JPS6118116A - 磁性体の焼鈍方法 - Google Patents
磁性体の焼鈍方法Info
- Publication number
- JPS6118116A JPS6118116A JP13787384A JP13787384A JPS6118116A JP S6118116 A JPS6118116 A JP S6118116A JP 13787384 A JP13787384 A JP 13787384A JP 13787384 A JP13787384 A JP 13787384A JP S6118116 A JPS6118116 A JP S6118116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- annealing
- electrodes
- magnetic
- anisotropy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/147—Alloys characterised by their composition
- H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
- H01F1/15341—Preparation processes therefor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、磁性体の焼鈍方法に関し、更に詳しくは高温
に熱した磁性体を電界中で焼鈍し、その磁気異方性を改
善する焼鈍方法に関する。
に熱した磁性体を電界中で焼鈍し、その磁気異方性を改
善する焼鈍方法に関する。
［従来の技術］
磁気ヘッド（薄膜ヘッド）や磁気ディスクの媒体のよう
な磁性体格は、製造方法に基づく磁気異方性を示し、こ
のような磁気異方性の改善（すなわち、磁気異方性の増
強あるいは減少）を必要とする場合がある。
な磁性体格は、製造方法に基づく磁気異方性を示し、こ
のような磁気異方性の改善（すなわち、磁気異方性の増
強あるいは減少）を必要とする場合がある。
上記磁性体の磁気異方性の改善法としては、静磁界もし
くは回転磁界中で磁性体を焼鈍する方法が知られている
。
くは回転磁界中で磁性体を焼鈍する方法が知られている
。
第４図は、従来の磁界型磁性体焼鈍装置の一例を示す構
成図である。図において焼鈍装置は、ヘルムホルツコイ
ル１、石英管２、ヒーター３、試料支持台４、支持棒５
、モーター６および電気回路で概略構成され、磁性体試
料１０は前記支持棒５の一端に取付けられた試料支持台
４に固定されて、石英管２中に挿入される。支持棒５の
別な一端はモーターａに連結されていて、スイッチ７が
閉じモーター６が回転すると、試料ｌＯも石英管２中で
回転する。ヒーター３は該石英管２に巻装されていて、
試料１０を加熱する。すなわち、石英管とヒーター３で
炉が構成されている。ヘルムホルツコイルｌは、石英管
２を挟み１対で対向して配置され、方向性の磁界を発生
する。ここで、スイッチ７が開いた状態で試料１０が静
止していると、試料１０は静磁界で焼鈍されることにな
り、その−軸異方性は増強される。逆に、スイッチ７が
閉じた状態で試料１０が回転すると、試料１０は相対的
に回転磁界中で焼鈍されることになり、その磁気異方性
は緩和される。
成図である。図において焼鈍装置は、ヘルムホルツコイ
ル１、石英管２、ヒーター３、試料支持台４、支持棒５
、モーター６および電気回路で概略構成され、磁性体試
料１０は前記支持棒５の一端に取付けられた試料支持台
４に固定されて、石英管２中に挿入される。支持棒５の
別な一端はモーターａに連結されていて、スイッチ７が
閉じモーター６が回転すると、試料ｌＯも石英管２中で
回転する。ヒーター３は該石英管２に巻装されていて、
試料１０を加熱する。すなわち、石英管とヒーター３で
炉が構成されている。ヘルムホルツコイルｌは、石英管
２を挟み１対で対向して配置され、方向性の磁界を発生
する。ここで、スイッチ７が開いた状態で試料１０が静
止していると、試料１０は静磁界で焼鈍されることにな
り、その−軸異方性は増強される。逆に、スイッチ７が
閉じた状態で試料１０が回転すると、試料１０は相対的
に回転磁界中で焼鈍されることになり、その磁気異方性
は緩和される。
しかし、上記の焼鈍だけでは磁界が試料の磁気異方性に
及ぼす効果で不充分で、試料は必ずしも満足できる磁気
特性を示さない。また、その磁気特性の時間的安定性お
よび熱的安定性にも問題があった。更に、磁界発生のた
めのへルムホルツコイルは大きいものとならざるを得ず
、試料を入れる炉の中に収納することができないところ
から、第４図のように炉をヘルムホルツコイルと別体に
し、しかも炉内の試料を回転させる複雑な構造となり、
かつ炉のヒーターの温度制御が難しく、磁性体の特性に
ついて再現性が悪く、品質にバラツキが生じるという欠
点があった。
及ぼす効果で不充分で、試料は必ずしも満足できる磁気
特性を示さない。また、その磁気特性の時間的安定性お
よび熱的安定性にも問題があった。更に、磁界発生のた
めのへルムホルツコイルは大きいものとならざるを得ず
、試料を入れる炉の中に収納することができないところ
から、第４図のように炉をヘルムホルツコイルと別体に
