JPS61184793A - Semiconductor memory circuit - Google Patents

Semiconductor memory circuit

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JPS61184793A
JPS61184793A JP60024850A JP2485085A JPS61184793A JP S61184793 A JPS61184793 A JP S61184793A JP 60024850 A JP60024850 A JP 60024850A JP 2485085 A JP2485085 A JP 2485085A JP S61184793 A JPS61184793 A JP S61184793A
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JP
Japan
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nonvolatile memory
mis type
type nonvolatile
transistor
memory transistor
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JP60024850A
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Japanese (ja)
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Takashi Takada
隆 高田
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electronics Corp
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Abstract

PURPOSE:To hold an MIS type nonvolatile memory transistor (TR) in an erasure state by connecting the drain electrode of the MIS type nonvolatile memory TR to a power source and connecting the drain electrode of an MOS TR and the source electrode of an MOS type TR for bit line charging to the source electrode of the MIS type nonvolatile memory TR. CONSTITUTION:An MOS enhancement TR Q7 has its drain electrode connected to the power source and its source electrode connected to a bit line and inputs a write signal W at its gate electrode. The MOS enhancement TR Q7 is turned on with the write signal W in writing operation and a write voltage Vp is applied to the gate electrode of the MIS type nonvolatile memory TR Q4. When an MOS enhancement TR Q6 is in continuity state on with write data D at this time, the bit line connected to the source line of an MIS type nonvolatile memory TR Q4 is nearly at the same grounding potential.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はMIS型不揮発性メモリトランジスタいた半導
体メモリ回路に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory circuit using MIS type non-volatile memory transistors.

従来の技術 一般にMIS型不揮発性メモリトランジスタゲート電極
下またはその近傍のゲート絶縁膜中に、正ま念は負の電
荷を捕獲するためのいわゆるトラップ中心が特別に形成
された構造を備えている。
2. Description of the Related Art In general, a MIS type nonvolatile memory transistor has a structure in which a so-called trap center for trapping negative charges is specially formed in a gate insulating film under or in the vicinity of a gate electrode.

このMIS型不揮発性メモリトランジスタート絶縁膜に
ゲート電極を通じて高電界全印加してトラップ中心に電
荷を注入し保持させると、この注入保持電荷量に応じて
、絶縁膜下のシリコン基板表面に逆電荷を誘起してチャ
ネルが形成される。
When a high electric field is fully applied to this MIS type non-volatile memory transistor insulating film through the gate electrode and charges are injected and retained at the center of the trap, a reverse charge is generated on the silicon substrate surface under the insulating film according to the amount of injected and retained charge. A channel is formed by inducing

そして、このトラップされた電荷は、ゲート電極に前述
の電界と逆極性の高電界を加えるなどしない限シ、乱さ
れることなく保持されるというメモリ特性を有している
。例えばNチャネルの場合、MIS型不揮発性メモリト
ランジスタ縁膜中に正電荷がトラップされた状態を消去
状態、逆に負電荷がトラップされた状態を書き込み状態
とする0 消去状態のMIS型不揮発性メモリトランジスタ報を書
き込むための回路の従来例を説明する。
This trapped charge has a memory property that it is retained without being disturbed unless a high electric field of opposite polarity to the above-mentioned electric field is applied to the gate electrode. For example, in the case of an N-channel MIS type nonvolatile memory transistor, a state in which positive charges are trapped in the edge film of the MIS type nonvolatile memory transistor is an erased state, and a state in which negative charges are trapped is a written state.0 MIS type nonvolatile memory in the erased state A conventional example of a circuit for writing transistor information will be explained.

その回路構成図を第2図に示す。The circuit configuration diagram is shown in FIG.

MIS型不揮発性メモリトランジスタQ1のゲート電極
には電源電圧Vpを印加し、ドレイン電極は負荷用MO
Sデプレッション型トランジスタQ2を通じて電源に接
続し、前記MIS型不揮発性メモリトランジスタQ1の
ソース電極であるビット線は書き込みデータ入力用MO
Sエンノ・ンスメント型トランジスタQ3のドレイン電
極に接続され、同MOSエンハンスメント型トランジス
タQ3のゲート電極には書き込みデータDが入力さ名1
、ソース電極は接地されている。
A power supply voltage Vp is applied to the gate electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1, and the drain electrode is connected to the load MO
The bit line, which is connected to the power supply through the S depletion type transistor Q2 and is the source electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1, is connected to the MO for write data input.
The write data D is connected to the drain electrode of the enhancement type transistor Q3, and the write data D is input to the gate electrode of the MOS enhancement type transistor Q3.
, the source electrode is grounded.

