているところが示されている。板
５８の溝７３に沿りて複数の貫通孔８２（そのうちの１
つが図面中破線で示されている）が形成され、これらの
孔１’）：通路７８に開口している。板５８の溝７２及
び７４に沿って各複数の貫通孔８３及び８４が形成され
ている。板６１は板５８上に載り、孔６４と共軸の複数
の輪状に並ぶ貫通孔８５と、孔６５と共軸の複数の輪状
に並ぶ貫通孔８６とを有している。各ねじ６２が連続し
て孔８５と孔６４に係合し孔６６の中にねじ込まれる◇
各ねじ６３が連続して孔８６と孔６５に保合し孔６７の
中にねじ込まれる。板５８の中央リングに対応する板６
１の中央リングは、その下面に３つの環状溝８７．８８
及び９１を有し、これらの環状溝のうちの溝８７は孔８
３に連通し、溝８８は孔８２に連通し、溝９１は孔８４
に連通する。板６１の溝８８に沿って、ねじ切り孔９２
が形成され、この孔９２の中に各管ユニオン９４の下部
ねじ切り部分９３がねじ込まれ、この管９４は上方に延
び、＄８８と孔８２とを介して通路７８をその周囲自体
がそれであるところのエーロゾルの源に連通させる、図
示しないダクトの端部を支持する上方部分９５を有して
いる。溝８７と９１とに沿ってそれぞれねじ切り孔９６
が形成され、これらの孔９６の中に、それぞれが上方に
延びる上方部分９９を有する各管ユニオン９８の下方部
分９７がねじ込まれる。管ユニオン９８は図示しない各
〆り＋１−介してろ過され次空気の源に連結され、この
空気は溝７２及び７４全介して通路５１の中に運ばれる
。

エーロゾル粒子を粒子サイズの種類に分離するための技
術は公知であり種々の科学上の出版物に記載されている
。それは、すでに示されているように、鋭いわん曲部（
出口５１’）’に通過した粒子が慣性によってこれら粒
子の速度をその方向及び向きに保持しようとする傾向が
６．Ｃ１そのためにわん曲部自体の下流側は空気力学的
な直径に従って様々な流れの帯に分離される。製置ｌの
正しい作動のために、すなわち粒子全種々の粒子サイズ
の種類により良く分離するために、ノズル７５０曲型的
な断面の長手方向の軸線は部分４８の外面に向って中心
がすらされている。この特ａは実験的に確実な根拠のあ
ることが示され前記出版物中に記載されている。

装置１０作動は次の通りである。

詳細には、適当々源からろ過された空気は通路５１の中
に導入されそして周囲それ自体が第２の源であるこの第
２の源からのある量のエーロゾルがノズル７５ｆ！：介
して出口５１′に接近している通路５１の中に注入され
る。これは、例えばろ過された空気とエーロゾル中とに
通じる室７，８及び１１内に、低圧を発生させることに
より可能となる。ろ過された空気とエーロゾルによって
構成されている流動体は鋭いわん曲部（５１’）ｔ−通
過して流れ、ここでエーロゾル中に存在する塵埃の粒子
はその空気力学上の直径に従って相互に種々の流れの帯
に分離ぜれ、すなわち同じ粒子サイズの種類の全てがそ
の流れの線内に存在することとなる。

もしフィルターが要素１３．１４及び１２の場所に配置
されていたならば、粒子はその始動に当りよジ大きな直
径の粒子から沈殿させられるであろう。そこにはフィル
ターがないので、この装置１においては、室７，８及び
１１内の低圧が等しく、よジ大きな直径の粒子サイズの
種類に属する粒子が室７の中に流入し、これに対し中間
の直径の粒子は室８に、そして最も径の小さい粒子は室
１１に流れ込むということが起きる。室７，８及び１１
中の低圧の値で作動することにより、例えば室８に流れ
込む粒子の種類を隔離することができる。

