JPH0554397B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エーロゾル（煙霧質）の粒子のよう
な、空気で運ばれる粒子を粒子サイズによる種類
に分離するための装置に関する。

〔従来の技術〕

現在手に入れることのできる上記装置は粒子の
分配を計量するものと考えられてきた。

事実、これらの装置は空気（エーロゾル）中に
懸濁している粒子を分離しまたこれらの粒子を分
離を保つフイルター上に集める装置である。沈殿
に際し、エーロゾルの粒子サイズ分離を得るため
に、産業上及び環境上の健康、医業、一般の粉体
技術にとつて折々必要とされる全ての分析を行う
ことができる。このような装置は一般に、矩形断
面のかつろ過された空気が通過するＬ形状の１つ
の通路を具備し、粒子搬送空気が、第１の部分を
第２の部分から分離するわん曲部の上流側の前記
通路の第１の部分の中に注入され、前記通路の鋭
いわん曲部を通過する際にこれら粒子はその慣性
によりその向きと方向を保持する傾向があるが、
その流れに沿つて運ばれるものである。同じ大き
さを有する粒子は、フイルターの具合良く区画形
成された区域に接触するようになる同じ流れの線
上に配置されるようになり、そのためこのような
粒子は粒子の直径のみの作用である或る距離だけ
流動体の最初の流れから分離され、フイルターは
これら粒子の大きさに従つて異なつた位置に配置
される粒子を集める。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明の目的は、空気で運ばれてくる粒子、詳
細にはエーロゾルの粒子を粒子サイズの種類に分
離することができ、また他の粒子から隔離すべき
１つの粒子サイズの種類の粒子を、この粒子から
最も多くの情報が得られるようにし、一方におい
てこれら粒子を懸濁状態に保持するような、最初
に述べた型の装置を提供することである。

本発明のさらに他の目的及び利点は以下の記載
から明らかとなるであろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、空気で運ばれる粒子を粒子サ
イズの種類に分離するための装置であつて次の構
成からなることを特徴とする装置が提供される。

上方に向つて開放されたカツプ形状の第１の基
底本体であつて、その中に連続して、これまた上
方に向つて開放された第１、第２及び第３の室が
形成され、これらの室の中には使用中それぞれの
所定の値の低圧がつくり出される、第１の基底本
体と、 実質的にＬ形状の第２の上部本体の中に形成さ
れた第１の通路であつて、使用中ろ過された空気
がその中に流れる第１の空洞と、前記第１、第２
及び第３の室の入口に対面しかつ鋭いわん曲部を
介して前記第１の空洞に連通する第２の空洞とを
有する、第１の通路と、 前記第１の空洞の中に配置されたノズルであつ
て、前記わん曲部を通過した後のその中に存在す
る塵埃の粒子がその直径に従つて種々の粒子サイ
ズの種類に分離し、前記第１、第２及び第３の室
の中に存在する種々の圧力値に従う量でこれら各
室の中に流れるように、ある量の粒子搬送空気
を、前記わん曲部に接近して前記空洞の中に注入
するよう作用する、ノズル とを具備してなる装置。

〔実施例〕

本発明をより良く理解するために、添付図面を
参照し、何ら制限されない実例を純粋に示すこと
により、好適な実施態様が説明されるが、この図
面において、空気で運ばれる多くの粒子を粒子サ
イズの種類に分離することのできる装置の部分断
面図が示され、そしてこれが符号１でその全体が
表わされている。この装置１は円筒状基底壁３を
有するカツプ形状の基部本体２を具備し、この基
底壁３の側面端から上方に円筒形状の側壁４が延
びている。この側壁４の上端から外側に、前記基
底壁３に平行に、環状突出部５が延びている。本
体２の内部に、７，８及び１１でそれぞれが示さ
れている３つの同中心の環状室が形成されてい
る。基底壁３の上面の中央部分から上方に円筒状
要素１２が延び、基底３の上面からさらに、要素
１２と同中心の２つの仕切壁１３と１４とが上方
に延びておりそしてこれら仕切壁のうち仕切壁１
４の方が他の仕切壁の内側に位置している。最も
外側の室７は側壁４の内面と仕切壁１３の外面と
によつて区画形成され、室８は仕切壁１３の内面
と仕切壁１４の外面とによつて区画形成され、そ
して最も内側の室１１は仕切壁１４の内面と円筒
状要素１２の外面とによつて区画形成されてい
る。

