JPS61177786A - レ−ザ出力制御装置 - Google Patents
レ−ザ出力制御装置Info
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- JPS61177786A JPS61177786A JP1859285A JP1859285A JPS61177786A JP S61177786 A JPS61177786 A JP S61177786A JP 1859285 A JP1859285 A JP 1859285A JP 1859285 A JP1859285 A JP 1859285A JP S61177786 A JPS61177786 A JP S61177786A
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- output
- laser
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザ加工機におけるレーザ出力制御装置
に関するものである。
に関するものである。
従来この種の装置として第８図に示すものがあった。図
において、（ＩＩＨレーザ発振器であシ、電源（２）よ
シ供給される電力は電極（３Ａ）、 （３Ｂ）間で放電
（５）全発生し、レーザ発振器（１）内に満されている
レー豐媒質ガス（４１１１−励起する。
において、（ＩＩＨレーザ発振器であシ、電源（２）よ
シ供給される電力は電極（３Ａ）、 （３Ｂ）間で放電
（５）全発生し、レーザ発振器（１）内に満されている
レー豐媒質ガス（４１１１−励起する。
この励起空間を挟んで、全反射鏡（６）と部分透過鏡（
７）とを対向して設置することによシレーザ発振が生じ
、部分透過鏡（７）からレーザ光（８）全出力する。
７）とを対向して設置することによシレーザ発振が生じ
、部分透過鏡（７）からレーザ光（８）全出力する。
またビームヌプリツタ（９）によって、レーザ光（８）
の１部を欧シ出してレーザ出力検出器（ＩＩ）に入力す
るととＫよシ、レーザ光（８）の強度に比例した電気信
号、すなわちレーザ出力フィードバック信号αυに変換
されるようになっている。
の１部を欧シ出してレーザ出力検出器（ＩＩ）に入力す
るととＫよシ、レーザ光（８）の強度に比例した電気信
号、すなわちレーザ出力フィードバック信号αυに変換
されるようになっている。
また、レーザ出力設定器出力とレーザ出力フィードバッ
ク信号αυとの偏差を増幅器α皺によって増幅し、電源
（２）の励起強度指令信号α（イ）としてレーザ光（８
）の強度を一定に保つようにフィードバック制御され、
パルス信号発生器αｓｎｒパルス率設定器（１６１とパ
ルス周波数設定器αＤとによシ決められたパルス信号α
ｇを発生するものであシ、このパルス信号（１８によシ
スイッチ回路（９）を作動させ、励起強度指令信号α４
１を断続して電源（２）の励起強度出力パルス幅制御す
るようになっている。
ク信号αυとの偏差を増幅器α皺によって増幅し、電源
（２）の励起強度指令信号α（イ）としてレーザ光（８
）の強度を一定に保つようにフィードバック制御され、
パルス信号発生器αｓｎｒパルス率設定器（１６１とパ
ルス周波数設定器αＤとによシ決められたパルス信号α
ｇを発生するものであシ、このパルス信号（１８によシ
スイッチ回路（９）を作動させ、励起強度指令信号α４
１を断続して電源（２）の励起強度出力パルス幅制御す
るようになっている。
上記のような構成で成る従来のレーザ出力制御装置では
、第９図（ａ）に示す電源（２）の励起強度出力のタイ
ムチャートにおいて、Ｔは周期、すなわちパルス周波数
Ｆｉ１／Ｔ 、 ｔは励起出力時間で、ヌイツチ回路四
におけるスイッチＯＮの期間に相当し、このスイッチ回
路の動作は同図（ｂ） Ｋ示すとおシであシ、パルス率
ＤＦｉｔ／Ｔとなる。また、スイッチＯＮ時の励起強度
Ｗｅは励起強度指令信号α４によって値が決められる。