実際に、室８内に室７よりも少ない絶対値の圧力が生じ
たならば、より大きな直径の粒子を持つ或る粒子サイズ
の種類の粒子が室８内に流れ込み、言いかえれば室７，
８及び１１内の低圧を変えることにより、大きい直径の
粒子から小さい直径の粒子に才で及ぶような粒子サイズ
の種類に属する粒子が、ここでは最も関係のある室であ
る室８の中に一緒に運ばれることになろう。この装置１
によればしたがって、単一の種類又は数個の種類の粒子
に分離することが可能であり、そのため均質の直径の粒
子を得ることができる。もしも本発明の装置と同様では
あるが挿入されたフィルターを有する１つの装置がこの
フィルターと共に一直線上に巽かれ念ならば、所定の１
つ又は複数の種類に属する粒子がフィルター上に沈殿は
れそのためこれが他から分離され、したがって得られた
沈殿により、このような粒子の特性を決定するのに必要
な全ての分析を行うことが可能となる。隔離はれた種類
の粒子は下位の種類に従うフィルター上に沈殿さｎその
ためこの沈殿によりこのような種類の特性上の全ての情
報を得ることが可能となる。

室７，８及び１１内で、室７，８及び１１奮縦走する粒
子の量の時間を実際に決定するための光学的読み取りヲ
採用することができる。このような光学的読み取りのた
めに測光器、例えば、関係する室全区画する表面の１つ
に形成された適当な凹所内に収容されるレーザー光線型
式の測光器を用いることができる。

以上に説明されたところから、本発明によって生じる利
点は明らかとなるう。

特に、本発明の装置によフ１つ又はそれ以上の粒子サイ
ズの種類の粒子を沈殿物々しで他の粒子から分離するこ
とが可能となる。したがって、１つの特定の粒子サイズ
の粒子の源のような装置を用いることができ、この装置
自体をフィルターを持ったこれと同様な装置と一直線上
に並べて配置すれば下位の種類のこのフィルター上に沈
殿された種類の粒子に関する情報を集めることが可能と
なる。したがってまた、この装置を粒子の源として用い
ることにより、ろ過装置の目盛り曲線の正確な測定のた
めにろ過装置に目盛りをつけることが可能となる。

最後に、ここに説明されかつ図示された装置が本発明の
保護範囲から逸脱することなく変形でれ変更されること
は明らかである。

特に、本体２，３７及び４７とノズル７５の幾何学的配
列は、数個の室を持った、例えば非環状の３つの室全持
ちしかもこれらの室中で異なった値の低圧が発生される
ような本体２を設けるという原理の範囲にあり力から、
上記の幾何学的配列とは異なったものとすることができ
る。例えば通路５１とノズル７５とは広く市場で用いら
れている装置のようなピラミッド形状とすることができ
、これに類似して本体２の内部はプリズム状の形状とさ
れ、要素１３．１４及び１２を普通の平らな仕切り壁に
換えることができる。さらにこの装置は、これと同様で
しかもフィルターが設けられた１つの装置を、室７，８
及び１１が形成はれている下方部分（本体２）に連結す
ることにより、このフィルターの設けられた装置の上方
部分（本体３７及び４７）を用いることができる。

