JPS61214400A - プラズマガンの陽極ノズル - Google Patents
プラズマガンの陽極ノズルInfo
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- JPS61214400A JPS61214400A JP61055188A JP5518886A JPS61214400A JP S61214400 A JPS61214400 A JP S61214400A JP 61055188 A JP61055188 A JP 61055188A JP 5518886 A JP5518886 A JP 5518886A JP S61214400 A JPS61214400 A JP S61214400A
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/046—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3484—Convergent-divergent nozzles
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- Plasma Technology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野：
本発明はプラズマスプレーがンの分野、とくにノズル寿
命を公知設計で達成されるより増大する、ノズル孔の薄
い耐火性被覆を有するプラズマスプレーがンノズルに関
する。
命を公知設計で達成されるより増大する、ノズル孔の薄
い耐火性被覆を有するプラズマスプレーがンノズルに関
する。
従来の技術ニ
一般的プラズマ炎スプレー系では水冷ノズル（陽極）と
中心に配置した陰極の間にアークを発生させる。イナー
トガスはアークを通過し、それによって１６６５０℃（
３００００°Ｆ’）ｔでの温度に励起される。ノズルか
ら出る少なくとも一部イオン化したガスのプラズマは開
放酸素アセチレン炎に似ている。このようなプラズマ炎
スプレーガンの１つが米国特許第４４４５０２１号明細
書に記載される。
中心に配置した陰極の間にアークを発生させる。イナー
トガスはアークを通過し、それによって１６６５０℃（
３００００°Ｆ’）ｔでの温度に励起される。ノズルか
ら出る少なくとも一部イオン化したガスのプラズマは開
放酸素アセチレン炎に似ている。このようなプラズマ炎
スプレーガンの１つが米国特許第４４４５０２１号明細
書に記載される。
このようなプラズマスプレーガンのアークは事実強力な
ので、ノズルを劣化させ、最終的に故障させる。このよ
うな劣化の１因はアーク自体がノズルに点で当シ、それ
によってノズル表面の瞬間的融解および蒸発が起る事実
にある。
ので、ノズルを劣化させ、最終的に故障させる。このよ
うな劣化の１因はアーク自体がノズルに点で当シ、それ
によってノズル表面の瞬間的融解および蒸発が起る事実
にある。
劣化はノズルが融点近くまで過熱されることによっても
生じ、その際ノズル材料の一部は他の位置へ流れ、場合
によシそこでノズルを閉塞させる。
生じ、その際ノズル材料の一部は他の位置へ流れ、場合
によシそこでノズルを閉塞させる。
ノズル劣化はその原因に応じて種々の程度および速度で
生ずる。究極的に冷却媒体をノズル壁を通して噴出させ
る壁エロージョンはノズル事故のもう１つの原因である
ことが経験によシ明らかになった。ジャケットが破裂し
た場合、冷却水はアーク領域へ放出され、その結果局部
的に強いアークが発生し、部分的に融解する。
生ずる。究極的に冷却媒体をノズル壁を通して噴出させ
る壁エロージョンはノズル事故のもう１つの原因である
ことが経験によシ明らかになった。ジャケットが破裂し
た場合、冷却水はアーク領域へ放出され、その結果局部
的に強いアークが発生し、部分的に融解する。
一度融解が発生すると、ガンの修理は非常に高価になる
。ノズル劣化および事故の問題はとくに高出力レベルで
深刻である。
。ノズル劣化および事故の問題はとくに高出力レベルで
深刻である。
この問題を克服するためプラズマスプレーがンの水冷ノ
ズルを少し変えて設計した。作業中冷却水はノズル壁を
冷却するようにノズル内の通路へ圧入される。それでも
