JPS61194323A - 放射温度計 - Google Patents
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- JPS61194323A JPS61194323A JP60034734A JP3473485A JPS61194323A JP S61194323 A JPS61194323 A JP S61194323A JP 60034734 A JP60034734 A JP 60034734A JP 3473485 A JP3473485 A JP 3473485A JP S61194323 A JPS61194323 A JP S61194323A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、物体から放射される赤外線のエネルギー量
を計測して物体の温度を非接触的に測定する放射温度計
に係り、特に赤外線検出素子に熱型赤外線検出素子を用
い、かつ、常温付近の温度測定が可能である、いわゆる
低温用の放射温度計に関する。
を計測して物体の温度を非接触的に測定する放射温度計
に係り、特に赤外線検出素子に熱型赤外線検出素子を用
い、かつ、常温付近の温度測定が可能である、いわゆる
低温用の放射温度計に関する。
物体から放射される赤外線のエネルギー量を計測する赤
外線検出素子には、量子型赤外線検出素子と熱型赤外線
検出素子の2種類がある。常温付近の温度測定が可能な
量子型赤外線検出素子は、それ自体が高価であり、また
、液体窒素等を用いて常時冷却する必要がある。そのた
め、装置が大型化し、費用が嵩むという欠点がある。し
たがって、一般に常温付近の温度測定には熱量赤外線検
出素子が用いられている。
外線検出素子には、量子型赤外線検出素子と熱型赤外線
検出素子の2種類がある。常温付近の温度測定が可能な
量子型赤外線検出素子は、それ自体が高価であり、また
、液体窒素等を用いて常時冷却する必要がある。そのた
め、装置が大型化し、費用が嵩むという欠点がある。し
たがって、一般に常温付近の温度測定には熱量赤外線検
出素子が用いられている。
周知のように、ステファン・ボルツマンの法則(下記参
照)により物体から放射される赤外線のエネルギー量は
、絶対温度の4乗に比例する。
照)により物体から放射される赤外線のエネルギー量は
、絶対温度の4乗に比例する。
WlllIgσT4
W:物体の単位面積から単位時間に放射される赤外線の
エネルギー量(V/a1−” )σ:ステファン・ボル
ツマン定数(5,67X10” Well−”K−’
) 8:放射率 T:絶対温度 したがって、温度が低ければ低いほど、放射される赤外
線のエネルギー量は微量なものになる。
エネルギー量(V/a1−” )σ:ステファン・ボル
ツマン定数(5,67X10” Well−”K−’
) 8:放射率 T:絶対温度 したがって、温度が低ければ低いほど、放射される赤外
線のエネルギー量は微量なものになる。
それゆえ、測定対象物以外の物体からの影響も受けやす
く、正確な温度測定を行うのは至難であった。また、温
度が低ければ低いほど、放射される赤外線の波長は長波
長(遠赤外線)の方へ移行する。この遠赤外線を透過さ
せるためには、特殊な物質からなる光学部品を用いねば
ならない。
く、正確な温度測定を行うのは至難であった。また、温
度が低ければ低いほど、放射される赤外線の波長は長波
長(遠赤外線)の方へ移行する。この遠赤外線を透過さ
せるためには、特殊な物質からなる光学部品を用いねば
ならない。
従来、常温付近の温度測定のための低温用の放射温度針
の光学系として、反射鏡方式とレンズ方式が通常使用さ
れている。
の光学系として、反射鏡方式とレンズ方式が通常使用さ
れている。
反射鏡方式としては、カセグレン式が一般的である。こ
の方式の利点は、遠赤外線を透過させるために特殊な物
質からなる光学部品を用いる必要がない点である。第3
図に示すように、放射温度計の検知ヘッド部分lの中空
部に、凸面鏡8が支持棒9によって吊着されている。凸
面鏡8の凸面側に、対向するようにして凹面鏡10が、
検知ヘッド部分1の内面に周設されている。凹面鏡10
の中心部には、開口部11が穿設されている。凹面鏡1
0の凸面鏡8と反対側には、赤外線検出素子12が前記
開口部11に応当する位置に設けられている。この赤外
