JPS61214125A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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Publication number
JPS61214125A
JPS61214125A JP5537485A JP5537485A JPS61214125A JP S61214125 A JPS61214125 A JP S61214125A JP 5537485 A JP5537485 A JP 5537485A JP 5537485 A JP5537485 A JP 5537485A JP S61214125 A JPS61214125 A JP S61214125A
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JP
Japan
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layer
sulfur
magnetic
thin film
protective layer
Prior art date
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Application number
JP5537485A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoichi Ogawa
容一 小川
Hideo Fujiwara
英夫 藤原
Osamu Kitagami
修 北上
Kiyotaka Oshima
尾島 清高
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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Publication of JPS61214125A publication Critical patent/JPS61214125A/en
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Abstract

PURPOSE:To improve the durability and corrosion resistance of the titled medium by providing a nonmagnetic inorg. protective layer contg. sulfur on the surface of a ferromagnetic metallic thin film layer formed on a substrate and further forming a lubricant layer thereon. CONSTITUTION:A nonmagnetic inorg. protective layer 19 contg. sulfur is formed on a ferromagnetic metallic thin film layer 18 by coating an inorg. material such as titanium along with a sulfur compd. on the ferromagnetic metallic thin film layer 18 by vacuum deposition, etc. A sulfurized fatty acid, etc., as well as elementary sulfur are preferably used as the sulfur compd. The nonmagnetic inorg. protective layer 19 is excellently adhered to the ferromagnetic metallic thin film layer 18, the leaking property of the lubricant layer 20 further formed thereon is excellent since the layer contains sulfur, the adsorptive force is also high and the layer 19 is excellently adhered to the lubricant layer 20.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気記
録媒体に関し、さらに詳しくは、耐久性および耐食性に
優れた前記の磁気記録媒体に関する。
Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film layer as a magnetic recording layer, and more particularly relates to the above-mentioned magnetic recording medium having excellent durability and corrosion resistance. .

〔従来の技術〕[Conventional technology]

強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気記録媒体は、
通常、金属もしくはそれらの合金などを真空蒸着、スパ
ッタリング等によって基体フィルム上に被着してつくら
れ、高密度記録に適した特性を有するが、反面磁気ヘッ
ドとの摩擦係数が大きくて摩耗や損傷を受は易く、また
空気中で徐々に酸化を受けて最大磁束密度などの磁気特
性が劣化するなどの難点がある。
A magnetic recording medium whose magnetic recording layer is a ferromagnetic metal thin film layer is
It is usually made by depositing metals or their alloys on a base film by vacuum deposition, sputtering, etc., and has characteristics suitable for high-density recording, but on the other hand, the coefficient of friction with the magnetic head is high, causing wear and damage. It also has disadvantages such as gradual oxidation in the air and deterioration of magnetic properties such as maximum magnetic flux density.

このため、従来から強磁性金属薄膜層上に種々の保護層
を設けるなどして、耐久性および耐食性を改善すること
が行われており、たとえば、金属酸化物あるいは金属窒
化物などの非磁性無機保護層を強磁性金属薄膜層上に設
け、さらに非磁性無機保護層上に潤滑剤層を設けること
が提案されている。(特開昭57−164433号)〔
発明が解決しようとする問題点〕 ところが、この種の金属酸化物あるいは金属窒化物など
の非磁性無機保護層は、その上に被着形成する潤滑剤層
に対する接着性が悪く、磁気ヘッドとの摺接によって比
較的短時間で潤滑剤層が剥離、破壊される場合があり、
未だ耐久性および耐食性は充分に改善されていない。
For this reason, various protective layers have been conventionally provided on the ferromagnetic metal thin film layer to improve durability and corrosion resistance. It has been proposed to provide a protective layer on the ferromagnetic metal thin film layer and further provide a lubricant layer on the nonmagnetic inorganic protective layer. (Unexamined Japanese Patent Publication No. 57-164433)
[Problems to be Solved by the Invention] However, this kind of non-magnetic inorganic protective layer such as metal oxide or metal nitride has poor adhesion to the lubricant layer formed thereon, and has difficulty in bonding with the magnetic head. The lubricant layer may be peeled off or destroyed in a relatively short period of time due to sliding contact.
Durability and corrosion resistance have not yet been sufficiently improved.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明は、かかる現状に鑑み種々検討を行った結果な
されたもので、強磁性金属薄膜層の表面にイオウを含有
する非磁性無機保護層を設け、さらにこの上に潤滑剤層
を形成することによって、非磁性無機保護層に含有させ
たイオウの作用により、非磁性無機保護層に対する潤滑
剤層の濡れ性および吸着性を良好にし、潤滑剤層の非磁
性無機保護層に対する接着性を改善して、非磁性無機保
護層および潤滑剤層を強磁性金属薄膜層上に強固に被着
形成し、耐久性および耐食性を充分に向上させたもので
ある。
This invention was made as a result of various studies in view of the current situation, and includes providing a non-magnetic inorganic protective layer containing sulfur on the surface of a ferromagnetic metal thin film layer, and further forming a lubricant layer on the surface of the ferromagnetic metal thin film layer. By the action of sulfur contained in the non-magnetic inorganic protective layer, the wettability and adsorption of the lubricant layer to the non-magnetic inorganic protective layer are improved, and the adhesion of the lubricant layer to the non-magnetic inorganic protective layer is improved. A nonmagnetic inorganic protective layer and a lubricant layer are firmly adhered to the ferromagnetic metal thin film layer, thereby sufficiently improving durability and corrosion resistance.