使用中、真空が室７，８及び１１内に、各室内
で異なつた値でつくり出される。このために、各
室７，８及び１１はこの低圧を発生させるよう作
動する各ポンプに連通する。側壁４上にねじの切
られた半径方向の貫通孔１５が形成されておりこ
の貫通孔の中に第１の管ユニオン１７のねじの切
られた部分１６がねじ込まれこの外側部分１８が
孔１５から半径方向に突出し、第１のポンプを室
７と連通させるよう操作可能な図示しないダクト
の端部を支持する。基底壁３の上面上に仕切壁１
３及び１４の下方端部を収容する環状溝２１が形
成されている。壁３中の溝２１には第２の管ユニ
オン２４の上部ねじ切り部分２３により係合され
るねじ切り貫通孔２２があり、この第２管ユニオ
ン２４の下方部分２５は、第２のポンプを室８に
連通させるよう操作可能な、図示しない、ダクト
の端部を支持するため孔２２から下方に突出して
いる。部分２３から、突出部２６が溝２１の内部
に向つて延び仕切壁１３及び１４を相互に間隔を
おいて保持するよう作用する。基底壁３の下面の
中央部分に対応して通路２８により室１１に連通
している空洞２７が形成されている。空洞２７の
側方端部の周りに、第３の管ユニオン３４の上方
部分３３により係合される中央ねじ切り貫通孔３
２を有する小さな板３１が固定され、この第３の
管ユニオン３４の下方部分３５は下方に延びそし
て第３のポンプを室１１に連通させるよう操作可
能な、図示しないダクトの端部を支持する。

添付図面に示されるように、装置１は本体２と
同軸でかつねじ３８によつてこれに固定された環
状本体３７を含んでいる。この本体３７は、実質
的に円錐台形で同じ厚さを有しかつより大きな直
径の上方端部を持つた中央部分４１を有してい
る。部分４１の下方端部から環状突出部４２が外
側に延び、そしてその下面が本体２の突出部５の
上面に対面する。突出部５は突出部４２に形成さ
れたねじ切り盲孔４４の数と同数の同軸の複数の
貫通孔４３を有する。ねじ３８がまず孔４３に係
合し続いて孔４４の中にねじ込まれる。部分４１
の上方端部から第２の環状突出部４５が、突出部
４２に平行に外側へ延びている。

装置１はさらに本体３７と共軸でかつ本体３７
の内側に環状の本体４７を含んでいる。この本体
４７は、実質的に円錐台形で一定の厚さを有しか
つその最上端の直径がより小さい中央部分４８を
有している。本体３７の部分４１の内面と本体４
７の部分４８の外面とは、その頂端から底部に向
つて幅が減少している環状の室５１を区画形成す
る。部分４８の下端は本体２の基底壁３に平行な
円筒状の板５２の周縁に固定され、板５２の下面
は円筒状要素１２の上壁上に載る。この板５２は
本体２の側壁４の上端を越えて延びそのため円筒
状要素１２上に載つている板５２は、その下面と
壁４の上端との間に環状の空洞５３を区画形成す
る。仕切壁１３が壁４の上端を越えて延びまた仕
切壁１４が仕切壁１３の上端を越えて延び、仕切
壁１３及び１４のそれぞれの上端が板５２の下面
から異つた距離で離れていることが注目されるべ
きである。仕切壁１３，１４及び円筒状要素１２
は、そこから外側に向けてそれぞれの環状突出部
５４，５５及び５６が延びている上端部を有し、
各突出部５４，５５及び５６は減少された厚さを
持つテーパー状でありその上面は各仕切壁１３，
１４及び円筒状要素１２の上面と同一平面上にあ
る。突出部５４，５５及び５６の外端は壁４、仕
切壁１３及び仕切壁１４の上端の角部でそれぞれ
室７，８及び１１の口を区画形成し、これらの口
は空洞５３に連通することができる。さらに、部
分４１及び４８の各下端が異なつた直径でありそ
のため、以後簡単のため出口と称することにす
る、環状の排出口５１′を区画形成するという事
実によつて、空洞５３が通路５１と連通し、中央
部分４１及び４８の各下端の角が、通路５１から
通路５３への通り路を徐々に変化させるように丸
められていることが注目されるべきである。中央
部分４８の上端から内側に突出部４５と同一平面
上に、環状の突出部５７が延びている。

