JPS61198654A - Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具 - Google Patents
Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具Info
- Publication number
- JPS61198654A JPS61198654A JP3784785A JP3784785A JPS61198654A JP S61198654 A JPS61198654 A JP S61198654A JP 3784785 A JP3784785 A JP 3784785A JP 3784785 A JP3784785 A JP 3784785A JP S61198654 A JPS61198654 A JP S61198654A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- resin
- glassy carbon
- glass
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＥＰＲＯＭパッケージ製造用治具に関する。更
に詳しくは、ＥＰＲＯＭセラミックパッケージに紫外線
導入用ガラスを融着する治具としてガラス状炭素からな
るものを使用してなることを特徴とするＥＰＲＯＭパッ
ケージ製造用治具に関する発明である。
に詳しくは、ＥＰＲＯＭセラミックパッケージに紫外線
導入用ガラスを融着する治具としてガラス状炭素からな
るものを使用してなることを特徴とするＥＰＲＯＭパッ
ケージ製造用治具に関する発明である。
従来、図面の第３図に示す様なガラス窓を取りつけたＥ
ＰＲＯＭセラミックパッケージを作るには、黒鉛製治具
（１）の上に孔のあいたセラミック板（３）を置いて、
セラミック板の孔にガラス円板（４）をはめこみ、その
上に治具を治具（５）の開孔（６）がガラス円板（４）
に嵌合する様に置き、ついで黒鉛製治具（２）を治具（
５）の開孔（６）にはめこんで錘とし、この様にして得
られたセットを窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気の
電気炉中で９００℃前後で約２時間加熱し、ガラスを溶
融してセラミック板に融着させてガラス窓のついたセラ
ミックパッセージを製造する方法が採られていた。
ＰＲＯＭセラミックパッケージを作るには、黒鉛製治具
（１）の上に孔のあいたセラミック板（３）を置いて、
セラミック板の孔にガラス円板（４）をはめこみ、その
上に治具を治具（５）の開孔（６）がガラス円板（４）
に嵌合する様に置き、ついで黒鉛製治具（２）を治具（
５）の開孔（６）にはめこんで錘とし、この様にして得
られたセットを窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気の
電気炉中で９００℃前後で約２時間加熱し、ガラスを溶
融してセラミック板に融着させてガラス窓のついたセラ
ミックパッセージを製造する方法が採られていた。
この場合、治具の表面状態が溶融ガラスに転写されるこ
とを防ぐために、治具（１）及び治具（２）のガラスに
接した面は研磨しておく必要があった。
とを防ぐために、治具（１）及び治具（２）のガラスに
接した面は研磨しておく必要があった。
従来、治具に黒鉛を使用した場合、次の様な欠点があっ
た。
た。
（１）黒鉛は柔らかく、黒鉛粉末がガラスにつき、後工
程で洗浄が必要である。また黒鉛粉の汚れによる不良品
が多く出る。
程で洗浄が必要である。また黒鉛粉の汚れによる不良品
が多く出る。
（２）黒鉛は表面が柔らかく、研磨による表面の平滑性
を得ることが困難であり、かつ研磨した表面に傷が付き
やすく、再研磨をしばしば行わなければならなかった。
を得ることが困難であり、かつ研磨した表面に傷が付き
やすく、再研磨をしばしば行わなければならなかった。
本発明者は上記の問題点を解決するために、鋭意研究を
行った結果、治具の材質をガラス状炭素にすることによ
って、極めて効果的に上記の欠点を解決出来ることを見
出して本発明を完成するに至った。
行った結果、治具の材質をガラス状炭素にすることによ
って、極めて効果的に上記の欠点を解決出来ることを見
出して本発明を完成するに至った。
本発明においてガラス状炭素はフルフリルアルコール樹
脂、フェノールホルムアルデヒド樹脂、アセトン・フル
フラール樹脂、フルフリルアルコール・フェノール共縮
合などの熱硬化性樹脂を焼成して得られるものであり、
第１表の様な特性を有するものである。なお、ガラス状
炭素はその製造方法により特に限定されるものではない
。
脂、フェノールホルムアルデヒド樹脂、アセトン・フル
フラール樹脂、フルフリルアルコール・フェノール共縮
合などの熱硬化性樹脂を焼成して得られるものであり、
第１表の様な特性を有するものである。なお、ガラス状
炭素はその製造方法により特に限定されるものではない
。
第１表
つづき
ストラックスは不動化学工業製のガラス炭素の商品名で
ある。
ある。
本発明において使用するガラス炭素は黒鉛に比較して、
極めて硬度が大きいので、粉末の発生が極めて少なく、
従ってガラスを汚損することがなく、後工程の洗浄が不
要となり、ガラスの汚染による不良が無くなる。またガ
ラス状炭素は表面硬度が大きいので研磨により優れた平
滑な鏡面が得られる。さらにガラス状炭素の表面は硬度
が高く傷が付き難いので長期間にわたり再研磨の必要が
無い等の優れた効果を有する。
極めて硬度が大きいので、粉末の発生が極めて少なく、
従ってガラスを汚損することがなく、後工程の洗浄が不
要となり、ガラスの汚染による不良が無くなる。またガ
ラス状炭素は表面硬度が大きいので研磨により優れた平
滑な鏡面が得られる。さらにガラス状炭素の表面は硬度
が高く傷が付き難いので長期間にわたり再研磨の必要が
無い等の優れた効果を有する。
第１図はＥＦＲＯＭを製造する際の治具の使用方法を示
す。図面において、１は本発明のガラス状炭素製の治具
を示す。３はセラミックス板、４はガラス円板、５は治
具、６は治具の開孔をそれぞれ示す。 第２図はセラミック板にガラスを融着する際の錘となる
治具を示す。図面において、２はガラス状炭素製の錘を
示す。 第３図はセラミック板にガラス窓を取りつけた’ＥＰＲ
ＯＭパッケージを示す。図面において、４はガラス、３
はセラミック板をそれぞれ示す。
す。図面において、１は本発明のガラス状炭素製の治具
を示す。３はセラミックス板、４はガラス円板、５は治
具、６は治具の開孔をそれぞれ示す。 第２図はセラミック板にガラスを融着する際の錘となる
治具を示す。図面において、２はガラス状炭素製の錘を
示す。 第３図はセラミック板にガラス窓を取りつけた’ＥＰＲ
ＯＭパッケージを示す。図面において、４はガラス、３
はセラミック板をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 紫外線導入用ガラスを融着してなるＥＰＲＯＭセラミッ
クパッケージを製造する際の治具が、ガラス状炭素から
なる治具であることを特徴とするＥＰＲＯＭパッケージ
製造用治具
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3784785A JPS61198654A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3784785A JPS61198654A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198654A true JPS61198654A (ja) | 1986-09-03 |
| JPH0342509B2 JPH0342509B2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=12508926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3784785A Granted JPS61198654A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Ｅｐｒｏｍパツケ−ジ製造用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61198654A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6340763A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-22 | 東芝セラミックス株式会社 | カ−ボン治具 |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP3784785A patent/JPS61198654A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6340763A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-22 | 東芝セラミックス株式会社 | カ−ボン治具 |
| JPH0829984B2 (ja) * | 1986-08-06 | 1996-03-27 | 東芝セラミックス株式会社 | カ−ボン治具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0342509B2 (ja) | 1991-06-27 |
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