この発明において、強磁性金属薄膜層上へのイオウを含
有する非磁性無機保護層の形成は、チタン、タンタル、
カーボン、ケイ素、ゲルマニウム、スズ、鉛、ジルコニ
ウム、ハフニウム、アンチモン、ビスマス、バナジウム
、ニオブ、セレン、テルル、ボロニウム、アスクチン等
の無機物を、イオウ化合物とともに、真空蒸着、スパッ
タリング、イオンブレーティング等の方法で強磁性金属
薄膜層上に被着して行われる。このようにして形成され
る非磁性無機保護層は、前記の無機物の他これらの酸化
物、あるいは窒化物であってもよく、さらにこれらの混
合物であってもよい。またこの非磁性無機保護層中に含
有されるイオウ化合物としては、イオウ単体の他、硫黄
化脂肪酸等が好適なものとして使用される。これらのイ
オウ化合物は、少な(とも非磁性無機保護層の表面に含
有されていることが必要であるが、表面に含有されてい
れば必ずしも非磁性無機保護層全体に含有されていなく
てもよい。このようにして形成されるイオウを含有する
非磁性無機保護層は、強磁性材を真空蒸着あるいはスパ
ッタリングもしくはイオンブレーティング等の方法で基
体上に被着した後、直ちに引き続いて同じ方法で強磁性
金属薄膜層上に被着して形成することができるため極め
て容易に形成される。さらにこの種のイオウを含有する
非磁性無機保護層は、強磁性金属薄膜層との接着性が極
めてよく、またイオウを含有しているためこの上にさら
に形成される潤滑剤層の濡れ性が良好で、吸着力も強(
、潤滑剤層との接着性も極めてよい、従って強磁性金属
薄膜層上に強固に被着形成され、またこのイオウを含有
する非磁性無機保護層上に潤滑剤層を形成すると、潤滑
剤層が強固に被着形成されて、耐食性および耐久性が充
分に向上される。層厚は強磁性金属薄膜層と潤滑剤層と
の間にあって両者の接着性を充分に良好なものとするた
め50〜500人の範囲内となるようにするのが好まし
く、500人より厚(すると、スペーシングロスが太き
(なって電磁変換特性が劣化するおそれがある。
In this invention, the formation of a non-magnetic inorganic protective layer containing sulfur on a ferromagnetic metal thin film layer includes titanium, tantalum,
Inorganic substances such as carbon, silicon, germanium, tin, lead, zirconium, hafnium, antimony, bismuth, vanadium, niobium, selenium, tellurium, boronium, ascutin, etc., are combined with sulfur compounds by methods such as vacuum evaporation, sputtering, and ion blating. This is done by depositing on a thin ferromagnetic metal layer. The non-magnetic inorganic protective layer thus formed may be made of oxides or nitrides of these inorganic substances as well as the above-mentioned inorganic substances, or a mixture thereof. In addition to simple sulfur, sulfurized fatty acids and the like are preferably used as the sulfur compound contained in this nonmagnetic inorganic protective layer. These sulfur compounds need to be contained in a small amount on the surface of the non-magnetic inorganic protective layer, but if they are contained in the surface, they do not necessarily need to be contained in the entire non-magnetic inorganic protective layer. The sulfur-containing non-magnetic inorganic protective layer formed in this manner is obtained by depositing a ferromagnetic material on a substrate by a method such as vacuum evaporation, sputtering, or ion blasting, and then immediately and subsequently reinforcing it by the same method. It is extremely easy to form because it can be deposited on a magnetic metal thin film layer.Furthermore, this type of nonmagnetic inorganic protective layer containing sulfur has extremely good adhesion with the ferromagnetic metal thin film layer. Also, since it contains sulfur, the lubricant layer formed on top of it has good wettability and strong adsorption power (
, has extremely good adhesion with the lubricant layer, so it is firmly adhered to the ferromagnetic metal thin film layer, and when the lubricant layer is formed on the sulfur-containing non-magnetic inorganic protective layer, the lubricant layer is strongly adhered to, and corrosion resistance and durability are sufficiently improved. The layer thickness is between the ferromagnetic metal thin film layer and the lubricant layer and is preferably within the range of 50 to 500 layers in order to ensure sufficiently good adhesion between the two. As a result, the spacing loss may increase (and the electromagnetic conversion characteristics may deteriorate).

