JPS63252521A - 天井吹出しフィルタ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、クリーンルームに使用する天井吹出しフィル
ター装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来この種の天井吹出しフィルター装置としては、送風
ダクトとフィルター間に空気の送給量を調節する風ｍ調
整手段を備えており、送風ダクトから供給した空気が風
ｍ調整手段により送給量を調整されたフィルターを通過
して除塵し、室内に無塵空気として送給するが、この風
ｍ調整手段としては第４図に示すような円錐形状のダン
パーを用いたものがめった。これはケーシグ５１の空気
の供給部であるダクト接続部５２に対して、フィルター
５３のセンタープレート５４を貫挿した調整ボルト５５
を適宜回動して、これに連結された円錐形状のダンパー
５６を上下動させて、ダンパー５６の傾斜した外表面で
風量の分散と拡散を行なうようにしていた。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、前記従来のダンパーでも空気の風量調整
は可能であるが、空気をフィルターの全面に均一に通過
する機能を有しておらず、従ってフィルターに空気の偏
流による目詰りが生じてフィルター交換が早まるという
問題点があった。

本発明は上記問題点を解決することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するため、本発明は円形の底面板に多
数の通気孔を穿設した環状の内・外壁板を空隙部を存し
て同心円状に配設固定し、前記空隙部内に環状フィルタ
ーを嵌挿固定すると共に、内・外壁板の上面に環状蓋板
を固定して内壁板で囲繞された整流室を設けて濾過部材
を形成し、且該濾過部材を空気流入室の底板に接合固定
して底板の開口部と整流室とを連通せしめ、更に前記整
流室下面に多数の拡散孔を穿設した拡散板を装置すると
共に、該拡散板の下方に拡散室を存して多数の吹出孔を
穿設した吹出板を固定し、そして整流室下面の底面板に
ガイドパイプの上部を密に貫挿固定し、且ガイドパイプ
の下部を拡散板の中央部に貫挿固定し、且ガイドパイプ
の垂直下面の吹出板に透孔を穿設し、前記ガイドパイプ
に下端に掛止凹溝を設けた調整ボルトが、その下方部に
周設された凹溝に０リングを装置して嵌挿され、且調整
ボルトの先端は整流室上方に横設された保持板に軸支さ
れると共に、該保持板下面の調整ボルトには固定ナツト
が螺挿され、整流室の内周壁面に対設されたガイド仮に
係合するスリットを夫々備えた円板状ダンパーが、調整
ボルトに遊挿して固定ナツトの下面に固定されて構成さ
れている。

［作用］ 上記構成より成る本発明によれば、空気流入室に流入し
た空気は、整流室内へその上部の開口部より流入して整
流されるが、調整ボルトを回動して円板状ダンパーを上
下動せしめて、その位置を調整することにより風聞が調
整されて、円板状ダンパーの上面に位置する内壁板のす
べての通気孔より、整流室内で整流された空気が偏流さ
れることなく均一の風量で環状フィルターへ排気され、
汚染空気がこの環状フィルターで濾過されて清浄空気と
なって、該環状フィルターより均一の風量により更に外
壁板の通気孔を通って排気され、その後拡散板及び吹出
板を経てクリーンルーム内へ風速分布を均一にして排気
される。

［実施例］ 本発明の実施の一例を図に就いて詳細に説明するに、底
板１、側板２及び上板３を夫々方形に連結して空気流入
室４を形成し、且該空気流入室４の上板３の所定位置に
は、上板３に開口して送気ダクト（図示せず〉に連結す
るダクト接続管５を連結固定すると共に、該ダクト接続
管５の接続口近傍の底板１にその巾の半分位の径の円形
の開口部６を設ける。円形の底面板７上に多数の通気孔
８を穿設した開口部６と同一径の環状の内壁板９と、該
内壁板９より径大なる多数の通気孔８を穿設した環状の
外壁板１０とを空隙部１１を存して同心円状に夫々配設
固定し、且空隙部１１内に環状フィルター１２を前記内
・外壁板９．１０の各内周壁面に摺接せしめて嵌挿固定
すると共に、内・外壁板９，１０の上面に環状蓋板１３
を固定し、且内壁板９で囲繞された整流室１４を設けて
濾過部材１５を形成し、更に濾過部材１５の環状蓋板１
３の上面を底板１に接合固定して、空気流入室４の開口
部６と濾過部材１５の整流室１４とを連通せしめる。