徐々Ｋまたはときには急速に劣化が生じ、事故を事前に
防ぐためノズルは通常所定の使用時間の後交換される。
ズルを少し変えて設計した。作業中冷却水はノズル壁を
冷却するようにノズル内の通路へ圧入される。それでも
徐々Ｋまたはときには急速に劣化が生じ、事故を事前に
防ぐためノズルは通常所定の使用時間の後交換される。
しかし周期的にノズルを交換するこの慣用法は互換性ノ
ズルが著しく高価であシ、かつかなシの寿命を残す多数
のノズルを排棄するので、きわめて費用を要する。
ズルが著しく高価であシ、かつかなシの寿命を残す多数
のノズルを排棄するので、きわめて費用を要する。
プラズマスプレーがンの劣化および究極的故障の速度の
決定には多くの因子が含まれる。高い熱および電気伝導
度のため銅はノズル構造の常用材料である。多くはノズ
ル作業条件および形状、ガスタイプおよび流速、冷却媒
体流量および流速はノズル冷却形態とともにノズル寿命
に影響する。
決定には多くの因子が含まれる。高い熱および電気伝導
度のため銅はノズル構造の常用材料である。多くはノズ
ル作業条件および形状、ガスタイプおよび流速、冷却媒
体流量および流速はノズル冷却形態とともにノズル寿命
に影響する。
ノズル寿命の改善はノズルにノズル壁および隣接する薄
い環状冷却媒体通路を備えることによって達成され、こ
の壁および通路は米国特許第４４３０５４６号明細書に
開示されるような特定の狭い範囲の寸法を有する。しか
しさらに改善を続けるのがきわめて望ましい。
い環状冷却媒体通路を備えることによって達成され、こ
の壁および通路は米国特許第４４３０５４６号明細書に
開示されるような特定の狭い範囲の寸法を有する。しか
しさらに改善を続けるのがきわめて望ましい。
米国特許第２９４１０６３号明細書に記載されるもう１
つの手段は銅からなるノズルの孔のアーク領域に管状タ
ングステンライナを備えることである。この特許明細書
に示され、工業的に使用されるライナはきわめて厚く、
一般に数朋である。工業的に使用した際厚いタングステ
ンライナはノズル寿命を有意に上昇するためにとくに効
果はなかった。
つの手段は銅からなるノズルの孔のアーク領域に管状タ
ングステンライナを備えることである。この特許明細書
に示され、工業的に使用されるライナはきわめて厚く、
一般に数朋である。工業的に使用した際厚いタングステ
ンライナはノズル寿命を有意に上昇するためにとくに効
果はなかった。
銅ノズルの貴金属によるメッキは反応性ガスに対する保
護が必要な場合に対し米国特許第３５７８９４３号明細
書に記載される。メッキは金または白金のような金属で
実施され、ノズルの外部的腐食ガスにさらされる外側部
分に適用される。ノズルのプラズマとの電気的接触はと
くに電気抵抗が被覆によって上昇しない°ように銅表面
（すなわち被覆のない孔内）で行われることが明らかに
教示される。
護が必要な場合に対し米国特許第３５７８９４３号明細
書に記載される。メッキは金または白金のような金属で
実施され、ノズルの外部的腐食ガスにさらされる外側部
分に適用される。ノズルのプラズマとの電気的接触はと
くに電気抵抗が被覆によって上昇しない°ように銅表面
（すなわち被覆のない孔内）で行われることが明らかに
教示される。
発明が解決しようとする問題点：
それゆえ本発明の主目的は長い作業寿命を有するプラズ
マスプレーガンの改善した陽極ノズルを得ることである
。
マスプレーガンの改善した陽極ノズルを得ることである
。
もう１つの目的はアーク衝撃領域に薄い保護被覆を有す
る新規陽極ノズルを得ることである。
る新規陽極ノズルを得ることである。
問題点を解決するための手段：
この目的は本発明によシノズル孔のアーク衝撃内面が薄
い耐火性被覆を備えるプラズマガンの銅陽極ノズルによ
って達成される。
い耐火性被覆を備えるプラズマガンの銅陽極ノズルによ
って達成される。
作用：
被覆は酸化抵抗および高い電気伝導度を有するチッ化チ
タンのような材料から構成される装実施例： 第１図は１例として前記米国特許第４４４５０２１号明
細書に示されるタイプのプラズマガンへ適合する形の陽
極ノズルを示す。高純度銅（９９チ）からなるノズル１
０は入口１２から出口１４を介してプラズマ形成ガス、