このようにして形成されたイオウを含有する非磁性無機
保護層の表面に、さらに被着形成される潤滑剤層は、潤
滑剤を、トルエン、メチルイソブチルケトン、メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、テトラヒ
ドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジオキサン等の適
当な溶剤に溶解し、溶解によって得られた溶液中にイオ
ウを含有する非磁性無機保護層を浸漬するか、あるいは
前記溶液をイオウを含有する非磁性無機保護層上に塗布
または噴霧するなどの方法で行われ、この他、潤滑剤を
イオウを含有する非磁性無機保護層上に真空蒸着するな
どの方法でも行われる。
A lubricant layer that is further deposited on the surface of the sulfur-containing nonmagnetic inorganic protective layer thus formed includes lubricants such as toluene, methyl isobutyl ketone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ethyl acetate, tetrahydrofuran, The sulfur-containing non-magnetic inorganic protective layer is dissolved in a suitable solvent such as dimethylformamide or dioxane, and the sulfur-containing non-magnetic inorganic protective layer is immersed in the resulting solution, or the sulfur-containing non-magnetic inorganic protective layer is coated with the sulfur-containing non-magnetic inorganic protective layer. This can be done by coating or spraying, or by vacuum depositing a lubricant on the sulfur-containing non-magnetic inorganic protective layer.

使用される潤滑剤としては、特に限定されないが、たと
えば、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステ
アリン酸等の脂肪酸、ステアリン酸亜鉛等の脂肪酸金属
塩、ステアリン酸アミド等の脂肪酸アミド、ステアリン
酸−n−ブチル、ミリスチン酸オクチル等の脂肪酸エス
テル、ステアリルアルコール、ミリスチルアルコール等
の脂肪族アルコール、パーフルオロアルキルカルボン酸
等のフッ素系脂肪酸、CF3  (CF2 )s  (
CH2)20Hが等のフッ素系脂肪酸エステル、トリア
ルキルリン酸エステル等のリン酸エステルなどが好適な
ものとして使用され、これらの潤滑剤はいずれか一種が
単独で、あるいは二種以上が混合して使用される。
The lubricant used is not particularly limited, but includes, for example, fatty acids such as lauric acid, myristic acid, palmitic acid, and stearic acid, fatty acid metal salts such as zinc stearate, fatty acid amides such as stearic acid amide, and stearic acid. Fatty acid esters such as n-butyl and octyl myristate, aliphatic alcohols such as stearyl alcohol and myristyl alcohol, fluorinated fatty acids such as perfluoroalkylcarboxylic acids, CF3 (CF2)s (
Fluorinated fatty acid esters such as CH2)20H and phosphate esters such as trialkyl phosphate esters are preferably used, and these lubricants may be used alone or in combination of two or more. used.

このような潤滑剤を用いて形成される潤滑剤層の層厚は
、20〜500人の範囲内となるようにするのが好まし
く、20人より薄いとその優れた潤滑効果を充分に発揮
させて、摩擦係数を充分に低減することができず、50
0人より厚(するとスペーシングロスが大きくなりすぎ
て電磁変換特性に悪影響を及ぼす。
The thickness of the lubricant layer formed using such a lubricant is preferably within the range of 20 to 500 layers, and if it is thinner than 20 layers, its excellent lubrication effect cannot be fully exhibited. Therefore, the coefficient of friction could not be sufficiently reduced, and the
thicker than 0 (then the spacing loss will be too large and have a negative effect on the electromagnetic conversion characteristics).