し、しかも炉内の試料を回転させる複雑な構造となり、
かつ炉のヒーターの温度制御が難しく、磁性体の特性に
ついて再現性が悪く、品質にバラツキが生じるという欠
点があった。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の目的は、上記の問題点に鑑みて、磁性体の磁気
特性の向上と時間的および熱的安定性の改善とが可能で
、しかも、装置がシンプルな構造のものとなり、焼鈍温
度の制御が簡単にかつ精度良く行なえ、再現性良好に−
”定の特性の磁性を得ることができる磁性体の焼鈍方法
を提供することである。
特性の向上と時間的および熱的安定性の改善とが可能で
、しかも、装置がシンプルな構造のものとなり、焼鈍温
度の制御が簡単にかつ精度良く行なえ、再現性良好に−
”定の特性の磁性を得ることができる磁性体の焼鈍方法
を提供することである。
［問題点を解決するための手段及び作用］本発明は、上
記の目的を達成するためになされたもので、磁性体を焼
鈍する際、静電界もしくは回転電界をかけることにより
、磁性体の磁気異方性の改善を行うことを特徴とする。
記の目的を達成するためになされたもので、磁性体を焼
鈍する際、静電界もしくは回転電界をかけることにより
、磁性体の磁気異方性の改善を行うことを特徴とする。
［実施例］
以下、本発明を実施例と図面によって詳細に説明する。
第１図は、本発明を実施した磁性体の焼鈍装置の好適な
一例を示す構成図である。第１図において焼鈍装置は、
１対の対向する板状電極１１と、１対の電極に挟まれる
中間位置に配設された試料台１２と、前記板状電極１１
に加電する直流電源１３とで概略構成され、磁性体試料
１０は前記試料台１２に載置されている。直流電源１３
を除く上記各部および試料１０を電気炉の中に入れて加
熱するのが本発明による焼鈍方法で、１対の電極間に発
生する静電界と熱とによって、試料１０の一軸異方性は
増強される。第２図は、試料としてＧｏ−Ｚｒアモルフ
ァス薄膜を使用した異方性エネルギーの測定結果を示す
図で、破線２０は焼鈍前の特性を示し、実線２１は上記
装置によって温度３００℃、８００Ｖ／ａｍの静電界中
で２時間焼鈍した後の測定結果を示す。グラフで明らか
なように、異方性エネルギーは焼鈍によって約４倍に増
強されている。また、この特性は、前記アモルファス薄
膜の結晶化温度４４０℃まで安定であった。
一例を示す構成図である。第１図において焼鈍装置は、
１対の対向する板状電極１１と、１対の電極に挟まれる
中間位置に配設された試料台１２と、前記板状電極１１
に加電する直流電源１３とで概略構成され、磁性体試料
１０は前記試料台１２に載置されている。直流電源１３
を除く上記各部および試料１０を電気炉の中に入れて加
熱するのが本発明による焼鈍方法で、１対の電極間に発
生する静電界と熱とによって、試料１０の一軸異方性は
増強される。第２図は、試料としてＧｏ−Ｚｒアモルフ
ァス薄膜を使用した異方性エネルギーの測定結果を示す
図で、破線２０は焼鈍前の特性を示し、実線２１は上記
装置によって温度３００℃、８００Ｖ／ａｍの静電界中
で２時間焼鈍した後の測定結果を示す。グラフで明らか
なように、異方性エネルギーは焼鈍によって約４倍に増
強されている。また、この特性は、前記アモルファス薄
膜の結晶化温度４４０℃まで安定であった。
第３図は、本発明を実施した磁性体焼鈍装置の別な一例
を示す構成図である。第３図において焼鈍装置は、８０
度の等角放射位置に配置された３対の板状電極１６と、
板状電極に囲尭される放射中心位置に配設された試料台
１７と、前記３対の板状電極に順次加電する゛３相交流
電源１８とで概略構成され、磁性体試料１５は前記試料
台１７に載置さ゛れている。第１図と同様に、交流電源
１８を除く第３図の上記各部および試料１５も電気炉の
中で加熱され、３対の電極で順次変動する回転電界と熱
とによって、試料１５の一軸異方性は緩和される。試料
として、Ｃ６１２Ｆｅ６ ＮｂＩ２アモルファス薄膜を
使用し、温度３００℃、実効電界７５０Ｖ／ｃｍ 、
５０Ｈｚの３相交流電界中で２時間焼鈍した結果、抗磁
力は０．０５ｉｅとなった。該アモルファス薄膜を、第
４図に示す従来の方法により、温度３００℃、回転磁界
２５０ｉｅ中で２時間焼鈍した結果の抗磁力は０．１δ
ｅであったから、本発明の有効性は約２倍とも言える。
を示す構成図である。第３図において焼鈍装置は、８０
度の等角放射位置に配置された３対の板状電極１６と、
板状電極に囲尭される放射中心位置に配設された試料台
１７と、前記３対の板状電極に順次加電する゛３相交流
電源１８とで概略構成され、磁性体試料１５は前記試料
台１７に載置さ゛れている。第１図と同様に、交流電源
１８を除く第３図の上記各部および試料１５も電気炉の
中で加熱され、３対の電極で順次変動する回転電界と熱
とによって、試料１５の一軸異方性は緩和される。試料
として、Ｃ６１２Ｆｅ６ ＮｂＩ２アモルファス薄膜を
使用し、温度３００℃、実効電界７５０Ｖ／ｃｍ 、
５０Ｈｚの３相交流電界中で２時間焼鈍した結果、抗磁
力は０．０５ｉｅとなった。該アモルファス薄膜を、第
４図に示す従来の方法により、温度３００℃、回転磁界
２５０ｉｅ中で２時間焼鈍した結果の抗磁力は０．１δ
ｅであったから、本発明の有効性は約２倍とも言える。
また、前記のように磁界をかける従来の方法では、炉の