代表的にはアルゴンまたはチッ素を通過させる孔１１を
有し、ガスはアークによって加熱された後プラズマとし
てこの出口から流出する。高強度アークは入口へ同軸に
突出する円筒形陰極チップ（図示されず）とノズル孔の
内面１６の間に点弧する。
タンのような材料から構成される装実施例： 第１図は１例として前記米国特許第４４４５０２１号明
細書に示されるタイプのプラズマガンへ適合する形の陽
極ノズルを示す。高純度銅（９９チ）からなるノズル１
０は入口１２から出口１４を介してプラズマ形成ガス、
代表的にはアルゴンまたはチッ素を通過させる孔１１を
有し、ガスはアークによって加熱された後プラズマとし
てこの出口から流出する。高強度アークは入口へ同軸に
突出する円筒形陰極チップ（図示されず）とノズル孔の
内面１６の間に点弧する。
冷却水はノズルの外面１８上へたとえば前記米国特許第
４４４５０２１号および・第４４３０５４６号明細書に
記載のような公知または所望の方゛法で向けられる。ノ
ズルをガン内に保持し、冷却媒体およびプラズマ形成ガ
スをシールするため適当な溝２０にＱ ＋ ＋７ング（
図示されず）が備えられる。
４４４５０２１号および・第４４３０５４６号明細書に
記載のような公知または所望の方゛法で向けられる。ノ
ズルをガン内に保持し、冷却媒体およびプラズマ形成ガ
スをシールするため適当な溝２０にＱ ＋ ＋７ング（
図示されず）が備えられる。
本発明によシ耐酸化性、電気伝導性材料の薄層２２が任
意の適当な方法を使用してノズルの内面１６に被覆され
る。この層は比較的薄くたとえば１〜１００μｍとくに
２〜２０μｍである（層を示すため図面には誇大した厚
さの被覆が示される。）。材料は表面に当る高強度アー
クの条件下に安定でなければならず、すなわち融解、分
解または有意に蒸発してはならない。材料は耐火性であ
るのが望ましい。ここに使用する耐火性とは材料が約２
５００℃以上で安定であることを表わす。電気伝導度は
アークとその陽極として機能するノズルの間の高いアー
ク電流（一般に少なくとも数１００アンペア）を導くた
め必要である。しかし電気伝導度は被覆がアーク電流を
ノズルの銅へ貫流させるために明らかに十分薄い場合、
中間すなわちアルミナのような普通の絶縁体と銅のよう
な金属の伝導度の間であってもよい。
意の適当な方法を使用してノズルの内面１６に被覆され
る。この層は比較的薄くたとえば１〜１００μｍとくに
２〜２０μｍである（層を示すため図面には誇大した厚
さの被覆が示される。）。材料は表面に当る高強度アー
クの条件下に安定でなければならず、すなわち融解、分
解または有意に蒸発してはならない。材料は耐火性であ
るのが望ましい。ここに使用する耐火性とは材料が約２
５００℃以上で安定であることを表わす。電気伝導度は
アークとその陽極として機能するノズルの間の高いアー
ク電流（一般に少なくとも数１００アンペア）を導くた
め必要である。しかし電気伝導度は被覆がアーク電流を
ノズルの銅へ貫流させるために明らかに十分薄い場合、
中間すなわちアルミナのような普通の絶縁体と銅のよう
な金属の伝導度の間であってもよい。
高温空気中の層２２の酸化抵抗は銅のそれより高くなけ
ればならない。意外にもこのような材料で被覆したノズ
ルは高強力アークおよびプラズマ発生のもとに作業寿命
を著しく上昇する結果を得た。この改善の機構はなお明
らかでない。プラズマ形成がスが不活性であるにも拘ら
ず、酸化物フィルムがノズル内面で発達しうるものと推
定される。その際アークは酸化物のスポットに選択的に
点弧し、そこに熱が集中し、劣化が進む。しかし他に正
しい理論があることも考えられる。
ればならない。意外にもこのような材料で被覆したノズ
ルは高強力アークおよびプラズマ発生のもとに作業寿命
を著しく上昇する結果を得た。この改善の機構はなお明
らかでない。プラズマ形成がスが不活性であるにも拘ら
ず、酸化物フィルムがノズル内面で発達しうるものと推
定される。その際アークは酸化物のスポットに選択的に
点弧し、そこに熱が集中し、劣化が進む。しかし他に正
しい理論があることも考えられる。
本発明の被覆材料の例はモリブデン、タンタルおよびタ
ングステンのような耐火性金属；鉄、ハフニウム、ニオ
ブ、タンタル、チタン、タングステン、バナジウムおよ