！２１］で４；５

【図面の簡単な説明】

図は本発明の、空気で運ばれる粒子全粒子サイズの種類
に分離する装置の断面部分図である。 １・・・分離装置、２・・・基部本体、３・・・基底壁
、４・・・側壁、７，８．１１・・・室、１２・・・円
筒状要素、１３．１４・・・環状要素、１５・・貫通孔
、１６・・・ねじ切り部分、１７，２４．３４，９４．
９８・・・管ユニオン、３７．４７・・・環状本体、５
１・・・第１空洞、５１′・・・わん曲部、５２・・・
基底板、５３・・・第２空洞。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、上方が開放されたカップ状に形成され、かつ使用中
   にそれぞれ所定の値の低圧がその内部につくり出される
   少なくとも第１、第２及び第３の上方が開放された室（
   ７、８、１１）を連続してその内部に形成した、第１の
   基部本体（２）と、実質的にＬ形状に形成された第２の
   上部本体（３７及び４７）内に形成され、かつ使用中そ
   の中にろ過された空気が流れる第１の空洞（５１）と前
   記第１、第２及び第３の室（７、８、１１）の入口に対
   面し鋭いわん曲部（５１′）により前記第１の空洞（５
   １）に連通している第２の空洞（５３）とを有する、第
   １の通路（５１及び５３）と、 前記第１の空洞（５１）内に位置し、前記わん曲部（５
   １′）を通過した後のその中に存在する塵埃粒子がこれ
   らの空気力学的の直径にしたがって種々の粒子サイズの
   種類に分離して前記第１、第２及び第３の室（７、８、
   １１）内の種々の圧力値の相違による量でこれらの室の
   中に流れるように、粒子搬送空気のある量を前記わん曲
   部（５１′）に接近して前記第１の空洞の中に放出する
   よう作用するノズル（７５）と、 を具備してなることを特徴とする空気で運ばれる粒子を
   粒子サイズの種類に分離する装置。 ２、前記第１の本体（２）が基底壁（３）を含み、この
   基底壁から第１の仕切壁（１３）が上方に延び前記第１
   の本体（２）の側壁（４）とにより前記第１の室（７）
   を区画形成し、第２の仕切壁（１４）が前記第１の仕切
   壁（１３）とにより前記第２の室（８）を区画形成し、
   第３の壁（１２）が前記第２の仕切壁（１４）とにより
   前記第３の室（１１）を区画形成することを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の装置。 ３、前記第１の仕切壁（１３）の上端が前記側壁（４）
   の上端より高く、前記第２の仕切壁（１４）の上端が第
   １の仕切壁（１３）より高く、また前記第３の壁（１２
   ）の上端が第２の仕切壁（１４）よりも高く、前記第２
   の本体（３７及び４７）の基底板（５２）の下面が前記
   第３の壁（１２）の上端上に載り、かつ前記側壁（４）
   の上端により前記第２の空洞（５３）を区画形成するこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の装置。 ４、それぞれのテーパー状の突出部（５４、５５及び５
   ６）が、前記各第１、第２及び第３の室（７、８、１１
   ）を区画しかつその中への進入を容易にするように前記
   第１及び第２の仕切壁（１３、１４）と前記第３の壁（
   １２）の上端から前記側壁（４）に向って延びているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の装置。 ５、前記第１の本体（２）が円筒状の形状を有し、前記
   基底板（３）が円の外形を有し、前記側壁（４）が円筒
   形状を有し、前記第１の仕切壁（１３）が円筒形状であ
   り、前記第２の仕切壁（１４）が第１の仕切壁（１３）
   の内側にありかつこれと共軸でありまた円筒形状を有し
   、前記第３の内側壁が第２の仕切壁と共軸でありかつ円
   筒状要素（１２）によって構成され、これら全ての壁が
   前記第１、第２及び第３の室（７、８、１１）が環状を
   なすように前記基底壁（３）の上面から上方に向って延
   びていることを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の
   装置。 ６、前記第１の本体（２）が、その内部に低圧をつくり
   出すよう作用する第１の部材に前記第１の室（７）を連
   通させることのできる第１の管ユニオン（１７）の部分
   （１６）によって係合された第１の孔（１５）と、その
   内部に低圧をつくり出すよう作用する第２の部材に前記
   第２の室（８）を連通させることのできる第２の管ユニ
   オン（２４）の部分（２３）によって係合された第２の
   孔（２２）と、その内部に低圧をつくり出すよう作用す