強磁性金属薄膜層の形成材料としては、C01F e 
% N ilCo  N i合金、(、o−Cr合金、
Co−P合金、Co−N1−P合金などの強磁性材が使
用され、これらの強磁性材からなる強磁性金属薄膜層は
、真空蒸着、イオンブレーティング、スパッタリング、
メッキ等の手段によって基体上に被着形成される。
The material for forming the ferromagnetic metal thin film layer is C01F e
%NilCoNi alloy, (, o-Cr alloy,
Ferromagnetic materials such as Co-P alloy and Co-N1-P alloy are used, and ferromagnetic metal thin film layers made of these ferromagnetic materials can be formed by vacuum evaporation, ion blasting, sputtering,
It is deposited on the substrate by means such as plating.

また、基体としては、ポリエステルフィルム、ポリイミ
ドフィルムなどの合成樹脂フィルム、アルミニウム板お
よびガラス板等、従来から使用されているものがいずれ
も好適なものとして使用され、磁気記録媒体としては、
これらのポリエステルフィルム、ポリイミドフィルムな
どの合成樹脂フィルムを基体として用いた磁気テープ、
合成樹脂゛フィルム、アルミニウム板およびガラス板等
からなる円盤を基体として用いた磁気ディスクや磁気ド
ラムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包
含する。
In addition, as the substrate, any conventionally used materials such as synthetic resin films such as polyester films and polyimide films, aluminum plates and glass plates are suitably used, and as the magnetic recording medium,
Magnetic tapes using synthetic resin films such as polyester films and polyimide films as base materials,
It includes various forms of structure that come into sliding contact with a magnetic head, such as magnetic disks and magnetic drums that use a disk made of synthetic resin film, aluminum plate, glass plate, etc. as a base.

〔実施例〕〔Example〕

次に、この発明の実施例について説明する。 Next, embodiments of the invention will be described.

実施例1 第1図に示す真空蒸着装置を使用し、厚さ50μのポリ
イミドフィルム1を真空槽2の原反ロール3からガイド
ロール4を介して円筒状キャン5の周側面に沿って移動
させ、さらにガイドローラ6および7を介して円筒状キ
ャン8の周側面に沿って移動させ、ガイドロール9を介
して巻き取りロール10に巻き取るようにセットした。
Example 1 Using the vacuum evaporation apparatus shown in FIG. 1, a polyimide film 1 with a thickness of 50 μm was moved from a raw roll 3 in a vacuum chamber 2 to a circumferential side of a cylindrical can 5 via a guide roll 4. Further, it was moved along the circumferential surface of the cylindrical can 8 via guide rollers 6 and 7, and set so as to be wound onto a winding roll 10 via a guide roll 9.

次いで、真空槽2をその側壁に取りつけた排気系11で
1×104トールに真空排気するとともに、円筒状キャ
ン5の下方に配設した強磁性材蒸発源12でコバルト−
クロム合金(重量比80:20)13を加熱蒸発し、ポ
リイミドフィルム1を円筒状キャン5で温度250℃に
加熱しながら真空蒸着を行い、厚さ0.2μのコバルト
−クロム合金からなる強磁性金属薄膜層を形成した。続
いてコバルト−クロム合金からなる強磁性金属薄膜層が
形成されたポリイミドフィルム1が円筒状キャン8の周
側面に沿って移動する間に、円筒状キャン8の下方に配
設された無機物蒸発源14でチタン15を加熱蒸発する
と同時に、円筒状キャン8の下方に同じく配設されたイ
オウ化合物蒸発源16でイオウ17を加熱蒸発して真空
蒸着を行い、コバルト−クロム合金からなる強磁性金属
11膜層上に厚さ200人のイオウを含有したチタンか
らなる非磁性無機保護層を形成した0次ぎに、このよう
にして形成した非磁性無機保護層上に、タライトフクス
(デュポン社製、末端がカルボキシル基化されたパーフ
ルオロポリエーテル)の0.1重量%フレオン溶液を塗
布、乾燥してクライトックスからなる潤滑剤層を形成し
た。しかる後、円板状に打ち抜いて第2図に示すような
ポリイミドフィルム1上に1強磁性金属薄膜層18、イ
オウが含有された非磁性無機保護層19、潤滑剤層20
を順次に積層形成した磁気ディスクAをつくった。なお
、図中21および;22は防着板である。
Next, the vacuum chamber 2 is evacuated to 1×10 4 Torr using an exhaust system 11 attached to its side wall, and a ferromagnetic material evaporation source 12 disposed below the cylindrical can 5 is used to evacuate cobalt.
A chromium alloy (weight ratio 80:20) 13 is heated and evaporated, and a polyimide film 1 is vacuum-deposited while being heated to a temperature of 250°C in a cylindrical can 5 to form a ferromagnetic film made of a cobalt-chromium alloy with a thickness of 0.2μ. A metal thin film layer was formed. Next, while the polyimide film 1 on which the ferromagnetic metal thin film layer made of cobalt-chromium alloy is moved along the circumferential side of the cylindrical can 8, an inorganic evaporation source disposed below the cylindrical can 8 is moved. At the same time, titanium 15 is heated and evaporated in step 14, and sulfur 17 is heated and evaporated in sulfur compound evaporation source 16, which is also placed below the cylindrical can 8, for vacuum deposition. A non-magnetic inorganic protective layer made of titanium containing 200 μm of sulfur was formed on the film layer.Next, Talitefuchs (manufactured by DuPont, with terminal ends A 0.1% by weight Freon solution of (carboxylated perfluoropolyether) was applied and dried to form a lubricant layer made of Krytox. After that, it is punched out into a disk shape, and on the polyimide film 1 as shown in FIG.
A magnetic disk A was prepared by sequentially laminating the following layers. In addition, 21 and 22 in the figure are adhesion prevention plates.

