JPS61214346A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JPS61214346A JPS61214346A JP60054510A JP5451085A JPS61214346A JP S61214346 A JPS61214346 A JP S61214346A JP 60054510 A JP60054510 A JP 60054510A JP 5451085 A JP5451085 A JP 5451085A JP S61214346 A JPS61214346 A JP S61214346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positive
- ions
- ion
- ion source
- negative
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は質量分析計に係り、特に角度を持った分析管の
出口、入口にそれぞれイオン源、コレクターを設ける事
により、正”、′負”のイオンを測定するのに好適な質
量分析計に関するものである。
出口、入口にそれぞれイオン源、コレクターを設ける事
により、正”、′負”のイオンを測定するのに好適な質
量分析計に関するものである。
従来の質量分析計はイオン源で正負のイオンが出来るが
１通常“正”イオンのスペクトルを測定しており、′負
”のイオンを測定する時は、イオンの加速電圧を“負”
にし磁場の極性を反転させて負のスペクトルを得ていた
。しかしこの方法は磁場に大電流を流せる様にしである
事もあり、電流を完全にディスチャージし、大型リレー
で極性を反転してから測定と無駄な時間と労力を費して
いた為、寿命の短い試料等は２度、３度の測定を行い、
やっと正負の両スペクトルを得ていた、又。
１通常“正”イオンのスペクトルを測定しており、′負
”のイオンを測定する時は、イオンの加速電圧を“負”
にし磁場の極性を反転させて負のスペクトルを得ていた
。しかしこの方法は磁場に大電流を流せる様にしである
事もあり、電流を完全にディスチャージし、大型リレー
で極性を反転してから測定と無駄な時間と労力を費して
いた為、寿命の短い試料等は２度、３度の測定を行い、
やっと正負の両スペクトルを得ていた、又。
得られた負イオンスペクトルは、イオン化がマイルドな
こともあり、あまり開裂をおこさないため。
こともあり、あまり開裂をおこさないため。
フィラメントビークはほとんど現われず、マススペクト
ルとしての情報は非常に少なかった。
ルとしての情報は非常に少なかった。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、その
目的は磁場の極性を変える事なしに“正”、“負″のイ
オンを測定すると共に、ガスクロから流出して来る試料
の様に寿命の短い試料でも同時又は短時間に“正”、′
負″両スペクトルを得る、又、片方のイオン源からスタ
ンダード７試料、もう一方のイオン源から測定試料イオ
ンを出射する事により、精密質量測定も可能とする質量
分析計を提供する。
目的は磁場の極性を変える事なしに“正”、“負″のイ
オンを測定すると共に、ガスクロから流出して来る試料
の様に寿命の短い試料でも同時又は短時間に“正”、′
負″両スペクトルを得る、又、片方のイオン源からスタ
ンダード７試料、もう一方のイオン源から測定試料イオ
ンを出射する事により、精密質量測定も可能とする質量
分析計を提供する。
上記目的を達成する為に１本発明は分析管の入口、出口
にそれぞれイオン源とコレクターを設置可能とし、それ
らのイオン源から“正”、′負”のイオンを同時、又は
磁場のスキャンに同期させて、交互に出射し、′正”、
′負”のイオンスペクトルを同時又は短時間に得る事を
特徴とする。
にそれぞれイオン源とコレクターを設置可能とし、それ
らのイオン源から“正”、′負”のイオンを同時、又は
磁場のスキャンに同期させて、交互に出射し、′正”、
′負”のイオンスペクトルを同時又は短時間に得る事を
特徴とする。
以下１本発明の好適な実施例を図面に基づいて説明する
。
。
第１．第２図は本発明に係る質量分析計の原理的実施例
を示す構成図で、第４図、第３図は第１イオン源第２イ
オン源部の構成図を示す。
を示す構成図で、第４図、第３図は第１イオン源第２イ
オン源部の構成図を示す。
第１図において、ＧＣ６，試流導入計７から導入された
試料は、試料インターフェース５を通り第１．第２イオ
ン源に導入されイオン化される。
試料は、試料インターフェース５を通り第１．第２イオ
ン源に導入されイオン化される。
イオン源で出来たイオン３は、第１イオン源１はイオン
加速電源９からの“正”のイオン加速電圧を与え、正の
イオンのみを磁場に入射させる。磁場に入った正のイオ
ンはＭ／Ｚの差異により異った軌道を描く、イオン軌道
の曲率半径をｒａｍ 、磁場の強さをＨガウス、イオン
の加速電圧をＶボルト、イオンの質量数をｙ質量単位、
イオンの電荷を２とすると。
加速電源９からの“正”のイオン加速電圧を与え、正の
イオンのみを磁場に入射させる。磁場に入った正のイオ