   る第３の部材に前記第３の室（１１）を連通させること
   のできる第３の管ユニオン（３４）の部分（３３）によ
   って係合される第３の孔（３２、２７、２８）とを有す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の装置 ７、前記第２の本体が、前記側壁（４）の上面に一致し
   て前記第１の本体（２）に固定されかつそれよりも高い
   位置により大きな直径部分を持つ円錐台状の立体の側面
   をその内面によって形成する中央部分（４１）を有して
   いる第１の環状要素（３７）と、前記第１の環状要素（
   ３７）の内側にありかつ中央部分（４８）を持った基底
   板（５２）を具えている第２の環状要素（４７）とを具
   備し、この中央部分（４８）が前記基底板（５２）の側
   縁から上方に向って延び、かつ前記第１の環状要素（３
   ７）の前記中央部分（４１）の内面によって前記第１の
   空洞（５１）を区画形成するように、最下部により大き
   な直径部分を持つ１つの円錐台状の立体の側面を形成し
   、前記第１の空洞（５１）がしたがって環状を呈し、か
   つ前記第１及び第２の環状要素（３７、４７）のそれぞ
   れの前記側面部分（４１及び４８）の下端を適当に接合
   することにより形成された前記わん曲部（５１′）を介
   して前記第２の空洞（５３）に連通し、さらに前記第２
   の本体が環状のノズル（７５）を具備している特許請求
   の範囲第５項又は第６項記載の装置。 ８、前記ノズル（７５）が、その一方が他方の内側にあ
   る２つの第３の環状要素（７６及び７７）を含み、これ
   らの要素の間に粒子搬送空気の源に連通する第２の通路
   （７８）を区画形成することを特徴とする特許請求の範
   囲第７項記載の装置。 ９、前記ノズル（７５）が、前記第２の環状要素（４７
   ）の前記中央部分（４８）に接近するよう前記第１の空
   洞（５１）内に配置されていることを特徴とする特許請
   求の範囲第８項記載の装置。 １０、前記第３の環状要素（７６及び７７）が、前記第
   １及び第２の環状要素（３７及び４７）の上方に配され
   かつ前記第１の環状要素（３７）がそれにより前記第２
   の環状要素（４７）を支持するようにこれら第１及び第
   ２の環状要素に固定されている第１の板（５８）によっ
   て、支持されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   ８項又は第９項記載の装置。 １１、前記第１の板（５８）の上方に配置されかつ粒子
   搬送空気の源に連結される第４の管ユニオン（９４）の
   部分（９３）により係合された第４の孔（９２）がその
   中に形成されている第２の板（６１）を含み、前記第４
   の孔（９２）が前記第１の板（５８）に形成された複数
   の第５の孔（８２）を介して前記第２の通路（７８）に
   連通していることを特徴とする特許請求の範囲第１０項
   記載の装置。 １２、少なくとも１つの第６の孔（９６）が前記第２の
   板（６１）に形成されかつろ過された空気の源に連結さ
   れた第５の管ユニオン（９８）の部分（９７）により係
   合され、前記第６の孔（９６）が前記第１の板（５８）
   に形成されている複数の第７の孔（８３及び８４）を介
   して前記第１の空洞（５１）に連通していることを特徴
   とする特許請求の範囲第１１項記載の装置。 １３、前記第１の板（５８）が前記第１の空洞（５１）
   に対面する下面上に第１の溝（７３）を有し、この溝の
   中に前記第３の環状要素（７６及び７７）の上端が固定
   され、前記第５の孔（８２）が前記第１の溝（７３）の
   中に形成され、かつその下部が前記第２の通路（７８）
   に連通し、その上部が前記第２の板（６１）の下面に形
   成された第２の環状溝（８８）を介して、前記第２の溝
   （８８）の中に形成された前記第４の孔（９２）に連通
   していることを特徴とする特許請求の範囲第１２項記載
   の装置。 １４、前記第１の板（５８）が、前記第１の空洞（５１
   ）に対面するその下面上に、前記第１の溝（７３）と同
   中心でかつ前記第１の空洞（５１）に向って開口してい
   る少なくとも１つの第３の環状溝（７２、７４）を有し
   、前記第７の孔（８３及び８４）が前記第３の溝（７２
   及び７４）の中に形成されその上部が前記第２の溝（８
   ８）と同中心に前記第２の板（６１）の下面に形成され
   た第４の環状溝（８７及び９１）を介して、前記第４の
   溝（８７及び９１）に形成された前記第６の孔（９６）
   に連通していることを特徴とする特許請求の範囲第１３
   項記載の装置。