線検出素子12は、前述したように、熱量赤外線検出素
子である。そして、赤外線検出素子12は絞り(図示省
略)によって、開口部11を通過する赤外線のエネルギ
ーのみを、検出するようになっている。
の方式の利点は、遠赤外線を透過させるために特殊な物
質からなる光学部品を用いる必要がない点である。第3
図に示すように、放射温度計の検知ヘッド部分lの中空
部に、凸面鏡8が支持棒9によって吊着されている。凸
面鏡8の凸面側に、対向するようにして凹面鏡10が、
検知ヘッド部分1の内面に周設されている。凹面鏡10
の中心部には、開口部11が穿設されている。凹面鏡1
0の凸面鏡8と反対側には、赤外線検出素子12が前記
開口部11に応当する位置に設けられている。この赤外
線検出素子12は、前述したように、熱量赤外線検出素
子である。そして、赤外線検出素子12は絞り(図示省
略)によって、開口部11を通過する赤外線のエネルギ
ーのみを、検出するようになっている。
このように構成されたカセグレン式の動作原理を説明す
る。この方式によれば、物体から放射される赤外&11
3を凹面鏡10で集光したのち、凸面鏡8で反射し、凹
面鏡10の中心部に穿設された開口部11を通過させて
、赤外線検出素子12に到達させている。この時に、凸
面鏡8自身および凹面鏡1゜自身から放射される赤外線
のエネルギーは、無視することができる。すなわち、凸
面鏡8および凹面鏡10は、鏡体であるので赤外線は放
射されないからである。また、凹面鏡lOの前後(図に
おいて右側の面)から放射される赤外線は、前記絞りに
よって除外される。しかし、赤外線検出素子12の受光
視野内に位置している支持棒9から放射される赤外線の
エネルギーは、無視しえない、なぜならば、熱量赤外線
検出素子は、自身の温度と測定対象物の温度が異なる場
合に検出信号を発生するものである。したがって、装置
を大型化せずに、熱量赤外線検出素子と放射温度計内の
構成部品とを同一温度に保つことは通常困難である。そ
れゆえ、支持棒9から放射される赤外線のエネルギーの
影響を受けて、誤った検出信号を発生するのである。
る。この方式によれば、物体から放射される赤外&11
3を凹面鏡10で集光したのち、凸面鏡8で反射し、凹
面鏡10の中心部に穿設された開口部11を通過させて
、赤外線検出素子12に到達させている。この時に、凸
面鏡8自身および凹面鏡1゜自身から放射される赤外線
のエネルギーは、無視することができる。すなわち、凸
面鏡8および凹面鏡10は、鏡体であるので赤外線は放
射されないからである。また、凹面鏡lOの前後(図に
おいて右側の面)から放射される赤外線は、前記絞りに
よって除外される。しかし、赤外線検出素子12の受光
視野内に位置している支持棒9から放射される赤外線の
エネルギーは、無視しえない、なぜならば、熱量赤外線
検出素子は、自身の温度と測定対象物の温度が異なる場
合に検出信号を発生するものである。したがって、装置
を大型化せずに、熱量赤外線検出素子と放射温度計内の
構成部品とを同一温度に保つことは通常困難である。そ
れゆえ、支持棒9から放射される赤外線のエネルギーの
影響を受けて、誤った検出信号を発生するのである。
すると、前述したように、低温用の放射温度計において
は測定対象物以外からの僅かな赤外線のエネルギーを受
けても、大きな影響を被り誤差が生じ、正確な温度測定
は不可能になる。
は測定対象物以外からの僅かな赤外線のエネルギーを受
けても、大きな影響を被り誤差が生じ、正確な温度測定
は不可能になる。
そこで、この欠点を除去するために、モータに連動され
たチッッパを赤外線検出素子12と凹面鏡10の間に設
けたり、あるいは、凸面鏡8と検出対象物との間に設け
たりする提案が種々なされている。ところが、この方法
では放射温度計自体が大型化し、また、機構的にも複雑
さを増し、信頼性および機械的寿命の点で問題があった
。
たチッッパを赤外線検出素子12と凹面鏡10の間に設
けたり、あるいは、凸面鏡8と検出対象物との間に設け
たりする提案が種々なされている。ところが、この方法
では放射温度計自体が大型化し、また、機構的にも複雑
さを増し、信頼性および機械的寿命の点で問題があった
。
それに比べてレンズ方式は、反射鏡方式のような欠点が
ない、しかし、レンズには透過しない波長範囲の赤外線
を放射するという性質があるので、レンズ自身から放射
