JPS61181920A - 偏光干渉装置における像面の行路差を補償する装置 - Google Patents
偏光干渉装置における像面の行路差を補償する装置Info
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- JPS61181920A JPS61181920A JP29980485A JP29980485A JPS61181920A JP S61181920 A JPS61181920 A JP S61181920A JP 29980485 A JP29980485 A JP 29980485A JP 29980485 A JP29980485 A JP 29980485A JP S61181920 A JPS61181920 A JP S61181920A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
産業上の利用分野
本発明は中でも透過光および反射光による顕微鏡におい
て使用するための、偏光光学的干渉装置の像面における
行路差を補償する装置に関し、そしてそれらの干渉装置
における像のコントラストの改善に役立てようとするも
のである。
て使用するための、偏光光学的干渉装置の像面における
行路差を補償する装置に関し、そしてそれらの干渉装置
における像のコントラストの改善に役立てようとするも
のである。
従】４１創販
Ｎｏｍａｒｓｋｉ＋Ｓｍ１ｔｈ、 Ｊａｍｉｎ−Ｌｅｂ
ｅｄｅｗ、 Ｆｒａｎｃｏｎ。
ｅｄｅｗ、 Ｆｒａｎｃｏｎ。
５ａｖａｒｅ等に従う公知の偏光光学的干渉装置におい
ては、その行路内に何等被検物体が挿入されていない場
合でもそれぞれの像点に至る途中で複屈折性の各部材内
で光が経過する異なった傾斜や光路に基づいて各装置に
おいて視野内で行路差が現われる。
ては、その行路内に何等被検物体が挿入されていない場
合でもそれぞれの像点に至る途中で複屈折性の各部材内
で光が経過する異なった傾斜や光路に基づいて各装置に
おいて視野内で行路差が現われる。
このような行路差は不規則性を含み、これは成る双曲線
の二辺として可視化される。このような不規則性は調べ
ようとする対象物の評価の有効性最も一般的に用いられ
且つ発展した方法、すなわちＮｏｍａｒｓｋｉに従う干
渉コントラスト法はその各複屈折性部材の厚さを低下さ
せることによってそれらの障害的な影響を少なくしてい
る。
の二辺として可視化される。このような不規則性は調べ
ようとする対象物の評価の有効性最も一般的に用いられ
且つ発展した方法、すなわちＮｏｍａｒｓｋｉに従う干
渉コントラスト法はその各複屈折性部材の厚さを低下さ
せることによってそれらの障害的な影響を少なくしてい
る。
しかしながら機能的および技術的理由のためにこの厚さ
は自由に減少させることはできず、従って高いコントラ
スト品質のそのような装置においてはなお成る不均一な
ベースが可視化されてこれが測定を妨害する。
は自由に減少させることはできず、従って高いコントラ
スト品質のそのような装置においてはなお成る不均一な
ベースが可視化されてこれが測定を妨害する。
東ドイツ特許（ＤＤ−ＡＰ）第１１３２７１号は行路差
を補償するための補償装置の一つを開示しており、ここ
では適当な寸法の厚さの車軸の複屈折プレートが行路差
補償のために用いられている。このプレートの作用が所
望の通りに発揮されるためにはその光学的結晶軸が全装
置の光軸に整列し、そしてその結晶の側面がこの光軸に
対して直角方向になっていなければならない。
を補償するための補償装置の一つを開示しており、ここ
では適当な寸法の厚さの車軸の複屈折プレートが行路差
補償のために用いられている。このプレートの作用が所
望の通りに発揮されるためにはその光学的結晶軸が全装
置の光軸に整列し、そしてその結晶の側面がこの光軸に
対して直角方向になっていなければならない。
しかしながらこの光軸に対して直角な結晶の側面は障害
となる反射光を形成する傾向があり、これはぼやけた像
と言う結果をまねく。このような反射光を除くためにプ
レートを僅かに傾斜させた場合にはその像面における非
対称性がもたらされる。このような技術手段は、その補
償用プレートを行路中に追加的な構成部材として挿入し
なければならないと言うもう一つの欠点を有するが、一
般に挿入された追加的な全ての光学的表面は像品質にマ
イナスの影響をもたらすことが知られている。
となる反射光を形成する傾向があり、これはぼやけた像
と言う結果をまねく。このような反射光を除くためにプ
