JPS61179741U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61179741U JPS61179741U JP6252385U JP6252385U JPS61179741U JP S61179741 U JPS61179741 U JP S61179741U JP 6252385 U JP6252385 U JP 6252385U JP 6252385 U JP6252385 U JP 6252385U JP S61179741 U JPS61179741 U JP S61179741U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating part
- view
- dried
- sectional
- taken along
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第1図は本考案の第1の実施例を示す縦断面図
、第2図は第1図のA―A線に沿う断面図、第3
図は第2図のB―B線に沿う拡大断面図である。
第4図は本考案の第2の実施例を示す縦断面図、
第5図は第4図のC―C線に沿う断面図、第6図
は第5図のD―D線に沿う部分拡大断面図、第7
図は第4図における翼板の斜視図である。第8図
は従来の遠心乾燥機の縦断面図、第9図は第8図
のE―E線に沿う断面図、第10図は第9図のF
―F線に沿う拡大断面図、第11図は第8図の一
部の動作状態を説明するための側断面図である。
第12図は被乾燥物の一例を示す斜視図、第13
図は被乾燥物(半導体ウエーハ)の平面図である
。 1……被乾燥物(半導体ウエーハ)、3……回
転部、15,16……翼板、m,n……傾斜面。
、第2図は第1図のA―A線に沿う断面図、第3
図は第2図のB―B線に沿う拡大断面図である。
第4図は本考案の第2の実施例を示す縦断面図、
第5図は第4図のC―C線に沿う断面図、第6図
は第5図のD―D線に沿う部分拡大断面図、第7
図は第4図における翼板の斜視図である。第8図
は従来の遠心乾燥機の縦断面図、第9図は第8図
のE―E線に沿う断面図、第10図は第9図のF
―F線に沿う拡大断面図、第11図は第8図の一
部の動作状態を説明するための側断面図である。
第12図は被乾燥物の一例を示す斜視図、第13
図は被乾燥物(半導体ウエーハ)の平面図である
。 1……被乾燥物(半導体ウエーハ)、3……回
転部、15,16……翼板、m,n……傾斜面。
Claims (1)
- 被乾燥物を保持して水平な円軌道を回転させる
回転部の側方に、回転する回転部から飛散した液
を下方に撥ね返す傾斜面を持つ複数の翼板を所定
間隔で固定配置したことを特徴とする遠心乾燥機
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6252385U JPS61179741U (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6252385U JPS61179741U (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61179741U true JPS61179741U (ja) | 1986-11-10 |
Family
ID=30591820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6252385U Pending JPS61179741U (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61179741U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS642438U (ja) * | 1987-06-23 | 1989-01-09 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS548455A (en) * | 1977-06-22 | 1979-01-22 | Hitachi Ltd | Cleansing/drying device for products |
-
1985
- 1985-04-25 JP JP6252385U patent/JPS61179741U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS548455A (en) * | 1977-06-22 | 1979-01-22 | Hitachi Ltd | Cleansing/drying device for products |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS642438U (ja) * | 1987-06-23 | 1989-01-09 |