、第９図（ａ）に示す電源（２）の励起強度出力のタイ
ムチャートにおいて、Ｔは周期、すなわちパルス周波数
Ｆｉ１／Ｔ 、 ｔは励起出力時間で、ヌイツチ回路四
におけるスイッチＯＮの期間に相当し、このスイッチ回
路の動作は同図（ｂ） Ｋ示すとおシであシ、パルス率
ＤＦｉｔ／Ｔとなる。また、スイッチＯＮ時の励起強度
Ｗｅは励起強度指令信号α４によって値が決められる。
同図（ｃ）ｔ：ｌレーザ光の強度を示すもので、Ｗｐａ
ルミピークレーザ、Ｗ人は平均レーザ出力を表わす。
ルミピークレーザ、Ｗ人は平均レーザ出力を表わす。
一般に、レーザ出力検出器αＯ１は熱針ラミ気信号に変
えるものが多く、応答速度が遅いため、レーザ出力フィ
ードバック信号αｌ）は平滑化されている。
えるものが多く、応答速度が遅いため、レーザ出力フィ
ードバック信号αｌ）は平滑化されている。
このレーザ出力フィードパック信号αυの値は上記のＷ
ムに相当し、レーザ出力設定器α２によって設定し九値
にＷムが等しくなるようにフィードバック制御されてい
る。
ムに相当し、レーザ出力設定器α２によって設定し九値
にＷムが等しくなるようにフィードバック制御されてい
る。
第１０図は平均レーザ出力ＷＡが０．２５〜１．０の範
囲におけるピークレーザ出力Ｗｐとパルス率りとの関係
、すなわち、レーザ出力制御装置の動作特性図を示した
線図であシ、レーザ出力設定器α２を、例えばＷ Ａ
＝ ０．５の指令値に設定すると、パルス率りとピーク
レーザ出方Ｗｐとの積が常に０．５になるように制御さ
れることを示している。
囲におけるピークレーザ出力Ｗｐとパルス率りとの関係
、すなわち、レーザ出力制御装置の動作特性図を示した
線図であシ、レーザ出力設定器α２を、例えばＷ Ａ
＝ ０．５の指令値に設定すると、パルス率りとピーク
レーザ出方Ｗｐとの積が常に０．５になるように制御さ
れることを示している。
すなわち、Ｄ＝１（７）ときはＷ ｐ ＝ ０．５、Ｄ
＝ ０．５のときはＷｐ＝１となるが、Ｄ＝０．５以
下、例えば０．４にするとＷ ｐ ＝ １．２５となっ
てレーザ発信器（１１の定格値を越えることになる。
＝ ０．５のときはＷｐ＝１となるが、Ｄ＝０．５以
下、例えば０．４にするとＷ ｐ ＝ １．２５となっ
てレーザ発信器（１１の定格値を越えることになる。
また、レーザ加工作業において、加工速度を変更すれば
、平均レーザ出力Ｗムも変更しないと加工条件が変動す
る筈であるが、平均レーザ出力Ｗムが設定値と常に等し
く、一定値になるように制御しているので、ピークレー
ザ出力Ｗｐは一定値のｔｔで、パルス率りを変えて平均
レニザ出カＷＡを変えるＫは、同時に、レーザ出力設定
器α２の設定値も変える必要があったＯ 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記のような従来のレーザ加工機におけるレーザ出力制
御装置では、操作上のｗＡシによってピークレーザ出力
Ｗｐが定格値を越えた〕、また、加工条件を変更すると
きには、同時に２つのパラメータを変更する複雑な操作
をしなければならない等の問題があった。
、平均レーザ出力Ｗムも変更しないと加工条件が変動す
る筈であるが、平均レーザ出力Ｗムが設定値と常に等し
く、一定値になるように制御しているので、ピークレー
ザ出力Ｗｐは一定値のｔｔで、パルス率りを変えて平均
レニザ出カＷＡを変えるＫは、同時に、レーザ出力設定
器α２の設定値も変える必要があったＯ 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記のような従来のレーザ加工機におけるレーザ出力制
御装置では、操作上のｗＡシによってピークレーザ出力
Ｗｐが定格値を越えた〕、また、加工条件を変更すると
きには、同時に２つのパラメータを変更する複雑な操作
をしなければならない等の問題があった。
この発明は、かかる問題点を除去するためＫなされたも