びジルコニウムのホウ化物のような耐火性ホウ化物；ホ
ウ素、ノ・フニウム、モリブデン、ニオブ、ケイ素、タ
ンタル、チタン、タングステン、バナジウムおよびジル
コニウムの炭化物のような耐火性炭化物；ホウ素、ハフ
ニウム、ニオブ、ケイ素、タンタル、チタンおよびジル
コニウムのチッ化物のような耐火性チン化物；前記耐火
性材料の組合せ、たとえば炭化タングステン−チタン；
ならびに前記耐火性材料の複合組合せたとえば炭チッ化
チタン、ホウ炭化チタンおよびホウチッ化ジルコニウム
である。
ングステンのような耐火性金属；鉄、ハフニウム、ニオ
ブ、タンタル、チタン、タングステン、バナジウムおよ
びジルコニウムのホウ化物のような耐火性ホウ化物；ホ
ウ素、ノ・フニウム、モリブデン、ニオブ、ケイ素、タ
ンタル、チタン、タングステン、バナジウムおよびジル
コニウムの炭化物のような耐火性炭化物；ホウ素、ハフ
ニウム、ニオブ、ケイ素、タンタル、チタンおよびジル
コニウムのチッ化物のような耐火性チン化物；前記耐火
性材料の組合せ、たとえば炭化タングステン−チタン；
ならびに前記耐火性材料の複合組合せたとえば炭チッ化
チタン、ホウ炭化チタンおよびホウチッ化ジルコニウム
である。
層２２はアークが当る全面をカバーしなければならない
。アークは一般に孔の大部分にわたって移動または分散
するので、層は図示のように入口および出口部（１４お
よび１６）を含む全孔表面を蔽うのが有利である。ガン
の作業条件によシアークがノズルの前端面２４へ運び出
され、表面のエロージョンが認められる場合、層２２は
端面上まで拡がらなければならない。
。アークは一般に孔の大部分にわたって移動または分散
するので、層は図示のように入口および出口部（１４お
よび１６）を含む全孔表面を蔽うのが有利である。ガン
の作業条件によシアークがノズルの前端面２４へ運び出
され、表面のエロージョンが認められる場合、層２２は
端面上まで拡がらなければならない。
チッ化チタンのような被覆を製造する適当で望ましい方
法は真空陰極アーク放電物理蒸着（アーク蒸着）である
。このような方法および適当な装置は米国特許第３６２
５８４８号、第３７９３１７９号および第４４３０１８
４号明細書に詳細に記載される。第２図に示す代表的実
施装置によれば真空室２６はターデットンース材料の陰
極３０を有するビームガン２８を含む。室２６の壁３２
は陰極３０へのアーク放電のための陽極として役立つ。
法は真空陰極アーク放電物理蒸着（アーク蒸着）である
。このような方法および適当な装置は米国特許第３６２
５８４８号、第３７９３１７９号および第４４３０１８
４号明細書に詳細に記載される。第２図に示す代表的実
施装置によれば真空室２６はターデットンース材料の陰
極３０を有するビームガン２８を含む。室２６の壁３２
は陰極３０へのアーク放電のための陽極として役立つ。
陰極は冷却水室３４および絶縁体３６で壁３２に固定し
たダクト３５を含む系で室ヘマウントされる。チッ化ホ
ウ素からなる仕切りリング３８（米国特許第４４３０１
８４号明細書に教示される）はターデッド表面へのアー
クの陰極スポットを仕切る。
たダクト３５を含む系で室ヘマウントされる。チッ化ホ
ウ素からなる仕切りリング３８（米国特許第４４３０１
８４号明細書に教示される）はターデッド表面へのアー
クの陰極スポットを仕切る。
被覆すべきノズル１０はビームがン２８のビーム路４０
に、代表的には陰極３０から約１０ｃｍの距離に、室壁
３２を貫通する高圧絶縁ブラケット４４上に電気伝導性
マウント４２を使用して配置される。真空ポンプ（図示
されず）に接続した導管５０を介して室は真空に引かれ
る。導管中の弁５２を閉じ、次に導管５４を介してチッ
素またはアルインのような適当なガスで再充てんする。
に、代表的には陰極３０から約１０ｃｍの距離に、室壁
３２を貫通する高圧絶縁ブラケット４４上に電気伝導性
マウント４２を使用して配置される。真空ポンプ（図示
されず）に接続した導管５０を介して室は真空に引かれ
る。導管中の弁５２を閉じ、次に導管５４を介してチッ
素またはアルインのような適当なガスで再充てんする。
導管５４の弁５６は所望圧力に達した際遮断する。
高Ｎａ （１００〜２００アンペア）の低電圧（２０〜
５０ボルト）直流電源４６を陽極と陰極の間に接続する