される赤外線のエネルギーが赤外線検出素子に到達して
しまい、誤つた検出信号が発生する。そのため、正確な
温度測定が不可能となる欠点がある。この欠点を除去す
るためには、ゲルマニウムレンズを用いれば良いのだが
、ゲルマニウム自体が高価なうえ、表面に反射を押さえ
るために無反射コーティングを施さなければならず、非
常に高価なものとなってしまう。
ない、しかし、レンズには透過しない波長範囲の赤外線
を放射するという性質があるので、レンズ自身から放射
される赤外線のエネルギーが赤外線検出素子に到達して
しまい、誤つた検出信号が発生する。そのため、正確な
温度測定が不可能となる欠点がある。この欠点を除去す
るためには、ゲルマニウムレンズを用いれば良いのだが
、ゲルマニウム自体が高価なうえ、表面に反射を押さえ
るために無反射コーティングを施さなければならず、非
常に高価なものとなってしまう。
上記したように、精度が高(、しかも安価である放射温
度計を作成しようとする際に、反射鏡方式を用いた場合
には、測定対象物以外の放射温度計を構成している部品
から放射される赤外線のエネルギーの影響が多大である
点、および、この欠点を除去するためにチッフパを設け
た場合には、機構的に複雑さを増す点が問題点として挙
げられる。また、レンズ方式を用いた場合には、費用的
に所望の放射温度計を得ることは不可能であるという問
題点が挙げられる。
度計を作成しようとする際に、反射鏡方式を用いた場合
には、測定対象物以外の放射温度計を構成している部品
から放射される赤外線のエネルギーの影響が多大である
点、および、この欠点を除去するためにチッフパを設け
た場合には、機構的に複雑さを増す点が問題点として挙
げられる。また、レンズ方式を用いた場合には、費用的
に所望の放射温度計を得ることは不可能であるという問
題点が挙げられる。
この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、
この問題点を解決するための具体的手段は、物体から放
射される赤外線のエネルギー量を赤外線検出素子によっ
て計測することにより、この物体の温度を測定する放射
温度計において、所望の波長範囲の赤外線を透過させる
第1のフィルタと、この第1のフィルタと前記赤外線検
出素子との間に位置し、前記第1のフィルタと同等かも
しくは広い波長透過特性を持つレンズ系と、このレンズ
系と前記赤外線検出素子との間に位置し、前記第1のフ
ィルタと同等かもしくは狭い波長透過特性を持ち、かつ
、前記赤外線検出素子と同一のケース内に収容された第
2のフィルタを具備したことである。
この問題点を解決するための具体的手段は、物体から放
射される赤外線のエネルギー量を赤外線検出素子によっ
て計測することにより、この物体の温度を測定する放射
温度計において、所望の波長範囲の赤外線を透過させる
第1のフィルタと、この第1のフィルタと前記赤外線検
出素子との間に位置し、前記第1のフィルタと同等かも
しくは広い波長透過特性を持つレンズ系と、このレンズ
系と前記赤外線検出素子との間に位置し、前記第1のフ
ィルタと同等かもしくは狭い波長透過特性を持ち、かつ
、前記赤外線検出素子と同一のケース内に収容された第
2のフィルタを具備したことである。
この発明は、前述のような手段を採ったので、次のよう
な作用がもたらされる。
な作用がもたらされる。
所望の波長範囲の赤外線が第1のフィルタにより透過さ
れたのち、第1のフィルタと赤外線検出素子との間に設
けられたレンズ系に伝達される。
れたのち、第1のフィルタと赤外線検出素子との間に設
けられたレンズ系に伝達される。
前述したように、常温付近の温度の物体の放射する赤外
線のエネルギー量は、極めて微量である。
線のエネルギー量は、極めて微量である。
したがって、常温付近の物体の温度測定を行うためには
、この微量の赤外線をレンズ系により無駄な(集光して
やり、赤外線検出素子に到達させてやらねばならない。
、この微量の赤外線をレンズ系により無駄な(集光して
やり、赤外線検出素子に到達させてやらねばならない。
レンズ系により集光された赤外線は、次に赤外線検出素
子と同一の、熱伝導率の良いケース内に収容された第2
のフィルタに伝達される。第2のフィルタは、第1のフ
ィルタと同等かもしくは狭い波長透過特性であるので、
レンズ系によって集光された広い波長範囲の赤外線のう