ので、パルス信号を利用してレーザ出力設定を変化させ
ることによル、操作パラメータを減らし、容易に操作が
できるレーザ出力制御装置を提供することを目的とする
。
ので、パルス信号を利用してレーザ出力設定を変化させ
ることによル、操作パラメータを減らし、容易に操作が
できるレーザ出力制御装置を提供することを目的とする
。
この発明に係るレーザ加工機におけるレーザ出力制御装
置は、パルス率設定器とパルス周波数設定器で決められ
たパルス信号を、分率器に入力させてこの出力値とレー
ザ出力を検出して得たフィードバック値との偏差を増幅
して、レーザ発振の励起電源の指令信号とし、またこの
指令イｍ号は上記パルス信号によって断続される工うに
なっている。
置は、パルス率設定器とパルス周波数設定器で決められ
たパルス信号を、分率器に入力させてこの出力値とレー
ザ出力を検出して得たフィードバック値との偏差を増幅
して、レーザ発振の励起電源の指令信号とし、またこの
指令イｍ号は上記パルス信号によって断続される工うに
なっている。
〔作用〕
分率器の設定値を変化させると、この変化に対応してピ
ークレーザ出力Ｗｐの値も変化して設定されるために、
パルス率が変化しても一定の状態でレーザ出力を制御で
きる。
ークレーザ出力Ｗｐの値も変化して設定されるために、
パルス率が変化しても一定の状態でレーザ出力を制御で
きる。
第１図〜第４図はこの発明の一実施例を示す図であシ、
図中の符号（１）〜αＩは従来例を示した第８図におけ
る同一符号と同一部分または相当部分である。第１図に
おいて、翰はＤ／Ａ変換器であシ、パルス信号α均がこ
のＤ／Ａ変換器■に入力すると、この出力が平均値化さ
れた信号となって分率器Ｑ１）へ入力する。任意の分率
を設定したこの分率器Ｑυの出力は、遅れ時定数回路＠
とリミッタ（ハ）とを通シ、レーザ出力フィードバック
信号αυとの差を増幅器−によって増幅し、電源（２１
の励起強度指令信号（１４）とするようになっている。
図中の符号（１）〜αＩは従来例を示した第８図におけ
る同一符号と同一部分または相当部分である。第１図に
おいて、翰はＤ／Ａ変換器であシ、パルス信号α均がこ
のＤ／Ａ変換器■に入力すると、この出力が平均値化さ
れた信号となって分率器Ｑ１）へ入力する。任意の分率
を設定したこの分率器Ｑυの出力は、遅れ時定数回路＠
とリミッタ（ハ）とを通シ、レーザ出力フィードバック
信号αυとの差を増幅器−によって増幅し、電源（２１
の励起強度指令信号（１４）とするようになっている。
第２図は上記の遅れ時定数回路（ハ）の−例を示した図
であり、抵抗Ｒ，コンデンサｃｔ Ｋよる一次遅れ費素
を構成し、（２４ａ）、 （２４ｂ） Ｆｉ大入力（２
５ａ）、 （２５ｂ） は出力で、この遅れ時定数は
レーザ出力検出５ＱＩの遅れによって定められる。
であり、抵抗Ｒ，コンデンサｃｔ Ｋよる一次遅れ費素
を構成し、（２４ａ）、 （２４ｂ） Ｆｉ大入力（２
５ａ）、 （２５ｂ） は出力で、この遅れ時定数は
レーザ出力検出５ＱＩの遅れによって定められる。
また、嬉６図に回路を示すリミッタＣＩ！３１は、上記
の遅れ時定数回路＠の出力であるレーザ出力指令値が定
格出力を越えないよう忙クランプする動作を行うもので
、図において、入力（２６ａ）、 （２６ｂ）に電圧を
加えると、入力電圧が基準電圧−以下では第４図の備で
示すように出力（２７ａ）、 （２７ｂ） Ｋは入力電
圧と等しい電圧を出力するが、基準電圧＠を越えるとオ
ペアンプ＠によってダイオードＤ！を通して電流が流れ
、抵抗Ｒ，に電圧降下を生じさせ、第４図の（６１）に
示すように出方電圧を一定値にクランプするようになっ
ている。上記の基準電圧−をレーザ発振器（１）の定格
出方に相当する値にしておけば、レーザ出力は制御され
て定格出方を越えないようになっている。
の遅れ時定数回路＠の出力であるレーザ出力指令値が定
格出力を越えないよう忙クランプする動作を行うもので
、図において、入力（２６ａ）、 （２６ｂ）に電圧を
