JPS61197206A - ゴム材料準備装置 - Google Patents
ゴム材料準備装置Info
- Publication number
- JPS61197206A JPS61197206A JP60038580A JP3858085A JPS61197206A JP S61197206 A JPS61197206 A JP S61197206A JP 60038580 A JP60038580 A JP 60038580A JP 3858085 A JP3858085 A JP 3858085A JP S61197206 A JPS61197206 A JP S61197206A
- Authority
- JP
- Japan
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- cylinder
- way valve
- rubber
- rubber material
- plunger
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29B—PREPARATION OR PRETREATMENT OF THE MATERIAL TO BE SHAPED; MAKING GRANULES OR PREFORMS; RECOVERY OF PLASTICS OR OTHER CONSTITUENTS OF WASTE MATERIAL CONTAINING PLASTICS
- B29B11/00—Making preforms
- B29B11/06—Making preforms by moulding the material
- B29B11/10—Extrusion moulding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/25—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C48/36—Means for plasticising or homogenising the moulding material or forcing it through the nozzle or die
- B29C48/375—Plasticisers, homogenisers or feeders comprising two or more stages
- B29C48/388—Plasticisers, homogenisers or feeders comprising two or more stages using a screw extruder and a ram or piston
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/03—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
- B29K2021/00—Use of unspecified rubbers as moulding material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、圧縮成形等の型物成形用のゴム材料を準備
するための装置に関する。
するための装置に関する。
〈従来の技術〉
従来、ゴム材料準備装置としては１例えば、第７図に示
すようなものがあった。
すようなものがあった。
即ち、供給プランジャ８１．及び押出プランジャ８２を
それぞれ備えた互に軸心が直交するように配設された材
料投入シリンダ８３と材料計量シリンダ８４とからなり
、これらの両シリンダ８３．８４間が二方向の切替弁８
５を介して連通されている構成である。ここで、材料計
量シリンダ８４は、その先端部において、切替弁８５の
材料流出側と接続されるとともに、開口壁面に沿って摺
動する開閉ブロック８７が配設されている。また、材料
計量シリンダ８４の押出プランジャ８２はその上端に装
着するスペーサ８８によりストロークを調整可能となっ
ている。尚、８９はヘッドブロック、９０は押出プレー
ト、９１は押出プレートが係合する座金である。
それぞれ備えた互に軸心が直交するように配設された材
料投入シリンダ８３と材料計量シリンダ８４とからなり
、これらの両シリンダ８３．８４間が二方向の切替弁８
５を介して連通されている構成である。ここで、材料計
量シリンダ８４は、その先端部において、切替弁８５の
材料流出側と接続されるとともに、開口壁面に沿って摺
動する開閉ブロック８７が配設されている。また、材料
計量シリンダ８４の押出プランジャ８２はその上端に装
着するスペーサ８８によりストロークを調整可能となっ
ている。尚、８９はヘッドブロック、９０は押出プレー
ト、９１は押出プレートが係合する座金である。