ンはＭ／Ｚの差異により異った軌道を描く、イオン軌道
の曲率半径をｒａｍ 、磁場の強さをＨガウス、イオン
の加速電圧をＶボルト、イオンの質量数をｙ質量単位、
イオンの電荷を２とすると。
Ｍ／Ｚ＝４．８２Ｘ１０°’ｒ”Ｈ”／Ｖとなりイオン
は磁場の強度を強くしてゆく事により、フレミングの左
手の法則により右側に曲げられ、第２イオン源コレクタ
ー２内のコレクターにマススペクトルとして到達する。
は磁場の強度を強くしてゆく事により、フレミングの左
手の法則により右側に曲げられ、第２イオン源コレクタ
ー２内のコレクターにマススペクトルとして到達する。
一方第２イオン源コレクターで生成されたイオンは、イ
オン加速電源９からの負の電圧を与え、負のイオンのみ
を磁場４に入射させる。磁場に入った負のイオンは磁場
の強度を増してゆく事によりフレミングの右手の法則に
より左側に曲げられ、第１イオン源コレクター１のコレ
クターに入り、マススペクトルとしてデーター処理装置
１０に記録される。
オン加速電源９からの負の電圧を与え、負のイオンのみ
を磁場４に入射させる。磁場に入った負のイオンは磁場
の強度を増してゆく事によりフレミングの右手の法則に
より左側に曲げられ、第１イオン源コレクター１のコレ
クターに入り、マススペクトルとしてデーター処理装置
１０に記録される。
正負のイオン軌道に関しては、同一軌道上を同時に飛行
させるわけにはゆかないので、２つの方法が考えられる
。ひとつは各イオン源を出射したイオンが上、下別の軌
道を飛行しコレクター１６に到達する方法である（第３
図）。フィラメント１１で生成された熱電子はグリッド
１２に負の電圧を掛ける事により、イオン化チャンバー
１３内に導かれ、試料２０に電子衝撃し、試料イオンを
生成する。生成されたイオン３はイオン加速電源９から
のイオン加速電圧により加速されて磁場４に向けて小刻
される。イオン加速電圧は第１イオン源は“正”、第２
イオン源は負の電圧を与え、磁場で質量分散させ各質量
ごとのイオンをコレクター１６で受け、マススペクトル
としてデーター処理装置１０にシグナルを送る。各イオ
ン源内のコレクターの位置は、第１と第２は上下逆方向
に取付ける。
させるわけにはゆかないので、２つの方法が考えられる
。ひとつは各イオン源を出射したイオンが上、下別の軌
道を飛行しコレクター１６に到達する方法である（第３
図）。フィラメント１１で生成された熱電子はグリッド
１２に負の電圧を掛ける事により、イオン化チャンバー
１３内に導かれ、試料２０に電子衝撃し、試料イオンを
生成する。生成されたイオン３はイオン加速電源９から
のイオン加速電圧により加速されて磁場４に向けて小刻
される。イオン加速電圧は第１イオン源は“正”、第２
イオン源は負の電圧を与え、磁場で質量分散させ各質量
ごとのイオンをコレクター１６で受け、マススペクトル
としてデーター処理装置１０にシグナルを送る。各イオ
ン源内のコレクターの位置は、第１と第２は上下逆方向
に取付ける。
又、正負のイオンが同一軌道上を通る場合は。
第４図の様なイオン源コレクターをもちいる。
すなわち、磁場の掃引ごとに第１イオン源には“正”の
電圧、第２イオン源には“負”の電圧を与える事により
、おのおののイオン源に交互に“正”、′負”のイオン
が入射して来る、イオン源に入射したイオンをコレクタ
ー１６で受ける為には、ディフレクタ−１８に第１イオ
ン源コレクターには負の電圧、第２イオン源コレクター
には“正”のイオンが入って来るので“正”の電圧を掛
ける事により、′正”、′負”のイオンをコレクター１
６に押し込み、データー処理へとマススペクトルのシグ
ナルを送る。
電圧、第２イオン源には“負”の電圧を与える事により
、おのおののイオン源に交互に“正”、′負”のイオン
が入射して来る、イオン源に入射したイオンをコレクタ
ー１６で受ける為には、ディフレクタ−１８に第１イオ
ン源コレクターには負の電圧、第２イオン源コレクター
には“正”のイオンが入って来るので“正”の電圧を掛
ける事により、′正”、′負”のイオンをコレクター１
６に押し込み、データー処理へとマススペクトルのシグ
ナルを送る。
本実施例によれば、長時間を掛けて磁場の電流をディス
チャージしリレーを反転させてから“正”、′負″イオ
ンの取込みを行うのではなく、分析管の片側から正”の
イオン、もう片側から“負”のイオンを出射する事によ
り、同時、又は短時間のうちに“正”、′負”の両イオ
ンスペクトルが測定出来る。
チャージしリレーを反転させてから“正”、′負″イオ
ンの取込みを行うのではなく、分析管の片側から正”の
イオン、もう片側から“負”のイオンを出射する事によ
り、同時、又は短時間のうちに“正”、′負”の両イオ
ンスペクトルが測定出来る。
以上述べた様に本発明によれば、分析管の入口出口にイ
オン源とコレクターを設置する事により従来切換に長時
間を要していた“正″′、′負”試料スペクトルの測定
が、同時又は短時間に行える、又、正負体を同時に測定
する事によりピーク数及び情報の少い負イオンスペクト
ルも、′正”イオンのスタンダードサンプルピークを使
って精密質量の値を計算する事が可能となるので、質量
スペクトルの情報を大巾に増大させる事が出来る（従来
