JPS61213832A - 光偏向器 - Google Patents
光偏向器Info
- Publication number
- JPS61213832A JPS61213832A JP5522485A JP5522485A JPS61213832A JP S61213832 A JPS61213832 A JP S61213832A JP 5522485 A JP5522485 A JP 5522485A JP 5522485 A JP5522485 A JP 5522485A JP S61213832 A JPS61213832 A JP S61213832A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- electrodes
- pair
- light
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、弾性表面波により光の出射方向を偏向する導
波路型光偏向器に関する。
波路型光偏向器に関する。
従来この種の光偏向器として第1I図に示す構造のもの
が知られている。
が知られている。
図においてlは、例えばLiNbO3から成る基板2に
Tiを拡散させることによって形成された平面導波路で
あり、この導波路/上面に圧着したプリズム3を通して
レーザーピームダが導波路l内に導入される。平面導波
路l上の光進行経路脇には光の進行方向に対し直交する
方向に間隔をおいて正負電極を交互に並べた櫛歯状電極
jが設けられており、この電極jには高周波電源6が接
続される。導波路/から出射した光ビームはシリンドリ
カルレンズ7で平行ビームにされた後球面レンズ!で集
光され、軸9回りにミラー10が回転するガルバノミラ
−で友射された後所定のスクリーン//に投射される。
Tiを拡散させることによって形成された平面導波路で
あり、この導波路/上面に圧着したプリズム3を通して
レーザーピームダが導波路l内に導入される。平面導波
路l上の光進行経路脇には光の進行方向に対し直交する
方向に間隔をおいて正負電極を交互に並べた櫛歯状電極
jが設けられており、この電極jには高周波電源6が接
続される。導波路/から出射した光ビームはシリンドリ
カルレンズ7で平行ビームにされた後球面レンズ!で集
光され、軸9回りにミラー10が回転するガルバノミラ
−で友射された後所定のスクリーン//に投射される。
上記の装置で、櫛歯状電極jに高周波が印加されると導
波路上を光の進行方向に直交する方向(X方向とする)
に弾性表面波が走り、これによって導波路lを通る光は
X方向に往復動し、スクリーンl/上で幅方向に走査動
する。またガルバノミラ−10の回転操作によってスク
リーン//の縦方向(Y方向とする)に光ビームが移動
する。
波路上を光の進行方向に直交する方向(X方向とする)
に弾性表面波が走り、これによって導波路lを通る光は
X方向に往復動し、スクリーンl/上で幅方向に走査動
する。またガルバノミラ−10の回転操作によってスク
リーン//の縦方向(Y方向とする)に光ビームが移動
する。
このようにして光ビームを二次元的に偏向することがで
きる。
きる。
上述した従来の光偏向器におい゛ては、平面導波路で表
面弾性波により光が偏向される方向は一方向(X方向)
のみであり、これと直交する方向(Y方向)の光の偏向
は導波路外に設けた反射ミラーを機械的に回転操作する
ことにより行なっているため、Y方向における光の偏向
応答速度が遅く高速化が困難であり、また装置全体が大
型にならざるを得ないという問題があった。
面弾性波により光が偏向される方向は一方向(X方向)
のみであり、これと直交する方向(Y方向)の光の偏向
は導波路外に設けた反射ミラーを機械的に回転操作する
ことにより行なっているため、Y方向における光の偏向
応答速度が遅く高速化が困難であり、また装置全体が大
型にならざるを得ないという問題があった。
平面導波路上に、この導波路内に光を導入する手段と、
光の進行方向に対し、はぼ直交する方向に弾性表面波を
発生する第一の電極対と、光の進行方向に対向して弾性
表面波を発生する第二の電極対とを設け、これら両電極
対をそれぞれ独立に制御し得る高周波電源に接続して光
偏向器を構成する。
光の進行方向に対し、はぼ直交する方向に弾性表面波を
発生する第一の電極対と、光の進行方向に対向して弾性
表面波を発生する第二の電極対とを設け、これら両電極
対をそれぞれ独立に制御し得る高周波電源に接続して光
偏向器を構成する。
〔作 用〕
上記の構成によれば、第一の電極対に印加される高周波
によって平面導波路に発生する弾性表面波で、従来と同
様のX方向での光の偏向が行なわれ、また第二の電極対
に印加される高周波により、光の進行方向に対向して発
生する弾性表面波によって光は導波路に垂直な面内で偏
向される。
によって平面導波路に発生する弾性表面波で、従来と同
様のX方向での光の偏向が行なわれ、また第二の電極対
に印加される高周波により、光の進行方向に対向して発
生する弾性表面波によって光は導波路に垂直な面内で偏
向される。
このようにして、互いに直交する二方向にいずれも導波