この装置の使用態様は、まず、切替弁８５開、材料計量
シリンダ８４の材料押出口開、及び供給プランジャ８１
をそれぞれ後死点の位置にセットした状態で材料投入シ
リンダ８３に練り生地の塊（通常リポジの巻物）を投入
する。続いて、供給プランジャ８１を前進させ、材料計
量シリンダ８４内にゴム材料を供給する。ここで、ゴム
材料は、計量シリンダ８４のプランジャ８２を後死点位
置まで押し上げそれにより形成される一定空間により計
量されたこととなる。続いて、切替弁８５閉、材料計量
シリフタ８４先端の材料押出口開にセットした状態で押
出プランジャ８２を押出プレート９０により座金９１を
介して前進させると、前記計量されたゴム材料の塊がシ
リンダ外へ押出される０、１：記動作を繰り返して、型
物成形用のゴム材料の準備を行なう。
シリンダ８４の材料押出口開、及び供給プランジャ８１
をそれぞれ後死点の位置にセットした状態で材料投入シ
リンダ８３に練り生地の塊（通常リポジの巻物）を投入
する。続いて、供給プランジャ８１を前進させ、材料計
量シリンダ８４内にゴム材料を供給する。ここで、ゴム
材料は、計量シリンダ８４のプランジャ８２を後死点位
置まで押し上げそれにより形成される一定空間により計
量されたこととなる。続いて、切替弁８５閉、材料計量
シリフタ８４先端の材料押出口開にセットした状態で押
出プランジャ８２を押出プレート９０により座金９１を
介して前進させると、前記計量されたゴム材料の塊がシ
リンダ外へ押出される０、１：記動作を繰り返して、型
物成形用のゴム材料の準備を行なう。
〈発明が解決しようとする問題点〉
丑記従来のゴム材料準備装置は、材料投入シリンダから
材料計量シリンダにゴム材料を供給する際、ゴム材料内
に空気を巻き込んだり、また、計量シリンダの先端から
ゴム材料が外へ、即ち開閉ブロックとにはみ出すため、
ゴム材料の計量バラツキが大きくなりやすかった。
材料計量シリンダにゴム材料を供給する際、ゴム材料内
に空気を巻き込んだり、また、計量シリンダの先端から
ゴム材料が外へ、即ち開閉ブロックとにはみ出すため、
ゴム材料の計量バラツキが大きくなりやすかった。
〈問題点を解決するための手段〉
この発明のゴム材料準備装置は、供給プランジャ及び押
出プランジャをそれぞれ備えた材料投入シリンダと材料
計量シリンダとからなり、該両シリンダ間が切替弁を介
して連通されている構成において、材料投入シリンダに
真空吸引手段を付設するとともに、切替弁として三方弁
を用い、三方弁と接続される押出ヘッドの出口に、切断
刃を配設することにより上記問題点を解決するものであ
る。
出プランジャをそれぞれ備えた材料投入シリンダと材料
計量シリンダとからなり、該両シリンダ間が切替弁を介
して連通されている構成において、材料投入シリンダに
真空吸引手段を付設するとともに、切替弁として三方弁
を用い、三方弁と接続される押出ヘッドの出口に、切断
刃を配設することにより上記問題点を解決するものであ
る。
〈実施例〉
以下、この発明の一実施例を、図面に基づいて説明する
。
。
尚、従来例と同一部分については、同−図符号を付して
説明を省略する。
説明を省略する。
第１〜６図に示すように、平行方向に配設された材料投
入シリンダ１、該材料投入シリンダｌと直交するように
垂直な方向に配設された材料計量シリンダの３、前記両
シリンダ間を連通ずる切替弁としての三方弁５、該三方
弁５と接続される材料流路７を備えた押出ヘッド９、該
押出ヘッド９の出口壁面に沿って摺動する切断刃１１及
び、計量シリンダ３の垂直上方に配設されるスペーサ保
持移動装置１３とからなる。ここで、材料計量シリンダ
３、三方弁５、押出ヘッド９及び切断刃１１はそれぞれ
一対ずつ又は−肘用のものがヘッドブロック１５を介し
て一体化されている。
入シリンダ１、該材料投入シリンダｌと直交するように
垂直な方向に配設された材料計量シリンダの３、前記両
シリンダ間を連通ずる切替弁としての三方弁５、該三方
弁５と接続される材料流路７を備えた押出ヘッド９、該
押出ヘッド９の出口壁面に沿って摺動する切断刃１１及
び、計量シリンダ３の垂直上方に配設されるスペーサ保
持移動装置１３とからなる。ここで、材料計量シリンダ
３、三方弁５、押出ヘッド９及び切断刃１１はそれぞれ
一対ずつ又は−肘用のものがヘッドブロック１５を介し
て一体化されている。
材料投入シリンダ１は内周面がライナーで形成され、供
給プランジャ１７を備えるとともに、上方に密閉蓋１９
で開閉する材料投入口２１が形成されている。密閉蓋１
９には真空吸引手段（図示せず）と接続される吸引ノズ
ル２３を備えている、材料計量シリンダ３は、内周面が
ライナーで形成され、中間部に座金２５を備えた押出プ
ランジャ２７を備えている。このプランジャ２７は座金
２５を介して、油圧シリンダ２９のロッド３１と連結さ