実施例2 実施例1において、厚さ50μのポリイミドフィルムに
代えて厚さ12μのポリイミドフィルムを使用し、強磁
性材蒸発源12でコバルト−クロム合金に代えてコバル
ト−ニッケル合金(重量比80:20)を用いて斜め入
射蒸着を行い、無機物蒸発源14でチタンに代えてカー
ボンを蒸発し、さらにタライトックスの0.1重量%フ
レオン溶液に代えてステアリン酸の0.1重量%ベンゼ
ン溶液を使用した以外は実施例1と同様にして、ポリイ
ミドフィルム上に厚さ0.1μのコバルト−ニッケル合
金からなる強磁性金属薄膜層、厚さ200人のイオウを
含有したカーボンからなる非磁性無機保護層、および厚
さ100人のステアリン酸からなる潤滑剤層を形成した
。しかる後、所定の巾に裁断して第3図に示すようなポ
リイミドフィルムl上に強磁性金属薄膜層18、イオウ
が混入された非磁性無機保護層19、潤滑剤層20を順
次に積層形成した磁気テープBをつくった。
Example 2 In Example 1, a polyimide film with a thickness of 12 μm was used instead of the polyimide film with a thickness of 50 μm, and a cobalt-nickel alloy (weight ratio: 80: 20) was used to perform oblique incidence evaporation, carbon was evaporated instead of titanium using the inorganic evaporation source 14, and 0.1% by weight benzene solution of stearic acid was used instead of the 0.1% Freon solution of Talitox. A ferromagnetic metal thin film layer made of a cobalt-nickel alloy with a thickness of 0.1 μm was used on a polyimide film, and a non-magnetic inorganic protection layer made of carbon containing sulfur with a thickness of 200 μm was used on the polyimide film. and a lubricant layer consisting of 100 g stearic acid. Thereafter, a ferromagnetic metal thin film layer 18, a non-magnetic inorganic protective layer 19 mixed with sulfur, and a lubricant layer 20 are sequentially laminated on the polyimide film 1 cut to a predetermined width as shown in FIG. I made magnetic tape B.

比較例1 実施例1において、イオウを含有した非磁性無機保護層
の形成を省いた以外は実施例1と同様にして磁気ディス
クをつくった。
Comparative Example 1 A magnetic disk was produced in the same manner as in Example 1 except that the formation of the sulfur-containing nonmagnetic inorganic protective layer was omitted.

比較例2 実施例2において、イオウを含有した非磁性無機保護層
の形成を省いた以外は実施例2と同様にして磁気テープ
をつくった。
Comparative Example 2 A magnetic tape was produced in the same manner as in Example 2, except that the formation of the sulfur-containing nonmagnetic inorganic protective layer was omitted.

比較例3 実施例1において、イオウを含有した非磁性無機保護層
の形成および潤滑剤層の形成を省いた以外は、実施例1
と同様にして磁気ディスクをつくった。
Comparative Example 3 Example 1 except that the formation of the sulfur-containing nonmagnetic inorganic protective layer and the lubricant layer were omitted.
I made a magnetic disk in the same way.