装置１は、相互に共軸でありかつまた本体３７
及び４７と共軸である２つの環状板５８及び６１
を含んでいる。特に、板５８及び６１の内側リム
はねじ６２によつて本体４７の突出部５７に固定
されそしてこれらの板の外側リムがねじ６３によ
り本体３７の突出部４５に固定されている。板５
８は突出部４５及び５７の上面上に直接載り、ま
たこの点に関し貫通孔６４の内側リングと貫通孔
６５の内側リングを有している。孔６４は突出部
５７に形成された対応する数のねじ切り盲孔６６
と共軸でありまた孔６５は突出部４５に形成され
た対応する孔６７と共軸である。板５８の中央リ
ングは内側及び外側リムよりも大きい厚さを有し
ている。この中央リングの内側及び外側縁はそれ
ぞれ、部分４８の上端に形成された環状凹所６８
上に載り、また部分４１の上端に形成された環状
の凹所７１上に載る。板５８の中央リングの下面
は通路５１に対面しかつ７２，７３及び７４によ
りそれぞれが示されている３つの環状溝を有して
いる。溝７２及び７４はそれぞれ最も内側の及び
最も外側の溝であり同じ幅を有している。中央の
溝である溝７３は他の溝よりも大きな幅を有し、
相互に共軸でかつ本体３７及び４７と共軸の２つ
の環状本体７６及び７７によつて構成されている
ノズル７５の上端を収容し、本体７６は本体７７
の内側にありこの本体７７とともに環状通路７８
を区画形成する。これらの本体７６及び７７は複
数のねじ８１により板５８にその上端部が固定さ
れるが、このねじ８１はその１つだけが簡単のた
めに図示され本体７７を板５８に固定していると
ころが示されている。板５８の溝７３に沿つて複
数の貫通孔８２（そのうちの１つが図面中破線で
示されている）が形成され、これらの孔は通路７
８に開口している。板５８の溝７２及び７４に沿
つて各複数の貫通孔８３及び８４が形成されてい
る。板６１は板５８上に載り、孔６４と共軸の複
数の輪状に並ぶ貫通孔８５と、孔６５と共軸の複
数の輪状に並ぶ貫通孔８６とを有している。各ね
じ６２が連続して孔８５と孔６４に係合し孔６６
の中にねじ込まれる。各ねじ６３が連続して孔８
６と孔６５に係合し孔６７の中にねじ込まれる。
板５８の中央リングに対応する板６１の中央リン
グは、その下面に３つの環状溝８７，８８及び９
１を有し、これらの環状溝のうちの溝８７は孔８
３に連通し、溝８８は孔８２に連通し、溝９１は
孔８４に連通する。板６１の溝８８に沿つて、ね
じ切り孔９２が形成され、この孔９２の中に各管
ユニオン９４の下部ねじ切り部分９３がねじ込ま
れ、この管９４は上方に延び、溝８８と孔８２と
を介して通路７８をその周囲自体がそれであると
ころのエーロゾルの源に連通させる、図示しない
ダクトの端部を支持する上方部分９５を有してい
る。溝８７と９１とに沿つてそれぞれねじ切り孔
９６が形成され、これらの孔９６の中に、ぞれぞ
れが上方に延びる上方部分９９を有する各管ユニ
オン９８の下方部分９７がねじ込まれる。管ユニ
オン９８は図示しない各ダクトを介してろ過され
た空気の源に連結され、この空気は溝７２及び７
４を介して通路５１の中に運ばれる。

エーロゾル粒子を粒子サイズの種類に分離する
ための技術は公知であり種々の科学上の出版物に
記載されている。それは、すでに示されているよ
うに、鋭いわん曲部（出口５１′）を通過した粒
子が慣性によつてこれら粒子の速度をその方向及
び向きに保持しようとする傾向があり、そのため
にわん曲部自体の下流側は粒子の直径に従つて
様々な流れの帯に分離される。装置１の正しい作
動のために、すなわち粒子を種々の粒子サイズの
種類により良く分離するために、ノズル７５の曲
型的な断面の長手方向の軸線は部分４８の外面に
向つて中心がずらされている。この特徴は実験的
に確実な根拠のあることが示され前記出版物中に
記載されている。