以上のように構成されたMIS型不揮発性メモリトラン
ジスタQ1に情報全書き込むための回路についてその動
作を以下に説明する。
The operation of the circuit for writing all information into the MIS type nonvolatile memory transistor Q1 configured as described above will be described below.

書き込み動作時にはMIS型不揮発性メモリトランジス
タQ1のゲート電極には書き込み電圧Vpが印加さ汎る
。ここで書き込みデータDによってMOSエンハンスメ
ント型トランジスタQ3が導通している場合、MIS型
不揮発性メモリトランジスタQ1のソース電極は接地電
位になる。
During a write operation, a write voltage Vp is applied to the gate electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1. Here, when the MOS enhancement type transistor Q3 is conductive due to the write data D, the source electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1 becomes the ground potential.

このときMIS型不揮発性メモリトランジスタQ1のゲ
ート電極には書き込み電圧Vpが印加されているのでゲ
ート電極下の基板表面にはチャネルが形成されており、
基板表面の電位はMIS型不揮発性メモIJ )ランジ
スタQ1のソース電極電位と等しく接地電位になる0し
たがってMIS型不揮発性メモリトランジスタQ1のゲ
ート絶縁膜には、ゲート電極と基板を通じて高電界が印
加されることになり、消去状態にあったMIS型不揮発
性メモリトランジスタQ1は書き込み状態へ遷移する。
At this time, since the write voltage Vp is applied to the gate electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1, a channel is formed on the substrate surface under the gate electrode.
The potential of the substrate surface becomes the ground potential, which is equal to the source electrode potential of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1. Therefore, a high electric field is applied to the gate insulating film of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1 through the gate electrode and the substrate. As a result, the MIS type nonvolatile memory transistor Q1, which was in the erased state, transitions to the written state.

一方、書き込みデータDによってMOSエンノ・ンスメ
ント型トランジスタQ3がカットオフしている場合、M
IS型不揮発性メモリトランジスタQ1のソース電極で
あるビット線0・ L)は負荷用MOSデブVツション
型トランジスタQ2’に通して供給される電流によって
充電され、MIS型不揮発性メモIJ )ランジスタQ
1のソース電極電位は(書き込み電圧Vp) −(MI
S型不揮発性メモリトランジスタQ1の閾値電圧)まで
上昇する0このときMIS型不揮発性メモリトランジス
タQ1のゲート電極には書き込み電圧Vpが印加されて
いるのでゲート電極下の基板表面には反転層が形成され
ており、基板表面の電位はMIS型不揮発性メモリトラ
ンジスタq1のドレイン電極電位と等しく、電源電圧V
pになる。したがって、MIS型不揮発性メモリトラン
ジスタQ1のゲート電極電位と基板表面の電位は等しく
、ゲート絶縁膜には電界はかからず、ゲート絶縁膜中に
トラップされている電荷量に変化はなく、消去状態にあ
っ7zMIS型不揮発性メモリトランジスタQ1はその
まま消去状態を保つ。
On the other hand, if the MOS enforcement transistor Q3 is cut off by the write data D, then M
The bit line 0 L), which is the source electrode of the IS type non-volatile memory transistor Q1, is charged by the current supplied through the load MOS transistor Q2', and the bit line 0 L), which is the source electrode of the IS type non-volatile memory transistor
The source electrode potential of 1 is (write voltage Vp) - (MI
At this time, since the write voltage Vp is applied to the gate electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1, an inversion layer is formed on the substrate surface under the gate electrode. The potential of the substrate surface is equal to the drain electrode potential of MIS type nonvolatile memory transistor q1, and the power supply voltage V
becomes p. Therefore, the gate electrode potential of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1 and the substrate surface potential are equal, no electric field is applied to the gate insulating film, and there is no change in the amount of charge trapped in the gate insulating film, resulting in an erased state. 7zMIS type nonvolatile memory transistor Q1 remains in the erased state.