路の弾性表面波によって音響光学的に偏向を制御するこ
とができる。
路の弾性表面波によって音響光学的に偏向を制御するこ
とができる。
以下本発明を図面に示した実施例に基づいて詳細に説I
する。
する。
第1図は本発明に係る光偏向器の平面図、第2図は同側
面図、第3図は同斜視図である。図においてIOは基板
ll上に設けられた平面導波路であり、例えばLiNb
O3から成る基板77表面からTiを拡散させることに
よって形成されている。
面図、第3図は同斜視図である。図においてIOは基板
ll上に設けられた平面導波路であり、例えばLiNb
O3から成る基板77表面からTiを拡散させることに
よって形成されている。
平面導波路10上の一端側にはプリズム/−が圧着して
設けられ、この111ズム/Jを通して光ビーム13が
導波路10内に導入される。
設けられ、この111ズム/Jを通して光ビーム13が
導波路10内に導入される。
また導波路10上の、ビーム/3の進行経路/JA脇に
は第一の電極対lIlとして櫛歯状電極が設けられてお
り、その配置は、正負電極/IIA。
は第一の電極対lIlとして櫛歯状電極が設けられてお
り、その配置は、正負電極/IIA。
/lIBの各櫛歯部分の配列方向(以下X方向とする)
が上記光ビーム進行方向にほぼ直交する姿勢となるよう
にされている。また、上記第一電極対llIは高周波電
源13Aに接続されている。また、光ビーム/3の進行
経路/3A上でプリズム12と対向する位置には第二の
電極対16として櫛歯状電極が、正負電極#A、#Bの
各櫛歯部分の配列方向が光ビーム/3の進行方向に対向
する姿勢で配置されていて、第一の高周波電源ljAと
は独立に制御し得る第二の高周波電源ljBに接続され
ている。
が上記光ビーム進行方向にほぼ直交する姿勢となるよう
にされている。また、上記第一電極対llIは高周波電
源13Aに接続されている。また、光ビーム/3の進行
経路/3A上でプリズム12と対向する位置には第二の
電極対16として櫛歯状電極が、正負電極#A、#Bの
各櫛歯部分の配列方向が光ビーム/3の進行方向に対向
する姿勢で配置されていて、第一の高周波電源ljAと
は独立に制御し得る第二の高周波電源ljBに接続され
ている。
なお/7は集光レンズ、lfはスクリーンである。
上記の光偏向器において、第一電極対llIに高周波を
印加すると、電極対lIIから光、ビームの進行経路/
JAを横切るX方向に向けて弾性表面波/9Aが導波路
10上に発生し、これにより導波路内を通る光ビームは
上記高周波の周波数が高いは極対/乙から光ビーム13
の進行に対向する方向(向けて弾性表面波/りBが導波
路10上に発生し、この弾性波の影響で導波路10内を
進行する光ビーム/3は前記高周波の周波数が高いほど
導波路内を直進する距離が短かくなり、周波数に応じて
変化する出射位置で導波路途中から導波路外へと出射す
る。
印加すると、電極対lIIから光、ビームの進行経路/
JAを横切るX方向に向けて弾性表面波/9Aが導波路
10上に発生し、これにより導波路内を通る光ビームは
上記高周波の周波数が高いは極対/乙から光ビーム13
の進行に対向する方向(向けて弾性表面波/りBが導波
路10上に発生し、この弾性波の影響で導波路10内を
進行する光ビーム/3は前記高周波の周波数が高いほど
導波路内を直進する距離が短かくなり、周波数に応じて
変化する出射位置で導波路途中から導波路外へと出射す
る。
そして導波路10から出射した光ビーム/3は従来と同
様に図外のシリンドリカルレンズで平行ビームに変換さ
れ、さらにレンズ17で集光されり後、スクリーンit
に投射され、このスクリーンlざの縦および横方向を予
め上述の光ビーム偏向方向にそれぞれ合せておけば、両
電源1!;A。
様に図外のシリンドリカルレンズで平行ビームに変換さ
れ、さらにレンズ17で集光されり後、スクリーンit
に投射され、このスクリーンlざの縦および横方向を予
め上述の光ビーム偏向方向にそれぞれ合せておけば、両
電源1!;A。
/jBの高周波周波数を制御するだけでスクリーンit
上でビームスポットを直交するX、Z二方向に偏向させ
ることができる。
上でビームスポットを直交するX、Z二方向に偏向させ
ることができる。
次に、波長0.63μmのレーザービームを使用した場
合の具体的な数値例を第1表に示す。
合の具体的な数値例を第1表に示す。
第1表において「スポット数」は、第−表記載 ゛の
中心周波数と周波数幅をもつ高周波を電極に印加したと
きに出力される光ビームの移動数を示す。
中心周波数と周波数幅をもつ高周波を電極に印加したと
きに出力される光ビームの移動数を示す。
第 l 表
すなわち、周波数を連続的に変化させたとき出力光ビー
ムは連続的に移動せず、一定の周波数単位の変化毎にデ
ィジタル的に移動し、その位置移動数が第1表の「スポ
ット数」である。
ムは連続的に移動せず、一定の周波数単位の変化毎にデ
ィジタル的に移動し、その位置移動数が第1表の「スポ
ット数」である。
以上に説明した本発明に係る光偏向器は、一般に圧電物
質から成る平面導波路あるいは非圧電媒質上に圧を薄膜
を設けた平面導波路に広く適用することができ、本発明