構造上の制限から温度制御が難しかったため、試料の特
性に関して再現性が良くなかったが、本発明では、試料
を回転させる必要がなく駆動装置が不要なため、電界を
かけるための電極を設けるだけの単純で容積をとらない
構造であるから、電極は試料とともに加熱手段としての
電気炉の中に収納することができるので、温度制御が容
易かつ高精度で行うことができ、そのために非常に再現
性良好に特性のものを得ることができる。
構造上の制限から温度制御が難しかったため、試料の特
性に関して再現性が良くなかったが、本発明では、試料
を回転させる必要がなく駆動装置が不要なため、電界を
かけるための電極を設けるだけの単純で容積をとらない
構造であるから、電極は試料とともに加熱手段としての
電気炉の中に収納することができるので、温度制御が容
易かつ高精度で行うことができ、そのために非常に再現
性良好に特性のものを得ることができる。
なお、本発明の応用例として、第１図に示した装置の直
流電源を単相交流電源に置換すると、第３図に示した実
施例と同様な異方性緩和の効果を挙げることができる。
流電源を単相交流電源に置換すると、第３図に示した実
施例と同様な異方性緩和の効果を挙げることができる。
［発明の効果］
上記のように、本発明によれば、磁性体を焼鈍する際、
静電界もしくは回転電界をかけることにより磁気異方性
の高効率な増強もしくは緩和を行い、磁性体の磁気特性
の向上とその時間的安定および熱的安定性の改善とが可
能で、しかも、装置が簡略化され、温度制御が容易かつ
高精度に行うことができ、そのために再現性よく一定の
品質のものを得ることができる。
静電界もしくは回転電界をかけることにより磁気異方性
の高効率な増強もしくは緩和を行い、磁性体の磁気特性
の向上とその時間的安定および熱的安定性の改善とが可
能で、しかも、装置が簡略化され、温度制御が容易かつ
高精度に行うことができ、そのために再現性よく一定の
品質のものを得ることができる。
第１図は本発明による静電界型焼鈍装置の実施例の構成
図、第２図は試料の異方性エネルギーの測定結果を示す
グラフ、第３図は本発明による回転電界型焼鈍装置の実
施例の構成図、第４図は従来の焼鈍装置の構成図である
。 １・・・ヘルムホルツコイル、２・・・石英管、３・・
・ヒーター、４・・・試料支持台、５・・・支持棒、６
・・・モーター、１０．１５・・・磁性体試料、１１．
１８・・・板状電極、１２．１７・・・試料台、１３・
・・直流電源、１８・・・３相交流電源。
図、第２図は試料の異方性エネルギーの測定結果を示す
グラフ、第３図は本発明による回転電界型焼鈍装置の実
施例の構成図、第４図は従来の焼鈍装置の構成図である
。 １・・・ヘルムホルツコイル、２・・・石英管、３・・
・ヒーター、４・・・試料支持台、５・・・支持棒、６
・・・モーター、１０．１５・・・磁性体試料、１１．
１８・・・板状電極、１２．１７・・・試料台、１３・
・・直流電源、１８・・・３相交流電源。
Claims (1)
- （１）磁性体を焼鈍する際、静電界もしくは回転電界を
かけることを特徴とする磁性体の焼鈍方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13787384A JPS6118116A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 磁性体の焼鈍方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13787384A JPS6118116A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 磁性体の焼鈍方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6118116A true JPS6118116A (ja) | 1986-01-27 |
Family
ID=15208696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13787384A Pending JPS6118116A (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 磁性体の焼鈍方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6118116A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62276810A (ja) * | 1986-02-24 | 1987-12-01 | Toshiba Corp | 高透磁率磁心の製造方法 |
-
1984
- 1984-07-05 JP JP13787384A patent/JPS6118116A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62276810A (ja) * | 1986-02-24 | 1987-12-01 | Toshiba Corp | 高透磁率磁心の製造方法 |
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