JPS61215930A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS61215930A JPS61215930A JP5796485A JP5796485A JPS61215930A JP S61215930 A JPS61215930 A JP S61215930A JP 5796485 A JP5796485 A JP 5796485A JP 5796485 A JP5796485 A JP 5796485A JP S61215930 A JPS61215930 A JP S61215930A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric vibrator
- vibrator
- make
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空度を測定する九めに真空センサーとして使
用する真空センサー圧電瘍動子に関する。
用する真空センサー圧電瘍動子に関する。
この発明は圧電振動子を真空度測定の真空センサーとし
て使用する場合、屈曲モードで振動する圧電振動子に、
圧電材料を貼合せることにより冥空度渭１定範囲七広く
できる振動子を提供するものである。
て使用する場合、屈曲モードで振動する圧電振動子に、
圧電材料を貼合せることにより冥空度渭１定範囲七広く
できる振動子を提供するものである。
真空計は古くから色々な分野の装置に使用さｎてき九。
その中で、特に、ビラニー真空計が多用さｎて１！た。
しかしながら、最近は装置の小型化、軽量化に伴ない、
真空計の小型化、軽量化も同様に要求されている。前記
し几ビラニー真空計はサイズが大きく、貫いため最近の
要望に充分に応えらｎないのが実情である。又、従来の
真空センサーを使用し几真空計でｈａ子炉などの高磁場
が発生する装置内での真空度測定は不可能であつ几。そ
こで、本発明は前記の欠点を改善する真空計用の新セン
サー圧電振動子を提供するものでらる。
真空計の小型化、軽量化も同様に要求されている。前記
し几ビラニー真空計はサイズが大きく、貫いため最近の
要望に充分に応えらｎないのが実情である。又、従来の
真空センサーを使用し几真空計でｈａ子炉などの高磁場
が発生する装置内での真空度測定は不可能であつ几。そ
こで、本発明は前記の欠点を改善する真空計用の新セン
サー圧電振動子を提供するものでらる。
第３図は本発明の屈曲そ−ド振動での真空度と圧電振動
子の等個直列抵抗Ｒ，との関係を示し、横軸ｖｃ Ｘ、
２度（Ｔ ｏ ｒ ｙ）を縦軸にｐ、、（ｘΩ〕をと
っている。例えば、圧電材料として水晶の場合、実験に
よると真突変の劣化に伴ってＲ１は上昇ｔ−ｉける。そ
して、真空度０．１ＴＯ？″ｒ〜ＩＴＯｒｒと変化する
とそｎに伴ってＲ，の上昇をまねく、即ち、本発明はＲ
，の真空度依存性に注目し、この関係から真空度を正確
に測定するものである。実際には、振動子のＲ２が変化
することは圧電振動子に流ｎる電流が変化する事と等価
であり、実際の真空計としては流ｎる電流を真空度に変
換して光示する。次に、真空度と等価直列抵抗Ｉｔ、と
の関係を示す。圧電感動子の真空度に対する感度Ｓは高
真窒時の等価直列抵抗ＲＩｓ大気圧でのそｎ？Ｒｏ と
すると次式で表さｎる。
子の等個直列抵抗Ｒ，との関係を示し、横軸ｖｃ Ｘ、
２度（Ｔ ｏ ｒ ｙ）を縦軸にｐ、、（ｘΩ〕をと
っている。例えば、圧電材料として水晶の場合、実験に
よると真突変の劣化に伴ってＲ１は上昇ｔ−ｉける。そ
して、真空度０．１ＴＯ？″ｒ〜ＩＴＯｒｒと変化する
とそｎに伴ってＲ，の上昇をまねく、即ち、本発明はＲ
，の真空度依存性に注目し、この関係から真空度を正確
に測定するものである。実際には、振動子のＲ２が変化
することは圧電振動子に流ｎる電流が変化する事と等価
であり、実際の真空計としては流ｎる電流を真空度に変
換して光示する。次に、真空度と等価直列抵抗Ｉｔ、と
の関係を示す。圧電感動子の真空度に対する感度Ｓは高
真窒時の等価直列抵抗ＲＩｓ大気圧でのそｎ？Ｒｏ と
すると次式で表さｎる。
但し、ΔＲ＝＝Ｒ，−Ｒ，である。
式α）より明らかなように、感度Ｂｆ高めるには圧電感
動子のＲｌｔ−小さくシ、且つ、ｌΔＲ１を大きくすｎ
ばよい。ここで、１ΔＲ１は振動子の形状、寸法によっ
て決まるから、今、振動子の形状、寸法會一定に考える
と一つの定数と潰えることができる。七ｎ故、感度日を
高めるにはＲ，を小さくすｎば良い。又、このＲ，は圧