装置１の作動は次の通りである。

詳細には、適当な源からろ過された空気は通路
５１の中に導入されそして周囲それ自体が第２の
源であるこの第２の源からのある量のエーロゾル
がノズル７５を介して出口５１′に接近している
通路５１の中に注入される。これは、例えばろ過
された空気とエーロゾル中とに通じる室７，８及
び１１内に、低圧を発生させることにより可能と
なる。ろ過された空気とエーロゾルによつて構成
されている流動体は鋭いわん曲部５１′を通過し
て流れ、ここでエーロズル中に存在する塵埃の粒
子はその直径に従つて相互に種々の流れの帯に分
離され、すなわち同じ粒子サイズの種類の全てが
その流れの線内に存在することとなる。もし仕切
壁１３と１４がなく、その代わりに環状のフイル
タが空洞５３の下側に置かれていたならば、粒子
は大きな直径の粒子から始まつてこのフイルタの
上側表面上に沈殿するようになるであろう。しか
しそこにはフイルターがないので、この装置１に
おいては、室７，８及び１１内の低圧が等しく、
より大きな直径の粒子サイズの種類に属する粒子
が室７の中に流入し、これに対し中間の直径の粒
子は室８に、そして最も径の小さい粒子は室１１
に流れ込むということが起きる。室７，８及び１
１中の低圧の値で作動することにより、例えば室
８に流れ込む粒子の種類を隔離することができ
る。実際に、室８内に室７よりも少ない絶対値の
圧力が生じたならば、より大きな直径の粒子を持
つ或る粒子サイズの種類の粒子が室８内に流れ込
み、言いかえれば室７，８及び１１内の低圧を変
えることにより、大きい直径の粒子から小さい直
径の粒子にまで及ぶような粒子サイズの種類に属
する粒子が、ここでは最も関係のある室である室
８の中に一緒に運ばれることになろう。この装置
１によればしたがつて、単一の種類又は数個の種
類の粒子に分離することが可能であり、そのため
均質の直径の粒子を得ることができる。もしも本
発明の装置と同様であるが挿入されたフイルター
を有する１つの装置がこのフイルターと共に一直
線上に置かれたならば、所定の１つ又は複数の種
類に属する粒子がフイルター上に沈殿されそのた
めこれが他から分離され、したがつて得られた沈
殿により、このような粒子の特性を決定するのに
必要な全ての分析を行うことが可能となる。隔離
された種類の粒子は下位の種類に従うフイルター
上に沈殿されそのためこの沈殿によりこのような
種類の特性上の全ての情報を得ることが可能とな
る。

室７，８及び１１内で、室７，８及び１１を縦
走する粒子の量の時間を実際に決定するための光
学的読み取りを採用することができる。このよう
な光学的読み取りのために測光器、例えば、関係
する室を区画する表面の１つに形成された適当な
凹所内に収容されるレーザー光線型式の測光器を
用いることができる。

以上に説明されたところから、本発明によつて
生じる利点は明らかとなろう。

特に、本発明の装置により１つ又はそれ以上の
粒子サイズの種類の粒子を沈殿物なしで他の粒子
から分離することが可能となる。したがつて、１
つの特定の粒子サイズの粒子の源のような装置を
用いることができ、この装置自体をフイルターを
持つたこれと同様な装置と一直線上に並べて配置
すれば下位の種類のこのフイルター上に沈殿され
た種類の粒子に関する情報を集めることが可能と
なる。したがつてまた、この装置を粒子の源とし
て用いることにより、ろ過装置の目盛り曲線の正
確な測定のためにろ過装置に目盛りをつけること
が可能となる。