ち、所望の波長範囲の赤外線のみを透過する。
子と同一の、熱伝導率の良いケース内に収容された第2
のフィルタに伝達される。第2のフィルタは、第1のフ
ィルタと同等かもしくは狭い波長透過特性であるので、
レンズ系によって集光された広い波長範囲の赤外線のう
ち、所望の波長範囲の赤外線のみを透過する。
第2のフィルタは、赤外線検出素子と同じ前記ケース内
に収容されているので、それ自身の温度は赤外線検出素
子と等しい温度となっている。したがって、第2のフィ
ルタから放射される赤外線のエネルギーは、無視するこ
とができる。すなわち、熱型赤外線検出素子は自身の温
度と異なった温度の物体を測定する場合のみ、検出信号
を発生するからである。
に収容されているので、それ自身の温度は赤外線検出素
子と等しい温度となっている。したがって、第2のフィ
ルタから放射される赤外線のエネルギーは、無視するこ
とができる。すなわち、熱型赤外線検出素子は自身の温
度と異なった温度の物体を測定する場合のみ、検出信号
を発生するからである。
この発明によれば、常温付近の温度である物体から放射
される微量の赤外線のエネルギーを、余すところなく赤
外線検出素子に到達させることができ、また、この赤外
線検出素子の検出信号は、前記物体から放射される赤外
線のエネルギー量のみに依存するという作用がもたらさ
れるのである。
される微量の赤外線のエネルギーを、余すところなく赤
外線検出素子に到達させることができ、また、この赤外
線検出素子の検出信号は、前記物体から放射される赤外
線のエネルギー量のみに依存するという作用がもたらさ
れるのである。
この発明を、以下1実施例に基づいて説明する。
第1図に示すように、放射温度針の検知ヘッド部分1の
先端開口部に、フッ化カルシウムからなる第1のフィル
タ2が嵌入されている。この第1のフィルタ2の内側に
は、フッ化バリウムからなるレンズ3が嵌入されている
。常温付近の物体から放射される赤外線の波長は、10
μ−以上の遠赤外線をも含有する。この波長領域におけ
る赤外線のエネルギー量は極めて微量である。したがっ
て、第1のフィルタ2によって、所望の波長範囲の赤外
線を透過させたのち、レンズ3により集光してやる必要
がある。でないと、温度測定に必要な量の赤外線のエネ
ルギーが赤外線検出素子に到達されない。
先端開口部に、フッ化カルシウムからなる第1のフィル
タ2が嵌入されている。この第1のフィルタ2の内側に
は、フッ化バリウムからなるレンズ3が嵌入されている
。常温付近の物体から放射される赤外線の波長は、10
μ−以上の遠赤外線をも含有する。この波長領域におけ
る赤外線のエネルギー量は極めて微量である。したがっ
て、第1のフィルタ2によって、所望の波長範囲の赤外
線を透過させたのち、レンズ3により集光してやる必要
がある。でないと、温度測定に必要な量の赤外線のエネ
ルギーが赤外線検出素子に到達されない。
第1のフィルタ2は、常温付近の温度である検出対象物
から放射される赤外線の波長範囲に応じた波長透過特性
(12μm以内)を有している。レンズ3は、第1のフ
ィルタ2の波長透過特性よりも広い波長透過特性(14
μ晴以内)を有している。
から放射される赤外線の波長範囲に応じた波長透過特性
(12μm以内)を有している。レンズ3は、第1のフ
ィルタ2の波長透過特性よりも広い波長透過特性(14
μ晴以内)を有している。
そして、光量を減衰させないために出来うる限り、薄<
シである。第1のフィルタ2はレンズ3を、塵埃、水滴
等から保護する機能も有している。
シである。第1のフィルタ2はレンズ3を、塵埃、水滴
等から保護する機能も有している。
レンズ3の内側の検知ヘッド部分1の終端部に、ケース
4が突設されている。このケース4は、熱伝導率の良い
物質から形成されている。このケース4の先端開口部に
、フッ化カルシウムからなる第2のフィルタ5が嵌入さ
れている。第2のフィルタ5の内側には、熱量赤外線検
出素子6が設けられている。熱量赤外線検出素子6は、
この熱量赤外線検出素子6からの検出信号を処理する外
部機器(図示省略)に、接続コード7により繋がれてい
る。
4が突設されている。このケース4は、熱伝導率の良い
物質から形成されている。このケース4の先端開口部に
、フッ化カルシウムからなる第2のフィルタ5が嵌入さ
れている。第2のフィルタ5の内側には、熱量赤外線検
