JPS61179561A - Method of detecting position of trimming - Google Patents
Method of detecting position of trimmingInfo
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- JPS61179561A JPS61179561A JP60019252A JP1925285A JPS61179561A JP S61179561 A JPS61179561 A JP S61179561A JP 60019252 A JP60019252 A JP 60019252A JP 1925285 A JP1925285 A JP 1925285A JP S61179561 A JPS61179561 A JP S61179561A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、集積回路を構成する抵抗体等のトリミングに
おけるトリミング位置を検出する方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for detecting a trimming position in trimming a resistor or the like constituting an integrated circuit.
第２図は従来の集積回路の抵抗体のトリミング位置検出
方法を説明するための集積回路の平面図であシ、１は回
路基板、２，３は回路基板１上の両端にそれぞれ設けた
基準マーカであシ、図示されていないトリミング装置と
回路基板１との平行度を調整するためのものである。FIG. 2 is a plan view of an integrated circuit for explaining a conventional method for detecting the trimming position of a resistor in an integrated circuit. 1 is a circuit board, and 2 and 3 are standards provided at both ends of the circuit board 1. The marker is used to adjust the parallelism between a trimming device (not shown) and the circuit board 1.
４は回路基板１上に搭載されたトリミングを必要とする
抵抗体であシ、この抵抗体４と前記基準マーカ２，３と
は直角となる位置関係に構成されている。５は抵抗体４
の両端に形成された端子であシ、図示されていない回路
に接続されている。Reference numeral 4 denotes a resistor that requires trimming and is mounted on the circuit board 1. This resistor 4 and the reference markers 2 and 3 are arranged in a positional relationship that is perpendicular to the reference markers 2 and 3. 5 is resistor 4
It is connected to a circuit (not shown) through terminals formed at both ends.
６はトリミング全開始するための基準ポイントであり、
し１１えば抵抗体４の端子５のコーナ部に設けられてい
る。6 is the reference point for starting all trimming,
For example, the resistor 11 is provided at a corner of the terminal 5 of the resistor 4.
このように構成される集積回路の抵抗体４をトリミング
するには、トリミング装置と抵抗体４の基準ポイント６
との位置合せ全行なわなければならない。To trim the resistor 4 of the integrated circuit configured in this way, a trimming device and a reference point 6 of the resistor 4 are used.
All alignment must be done.
そのためには、まず回路基板１の両端に設けられた基準
マーカ２，３′ｆニドリミング装置のモニタ上で、その
モニタに設けられたヘアライン等と目視によって、それ
ぞれ位置を合せる。To do this, first, the reference markers 2 and 3'f provided at both ends of the circuit board 1 are visually aligned with the hairlines and the like provided on the monitor of the trimming device.
このようにして、トリミング装置と回路基板１とのＹ方
向の位置合せ、すなわち両者の平行度が調整される。In this way, the alignment of the trimming device and the circuit board 1 in the Y direction, that is, the parallelism between the two is adjusted.
その後、抵抗体４と一定の位置関係にある基準ポイント
６を、前記と同様に目視によってモニタ上の所定位置と
合せることにより、抵抗体４のトリミング位置全検出し
ていた。Thereafter, all trimming positions of the resistor 4 were detected by visually aligning the reference point 6, which is in a fixed positional relationship with the resistor 4, with a predetermined position on the monitor in the same manner as described above.
しかしながら、前記したような従来のトリミング位置検
出方法では、トリミング装置のモニタ上で、目視によっ
て基準マーカ２，３および基準ポイント６の位置合せを
行なわなければならず、人為的な方法なので、位置合せ
誤差が生じやすいという問題があった。However, in the conventional trimming position detection method as described above, the reference markers 2 and 3 and the reference point 6 must be aligned visually on the monitor of the trimming device, which is an artificial method. There was a problem that errors were likely to occur.
本発明は、このような問題点を解決するためになされた
方法であシ、トリミングを必要とする抵抗体のトリミン
グ位置を機械的に検出することにより、高精度にトリミ
ング位置を検出する方法を提供することを目的としてい
る。The present invention is a method devised to solve such problems, and provides a method for detecting the trimming position with high precision by mechanically detecting the trimming position of a resistor that requires trimming. is intended to provide.
前記した問題点を解決するために本発明は、トリミング
全必要とする抵抗体に対して一方向に位置するように配
置した第１の位置検出用抵抗体へとトリミング手段全移
動させ、その第１の位置検出用抵抗体の抵抗値が変化を
開始した時のトリミング手段の位置ｉＹ方向の位置とし
、
さらに、トリミング全必要とする抵抗体に対して前記一
方向とは９０°ｆＩ：なす位置に配置した第２の位置検
出用抵抗体の抵抗値が変化を開始した時のトリミング手
段の位置ｌｘ方印の位置とし、このＸ方向の位置と前記
Ｙ方向の位置よりトリミングを必要とする抵抗体のトリ
ミング位置を検出する方法とした。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention moves the entire trimming means to the first position detection resistor, which is arranged in one direction with respect to the resistor that requires all the trimming, and The position of the trimming means when the resistance value of the position detection resistor 1 starts to change is the position i in the Y direction, and furthermore, the one direction is the position at 90°fI with respect to the resistor that requires all the trimming. The position of the trimming means when the resistance value of the second position detection resistor placed in This method was used to detect the trimming position of the body.