加えると、入力電圧が基準電圧−以下では第４図の備で
示すように出力（２７ａ）、 （２７ｂ） Ｋは入力電
圧と等しい電圧を出力するが、基準電圧＠を越えるとオ
ペアンプ＠によってダイオードＤ！を通して電流が流れ
、抵抗Ｒ，に電圧降下を生じさせ、第４図の（６１）に
示すように出方電圧を一定値にクランプするようになっ
ている。上記の基準電圧−をレーザ発振器（１）の定格
出方に相当する値にしておけば、レーザ出力は制御され
て定格出方を越えないようになっている。
上記のように構成されたこの発明にょるレーザ出力制御
装置では、分率器Ｑυの分率が１．０のときは、第５図
における直線（６２〕が示すように、パルス率設定器α
ｅによってパルス率Ｉｌｌ変化させると、平均レーザ出
力Ｗａ ＃−ｔこのパルスｙ４Ｄの変化に比例して変化
する。しかし、ピークレーザ出力Ｗｐは直線（３３）で
示すようにパルス率りが変化しても一定値のままである
。すなわち、パルス率りが１．０のとき、前述の第９図
（ａ）に示した励起出力時間ｔは周期Ｔに等しくなシ、
平均レーザ出力ＷＡが点（３４）で示すようにピークレ
ーザ出力Ｗｐに等しくなる。また、パルス率りが０．５
のときけ、励起出力時間ｔけＶ２であシ、平均レーザ出
力ＷＡは点（６５）、ピークレーザ出方Ｗｐ＃ｉ点（３
６）であるので、ＷＡ＝Ｗｐ／２となる。さらに、分率
器（２１＋の分率が０．５のときは、平均レーザ出力の
特性は直線（６７）となり、ピークレーザ出力の特性は
（６８）で示すようになる。
装置では、分率器Ｑυの分率が１．０のときは、第５図
における直線（６２〕が示すように、パルス率設定器α
ｅによってパルス率Ｉｌｌ変化させると、平均レーザ出
力Ｗａ ＃−ｔこのパルスｙ４Ｄの変化に比例して変化
する。しかし、ピークレーザ出力Ｗｐは直線（３３）で
示すようにパルス率りが変化しても一定値のままである
。すなわち、パルス率りが１．０のとき、前述の第９図
（ａ）に示した励起出力時間ｔは周期Ｔに等しくなシ、
平均レーザ出力ＷＡが点（３４）で示すようにピークレ
ーザ出力Ｗｐに等しくなる。また、パルス率りが０．５
のときけ、励起出力時間ｔけＶ２であシ、平均レーザ出
力ＷＡは点（６５）、ピークレーザ出方Ｗｐ＃ｉ点（３
６）であるので、ＷＡ＝Ｗｐ／２となる。さらに、分率
器（２１＋の分率が０．５のときは、平均レーザ出力の
特性は直線（６７）となり、ピークレーザ出力の特性は
（６８）で示すようになる。
以上説明したとおシ、設定された分率の値に対応してビ
ークレーザ出力ＷｐＯ値が変化して設定されるので、パ
ルス率りが変化しても一定に制御できる。また、平均レ
ーザ出力Ｗ Ａ Ｆｉ、定格値を越えることなくパルス
率りに比例するため、出力制御１中にパルス率りを変化
させて平均レーザ出力ｗＡを変えたい場合には、パルス
率Ｄｔ−操作するだけで、平均レーザ出力ｗＡの操作の
必要がない。
ークレーザ出力ＷｐＯ値が変化して設定されるので、パ
ルス率りが変化しても一定に制御できる。また、平均レ
ーザ出力Ｗ Ａ Ｆｉ、定格値を越えることなくパルス
率りに比例するため、出力制御１中にパルス率りを変化
させて平均レーザ出力ｗＡを変えたい場合には、パルス
率Ｄｔ−操作するだけで、平均レーザ出力ｗＡの操作の
必要がない。
パルス周波数はパルス周波数設定器ａηによシ設定し、
第９図（ａ）の周期Ｔの逆数Ｆ＝１／Ｔの周波数となる
。このパルス周波数Ｆはレーザ切断加工においては、１
００〜５００Ｈｚ程度の値で使用されるが、周波数の違
いによって加工条件は大きな差が出ないことか判明され
ているので、操作上では特に設定の頻度の多いパラメー
タではないので、パルス率設定器αｅを操作するだけで
、はとんどの陸工条件ル−ザ出力強度を設定できるよう
になっている。
第９図（ａ）の周期Ｔの逆数Ｆ＝１／Ｔの周波数となる
。このパルス周波数Ｆはレーザ切断加工においては、１
００〜５００Ｈｚ程度の値で使用されるが、周波数の違