レートを僅かに傾斜させた場合にはその像面における非
対称性がもたらされる。このような技術手段は、その補
償用プレートを行路中に追加的な構成部材として挿入し
なければならないと言うもう一つの欠点を有するが、一
般に挿入された追加的な全ての光学的表面は像品質にマ
イナスの影響をもたらすことが知られている。
発明が解決しようとする問題点
本発明の目的の一つは上述の諸欠点を除くことである。
本発明のもう一つの目的は比較的大きな像面に対しても
その装置内の各構成要素に基づく像面のコントラストの
不均等性を実質的に除くような装置を提供することであ
る。
その装置内の各構成要素に基づく像面のコントラストの
不均等性を実質的に除くような装置を提供することであ
る。
本発明の更にもう一つの目的は用いた構成要素における
複屈折度およびそれらの要素の結晶の光学的構造に基づ
く行路差を実質的に除き、且つ既に現存している踊々め
半速＊ ｆｉｌ ｔ＝ Ｔｌｂ ＆Ｉ Ｍ ｌ＋スψし
を許容するような行路差補償用の装置を提供することで
ある。
複屈折度およびそれらの要素の結晶の光学的構造に基づ
く行路差を実質的に除き、且つ既に現存している踊々め
半速＊ ｆｉｌ ｔ＝ Ｔｌｂ ＆Ｉ Ｍ ｌ＋スψし
を許容するような行路差補償用の装置を提供することで
ある。
ｒｏ 々を するための手
本発明によれば複屈折性の構成部材を含む、中でも透過
光または反射光による顕微鏡において使用するための、
偏光光学的干渉装置の像面における行路差を補償する装
置において、光路内に少なくとも一つ以上の二部公的（
ｂｉｐａｒｔｉｔｅ）補償部材が設けられていることを
特徴とする装置が提供される。この二部分的補償部材の
材質は行路差を生ずる物質の複屈折性の符号に対して反
対の符号の複屈折性を有する物質である。
光または反射光による顕微鏡において使用するための、
偏光光学的干渉装置の像面における行路差を補償する装
置において、光路内に少なくとも一つ以上の二部公的（
ｂｉｐａｒｔｉｔｅ）補償部材が設けられていることを
特徴とする装置が提供される。この二部分的補償部材の
材質は行路差を生ずる物質の複屈折性の符号に対して反
対の符号の複屈折性を有する物質である。
この補償部材の全厚さは次式
％式％）
０□ ＝その補償されるべき部材の厚さの合計
り、 ＝ ト記捕涜恕坩の仝厘六
Ｎｅ１＝その補償されるべき各部材の異常光線の屈折率
Ｎｅ、 ＝上記補償部材の異常光線の屈折率Ｎｏ、 ＝
その補償されるべき各部材の正常光線の屈折率 Ｎｏ！＝上記補償部材の正常光線の屈折率１１＝その補
償されるべき各部材の空間内における画角 ■□ ＝上記補償部材の空間内において上記画角ｉ、と
組み合わされている画角 である。
その補償されるべき各部材の正常光線の屈折率 Ｎｏ！＝上記補償部材の正常光線の屈折率１１＝その補
償されるべき各部材の空間内における画角 ■□ ＝上記補償部材の空間内において上記画角ｉ、と
組み合わされている画角 である。
有利には、その干渉装置の行路に沿って配置された二つ
の干渉プリズムの一方が同時に前述の構造と寸法とを有
する補償部材としても作動するように構成されているの
がよい。
の干渉プリズムの一方が同時に前述の構造と寸法とを有
する補償部材としても作動するように構成されているの
がよい。
その材質および厚さを選択することによってこのプリズ
ムは同時に補償部材としての作用をも発揮する。
ムは同時に補償部材としての作用をも発揮する。
本発明によれば、補償部材を例えば既に存在している種
々の干渉装置を補完するように、同じ厚さの２枚の面平
行プレートよりなる個別の部材としてその行路内に挿入
すると言うことがもう一つの利点である。
々の干渉装置を補完するように、同じ厚さの２枚の面平
行プレートよりなる個別の部材としてその行路内に挿入
すると言うことがもう一つの利点である。
これらプレートの光学的結晶軸は互いに、およびその装
置の光軸に対して９０°の角度をなしている。
置の光軸に対して９０°の角度をなしている。
この補償部材は必要の場合にその行路に像側に、或いは
また照明側に挿入することも可能である。
また照明側に挿入することも可能である。
更にまた、その行路内に像側において１個の補償部材を
、そして照明側において１個の補償部材を挿入すること
が可能であるが、この場合にはそれら二つの補償部材は
比較的薄いものでなければならない。
、そして照明側において１個の補償部材を挿入すること
が可能であるが、この場合にはそれら二つの補償部材は