れた押出プレート３３で下方へ押出されるようになって
いる。また、ヘッドブロック１５と油圧シリンダベース
３５との間を連結する２木の柱３７は抑圧プレート３３
の水平維持の案内柱の作用も奏する。
給プランジャ１７を備えるとともに、上方に密閉蓋１９
で開閉する材料投入口２１が形成されている。密閉蓋１
９には真空吸引手段（図示せず）と接続される吸引ノズ
ル２３を備えている、材料計量シリンダ３は、内周面が
ライナーで形成され、中間部に座金２５を備えた押出プ
ランジャ２７を備えている。このプランジャ２７は座金
２５を介して、油圧シリンダ２９のロッド３１と連結さ
れた押出プレート３３で下方へ押出されるようになって
いる。また、ヘッドブロック１５と油圧シリンダベース
３５との間を連結する２木の柱３７は抑圧プレート３３
の水平維持の案内柱の作用も奏する。
三方弁５は、内周面がライナーで形成され、弁体３９は
油圧揺動モータ４１で回動するようになっている。また
三方弁５の三つの接続口は、それぞれ材料投入シリンダ
１の材料流出口１ａ、材料計量シリンダ３の材料出入口
３ａ、押出ヘッド９の材料人口９ａと接続されている。
油圧揺動モータ４１で回動するようになっている。また
三方弁５の三つの接続口は、それぞれ材料投入シリンダ
１の材料流出口１ａ、材料計量シリンダ３の材料出入口
３ａ、押出ヘッド９の材料人口９ａと接続されている。
押出ヘッド９は、材料流路７の途中にブレーカプレート
４３を備えている。
４３を備えている。
切断刃１１は、ヘッドブロック１５の上方に固定された
エアシリンダ４５のピストンロッド４７に接続された横
長の取付はブロック４９により上下動可能となっている
。５０は、取付はブロック４９の水平度を維持するため
の案内ロッドであるスペーサ保持移動装置は、四種のス
ペーサ５１．５１．５１．５１が一組となり一対のスラ
イド枠体５３に保持されている。スライド枠体５３は油
圧シリンダベース３５の下側に配設されたレール５５に
摺動自在に保持されている。該レール５５の元部側にブ
ラケット５７介して第１エアシリンダ５９が取り付けら
れるとともに、第１エアシリンダ５９の下方に、前記ブ
ラケット５７から突設された一対の案内ロッド６３にブ
ラケット６５．６７を介して前後スライド可能に第２エ
アシリンダ６９が第１エアシリンダ５９とは逆方向で取
り付けられている。そして後側ブラケット６７は第１エ
アシリンダ５９のピストンロッド６１と連結され、また
第２エアシリンダ６９のピストンロッド７３の先端は、
前記一対のスライド枠体５３とビーム７０を介して連結
されている。また、計量シリンダ３の直上方であって、
レール５５配設部位の油圧シリンダベース３５には近接
スイッチ７５が配されている。この近接スイッチ７５は
。
エアシリンダ４５のピストンロッド４７に接続された横
長の取付はブロック４９により上下動可能となっている
。５０は、取付はブロック４９の水平度を維持するため
の案内ロッドであるスペーサ保持移動装置は、四種のス
ペーサ５１．５１．５１．５１が一組となり一対のスラ
イド枠体５３に保持されている。スライド枠体５３は油
圧シリンダベース３５の下側に配設されたレール５５に
摺動自在に保持されている。該レール５５の元部側にブ
ラケット５７介して第１エアシリンダ５９が取り付けら
れるとともに、第１エアシリンダ５９の下方に、前記ブ
ラケット５７から突設された一対の案内ロッド６３にブ
ラケット６５．６７を介して前後スライド可能に第２エ
アシリンダ６９が第１エアシリンダ５９とは逆方向で取
り付けられている。そして後側ブラケット６７は第１エ
アシリンダ５９のピストンロッド６１と連結され、また
第２エアシリンダ６９のピストンロッド７３の先端は、
前記一対のスライド枠体５３とビーム７０を介して連結
されている。また、計量シリンダ３の直上方であって、
レール５５配設部位の油圧シリンダベース３５には近接
スイッチ７５が配されている。この近接スイッチ７５は
。
スペーサ５１が押出プランジャ２７の先端で押圧された
とき、オンとなり制御部へ入力し、三方弁５の油圧揺動
モータ４１に回動信号を、押出プランジャ２７を前進さ
せる油圧シリンダ２９に前進信号を、制御部からそれぞ
れ発するようになっている。
とき、オンとなり制御部へ入力し、三方弁５の油圧揺動
モータ４１に回動信号を、押出プランジャ２７を前進さ
せる油圧シリンダ２９に前進信号を、制御部からそれぞ
れ発するようになっている。
次に、上記実施例の使用態様を説明する。
まず、材料投入シリンダの材料投入口２１の密閉蓋１９
を開けて練生地の塊（通常リボン状の巻物）を投入した
後密閉蓋１９を閉じ、吸引ノズル２３を介して真空吸引
を行なう。このとき、三方弁５の位置は、材料計量シリ
ンダ３と材料投入シリンダ１を連通させる状態にあり、
投入シリンダｌ内は密閉空間となっており真空状態とな