前記した方法によれば、第１の位置検出用抵抗体によっ
て、トリミングを必要とする抵抗体のＹ方向のトリミン
グ位置を検出し、前記第１の位置検出用抵抗体に対して
９０°の方向性を持たせて配置した第２の位置検出用抵
抗体によってＸ方向のトリミング位置を検出する。According to the method described above, the trimming position of the resistor that requires trimming in the Y direction is detected by the first position detecting resistor, and the trimming position in the Y direction of the resistor that requires trimming is detected in a direction 90° with respect to the first position detecting resistor. The trimming position in the X direction is detected by the second position detecting resistor which is arranged in such a manner as to have the desired position.
このように、トリミングを必要とする抵抗体のトリミン
グ位置’ｉＸ、Ｙ方向から求めることにより、自動的に
その位置を求めることができる。In this way, by determining the trimming position of the resistor that requires trimming from the iX and Y directions, the position can be automatically determined.
以下に、本発明の一実施［ｆｆｌＪｆｆｉ図面に基づい
て説明する。Hereinafter, one implementation of the present invention will be described based on the drawings.
第１図は本発明の一実施例によるトリミング位置検出方
法を説明するための集積回路の平面図であシ、１は回路
基板、４は回路基板１上に搭載された抵抗体、５はその
両端に形成した端子であシ、これ等は前記従来レリと同
様な部品なので同一符号で示した。FIG. 1 is a plan view of an integrated circuit for explaining a trimming position detection method according to an embodiment of the present invention, in which 1 is a circuit board, 4 is a resistor mounted on the circuit board 1, and 5 is a resistor mounted on the circuit board 1. The terminals formed at both ends are the same parts as those of the conventional reli, so they are designated by the same reference numerals.
７．８は抵抗体４とは直角となる位置構成で回路基板１
上に搭載した第１の位置検出用抵抗体であり、回路基板
１と図示されていないトリミング装置とのＹ方向の位置
合せ、すなわち回路基板１とトリミング装置との平行度
を調整すると共にトリミング位置のＹ方向位置を検出す
るためのものである。7.8 is a circuit board 1 with a position configuration at right angles to the resistor 4.
It is a first position detection resistor mounted on the top, and is used to align the circuit board 1 and a trimming device (not shown) in the Y direction, that is, to adjust the parallelism between the circuit board 1 and the trimming device, and to determine the trimming position. This is for detecting the Y-direction position of.
９は抵抗体４と平行に、すなわち前記第１の位置検出用
抵抗体７．８に対して９００）位置関係で回路基板１上
に搭載した第２の位置検出用抵抗体であり、トリミング
位置のＸ方向位置を検出するためのものである。Reference numeral 9 denotes a second position detection resistor mounted on the circuit board 1 in parallel with the resistor 4, that is, in a positional relationship of 900 mm with respect to the first position detection resistor 7. This is for detecting the position in the X direction.
１０は前記第１の位置検出用抵抗体７，８、および第２
の位置検出用抵抗体９の両端にそれぞれ形成された端子
、１１．１２．１３は図示されていないトリミング装置
のレーザビームの走査方向を示す矢印である。10 is the first position detection resistor 7, 8, and the second position detection resistor 7, 8;
Terminals 11, 12, and 13 formed at both ends of the position detection resistor 9 are arrows indicating the scanning direction of the laser beam of a trimming device (not shown).
このように構成される集積回路の抵抗体４をトリミング
するには、まずＹ方向位置検出用の第１の位置検出用抵
抗体７の両端子１０により抵抗値を測定しながらトリミ
ング装置のトリミング手段である例えばレーザビームを
矢印１１の方向へ走査させる。In order to trim the resistor 4 of the integrated circuit configured in this way, first, the trimming means of the trimming device is measured while measuring the resistance value with both terminals 10 of the first position detection resistor 7 for detecting the position in the Y direction. For example, a laser beam is scanned in the direction of arrow 11.
レーザビームが第１の位置検出用抵抗体７に接触したと
き、第１の位置検出用抵抗体７の抵抗値は変化する。When the laser beam comes into contact with the first position detection resistor 7, the resistance value of the first position detection resistor 7 changes.
この抵抗値が変化を開始するレーザビームの位置７−Ｙ
を検出する。Position 7-Y of the laser beam where this resistance value starts to change
Detect.
次に、もう一つのＹ方向位置検出用である第１の位置検
出用抵抗体８により、前記同様に抵抗値を測定しながら
レーザビームを矢印１２方向に走査させ、抵抗値が変化
を開始するレーザビームの位置Ｂ−ｙを検出する。Next, the laser beam is scanned in the direction of the arrow 12 while measuring the resistance value in the same manner as described above using the first position detection resistor 8 for detecting the position in the Y direction, and the resistance value starts to change. Detect the position B-y of the laser beam.