最後に、ここに説明されかつ図示された装置が
本発明の保護範囲から逸脱することなく変形され
変更されることは明らかである。

特に、本体２，３７及び４７とノズル７５の幾
何学的配列は、数個の室を持つた、例えば非環状
の３つの室を持ちしかもこれらの室中で異なつた
値の低圧が発生されるような本体２を設けるとい
う原理の範囲にありながら、上記の幾何学的配列
とは異なつたものとすることができる。例えば通
路５１とノズル７５とは広く市場で用いられてい
る装置のようなピラミツド形状とすることがで
き、これに類似して本体２の内部はプリズム状の
形状とされ、仕切壁１３，１４及び円筒状要素１
２を普通の平らな仕切り壁に換えることができ
る。さらにこの装置は、これと同様でしかもフイ
ルターが設けられた１つの装置を、室７，８及び
１１が形成されている下方部分（本体２）に連結
することにより、このフイルターの設けられた装
置の上方部分（本体３７及び４７）を用いること
ができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の、空気で運ばれる粒子を粒子サイ
ズの種類に分離する装置の断面部分図である。 １……分離装置、２……基部本体、３……基底
壁、４……側壁、７，８，１１……室、１２……
円筒状要素、１３，１４……仕切壁、１５……貫
通孔、１６……ねじ切り部分、１７，２４，３
４，９４，９８……管ユニオン、３７，４７……
環状本体、５１……第１空洞、５１′……わん曲
部、５２……基底板、５３……第２空洞。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 上方が開放されたカツプ状に形成され、かつ
   使用中にそれぞれ所定の値の低圧がその内部につ
   くり出される少なくとも第１、第２及び第３の上
   方が開放された室７，８，１１を連続してその内
   部に形成した、第１の基部本体２と、 実質的にＬ形状に形成された第２の上部本体３
   ７及び４７内に形成され、かつ使用中その中にろ
   過された空気が流れる第１の空洞５１の前記第
   １、第２及び第３の室７，８，１１の入口に対面
   し鋭いわん曲部５１′により前記第１の空洞５１
   に連通している第２の空洞５３とを有する、第１
   の通路５１及び５３と、 前記第１の空洞５１内に位置するノズルであつ
   て、ある量の粒子搬送空気を前記鋭いわん曲部５
   １′に接近して前記第１の空洞５１内に放出し、
   前記鋭いわん曲部５１′を通過した後の粒子搬送
   空気を複数の粒子搬送空気に分割し、分割された
   各粒子搬送空気が所定サイズの粒子の種類を含み
   かつ分割された各粒子搬送空気が前記室のうちの
   所定の室へとそこに形成された低圧によつて流入
   されるようにするノズル７５、 とを具備してなることを特徴とする空気で運ばれ
   る粒子を粒子サイズの種類に分離する装置。 ２ 前記第１の本体２が基底壁３を含み、この基
   底壁から第１の仕切壁１３が上方に延び前記第１
   の本体２の側壁４とにより前記第１の室７を区画
   形成し、第２の仕切壁１４が前記第１の仕切壁１
   ３とにより前記第２の室８を区画形成し、円筒状
   要素１２が前記第２の仕切壁１４とにより前記第
   ３の室１１を区画形成することを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の装置。 ３ 前記第１の仕切壁１３の上端が前記側壁４の
   上端より高く、前記第２の仕切壁１４の上端が第
   １の仕切壁１３より高く、また前記円筒状要素の
   壁１２の上端が第２の仕切壁１４よりも高く、前
   記第２の本体３７，４７の基底板５２の下面が前
   記円筒状要素の壁１２の上端上に載り、かつ前記
   側壁４の上端により前記第２の空洞５３を区画形
   成することを特徴とする特許請求の範囲第２項記
   載の装置。 ４ それぞれのテーパー状の突出部５４，５５及
   び５６が、前記各第１、第２及び第３の室７，
   ８，１１を区画しかつその中への進入を容易にす
   るように前記第１及び第２の仕切壁１３，１４と
   前記円筒状要素の壁１２の上端から前記側壁４に
   向つて延びていることを特徴とする特許請求の範
   囲第３項記載の装置。 ５ 前記第１の本体２が円筒状の形状を有し、前
   記基底板３が円の外形を有し、前記側壁４が円筒
   形状を有し、前記第１の仕切壁１３が円筒形状で
   あり、前記第２の仕切壁１４が第１の仕切壁１３
   の内側にありかつこれと共軸でありまた円筒形状
   を有し、前記第３の内側壁が第２の仕切壁と共軸
   でありかつ円筒状要素１２によつて構成され、こ
   れら全ての壁が前記第１、第２及び第３の室７，
   ８，１１が環状をなすように前記基底壁３の上面
   から上方に向つて延びていることを特徴とする特