る（第１図）。
を開けて練生地の塊（通常リボン状の巻物）を投入した
後密閉蓋１９を閉じ、吸引ノズル２３を介して真空吸引
を行なう。このとき、三方弁５の位置は、材料計量シリ
ンダ３と材料投入シリンダ１を連通させる状態にあり、
投入シリンダｌ内は密閉空間となっており真空状態とな
る（第１図）。
続いて、供給プランジャ１７を前進させると、三方弁５
を介してゴム材料Ｒは材料計量シリンダ３内に流入する
。このとき、押出プランジャ２７は押し上げられるが、
上方にはスペーサ５１が配され、押出プランジャ２７の
後死点位置は規制されているため、材料シリンダ３内に
は、常に一定量（設定量）のゴム材料Ｒが供給される（
第２図）。
を介してゴム材料Ｒは材料計量シリンダ３内に流入する
。このとき、押出プランジャ２７は押し上げられるが、
上方にはスペーサ５１が配され、押出プランジャ２７の
後死点位置は規制されているため、材料シリンダ３内に
は、常に一定量（設定量）のゴム材料Ｒが供給される（
第２図）。
続いて、スペーサ５１が押出プランジャ２７の上端で押
圧されることによる近接スイッチ７５のオン信号で、油
圧揺動モータ４１が作動して三方弁５が回動し、材料計
量シリンダ３内と押出ヘッド９の材料流路７が連通状態
となり、さらに、油圧シリンダ２９が作動して、押圧プ
レート３３が下降するため、押出プランジャ２７が座金
２５を介して下死点位置まで下降する。そして、エアシ
リンダ４５の作動により切断刃１１を下降させて、押出
ヘッド９の開口壁面から押出された突出性のゴム材料Ｒ
を切断し、その後再び上昇させる（ｆＪ！、３図）。
圧されることによる近接スイッチ７５のオン信号で、油
圧揺動モータ４１が作動して三方弁５が回動し、材料計
量シリンダ３内と押出ヘッド９の材料流路７が連通状態
となり、さらに、油圧シリンダ２９が作動して、押圧プ
レート３３が下降するため、押出プランジャ２７が座金
２５を介して下死点位置まで下降する。そして、エアシ
リンダ４５の作動により切断刃１１を下降させて、押出
ヘッド９の開口壁面から押出された突出性のゴム材料Ｒ
を切断し、その後再び上昇させる（ｆＪ！、３図）。
上記操作を繰り返すことにより、２回目以降は所定量ず
つの塊からなるゴム材料を準備することができる。
つの塊からなるゴム材料を準備することができる。
なお、この実施例では、スペーサ５１を第１争２エアシ
リンダ５９．６９のピストンロッド６１．７３の伸縮状
態を組合せることにより、四種の位置を確実かつ迅速に
設定でき、四種のスペーサ５１を押出プランジャ２７の
直上位置に選択的にワンタッチで配することができ、従
来のようなスペーサ取り替え作業が不要となる。
リンダ５９．６９のピストンロッド６１．７３の伸縮状
態を組合せることにより、四種の位置を確実かつ迅速に
設定でき、四種のスペーサ５１を押出プランジャ２７の
直上位置に選択的にワンタッチで配することができ、従
来のようなスペーサ取り替え作業が不要となる。
また、ゴム準備作業相互の付着の防止の異境から、ゴム
準備材をタルク等を用いて切断直後に打粉してもよいが
、切断時に離型剤等の液をゴム材料にスプレーで吹き付
ける方式とすることが生産性の見地から望ましい。
準備材をタルク等を用いて切断直後に打粉してもよいが
、切断時に離型剤等の液をゴム材料にスプレーで吹き付
ける方式とすることが生産性の見地から望ましい。
〈発明の効果〉
この発明のゴム材料準備装置は、上記のように、真空吸
引した状態で三方弁を介して計量シリンダ内に供給し、
材料押出しは三方弁を介して供給口とは別位置の押出ヘ
ッドを介して行ない、しかも切断方式としたため、計量
シリンダ内へのゴム供給時のエア巻き込みやゴムのシリ
ンダ外へのハミ出しがなくなる。従って、ゴム材料の準
備作業における計量バラツキ（重量）が従来の方式に比
して格段に小さくなる。
引した状態で三方弁を介して計量シリンダ内に供給し、
材料押出しは三方弁を介して供給口とは別位置の押出ヘ
ッドを介して行ない、しかも切断方式としたため、計量
シリンダ内へのゴム供給時のエア巻き込みやゴムのシリ
ンダ外へのハミ出しがなくなる。従って、ゴム材料の準
備作業における計量バラツキ（重量）が従来の方式に比
して格段に小さくなる。
第１〜６図はこの発明のゴム材料準備装置の一実施例を
示し、第１図は全体概略部分断面図（材料投入時）、第
２図は材料を計量シリンダへ供給時の要部断面図、第３
図は材料押出時の要部断面図、第４図は第１図のＩＶ−
ＩＶ線概略断面図、第５図は第１図の概略平面図（但し
中心線の上下ではスペーサの位置が相違する）、第６図
は第１図の右側面概略半断面図、第７図はゴム材料準備