この７−Ｙ、８−Ｙの検出でトリミング装置と回路基板
１との平行度は調整される。By detecting 7-Y and 8-Y, the parallelism between the trimming device and the circuit board 1 is adjusted.
そして、抵抗体４におけるＹ方向のトリミング位置も検
出することができる。Further, the trimming position of the resistor 4 in the Y direction can also be detected.
次に、第２の位置検出用抵抗体９に対して矢印１３方向
にレーザビームを走査させ、前記同様に抵抗値が変化を
開始するレーザビームの位置９−Ｘを検出する。Next, the second position detection resistor 9 is scanned with the laser beam in the direction of the arrow 13, and the position 9-X of the laser beam where the resistance value starts to change is detected in the same manner as described above.
この９−Ｘの検出によって、抵抗体４におけるＸ方向の
トリミング位置を検出することができる。By detecting this 9-X, the trimming position of the resistor 4 in the X direction can be detected.
すなわち、トリミングを必要とする抵抗体４のトリミン
グ位置に対し、Ｙ方向とＸ方向の位置調整が行なわれる
ことによって、トリミング位置を検出している。That is, the trimming position is detected by adjusting the position of the resistor 4 that requires trimming in the Y direction and the X direction.
以上、詳細に説明したように本発明では、トリミング位
置に対して一定の位置関係にあるＸ方向。As described above in detail, in the present invention, the X direction has a fixed positional relationship with respect to the trimming position.
Ｙ方向の位置を機械的に検出し、それを基にしてトリミ
ング位置を検出する方法としたので、従来のようにモニ
タを目視する人為的な方法に比べて、トリミング位置の
検出精度を向上させる効果がある。Since the position in the Y direction is mechanically detected and the trimming position is detected based on that, the accuracy of detecting the trimming position is improved compared to the conventional artificial method of visually checking the monitor. effective.
また、従来のパターン認識等の高価な付帯装置全不要と
するので装置構成を簡素化すると共に、装置価格を低下
する効果もあシ、自動トリミング装置等において有益に
利用することができる。In addition, since the conventional expensive auxiliary equipment such as pattern recognition is completely unnecessary, the device configuration is simplified and the cost of the device is reduced, so that it can be usefully used in automatic trimming devices and the like.
第１図は本発明の一実施例によるトリミング位置検出方
法を説明するための集積回路の平面図、第２図は従来の
集積回路の抵抗体のトリミング位置検出方法を説明する
ための集積回路の平面図である。
１・・・回路基板 ４・・・抵抗体 ７，８・・・第１
の位置検出用抵抗体 ９・・・第２の位置検出用抵抗体
特許出願人 沖電気工業株式会社
代理人 弁理士 金 倉 喬 二＠ １−
＠ ２−FIG. 1 is a plan view of an integrated circuit for explaining a trimming position detection method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of an integrated circuit for explaining a conventional method for detecting a trimming position of a resistor in an integrated circuit. FIG. 1... Circuit board 4... Resistor 7, 8... First
Resistor for position detection 9... Second resistor for position detection Patent applicant Oki Electric Industry Co., Ltd. Agent Patent attorney Takashi Kanakura @ 1- @ 2-
Claims (1)
要とする抵抗体のトリミング位置検出方法において、 前記トリミングを必要とする抵抗体に対して一方向に位
置するように配置した第１の位置検出用抵抗体へとトリ
ミング手段を移動させ、その第１の位置検出用抵抗体の
抵抗値が変化を開始した時のトリミング手段の位置をＹ
方向の位置とし、 さらに、トリミングを必要とする抵抗体に対して前記一
方向とは９０°をなす位置に配置した第２の位置検出用
抵抗体へとトリミング手段を移動させ、その第２の位置
検出用抵抗体の抵抗値が変化を開始した時のトリミング
手段の位置をＸ方向の位置とし、このＸ方向の位置と前
記Ｙ方向の位置よりトリミングを必要とする抵抗体のト
リミング位置を検出することを特徴としたトリミング位
置検出方法。[Claims] 1. A method for detecting the trimming position of a resistor mounted on a circuit board of an integrated circuit that requires trimming, comprising: The trimming means is moved to the arranged first position detection resistor, and the position of the trimming means when the resistance value of the first position detection resistor starts to change is determined by Y.
Further, the trimming means is moved to a second position detecting resistor disposed at a position at 90° with respect to the one direction with respect to the resistor requiring trimming, and The position of the trimming means when the resistance value of the position detection resistor starts to change is taken as the position in the X direction, and the trimming position of the resistor that requires trimming is detected from this X direction position and the Y direction position. A trimming position detection method characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019252A JPS61179561A (en) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Method of detecting position of trimming |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019252A JPS61179561A (en) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Method of detecting position of trimming |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61179561A true JPS61179561A (en) | 1986-08-12 |
Family
ID=11994227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60019252A Pending JPS61179561A (en) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Method of detecting position of trimming |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61179561A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04267304A (en) * | 1991-02-21 | 1992-09-22 | Nec Corp | Laser processor |
-
1985
- 1985-02-05 JP JP60019252A patent/JPS61179561A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04267304A (en) * | 1991-02-21 | 1992-09-22 | Nec Corp | Laser processor |
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