比較的薄いものでなければならない。
実施例
本発明をより容易に理解できるように、本発明に従う装
置の５つの具体例をそれぞれ図式的に示す添付の図面の
参照のもとに、以下に本発明を更に詳細に説明する。
置の５つの具体例をそれぞれ図式的に示す添付の図面の
参照のもとに、以下に本発明を更に詳細に説明する。
第１図において、図示されていない透過光干渉コントラ
スト顕微鏡の光軸ｘ−ｘに沿って光の伝播の方向に順に
、偏光板１、この図の場合はウラストンプリズムである
干渉部材２、集光レンズ３、対象物４、対物レンズ５、
補償プリズム６およびアナライザ７が配置されている。
スト顕微鏡の光軸ｘ−ｘに沿って光の伝播の方向に順に
、偏光板１、この図の場合はウラストンプリズムである
干渉部材２、集光レンズ３、対象物４、対物レンズ５、
補償プリズム６およびアナライザ７が配置されている。
補償プリズム６は下記式
％式％）
Ｄ１＝その補償されるべき部材の厚さの合計
Ｄ２＝上記補償部材の全厚さ
Ｎｅ１＝その補償されるべき各部材の異常光線の屈折率
Ｎｅ２＝上記補償部材の異常光線の屈折率Ｎｏ、＝その
補償されるべき各部材の正常光線の屈折率 Ｎｏ、 ＝上記補償部材の正常光線の屈折率１１＝その
補償されるべき各部材の空間内における画角 ■、＝ ト記捕ｌｆｔ部廿のゆ間肉じセいて１−ν画角
ｊ、と組み合わされている画角 である。
補償されるべき各部材の正常光線の屈折率 Ｎｏ、 ＝上記補償部材の正常光線の屈折率１１＝その
補償されるべき各部材の空間内における画角 ■、＝ ト記捕ｌｆｔ部廿のゆ間肉じセいて１−ν画角
ｊ、と組み合わされている画角 である。
フィールド位置に依存し且つ干渉部材２によってもたら
される行路差は像側干渉部材の役目をもする補償プリズ
ム６によって補償される。
される行路差は像側干渉部材の役目をもする補償プリズ
ム６によって補償される。
適当な寸法を有するときは干渉部材２と補償プリズム６
とを互いに取り換えることも可能である。
とを互いに取り換えることも可能である。
第２図以下の図面において同じ参照数字は同一の構成部
材を示す。
材を示す。
透過光干渉コントラスト顕微鏡において用いるための、
干渉部材８および９（第２図の具体例ではウラストンプ
リズム）を包含する干渉装置において像側干渉部材９と
アナライザ７との間に補償板１０が挿入されている。こ
の補償板１０は両干渉部材８および９によってもたらさ
れ且つフィールド位置に依存する行路差の合計を補償す
る。
干渉部材８および９（第２図の具体例ではウラストンプ
リズム）を包含する干渉装置において像側干渉部材９と
アナライザ７との間に補償板１０が挿入されている。こ
の補償板１０は両干渉部材８および９によってもたらさ
れ且つフィールド位置に依存する行路差の合計を補償す
る。
補償板１０を偏光板１と干渉部材８との間に配置するこ
とも可能である。
とも可能である。
更にまた、照明側干渉部材８および像側干渉部材９のフ
ィールド位置に依存する行路差を第３図に示すように、
上記干渉部材８．９のそれぞれに各１個の個別の補償板
１１および１１′を組み合わせるようにして補償するこ
とも可能である。
ィールド位置に依存する行路差を第３図に示すように、
上記干渉部材８．９のそれぞれに各１個の個別の補償板
１１および１１′を組み合わせるようにして補償するこ
とも可能である。
各補償板１１および１１’の厚さの合計が補償に必要な
全厚さＤ２ に等しいと言うことが重要である。
全厚さＤ２ に等しいと言うことが重要である。
第４および第５図には反射光顕微鏡において用いるため
の公知の干渉装置が示されており、この場合には補償板
１４および１０がそれぞれ追加的に挿入されてこれが干
渉部材１２によってもたらされる行路差を補償する。
の公知の干渉装置が示されており、この場合には補償板
１４および１０がそれぞれ追加的に挿入されてこれが干
渉部材１２によってもたらされる行路差を補償する。
補償部材がビームスプリッティング反射鏡１３と対称物
４との間に補償部材が、例えば第４図における補償板４
のように光路（その光軸はｘ−ｘ）内に挿入されたとき
には補償板１４の厚さは計算された厚さＤ２の半分であ
り、と言うのはこの場合にその補償板１４は光によって
２度通過されるからである。
４との間に補償部材が、例えば第４図における補償板４
のように光路（その光軸はｘ−ｘ）内に挿入されたとき
には補償板１４の厚さは計算された厚さＤ２の半分であ
り、と言うのはこの場合にその補償板１４は光によって
２度通過されるからである。