電材料の持つ電気機械結合係数の大きさによって決まる
が、例えば、水晶の場合、電気機械結合係数が小さく、
Ｒ，を低くするには限界があつ几。そこで、本発明は水
晶等の圧電振動子に励振電極を配置し、駆動すると同時
に、さらに、電気機械結合係数の大きい圧電材料を貼合
わせて、この圧電的駆動によりさらにＲ處を下げるもの
である。
動子のＲｌｔ−小さくシ、且つ、ｌΔＲ１を大きくすｎ
ばよい。ここで、１ΔＲ１は振動子の形状、寸法によっ
て決まるから、今、振動子の形状、寸法會一定に考える
と一つの定数と潰えることができる。七ｎ故、感度日を
高めるにはＲ，を小さくすｎば良い。又、このＲ，は圧
電材料の持つ電気機械結合係数の大きさによって決まる
が、例えば、水晶の場合、電気機械結合係数が小さく、
Ｒ，を低くするには限界があつ几。そこで、本発明は水
晶等の圧電振動子に励振電極を配置し、駆動すると同時
に、さらに、電気機械結合係数の大きい圧電材料を貼合
わせて、この圧電的駆動によりさらにＲ處を下げるもの
である。
このように、本発明は圧電振動子に配置した励振電極に
より振動子を駆動すると同時に、更に電気機械結合係数
の大きい圧電板を圧電振動子に貼合わせるととにより、
さらに小さい等価直列抵抗Ｒ１ｔ−得ることができる。
より振動子を駆動すると同時に、更に電気機械結合係数
の大きい圧電板を圧電振動子に貼合わせるととにより、
さらに小さい等価直列抵抗Ｒ１ｔ−得ることができる。
この結果、真空度に対する感！！高めることができる。
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は本発明の屈曲モード圧電振動子の実施例で、音叉
型圧電振動子の場合の概観図を示す。音叉製圧電振動子
１の叉の付近の両側にはチタン酸バリウム等の電気根締
結合係数の大きい圧電板２が接着剤等によって貼合わさ
ｎている。又、音叉型圧電振動子１には撮動を励振する
電＠８と電極４が配置さｎ、音叉基部に２端子構造とな
る電極端子５．６が設けらｎている。実際に音叉型圧電
振動子ｔ、ｌＸ動する電極は音叉腕の４面に配置さｎ、
隣り合う電極は異極になるように構成さｎているＣ一部
のみ図示されている〕。そして、電極端子５．６に交番
電圧を印扉することによって、屈曲モードでの感動を引
き起こすことができる。又、貼合わせた圧電板２にも電
極が配置さｎていてＣ一部電極７のみ図示している〕、
音叉腕の外側と同じ歪が起こるように圧電板２は貼合わ
さｎている。この圧電板２も電極端子５．６に接続さｎ
、前記した又番電圧によって同時に励振さｎる。第２図
は本発明の圧電振動子の他の実施例で音叉型圧電振動子
の場合の概観図を示す。第２図の実施例が第１図の実施
例と異なる点は、圧電板２の貼付ける場所が異なる点で
ある。即ち、この実施例では音叉先端部まで歪を起こさ
せるもので、この結果”１ ｋさらに小さくできる。そ
して、第１図と第２図の音叉型圧電振動子は真空度に対
する感度として同一効果を発揮する。又、本実施例では
音叉型圧電振動子について述べ九が、両端固定タイプに
も適用できることは言うまでもない。
１図は本発明の屈曲モード圧電振動子の実施例で、音叉
型圧電振動子の場合の概観図を示す。音叉製圧電振動子
１の叉の付近の両側にはチタン酸バリウム等の電気根締
結合係数の大きい圧電板２が接着剤等によって貼合わさ
ｎている。又、音叉型圧電振動子１には撮動を励振する
電＠８と電極４が配置さｎ、音叉基部に２端子構造とな
る電極端子５．６が設けらｎている。実際に音叉型圧電
振動子ｔ、ｌＸ動する電極は音叉腕の４面に配置さｎ、
隣り合う電極は異極になるように構成さｎているＣ一部
のみ図示されている〕。そして、電極端子５．６に交番
電圧を印扉することによって、屈曲モードでの感動を引
き起こすことができる。又、貼合わせた圧電板２にも電
極が配置さｎていてＣ一部電極７のみ図示している〕、
音叉腕の外側と同じ歪が起こるように圧電板２は貼合わ
さｎている。この圧電板２も電極端子５．６に接続さｎ
、前記した又番電圧によって同時に励振さｎる。第２図
は本発明の圧電振動子の他の実施例で音叉型圧電振動子
の場合の概観図を示す。第２図の実施例が第１図の実施
例と異なる点は、圧電板２の貼付ける場所が異なる点で
ある。即ち、この実施例では音叉先端部まで歪を起こさ
せるもので、この結果”１ ｋさらに小さくできる。そ
して、第１図と第２図の音叉型圧電振動子は真空度に対
する感度として同一効果を発揮する。又、本実施例では
音叉型圧電振動子について述べ九が、両端固定タイプに