発明が解決しようとする問題点 従来例で示すような構成を備えるMIS型不揮発性メモ
IJ )ランジスタQ1の書き込み回路において、書き
込みデータDによってMOSエンノ・ンスメント型トラ
ンジスタQ3がカットオフしている場合、MIS型不揮
発性メモリトランジスタQ1のソース電極であるビット
線(B、  L)は、電源から負荷用MOSデプレッシ
ョン型トランジスタQ2’に通して供給される電流によ
ってのみ充電される。しかし、ビット線(B、  L)
の電位が(書き込み電圧Vp)−(MIS型不揮発性メ
モリトランジスタQ1の閾値電圧)にまで達する時間、
MIS型不揮発性メモリトランジスタQ1のゲート電極
一基板表面間には電位差が生じており、この電位差によ
ってMIS型不揮発性メモリトランジスタQ1のゲート
絶縁膜中にトラップされている電荷量が変化してしまう
0電荷保持寿命がメモリ機能の信頼性を決定する重要な
要素である不揮発性メモリにおいて、消去状態にある1
i1工S型不揮発性メモリトランジスタ全消去状態に保
つべき書き込み動作によって、MIS型不揮発性メモリ
トランジスタの絶縁膜中にトラップこれている電荷量が
変化してしまうのは大きな欠点である。ま危、この問題
はメモリ容量が増大し、ビット線(B−L)の負荷容量
が大きくなるにつれて顕著になってきている。
Problems to be Solved by the Invention MIS type non-volatile memory IJ having the configuration as shown in the conventional example) In the write circuit of the transistor Q1, when the MOS enforcement type transistor Q3 is cut off by the write data D, The bit lines (B, L), which are the source electrodes of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1, are charged only by the current supplied from the power supply through the load MOS depletion type transistor Q2'. However, the bit lines (B, L)
The time for the potential to reach (write voltage Vp) - (threshold voltage of MIS type nonvolatile memory transistor Q1),
A potential difference occurs between the gate electrode and the substrate surface of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1, and this potential difference changes the amount of charge trapped in the gate insulating film of the MIS type nonvolatile memory transistor Q1. In non-volatile memory, where the charge retention lifetime is an important factor determining the reliability of memory function, 1 in the erased state
A major drawback is that the amount of charge trapped in the insulating film of the MIS type nonvolatile memory transistor changes due to a write operation that should keep the i1 type S type nonvolatile memory transistor in a fully erased state. Unfortunately, this problem is becoming more noticeable as the memory capacity increases and the load capacity of the bit line (BL) increases.

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、消
去状態にあるMIS型不揮発性メモリトランジスタを消
去状態に保つことのできる書き込みのための回路の提供
を目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a writing circuit that can maintain an erased MIS type nonvolatile memory transistor in an erased state.

問題点を解決するための手段 本発明にかかる半導体回路の特徴は、MIS型不揮発性
メモリトランジスタのドレイン電極を負荷を介して電源
に接続し、前記MIS型不揮発性メモリトランジスタの
ソース電極に、ソース電極を接地するところのデータ入
力用kO8型トランジスタのドレイン電極、及びドレイ
ン電極を電源に接続されたビット線充電用MOS型トラ
ンジスタのソース電極とを接続して構成されているとこ
ろにある。
Means for Solving the Problems A feature of the semiconductor circuit according to the present invention is that the drain electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor is connected to a power supply via a load, and the source electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor is connected to the source electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor. It is constructed by connecting the drain electrode of a kO8 type transistor for data input whose electrode is grounded, and the source electrode of a MOS type transistor for bit line charging whose drain electrode is connected to a power supply.

作用 これにより書き込み動作においてもMIS型不揮発性メ
モリトランジスタを消去状態に保つことができる。
As a result, the MIS type nonvolatile memory transistor can be maintained in the erased state even during a write operation.

実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。第1図は本発明の実施例におけ第1図において
、Q4はMIS型不揮発性メモリトランジスタ、Q5は
負荷用MOSデプレッション型トランジスタ、Q6は書
き込みデータ入力用MOSエンハンスメント型トランジ
スタである。
EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In FIG. 1, Q4 is an MIS type nonvolatile memory transistor, Q5 is a MOS depletion type transistor for load, and Q6 is a MOS enhancement type transistor for inputting write data.

この回路構成が、第2図の従来例構成と異なるのは、ド
レイン電極を電源に接続し、ソース電極をビット線に接
続し、ゲート電極に書き込み信号Wを入力するビット線
充電用MOSエンハンスメント型トランジスタQ7e設
けた点である。
This circuit configuration is different from the conventional configuration shown in FIG. 2 because it is a bit line charging MOS enhancement type in which the drain electrode is connected to the power supply, the source electrode is connected to the bit line, and the write signal W is input to the gate electrode. This is because a transistor Q7e is provided.