   許請求の範囲第４項記載の装置。 ６ 前記第１の本体２が、その内部に低圧をつく
   り出すよう作用する第１の部材に前記第１の室７
   を連通させることのできる第１の管ユニオン１７
   の部分１６によつて係合された第１の孔１５と、
   その内部に低圧をつくり出すよう作用する第２の
   部材に前記第２の室８を連通させることのできる
   第２の管ユニオン２４の部分２３によつて係合さ
   れた第２の孔２２と、その内部に低圧をつくり出
   すよう作用する第３の部材に前記第３の室１１を
   連通させることのできる第３の管ユニオン３４の
   部分３３によつて係合される第３の孔３２，２
   ７，２８とを有することを特徴とする特許請求の
   範囲第５項記載の装置。 ７ 前記第２の本体が、前記側壁４の上面に一致
   して前記第１の本体２に固定されかつそれよりも
   高い位置により大きな直径部分を持つ円錐台状の
   立体の側面をその内面によつて形成する中央部分
   ４１を有している第１の環状要素３７と、前記第
   １の環状要素３７の内側にありかつ中央部分４８
   を持つた基底板５２を具えている第２の環状要素
   ４７とを具備し、この中央部分４８が前記基底板
   ５２の側縁から上方に向つて延び、かつ前記第１
   の環状要素３７の前記中央部分４１の内面によつ
   て前記第１の空洞５１を区画形成するように、最
   下部により大きな直径部分を持つ１つの円錐台状
   の立体の側面を形成し、前記第１の空洞５１がし
   たがつて環状を呈し、かつ前記第１及び第２の環
   状要素３７，４７のそれぞれの前記中央部分４
   １，４８の下端を適当に接合することにより形成
   された前記わん曲部５１′を介し前記第１の空洞
   ５１が前記第２の空洞５３に連通し、さらに前記
   第２の本体３７，４７が環状のノズル７５を具備
   している特許請求の範囲第５項又は第６項記載の
   装置。 ８ 前記ノズル７５が、その一方が他方の内側に
   ある２つの第３の環状要素７６，７７を含み、こ
   れらの要素の間に粒子搬送空気の源に連通する第
   ２の通路７８を区画形成することを特徴とする特
   許請求の範囲第７項記載の装置。 ９ 前記ノズル７５が、前記第２の環状要素４７
   の前記中央部分４８に接近するよう前記第１の空
   洞５１内に配置されていることを特徴とする特許
   請求の範囲第８項記載の装置。 １０ 前記第３の環状要素７６，７７が、前記第
   １及び第２の環状要素３７，４７の上方に配され
   かつ前記第１の環状要素３７がそれにより前記第
   ２の環状要素４７を支持するようにこれら第１及
   び第２の環状要素に固定されている第１の板５８
   によつて、支持されていることを特徴とする特許
   請求の範囲第８項又は第９項記載の装置。 １１ 前記第１の板５８の上方に配置されかつ粒
   子搬送空気の源に連結される第４の管ユニオン９
   ４の部分９３により係合された第４の孔９２がそ
   の中に形成されている第２の板６１を含み、前記
   第４の孔９２が前記第１の板５８に形成された複
   数の第５の孔８２を介して前記第２の通路７８に
   連通していることを特徴とする特許請求の範囲第
   １０項記載の装置。 １２ 少なくとも１つの第６の孔９６が前記第２
   の板６１に形成されかつろ過された空気の源に連
   結された第５の管ユニオン９８の部分９７により
   係合され、前記第６の孔９６が前記第１の板５８
   に形成されている複数の第７の孔８３及び８４を
   介して前記第１の空洞５１に連通していることを
   特徴とする特許請求の範囲第１１項記載の装置。 １３ 前記第１の板５８が前記第１の空洞５１に
   対面する下面上に第１の溝７３を有し、この溝の
   中に前記第３の環状要素７６及び７７の上端が固
   定され、前記第５の孔８２が前記第１の溝７３の
   中に形成され、かつその下部が前記第２の通路７
   ８に連通し、その上部が前記第２の板６１の下面
   に形成された第２の環状溝８８を介して、前記第
   ２の溝８８の中に形成された前記第４の孔９２に
   連通していることを特徴とする特許請求の範囲第
   １２項記載の装置。 １４ 前記第１の板５８が、前記第１の空洞５１
   に対面するその下面上に、前記第１の溝７３と同
   中心でかつ前記第１の空洞５１に向つて開口して
   いる少なくとも１つの第３の環状溝７２，７４を
   有し、前記第７の孔８３及び８４が前記第３の溝
   ７２及び７４の中に形成されその上部が前記第２
   の溝８８と同中心に前記第２の板６１の下面に形
   成された第４の環状溝８７及び９１を介して、前
   記第４の溝８７及び９１に形成された前記第６の
   孔９６に連通していることを特徴とする特許請求
   の範囲第１３項記載の装置。