も適用できることは言うまでもない。
以上述べたように、本発明は真空度に対する感度Ｓを高
めるには圧電振動子の等価直列抵抗Ｒ１を小さくすｎば
よい。そして、本発明は水晶等の圧電振動子に励振電極
を配置し、駆動すると同時に、さらに、電気機械結合係
数の大きい圧電材料を貼合わせて、この圧電的駆動によ
りＲ１を小さくできるので、感度８′＠：高くでき真空
度測定範囲金床くできるという効果を有する。さらに、
圧電振動子をＸ空センサーとしているから大変に小皿化
、軽量化が可能であるという効果がある。同時に、圧電
振動子は高磁場に対しても強いので、原子炉等の高磁場
発生装置内でも真空度測定ができる効果をも有する。
めるには圧電振動子の等価直列抵抗Ｒ１を小さくすｎば
よい。そして、本発明は水晶等の圧電振動子に励振電極
を配置し、駆動すると同時に、さらに、電気機械結合係
数の大きい圧電材料を貼合わせて、この圧電的駆動によ
りＲ１を小さくできるので、感度８′＠：高くでき真空
度測定範囲金床くできるという効果を有する。さらに、
圧電振動子をＸ空センサーとしているから大変に小皿化
、軽量化が可能であるという効果がある。同時に、圧電
振動子は高磁場に対しても強いので、原子炉等の高磁場
発生装置内でも真空度測定ができる効果をも有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の音叉型圧電振動子の一実施例を示す概
観図、 第２図は本発明の音叉型圧１！振動子の他の実施例を示
す概観図、 第８図は圧電振動子の真空度と等個直列抵抗との閑俤を
示す。 １１．圧電振動子 ２０．圧電板 ８．４，７．、電極 ５．６．、電極端子 以上
観図、 第２図は本発明の音叉型圧１！振動子の他の実施例を示
す概観図、 第８図は圧電振動子の真空度と等個直列抵抗との閑俤を
示す。 １１．圧電振動子 ２０．圧電板 ８．４，７．、電極 ５．６．、電極端子 以上
Claims (1)
- 屈曲モードで振動する圧電振動子に、さらに、圧電板を
貼合わせたことを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5796485A JPS61215930A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5796485A JPS61215930A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61215930A true JPS61215930A (ja) | 1986-09-25 |
Family
ID=13070695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5796485A Pending JPS61215930A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61215930A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100825478B1 (ko) | 2007-10-31 | 2008-04-25 | (주)엔텍 | 소리굽쇠 타입의 사운드 진동자 |
| JP2014130016A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Canon Anelva Corp | 水晶摩擦真空計 |
-
1985
- 1985-03-22 JP JP5796485A patent/JPS61215930A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100825478B1 (ko) | 2007-10-31 | 2008-04-25 | (주)엔텍 | 소리굽쇠 타입의 사운드 진동자 |
| WO2009057877A1 (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-07 | Seong Sig Choi | Sound vibrator of tuning fork type |
| JP2014130016A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Canon Anelva Corp | 水晶摩擦真空計 |
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