装置の従来例を示す概略断面図である。 ｌ・・・材料投入シリンダ ３・・・材料計量シリンダ ５・・・三方弁 ７・・・材料流路 ９・・・押出ヘッド １１・・・切断刃 １７・・・供給プランジャ １９・・・密閉蓋 ２１・・・材料投入口 ２３・・・吸引ノズル ２７・・・押出プランジャ Ｒ・・・ゴム材料 特 許 出 願 人 豊田合成株式会社 ＪＩ ｌ 図 第４図 第５図 スフ 第６図 自 発 補 正 手続補正書 ６０．６．４ 昭和 年 月 日
示し、第１図は全体概略部分断面図（材料投入時）、第
２図は材料を計量シリンダへ供給時の要部断面図、第３
図は材料押出時の要部断面図、第４図は第１図のＩＶ−
ＩＶ線概略断面図、第５図は第１図の概略平面図（但し
中心線の上下ではスペーサの位置が相違する）、第６図
は第１図の右側面概略半断面図、第７図はゴム材料準備
装置の従来例を示す概略断面図である。 ｌ・・・材料投入シリンダ ３・・・材料計量シリンダ ５・・・三方弁 ７・・・材料流路 ９・・・押出ヘッド １１・・・切断刃 １７・・・供給プランジャ １９・・・密閉蓋 ２１・・・材料投入口 ２３・・・吸引ノズル ２７・・・押出プランジャ Ｒ・・・ゴム材料 特 許 出 願 人 豊田合成株式会社 ＪＩ ｌ 図 第４図 第５図 スフ 第６図 自 発 補 正 手続補正書 ６０．６．４ 昭和 年 月 日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 供給プランジャ及び押出プランジャをそれぞれ備えた材
料投入シリンダと材料計量シリンダとからなり、該両シ
リンダ間が切替弁を介して連通されているゴム材料準備
装置において、 前記材料投入シリンダに真空吸引手段が付設されている
とともに、前記切替弁として三方弁を用い、該三方弁と
接続される押出ヘッドの出口に該ヘッドの壁面に沿つて
摺動する切断刃が配設されていることを特徴とするゴム
材料準備装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60038580A JPS61197206A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | ゴム材料準備装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60038580A JPS61197206A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | ゴム材料準備装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197206A true JPS61197206A (ja) | 1986-09-01 |
| JPH043887B2 JPH043887B2 (ja) | 1992-01-24 |
Family
ID=12529227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60038580A Granted JPS61197206A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | ゴム材料準備装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61197206A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010064068A (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Semes Co Ltd | 気液分離装置及びこれを含む基板処理装置 |
| JP2010139347A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Towa Corp | 液状物質の計量供給方法及び装置 |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP60038580A patent/JPS61197206A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010064068A (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Semes Co Ltd | 気液分離装置及びこれを含む基板処理装置 |
| JP2010139347A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Towa Corp | 液状物質の計量供給方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH043887B2 (ja) | 1992-01-24 |
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