出素子6が設けられている。熱量赤外線検出素子6は、
この熱量赤外線検出素子6からの検出信号を処理する外
部機器(図示省略)に、接続コード7により繋がれてい
る。
第2のフィルタ5は、第1のフィルタ2と同等かもしく
は狭い波長透過特性(205128m以内)を有する。
は狭い波長透過特性(205128m以内)を有する。
この実施例においては、第2のフィルタ5の厚みを、第
1のフィルタ2とほぼ同じ厚みか、やや厚くすることに
より、この特性を実現している。熱量赤外線検出素子6
には、サーモパイル、サーミスタボロメータ等を用いれ
ば良い。
1のフィルタ2とほぼ同じ厚みか、やや厚くすることに
より、この特性を実現している。熱量赤外線検出素子6
には、サーモパイル、サーミスタボロメータ等を用いれ
ば良い。
第2のフィルタ5により、レンズ3によって集光された
赤外線のうち、所望の波長範囲の赤外線のみが選択され
、透過される。したがって、熱量赤外線検出素子6に到
達された赤外線は、検出対象物と第2のフィルタ5から
のみの赤外線である。
赤外線のうち、所望の波長範囲の赤外線のみが選択され
、透過される。したがって、熱量赤外線検出素子6に到
達された赤外線は、検出対象物と第2のフィルタ5から
のみの赤外線である。
すなわち、第2図に示すように、第1のフィルタ2によ
り波長が12μlまでの赤外線が透過される0次に、レ
ンズ3は14μ−までの波長の赤外線を透過するので、
第1のフィルタを透過した赤外線は漏れなくレンズ3を
透過し集光される。第2のフィルタ5は、λ0(≦12
μl11)の波長透過特性を有するので、第1のフィル
タ2、およびレンズ3自身が放射する赤外線は透過され
ないのである。さらに、第2のフィルタ5と熱量赤外線
検出素子6は、熱伝導率の良いケース4内にともに収容
されているので、温度差は生じない。したがって、熱量
赤外線検出素子6は、検出対象物から放射された赤外線
のみを受けて検出信号を発生するので、極めて正確な温
度測定をなしうる。
り波長が12μlまでの赤外線が透過される0次に、レ
ンズ3は14μ−までの波長の赤外線を透過するので、
第1のフィルタを透過した赤外線は漏れなくレンズ3を
透過し集光される。第2のフィルタ5は、λ0(≦12
μl11)の波長透過特性を有するので、第1のフィル
タ2、およびレンズ3自身が放射する赤外線は透過され
ないのである。さらに、第2のフィルタ5と熱量赤外線
検出素子6は、熱伝導率の良いケース4内にともに収容
されているので、温度差は生じない。したがって、熱量
赤外線検出素子6は、検出対象物から放射された赤外線
のみを受けて検出信号を発生するので、極めて正確な温
度測定をなしうる。
この実施例においては、レンズ系をレンズ3のみで形成
したが、レンズ数枚あるいはレンズと他の光学部品で形
成しても良い。また、熱量赤外線検出素子6に焦電素子
を用い、チョッパをこの焦電素子の前方に設けた構成の
放射温度計においても、この発明を適用することはもち
ろん有効である。
したが、レンズ数枚あるいはレンズと他の光学部品で形
成しても良い。また、熱量赤外線検出素子6に焦電素子
を用い、チョッパをこの焦電素子の前方に設けた構成の
放射温度計においても、この発明を適用することはもち
ろん有効である。
以上の説明から明らかなように、この発明にかかる放射
温度計は所望の波長範囲の赤外線を第1のフィルタによ
り透過させたのち、第1のフィルタと同等か、もしくは
広い波長透過特性のレンズ系により集光し、第1のフィ
ルタと同等か、もしくは狭い波長透過特性の第2のフィ
ルタへ到達させる。そして、この第2のフィルタは、集
光された赤外線のうち所望の波長範囲の赤外線のみを赤
外線検出素子に到達させ、かつ、赤外線検出素子と第2
のフィルタは同一のケース内に収容されているので、第
1のフィルタとレンズ系自身の放射する赤外線および第
2のフィルタの放射する赤外線の影響は、赤外線検出素
子の検出信号にあられれない。したがって、測定環境の
温度変化が急激であっても、この変化に応じて放射され
る第1のフィルタ、およびレンズ系からの赤外線は、第
2のフィルタによって遮断され、常に正確な温度測定が
可能である。上記効果を、この発明は機構上複雑さを増
すことなく、かつ、簡単な構成で、しかも安価に達成し
たものである。
温度計は所望の波長範囲の赤外線を第1のフィルタによ