これと対照的に、第５図においては補償板１０および１
０′の厚さは、補償板１０’が偏光板１とビームスプリ
ッティング面１３との間に、或いはまたアナライザ７と
ビームスプリッティング面１３との間（補償板１０）に
配置されるときには計算された厚さＤ２ と等しい。
０′の厚さは、補償板１０’が偏光板１とビームスプリ
ッティング面１３との間に、或いはまたアナライザ７と
ビームスプリッティング面１３との間（補償板１０）に
配置されるときには計算された厚さＤ２ と等しい。
第１ないし第５図は本発明に従う行路差補償装置の異な
った５つの具体例をそれぞれ図式的に示す。 １・・・偏光板 ２．８．９．１２・・・干渉部材 ３・・・集光レンズ ４・・・対象物５・・・対物レ
ンズ ６．１０．１０’、１１．１１′、１４・・・補償部材
７・・・アナライザ
った５つの具体例をそれぞれ図式的に示す。 １・・・偏光板 ２．８．９．１２・・・干渉部材 ３・・・集光レンズ ４・・・対象物５・・・対物レ
ンズ ６．１０．１０’、１１．１１′、１４・・・補償部材
７・・・アナライザ
Claims (4)
- （１）複屈折成分を含む、特に透過光または反射光によ
る顕微鏡において用いるための、偏光光学干渉装置の像
面における行路差を補償するための装置において、光線
の通路内に少なくとも一つ以上の２部分的補償部材が設
けられており、このものの材料はその行路差を生ずる物
質の複屈折性の符号と反対の符号の複屈折性を有し、そ
してその補償部材の全厚さが下記式 Ｄ＿２＝Ｄ＿１［Ｎｏ＿２（Ｎｏ＿２・Ｎｅ＿１＋Ｎｏ
＿１・Ｎｅ＿２）（Ｎｅ＿１−Ｎｏ＿１）］／［２・Ｎ
ｏ＿１＾２・Ｎｅ＿１（Ｎｏ＿２−Ｎｅ＿２）］×（ｉ
＿１／ｉ＿２）＾２ に従い、ここで Ｄ＿１＝その補償されるべき部材の厚さの合計 Ｄ＿２＝上記補償部材の全厚さ Ｎｅ＿２＝その補償されるべき各部材の異常光線の屈折
率 Ｎｅ＿２＝上記補償部材の異常光線の屈折率Ｎｏ＿１＝
その補償されるべき各部材の正常光線の屈折率 Ｎｏ＿２＝上記補償部材の正常光線の屈折率ｉ＿１＝そ
の補償されるべき各部材の空間内における画角 ｉ＿２＝上記補償部材の空間内において上記画角ｉ＿１
と組み合わされている画角 を特徴とする、上記装置。 - （２）干渉装置の光線通路に沿って配置された２つの干
渉プリズムの一方が上記特許請求の範囲第１項にあげた
構造と寸法と共に、同時に補償部材として作動するよう
に作られている、特許請求の範囲第１項に従う装置。 - （３）二部分的補償部材が同じ厚さの２枚の面平行プレ
ートよりなり、このものの光学的結晶軸が互いに、およ
びその全装置の軸と９０°の角度をなしている、特許請
求の範囲第１項に従う装置。 - （４）二部分的補償部材が光線の通路内で像側および／
または照明側に設けられている、特許請求の範囲第３項
に従う装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD02B/272170-7 | 1984-12-29 | ||
| DD27217084A DD233670A1 (de) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | Anordnung zur kompensation von gangunterschiedsdifferenzen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61181920A true JPS61181920A (ja) | 1986-08-14 |
Family
ID=5564509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29980485A Pending JPS61181920A (ja) | 1984-12-29 | 1985-12-28 | 偏光干渉装置における像面の行路差を補償する装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61181920A (ja) |
| DD (1) | DD233670A1 (ja) |
| DE (1) | DE3542218C2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6128127A (en) * | 1996-12-05 | 2000-10-03 | Olympus Optical Company, Ltd. | Differential interference contrast microscope and microscopic image processing system using the same |