上記のように構成されたMIS型不揮発性メモリトラン
ジスタの書き込み回路について以下その動作を説明する
The operation of the MIS type nonvolatile memory transistor write circuit configured as described above will be described below.

書き込み動作時には、書き込み信号WによってMOSエ
ンハンスメント型トランジスタQ7が導通し、MIS型
不揮発性メモリトランジスタQ4のゲート電極には書き
込み電圧vpが印加される。
During the write operation, the write signal W turns on the MOS enhancement type transistor Q7, and the write voltage vp is applied to the gate electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q4.

ここで書き込みデータDによりMOSエンノーンスメン
ト型トランジスタQ6が導通している場合、kIs型不
揮発性メモリトランジスタQ4のソース電極であるビッ
ト線の電位はほぼ接地電位に等しくなる。このとき書き
込み電圧Vpf:ゲート電橙に印加されているMIS型
不揮発性メモIJ )ランジスタQ4のゲート電極下の
基板表面にはチャネルが形成されており、その基板表面
の電位はソース電極電位に等しく接地電位になる。した
がってMIS型不揮発性メモリトランジスタQ4のゲー
ト絶縁膜には、ゲート電極を通して高電界が印加され、
MIS型不揮発性メモリトランジスタQ4は消去状態か
ら、負の電荷がトラップされた書き込み状態へ遷移する
Here, when the write data D makes the MOS enforcement transistor Q6 conductive, the potential of the bit line, which is the source electrode of the kIs type nonvolatile memory transistor Q4, becomes approximately equal to the ground potential. At this time, write voltage Vpf: MIS type non-volatile memory applied to gate voltage (IJ) A channel is formed on the substrate surface under the gate electrode of transistor Q4, and the potential of the substrate surface is equal to the source electrode potential. Becomes ground potential. Therefore, a high electric field is applied to the gate insulating film of the MIS type nonvolatile memory transistor Q4 through the gate electrode.
The MIS type nonvolatile memory transistor Q4 transitions from the erase state to the write state in which negative charges are trapped.

一方、書き込みデータDによって書き込みデータ入力用
MOSエンハンスメント型トランジスタQ6がカットオ
フしている場合、MIS型不揮発性メモリトランジスタ
Q4のソース電極であるビット線(B、  L)は電源
からビット線充電用MOSエンハンスメント型トランジ
スタQ7を通して供給される電流によってすばやく充電
され、ビット線B、  Lの電位は(書き込み信号Wの
電位)−(M OSエンハンスメント型トランジスタQ
7+7)閾値電圧)になる。その後MIS型不揮発性メ
モリトランジスタQ4のソース電極は、電源から負荷用
MOSデプレッション型トランジスタqs2通して供給
される電荷によって充電され、ソース電極の電位は(書
き込み電圧Vp)−(MIS型不揮発性メモIJ )う
/ジスタQ4の閾値電圧)tで達する。このときMOS
型不揮発性メモリトランジスタQ4のゲート電極には書
き込み電圧Vpが印加されているのでゲート電極下の基
板表面には反転層が形成されておシ、その基板表面の電
位はMIS型不揮発性メモリトランジスタQ4のドレイ
ン電極電位にほぼ等しく、電源電位Vpとなるoしたが
ってMIS型不揮発性メモリトランジスタQ4のゲート
電極とゲート電極下の基板表面との間には電位差は生じ
ない。よってMIS型不揮発性メモリトランジスタQ4
のゲート絶縁膜中にトラップされている電荷量には変化
はなく、消去状態であり* M OS型子揮発性メモリ
トランジスタQ4は、そのまま消去状態を保つ。
On the other hand, when the write data input MOS enhancement type transistor Q6 is cut off by the write data D, the bit line (B, L) which is the source electrode of the MIS type non-volatile memory transistor Q4 is connected to the bit line charging MOS from the power supply. They are quickly charged by the current supplied through the enhancement type transistor Q7, and the potential of the bit lines B and L is (potential of the write signal W) - (MOS enhancement type transistor Q).
7+7) threshold voltage). Thereafter, the source electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q4 is charged by the charge supplied from the power supply through the load MOS depletion type transistor qs2, and the potential of the source electrode is (write voltage Vp) - (MIS type nonvolatile memory transistor IJ). ) The threshold voltage of transistor Q4 is reached at )t. At this time, the MOS
Since the write voltage Vp is applied to the gate electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor Q4, an inversion layer is formed on the substrate surface under the gate electrode, and the potential of the substrate surface is set to the MIS type nonvolatile memory transistor Q4. It is approximately equal to the drain electrode potential of Q4, and becomes the power supply potential Vp. Therefore, no potential difference is generated between the gate electrode of MIS type nonvolatile memory transistor Q4 and the substrate surface under the gate electrode. Therefore, MIS type non-volatile memory transistor Q4
There is no change in the amount of charge trapped in the gate insulating film, and the MOS type volatile memory transistor Q4 remains in the erased state.