比較例4 実施例2において、イオウを含有した非磁性無機保護層
の形成および潤滑剤層の形成を省いた以外は、実施例2
と同様にして磁気テープをつくった。
Comparative Example 4 Example 2 except that the formation of the sulfur-containing nonmagnetic inorganic protective layer and the lubricant layer were omitted.
I made magnetic tape in the same way.

各実施例および比較例で得られた磁気ディスクおよび磁
気テープについて、耐久性および耐食性を試験した。磁
気ディスクの耐久性試験は、フロッピー駆動装置を用い
て、得られた磁気ディスクに記録密度10KBPIで記
録再生を行い、出力が初期出力の80%に低下するまで
の磁気ヘッド摺動回数を測定して行った。また磁気テー
プの耐久性は、得られた磁気テープのスチル試験を行い
スチル再生寿命を測定して試験した。さらに耐食性試験
は得られた磁気ディスクおよび磁気テープを60℃、9
0%RHの条件下に7日間放置して最大磁束密度を測定
し、放置前の磁気テープの最大磁束密度を100%とし
、これと比較した値でその劣化率を調べて行った。
The magnetic disks and magnetic tapes obtained in each Example and Comparative Example were tested for durability and corrosion resistance. To test the durability of a magnetic disk, a floppy drive was used to perform recording and playback on the resulting magnetic disk at a recording density of 10 KBPI, and the number of times the magnetic head slid until the output decreased to 80% of the initial output was measured. I went. The durability of the magnetic tape was also tested by performing a still test on the obtained magnetic tape and measuring the still playback life. Furthermore, a corrosion resistance test was conducted on the obtained magnetic disks and magnetic tapes at 60°C and 90°C.
The maximum magnetic flux density was measured after being left under the condition of 0% RH for 7 days, and the deterioration rate was compared with the maximum magnetic flux density of the magnetic tape before being left as 100%.

下表はその結果である。The table below shows the results.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

上表から明らかなように、実施例1および2で得られた
磁気ディスクおよび磁気テープは、比較例1ないし4で
得られた磁気ディスクおよび磁気テープに比し、いずれ
も摺動回数が多く、スチル再生寿命が長くて、劣化率が
小さく、このことからこの発明によって得られる磁気記
録媒体は、耐久性および耐食性が一段と向上されている
ことがわかる。
As is clear from the above table, the magnetic disks and magnetic tapes obtained in Examples 1 and 2 had a greater number of sliding movements than the magnetic disks and magnetic tapes obtained in Comparative Examples 1 to 4. The still playback life is long and the deterioration rate is small, which indicates that the magnetic recording medium obtained by the present invention has further improved durability and corrosion resistance.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の磁気記録媒体を製造する際に使用す
る真空蒸着装置の1例を示す概略断面図、第2図はこの
発明によって得られた磁気ディスクの部分拡大断面図、
第3図はこの発明によって得られた磁気テープの部分拡
大断面図である。 1・・・ポリイミドフィルム(基体)、18・・・強磁
性金属薄膜層、19・・・イオウを含有する非磁性無機
保護層、20・・・潤滑剤層、A・・・磁気ディスク(
磁気記録媒体)、B・・・磁気テープ(磁気記録媒体第
1図 ン 第2図 第3図
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of a vacuum evaporation apparatus used in manufacturing the magnetic recording medium of the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged sectional view of a magnetic disk obtained by the present invention.
FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of a magnetic tape obtained by the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Polyimide film (substrate), 18... Ferromagnetic metal thin film layer, 19... Non-magnetic inorganic protective layer containing sulfur, 20... Lubricant layer, A... Magnetic disk (
magnetic recording medium), B...magnetic tape (magnetic recording medium Fig. 1, Fig. 2, Fig. 3)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、基体上に金属もしくはそれらの合金からなる強磁性
金属薄膜層を形成し、この強磁性金属薄膜層の表面にイ
オウを含有する非磁性無機保護層を設け、さらにこの上
に潤滑剤層を形成したことを特徴とする磁気記録媒体
1. A ferromagnetic metal thin film layer made of metal or an alloy thereof is formed on a substrate, a nonmagnetic inorganic protective layer containing sulfur is provided on the surface of this ferromagnetic metal thin film layer, and a lubricant layer is further provided on this. A magnetic recording medium characterized by forming
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