| JP2008058852A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Nikon Corp | 微分干渉顕微鏡 |
| JP2011508409A (ja) * | 2007-11-20 | 2011-03-10 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学系 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10321091B4 (de) | 2003-05-09 | 2005-06-30 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Mikroskop und Mikroskopierverfahren zur Erzeugung von Überlagerungsbildern |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5425831A (en) * | 1977-07-29 | 1979-02-27 | Canon Inc | Latent image stabilizing method |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3904267A (en) * | 1973-07-02 | 1975-09-09 | American Optical Corp | Compensating plate to provide uniformity in interference microscopes |
-
1984
- 1984-12-29 DD DD27217084A patent/DD233670A1/de unknown
-
1985
- 1985-11-29 DE DE19853542218 patent/DE3542218C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-28 JP JP29980485A patent/JPS61181920A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5425831A (en) * | 1977-07-29 | 1979-02-27 | Canon Inc | Latent image stabilizing method |
Cited By (5)
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| US6229644B1 (en) | 1996-12-05 | 2001-05-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Differential interference contrast microscope and microscopic image processing system using the same |
| JP2008058852A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Nikon Corp | 微分干渉顕微鏡 |
| JP2011508409A (ja) * | 2007-11-20 | 2011-03-10 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学系 |
| US8379188B2 (en) | 2007-11-20 | 2013-02-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optical system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3542218C2 (de) | 1994-04-07 |
| DE3542218A1 (de) | 1986-07-03 |
| DD233670A1 (de) | 1986-03-05 |
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