負イオンの精密質量測定は不可能であった）。
オン源とコレクターを設置する事により従来切換に長時
間を要していた“正″′、′負”試料スペクトルの測定
が、同時又は短時間に行える、又、正負体を同時に測定
する事によりピーク数及び情報の少い負イオンスペクト
ルも、′正”イオンのスタンダードサンプルピークを使
って精密質量の値を計算する事が可能となるので、質量
スペクトルの情報を大巾に増大させる事が出来る（従来
負イオンの精密質量測定は不可能であった）。
第１図は本発明の質量分析計構成図、第２図はイオン化
及びレコーディング関係の電気的構成図。 第３図（イ）及び（ロ）は“正１Ｇ、１ｇ負”のイオン
を上下のイオン軌道を通した時の側面図及び平面図、第
４図（イ）及び（ロ）は“正”、′負”のイオンを同一
軌道上を飛行させた時の側面図及び平面図である。 １・・・第１イオン源コレクター、２・・・第２イオン
源コレクター、３・・・イオンビーム、４・・・磁場、
５・・・試料導入インターフェース、６・・・Ｇ、Ｃ１
７・・・試料導入針、８・・・磁場掃引電源、９・・・
イオン加速電源、１０・・・データ処理装置、１１・・
・フィラメント。 １２・・・グリッド、１３・・・イオン化チャンバー。
及びレコーディング関係の電気的構成図。 第３図（イ）及び（ロ）は“正１Ｇ、１ｇ負”のイオン
を上下のイオン軌道を通した時の側面図及び平面図、第
４図（イ）及び（ロ）は“正”、′負”のイオンを同一
軌道上を飛行させた時の側面図及び平面図である。 １・・・第１イオン源コレクター、２・・・第２イオン
源コレクター、３・・・イオンビーム、４・・・磁場、
５・・・試料導入インターフェース、６・・・Ｇ、Ｃ１
７・・・試料導入針、８・・・磁場掃引電源、９・・・
イオン加速電源、１０・・・データ処理装置、１１・・
・フィラメント。 １２・・・グリッド、１３・・・イオン化チャンバー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、磁場と角度を持つた分析管を有する質量分析計等に
おいて、分析管の入口、出口に、それぞれイオン源とコ
レクターを設け、片方からは正のイオン、もう片方から
は負のイオンを発生出射し、正負のイオンを同時又は、
磁場掃引に同期させ交互に測定する事を特徴とする質量
分析計。 ２、特許請求の範囲第１項において、正負のイオンビー
ムを“上”、“下”別々の軌道を通す時、イオン源スリ
ットがコレクタースリットを兼用する事を特徴とする質
量分析計。 ３、特許請求の範囲第１項において、正負のイオンビー
ムを同じ軌道を通し磁場掃引に同期させ交互に正負のイ
オンを測定する時、イオン源出射スリットとイオン源の
間にディフレクターを設置し、イオン源出射スリットか
ら入つて来たイオンをディフレクターに電圧を掛ける事
により反対方向に曲げ、そこに設置したコレクターによ
りマススペクトルシグナルを得る事を特徴とする質量分
析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60054510A JPS61214346A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60054510A JPS61214346A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | 質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61214346A true JPS61214346A (ja) | 1986-09-24 |
Family
ID=12972636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60054510A Pending JPS61214346A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61214346A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08278285A (ja) * | 1996-05-16 | 1996-10-22 | Hitachi Ltd | 質量分析装置及び質量分析方法 |
| JPH08279348A (ja) * | 1996-05-16 | 1996-10-22 | Hitachi Ltd | 質量分析装置及び質量分析方法 |
-
1985
- 1985-03-20 JP JP60054510A patent/JPS61214346A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08278285A (ja) * | 1996-05-16 | 1996-10-22 | Hitachi Ltd | 質量分析装置及び質量分析方法 |
| JPH08279348A (ja) * | 1996-05-16 | 1996-10-22 | Hitachi Ltd | 質量分析装置及び質量分析方法 |
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