以上のように、ビット線充電用MOSエンハンスメント
型トランジスタQ7″f:設けることにより、消去状態
を保つ書き込み動作時に、MIS型不揮発性メモリトラ
ンジスタQ4のソース電極’tfぼやく充電し、書き込
み動作開始時にMIS型不揮発性メモリトランジスタQ
4のゲート絶縁膜に電界が生ずる時間を従来に比べて充
分短くすることが可能となり、書き込み動作によって消
去状態にあったMIS型不揮発性メモリトランジスタQ
4のゲート絶縁膜中にトラップされている電荷量が変化
してしまうことを防止できる。
As described above, by providing the bit line charging MOS enhancement type transistor Q7''f, the source electrode 'tf of the MIS type non-volatile memory transistor Q4 is vaguely charged during the write operation to maintain the erased state, and when the write operation starts, the MIS type nonvolatile memory transistor Q
The time during which an electric field is generated in the gate insulating film of Q4 can be sufficiently shortened compared to the conventional method, and the MIS type non-volatile memory transistor Q, which was in the erased state by the write operation,
It is possible to prevent the amount of charge trapped in the gate insulating film No. 4 from changing.

発明の詳細 な説明したように本発明は、消去状態のMOS型不揮発
性メモリトランジスタが書き込み動作においても消去状
態を保つことができるのでその実用的効果は大きいもの
がある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION As described in detail, the present invention has great practical effects because a MOS type nonvolatile memory transistor in an erased state can maintain an erased state even during a write operation.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の実施例におけるhIs型不揮発性メモ
リトランジスタの書き込み回路の構成図、第2図は従来
例におけるMIS型不揮発性メモリトランジスタの書き
込み回路の構成図である。 Qll  Q4・・・・・・kO8型不揮発性メモリト
ランンスタ、Q2.Q6・・・・・・MOSデプレッシ
ョン型トランジスタ、Q3.Q61  Q7・・・・・
・mosエンハンスメント型トランジスタ、vP・・・
・・・書き込み用電源、01,02・・・・・・容量、
W・・・・・・書き込み信号線、D・・・・・・データ
線、B、L・・・・・・ビット線。
FIG. 1 is a block diagram of a write circuit for an hIs type nonvolatile memory transistor in an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of a write circuit for an MIS type nonvolatile memory transistor in a conventional example. Qll Q4...kO8 type non-volatile memory transistor, Q2. Q6...MOS depletion type transistor, Q3. Q61 Q7...
・MOS enhancement type transistor, vP...
...Writing power supply, 01,02...Capacity,
W: Write signal line, D: Data line, B, L: Bit line.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  MIS型不揮発性メモリトランジスタのドレイン電極
を、負荷を介して、電源に接続し、前記MIS型不揮発
性メモリトランジスタのソース電極であるビット線に、
ソース電極を接地するところのデータ入力用の第1のM
OS型トランジスタのドレイン電極およびドレイン電極
を電源に接続されたビット線充電用の第2のMOS型ト
ランジスタのソース電極とをそれぞれ接続して構成され
ていることを特徴とする半導体メモリ回路。
The drain electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor is connected to a power supply via a load, and the bit line, which is the source electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor, is connected to the source electrode of the MIS type nonvolatile memory transistor.
the first M for data input where the source electrode is grounded;
1. A semiconductor memory circuit characterized in that the drain electrode of an OS type transistor is connected to the source electrode of a second MOS type transistor for charging a bit line connected to a power source.
JP60024850A 1985-02-12 1985-02-12 Semiconductor memory circuit Pending JPS61184793A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0247875A (en) * 1988-08-10 1990-02-16 Toshiba Corp Semiconductor device
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