。発生するアーク放電によシソース材料のビームが陰極
表面に対し垂直に最大濃度をもって放出される。ビーム
は主とじてイオンおよび一部原子からなる。被覆するノ
ズル１０に印加する高い負電圧（２００〜５００ボルト
）源４８はとくにソース材料に直接面しそいないノズル
孔１１のような表面への粒子の沈積を促進する。
５０ボルト）直流電源４６を陽極と陰極の間に接続する
。発生するアーク放電によシソース材料のビームが陰極
表面に対し垂直に最大濃度をもって放出される。ビーム
は主とじてイオンおよび一部原子からなる。被覆するノ
ズル１０に印加する高い負電圧（２００〜５００ボルト
）源４８はとくにソース材料に直接面しそいないノズル
孔１１のような表面への粒子の沈積を促進する。
本発明によりノズル孔１１内にアーク蒸着によるチッ化
チタン被覆を製造するため、ノズル孔は出口端１４を陰
極３０に面するように整列させる。使用する陰極ソース
は直径約１０ｃｍのチタンディスクである。室は蒸着の
間チタンと反応してチッ化チタン被覆を生ずるチッ素ガ
スで１０−３ミリバールに再充てんされる。系は孔表面
１６（第１図）に厚さ約３〜５ミクロンの被覆をつくる
ため約１５分間作業した。被覆したノズルは全長３．２
ｃｍ、孔径０．６３ Ｃｍ 、入口径１．２８ｃｍおよ
び出口径０．７９０ｍであった。
チタン被覆を製造するため、ノズル孔は出口端１４を陰
極３０に面するように整列させる。使用する陰極ソース
は直径約１０ｃｍのチタンディスクである。室は蒸着の
間チタンと反応してチッ化チタン被覆を生ずるチッ素ガ
スで１０−３ミリバールに再充てんされる。系は孔表面
１６（第１図）に厚さ約３〜５ミクロンの被覆をつくる
ため約１５分間作業した。被覆したノズルは全長３．２
ｃｍ、孔径０．６３ Ｃｍ 、入口径１．２８ｃｍおよ
び出口径０．７９０ｍであった。
他の公知または所望の被覆法を使用しうるけれど、少な
くともプラズマスプレーガンに対しては通常孔の内側で
あるアーク衝撃面を被覆するように方法を適用すること
が必要である。たとえば化学蒸着法は蒸気が孔内で沈積
する温度その他の条件下に孔を通って流れる場合に使用
することができる。
くともプラズマスプレーガンに対しては通常孔の内側で
あるアーク衝撃面を被覆するように方法を適用すること
が必要である。たとえば化学蒸着法は蒸気が孔内で沈積
する温度その他の条件下に孔を通って流れる場合に使用
することができる。
前記のように被覆したノズルを前記米国特許第４４４”
５０２１号明細書に記載のタイプのプラズマガンにより
、被覆されていない比較ノズルと比較しながら試験する
。試験の第１期で各ノズルを４００アンペアおよび６０
〜６５ポルトで１２時間（１時間インクリメントで）２
５００標準１ ／ ｈ （１００５ＣＦＨ）のゾラズマ
ガスを使用して作業した。１２時間試験後の検査により
比較ノズルの孔には目に見えるエロージョンが現れたけ
れど、被覆したノズルには目に見えるエロージョンがな
かった。
５０２１号明細書に記載のタイプのプラズマガンにより
、被覆されていない比較ノズルと比較しながら試験する
。試験の第１期で各ノズルを４００アンペアおよび６０
〜６５ポルトで１２時間（１時間インクリメントで）２
５００標準１ ／ ｈ （１００５ＣＦＨ）のゾラズマ
ガスを使用して作業した。１２時間試験後の検査により
比較ノズルの孔には目に見えるエロージョンが現れたけ
れど、被覆したノズルには目に見えるエロージョンがな
かった。
それぞれ同じノズルの試験の第２期ではエロージョンの
条件を厳しくするためチッ素の１次プラズマガスへ水素
の２次ガスを６７５標準ｇ／ｈ （１５５ＣＦＨ）の量
で添加して付加的に８時間作業した。電流は７５〜８０
ボルトで４００アンペアであった。終了の際比較ノズル
は孔内に著しい摩耗を示し、傾斜した入口部と中央の円
筒部の交線の鋭いエツジはエロージョンにより消滅した
。銅のボールがコアに見えた。
条件を厳しくするためチッ素の１次プラズマガスへ水素
の２次ガスを６７５標準ｇ／ｈ （１５５ＣＦＨ）の量
で添加して付加的に８時間作業した。電流は７５〜８０
ボルトで４００アンペアであった。終了の際比較ノズル
は孔内に著しい摩耗を示し、傾斜した入口部と中央の円
筒部の交線の鋭いエツジはエロージョンにより消滅した