空気流入室４の側板２の端縁部には、濾過部材１５の外
壁板１０から間隔１０ａを存して垂設板１６が垂設固定
され、且該垂設板１６の下面には多数の吹出孔１７を穿
設した吹出板１Ｂが連結固定され、該吹出板１８の上方
の垂設板１６に両端部を支持固定された支持板１９には
、多数の拡散孔２０を穿設した整流室１４と略同径の拡
散板２１が整流室１４の下面に位置するように固定され
、拡散板２１と吹出板１８間に拡散室２２を形成する。

整流室１４の下面の底面板７及び拡散板２１の中央部に
は夫々ガイドパイプ２３が貫通して固定され、且該ガイ
ドパイプ２３の下端面は吹出板１８に接近しており、更
にガイドパイプ２３の垂直下面の吹出板１８には透孔２
４が穿設され、該透孔２４を通してガイドパイプ２３の
下面部を目視できるように構成されているが、通常は透
孔２４にキャップ２５を嵌合してガイドパイプ２３が目
視できないように構成されている。

ガイドパイプ２３には下９ａ面にドライバー等の回動具
の先端を掛止できる掛止凹溝２６を設けた調整ボルト２
７が、該調整ボルト２７の下方部に周設された凹溝２８
にＯリング２９を装置して嵌挿されると共に、調整ボル
ト２７の先端を整流室１４上方まで延長し、該整流室１
４上方に横設された保持板３０に軸支されており、掛止
凹溝２６に回動具を掛止して回動せしめることにより、
調整ボルト２７は上下動はしないが、回動できるように
構成されている。前記０リング２９により、整汰室１４
からの空気がガイドパイプ２３の上端の調整ボルト２７
との隙間より侵入して、拡散室２１へ漏出するのを防止
している。

そして更に、保持板３０下面の調整ボルト２７には固定
ナツト３１が螺挿され、整流室１４を構成する内壁板９
の内径より梢小径に形成されると共に、内壁板９の内周
面に対向して設けられたガイド板３２に係合するスリッ
ト３３を夫々設けて形成された円板状ダンパー３４が、
調整ボルト２７に遊挿して固定ナツト３１の下面に固定
されており、調整ボルト２７を回動させることにより、
固定ナツト３１に固定された円板状ダンパー３４は、ガ
イド板３２にスリット３３を介して係合したまま回動す
ることなく上下動できる。

なお、図中３５はガイドパイプ２３に整流室１４下面の
底面板７を保持するためガイドパイプ２３の周面に貫挿
固定されたストッパーであり、該ストッパー３５内には
Ｏリング３６が装置してあり、このＯリング３６により
ガイドパイプ２３は底面板７に密に貫挿固定されている
。また図中３７は整流室１４下面の底面板７とガイドパ
イプ２３の接合部をシールしたシール材であり、このシ
ール材３７及び前記Ｏリング３６とにより整流室１４の
底面板７からの空気の漏出を防止している。

実施例の作用について説明すると、図示されていない送
気ダクト、ダクト接続管５を経て空気流入至４に流入し
た空気は、整流室１４の上部の開口部６より整流室１４
内に流入して整流される。

そして、円板状ダンパー３４が第１図で示されたように
最大限下降した位置にあるときは、空気は矢印で示すよ
うに円板状ダンパー３４の上方に位置する内壁板９に穿
設されたすべての通気孔８を経て環状フィルター１２側
へ排出され最大の＆１母が得られる。