り透過させたのち、第1のフィルタと同等か、もしくは
広い波長透過特性のレンズ系により集光し、第1のフィ
ルタと同等か、もしくは狭い波長透過特性の第2のフィ
ルタへ到達させる。そして、この第2のフィルタは、集
光された赤外線のうち所望の波長範囲の赤外線のみを赤
外線検出素子に到達させ、かつ、赤外線検出素子と第2
のフィルタは同一のケース内に収容されているので、第
1のフィルタとレンズ系自身の放射する赤外線および第
2のフィルタの放射する赤外線の影響は、赤外線検出素
子の検出信号にあられれない。したがって、測定環境の
温度変化が急激であっても、この変化に応じて放射され
る第1のフィルタ、およびレンズ系からの赤外線は、第
2のフィルタによって遮断され、常に正確な温度測定が
可能である。上記効果を、この発明は機構上複雑さを増
すことなく、かつ、簡単な構成で、しかも安価に達成し
たものである。
第1図はこの発明の1実施例の断面図、第2図はこの実
施例の波長透過特性の説明図、第3図は従来例の断面図
である。 2−・第1のフィルタ 3−・−レンズ 4−・・ケー
ス5−・第2のフィルタ 6−・・熱型赤外線検出素子
特許出願人 リード電機株式会社 第2図 手続補正書(自発) 昭和60年3月27日 昭和60年特許願第34734号 2、発明の名称 放射温度計 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 ◎ 569 !! 0726 (84)1111明細書の発明の
詳細な説明の欄 lシ 5、補正の内容 明細書第13頁第14行目「る。」の後に、「さらに、
この実施例においては、第2のフィルタをフッ化カルシ
ウムにより形成したが、多層膜干渉フィルタにより形成
しても良い。多層膜干渉フィルタは、設定された範囲の
波長しか透過しない。それゆえ、その範囲以外の波長は
、すべて反射される。したがって、レンズ系から到達さ
れる赤外線のうち、所望の波長範囲の赤外線のみを透過
させ、赤外線検出素子に到達させる。」を挿入する。 以上
施例の波長透過特性の説明図、第3図は従来例の断面図
である。 2−・第1のフィルタ 3−・−レンズ 4−・・ケー
ス5−・第2のフィルタ 6−・・熱型赤外線検出素子
特許出願人 リード電機株式会社 第2図 手続補正書(自発) 昭和60年3月27日 昭和60年特許願第34734号 2、発明の名称 放射温度計 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 ◎ 569 !! 0726 (84)1111明細書の発明の
詳細な説明の欄 lシ 5、補正の内容 明細書第13頁第14行目「る。」の後に、「さらに、
この実施例においては、第2のフィルタをフッ化カルシ
ウムにより形成したが、多層膜干渉フィルタにより形成
しても良い。多層膜干渉フィルタは、設定された範囲の
波長しか透過しない。それゆえ、その範囲以外の波長は
、すべて反射される。したがって、レンズ系から到達さ
れる赤外線のうち、所望の波長範囲の赤外線のみを透過
させ、赤外線検出素子に到達させる。」を挿入する。 以上
Claims (5)
- (1)物体から放射される赤外線のエネルギー量を赤外
線検出素子によって計測することによりこの物体の温度
を測定する放射温度計において、所望の波長範囲の赤外
線を透過させる第1のフィルタと、 この第1のフィルタと前記赤外線検出素子との間に位置
し、前記第1のフィルタと同等かもしくは広い波長透過
特性を持つレンズ系と、 このレンズ系と前記赤外線検出素子との間に位置し、前
記第1のフィルタと同等かもしくは狭い波長透過特性を
持ち、かつ、前記赤外線検出素子と同一のケース内に収
容された第2のフィルタとを具備することを特徴とする
放射温度計。 - (2)第1のフィルタがフッ化カルシウムからなる特許
請求の範囲第1項記載の放射温度計。 - (3)レンズ系に用いられているレンズがフッ化バリウ
ムからなる特許請求の範囲第1項または第2項記載の放
射温度計。 - (4)第2のフィルタがフッ化カルシウムからなる特許
請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の放射
温度計。 - (5)第2のフィルタが多層膜干渉フィルタからなる特
許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の放