。銅のボールがコアに見えた。
孔の一部は黒色であった。被覆ノズルと異なシ孔内の表
面の約６００°は霜降シ現象を示した。
面の約６００°は霜降シ現象を示した。
１つの小さい部分はマークなし、他の部分は２つの小さ
いビットマークを示した。
いビットマークを示した。
第１図は本発明のノズルの縦断面図、第２図はノズル被
覆のために使用するアーク蒸着装置の水平断面図である
。 １０・・・ノズル、１１・・・ノズル孔、１２・・・入
口、１４・・・出口、１６・・・内面、１８・・・外面
、２２・・・被覆層
覆のために使用するアーク蒸着装置の水平断面図である
。 １０・・・ノズル、１１・・・ノズル孔、１２・・・入
口、１４・・・出口、１６・・・内面、１８・・・外面
、２２・・・被覆層
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ほぼ銅系金属からなり、プラズマガスの通路を有し
、プラズマ形成アークのための電気的接触部を形成する
表面部分を有し、この表面部分が陽極ノズルの作業寿命
を長くするため、十分な酸化安定性および十分な電気伝
導度を有する材料の薄い被覆を備えていることを特徴と
するプラズマガンの陽極ノズル。 ２、表面部分が少なくとも通路の一部である特許請求の
範囲第１項記載の陽極ノズル。 ３、被覆材料が２５００℃を超えて安定である特許請求
の範囲第１項記載の陽極ノズル。 ４、被覆材料が耐火性金属、耐火性ホウ化物、耐火性炭
化物、耐火性チッ化物およびその組合せよりなる群から
選択される特許請求の範囲第１項記載の陽極ノズル。 ５、被覆材料がチッ化チタンである特許請求の範囲第４
項記載の陽極ノズル。 ６、被覆材料が１〜１００μｍの厚さを有する特許請求
の範囲第１項記載の陽極ノズル。 ７、被覆材料が真空陰極アーク放電物理蒸着法によつて
形成される特許請求の範囲第４項記載の陽極ノズル。 ８、チッ化チタンが真空陰極アーク放電物理蒸着法によ
つて形成される特許請求の範囲第５項記載の陽極ノズル
。 ９、内面の部分が厚さ１〜１００μｍのチッ化チタン被
覆からなる特許請求の範囲第１項記載の陽極ノズル。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US71168185A | 1985-03-14 | 1985-03-14 | |
| US711681 | 1991-06-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61214400A true JPS61214400A (ja) | 1986-09-24 |
Family
ID=24859077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61055188A Pending JPS61214400A (ja) | 1985-03-14 | 1986-03-14 | プラズマガンの陽極ノズル |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0194634A3 (ja) |
| JP (1) | JPS61214400A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2018507316A (ja) * | 2014-12-12 | 2018-03-15 | エリコン メテコ（ユーエス）インコーポレイテッド | プラズマガンノズルの腐食防止及びガンノズルの腐食防止方法 |
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1986
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- 1986-03-14 JP JP61055188A patent/JPS61214400A/ja active Pending
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Also Published As
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