次に吹出板１８に穿設され透孔２４よりドライバー等の
回動具を差込み、その先端を調整ボルト２７の掛止凹溝
２６に掛止して調整ホルト２７を回動すると、調整ボル
ト２７は上下動せず、固定ナツト３１が上下動して、固
定ナツト３１に固設された円板状ダンパー３４も上下動
する。そして、第３図のような位置に円板状ダンパー３
４が位置したときは、円板状ダンパー３４の上方に位置
する内壁板９に穿設された通気孔８からのみしか空気は
排出されないので、その分だけＪｌｌｆｆｉが少なくな
る。

そして、整流室１４に流入した空気は整流室１４に於い
て整流されて、均一のＪｌｌｆｆｉで内壁板９の通気孔
８を経て排出され、その排出された空気は環状フィルタ
ー１２に送気されて、汚染空気がここで濾過され、そし
て清浄空気が環状フィルター１２から更に外壁板１０に
穿設された通気孔８を経て、均一の風量により間隔１０
ａの部分に排気され、更に排気された清浄空気は拡散板
２１の拡散孔２０を経て拡散室２２へ排出されるが、拡
散孔２０を通過することにより風速分布が均一となり、
その後吹出板１８の吹出孔１７から均一の風量風速によ
りクリーンルームへ送気される。

［発明の効果］ 本発明は上述のようであるから、空気流入室から整流室
へ流れた空気は、円板状ダンパーを調整ボルトによって
上下動させてその位置を調整すると、円板状ダンパーの
上面に位置する通気孔から整流されて偏流することなく
均一に排気され、環状フィルターによって濾過されて清
浄空気となって拡散板、吹出板を経て、クリーンルーム
へ風速分布を均一にして排気され、従来の如くフィルタ
ーに空気の偏流による目詰りがなく、フィルターを長期
に亘って使用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は正面側縦断面図、第２図は一部を切欠して示す
平面図、第３図は側面側縦断面図、第４図は従来例を示
す縦断面図である。 図中、４は空気流入室、６は開口部、７は底面板、８は
通気孔、１２は環状フィルター、１４は整流室、１７は
吹出孔、１８は吹出板、２０は拡散孔、２１は拡散板、
２２は拡散室、２３はガイドバイブ、２４は透孔、２６
は掛止凹溝、２７は調整ボルト、２８は凹溝、２９はＯ
リング、３０は保持板、３１は固定ナツト、３２はガイ
ド板、３３はスリット、３４は円板状ダンパーでおる。 昭和６２年　４月　８日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 円形の底面板に多数の通気孔を穿設した環状の内・外壁
   板を空隙部を存して同心円状に配設固定し、前記空隙部
   内に環状フィルターを嵌挿固定すると共に、内・外壁板
   の上面に環状蓋板を固定して内壁板で囲繞された整流室
   を設けて濾過部材を形成し、且該濾過部材を空気流入室
   の底板に接合固定して底板の開口部と整流室とを連通せ
   しめ、更に前記整流室下面に多数の拡散孔を穿設した拡
   散板を装置すると共に、該拡散板の下方に拡散室を存し
   て多数の吹出孔を穿設した吹出板を固定し、そして整流
   室下面の底面板にガイドパイプの上部を密に貫挿固定し
   、且ガイドパイプの下部を拡散板の中央部に貫挿固定し
   、且ガイドパイプの垂直下面の吹出板に透孔を穿設し、
   前記ガイドパイプに下端に掛止凹溝を設けた調整ボルト
   が、その下方部に周設された凹溝にＯリングを装置して
   嵌挿され、且調整ボルトの先端は整流室上方に横設され
   た保持板に軸支されると共に、該保持板下面の調整ボル
   トには固定ナットが螺挿され、整流室の内周壁面に対設
   されたガイド板に係合するスリットを夫々備えた円板状
   ダンパーが、調整ボルトに遊挿して固定ナットの下面に
   固定されたことを特徴とする天井吹出しフィルター装置
   。