はレーザービームプリンター、ディスプレイ等一般に光
ビームを高速度で偏向させる要求のある用途において有
用である。
質から成る平面導波路あるいは非圧電媒質上に圧を薄膜
を設けた平面導波路に広く適用することができ、本発明
はレーザービームプリンター、ディスプレイ等一般に光
ビームを高速度で偏向させる要求のある用途において有
用である。
また、第二電極対に印加する高周波の周波数を変えるこ
とで導波光を異なる導波距離で導波路外に取り出させる
ので伝搬ロスの測定に用いることが可能である。
とで導波光を異なる導波距離で導波路外に取り出させる
ので伝搬ロスの測定に用いることが可能である。
本発明によれば、平面導波路に与える弾性表面波による
音響光学効果のみで直交する二方向での光ビームの偏向
が実現でき、機械的な可動部分を含まないため極めて高
速で高精度の光偏向制御を行なうことができるとともに
、装置全体の大きさを従来のものに比べて大幅にコンパ
クト化することができる。
音響光学効果のみで直交する二方向での光ビームの偏向
が実現でき、機械的な可動部分を含まないため極めて高
速で高精度の光偏向制御を行なうことができるとともに
、装置全体の大きさを従来のものに比べて大幅にコンパ
クト化することができる。
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図は同側
面図、第3図は同斜視図、第を図は従来の光偏向器を示
す斜視図である。 10・・・・・・平面導波路 /l・・・・・・基 板
/?・・・・・・プリズム(光を導入する手段)/3・
・・・・・光ビーム l弘・・・・・・第一電極対/、
!iA 、 /jB・・・・・・高周波電源 /6・・
曲第二電極対/7・・・・・・集光レンズ lざ・・・
・・・スクリーン/9A+’9B・・・・・・弾性表面
波第1図 第3図 第4図
面図、第3図は同斜視図、第を図は従来の光偏向器を示
す斜視図である。 10・・・・・・平面導波路 /l・・・・・・基 板
/?・・・・・・プリズム(光を導入する手段)/3・
・・・・・光ビーム l弘・・・・・・第一電極対/、
!iA 、 /jB・・・・・・高周波電源 /6・・
曲第二電極対/7・・・・・・集光レンズ lざ・・・
・・・スクリーン/9A+’9B・・・・・・弾性表面
波第1図 第3図 第4図
Claims (1)
- 平面導波路上に、この導波路内に光を導入する手段と、
光の進行方向に対しほぼ直交する方向に弾性表面波を発
生する第一の電極対と、光の進行方向に対向して弾性表
面波を発生する第二の電極対とを設け、これら両電極対
をそれぞれ高周波電源に接続したことを特徴とする光偏
向器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5522485A JPS61213832A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5522485A JPS61213832A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 光偏向器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61213832A true JPS61213832A (ja) | 1986-09-22 |
Family
ID=12992634
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5522485A Pending JPS61213832A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | 光偏向器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61213832A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020095288A (ja) * | 2014-12-29 | 2020-06-18 | マジック リープ, インコーポレイテッドMagic Leap,Inc. | 音響光学制御装置を使用する光投影器 |
-
1985
- 1985-03-19 JP JP5522485A patent/JPS61213832A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020095288A (ja) * | 2014-12-29 | 2020-06-18 | マジック リープ, インコーポレイテッドMagic Leap,Inc. | 音響光学制御装置を使用する光投影器 |
US11381804B2 (en) | 2014-12-29 | 2022-07-05 | Magic Leap, Inc. | Light projector using an acousto-optical control device |
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