射温度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60034734A JPS61194323A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 放射温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60034734A JPS61194323A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 放射温度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61194323A true JPS61194323A (ja) | 1986-08-28 |
JPH0518048B2 JPH0518048B2 (ja) | 1993-03-10 |
Family
ID=12422543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60034734A Granted JPS61194323A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 放射温度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61194323A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008225471A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Toshiba Corp | 画像形成装置の定着装置及び定着方法 |
CN102531348A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 日本超精石英株式会社 | 氧化硅玻璃坩埚制造方法及氧化硅玻璃坩埚制造装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5290085U (ja) * | 1975-12-27 | 1977-07-05 | ||
JPS53115076U (ja) * | 1977-02-22 | 1978-09-13 | ||
JPS569028U (ja) * | 1979-06-30 | 1981-01-26 | ||
JPS59172343U (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-17 | 新日本無線株式会社 | 放射温度計 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52145769A (en) * | 1976-05-31 | 1977-12-05 | Nippon Mining Co | Method of surface treating printed circuit copper foil |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP60034734A patent/JPS61194323A/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20120167623A1 (en) * | 2010-12-31 | 2012-07-05 | Japan Super Quartz Corporation | Method and apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
US9181121B2 (en) | 2010-12-31 | 2015-11-10 | Sumco Corporation | Method for manufacturing vitreous silica crucible |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0518048B2 (ja) | 1993-03-10 |
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