いによって加工条件は大きな差が出ないことか判明され
ているので、操作上では特に設定の頻度の多いパラメー
タではないので、パルス率設定器αｅを操作するだけで
、はとんどの陸工条件ル−ザ出力強度を設定できるよう
になっている。
また、レーザ発振器（１）は最大ビークレーザ出力と定
格平均レーザ出力とが異なるものがある。例えば、最大
ビークレーザ出力が定格出力の２倍の出力能力の発振器
があるとすると、第６図に示す動作特性図において、分
率器Ｇｌ）の分率が１．０である場合、すなわち最大ビ
ークレーザ出力を設定している場合、パルス率りを増加
すると平均レーザ出力ＷＡ／ｆｉ直線（３８） ’に通
り、ピークレーザ出力Ｗ ｐ ｔｒｉ直線（３９）ｔ−
通ることになる。パルス率りが０．５に達すると、平均
レーザ出力ｗＡは定格出力１．０になシ、リミッタ（ハ
）が動作し、（４０）の線で示すようにパルス率りが０
．５〜１．０では定格値１．０にクランプされる。この
ときのピークレーザ出力Ｗｐは、平均レーザ出力ＷＡが
一定にクランプされているために、 Ｗ Ｐ ＝ １／
Ｄの関係を示す曲線（４１）を通ることになる。
格平均レーザ出力とが異なるものがある。例えば、最大
ビークレーザ出力が定格出力の２倍の出力能力の発振器
があるとすると、第６図に示す動作特性図において、分
率器Ｇｌ）の分率が１．０である場合、すなわち最大ビ
ークレーザ出力を設定している場合、パルス率りを増加
すると平均レーザ出力ＷＡ／ｆｉ直線（３８） ’に通
り、ピークレーザ出力Ｗ ｐ ｔｒｉ直線（３９）ｔ−
通ることになる。パルス率りが０．５に達すると、平均
レーザ出力ｗＡは定格出力１．０になシ、リミッタ（ハ
）が動作し、（４０）の線で示すようにパルス率りが０
．５〜１．０では定格値１．０にクランプされる。この
ときのピークレーザ出力Ｗｐは、平均レーザ出力ＷＡが
一定にクランプされているために、 Ｗ Ｐ ＝ １／
Ｄの関係を示す曲線（４１）を通ることになる。
最大ビークレーザ出力と定格平均レーザ出力とが異なる
発振器は以上のような動作をすることによって、能力を
最大に発揮できるレーザ出力制御装置とすることができ
る。−１！た、遅れ時定数回路Ｑン）は、パルス率設定
器（１６１の設定値を急激に変化させたときに、レーザ
出力検出器ａ１の応答速度が遅いので、この遅れを補償
するために設けたものである０シｆｃがって、Ｄ／Ａり
換ＳＣ■の遅れと、遅れ時定数回路■の遅れとを加夛−
シたものが、レーザ出力検出器帥の遅れと巨１等になる
Ｌうに設定することによシ、レーザ出力強度を安定に制
御することができるようになっている。
発振器は以上のような動作をすることによって、能力を
最大に発揮できるレーザ出力制御装置とすることができ
る。−１！た、遅れ時定数回路Ｑン）は、パルス率設定
器（１６１の設定値を急激に変化させたときに、レーザ
出力検出器ａ１の応答速度が遅いので、この遅れを補償
するために設けたものである０シｆｃがって、Ｄ／Ａり
換ＳＣ■の遅れと、遅れ時定数回路■の遅れとを加夛−
シたものが、レーザ出力検出器帥の遅れと巨１等になる
Ｌうに設定することによシ、レーザ出力強度を安定に制
御することができるようになっている。
なお、上記実施例では遅れ時定数回路のは分率器Ｑυの
後段で、リミッタ＠の前段にある場合として説明とした
が、分率５＆１１の前段にしてもよく、またリミッタ（
ハ）の後段であってもよい。また、第７図は上記実施例
における分率器Ｑυの代りに乗算器（４２）による構成
を示し、Ｄ／Ａ変換変換器比力を端子Ｙに、電源（４６
）を端子Ｘにそれぞれ人力すると、出力ｚＦｉｚ＝ｘｙ
となって、電源は分率の動作を行うので、上記実施例と
同様の効果を奏する。
後段で、リミッタ＠の前段にある場合として説明とした
が、分率５＆１１の前段にしてもよく、またリミッタ（
ハ）の後段であってもよい。また、第７図は上記実施例
における分率器Ｑυの代りに乗算器（４２）による構成
を示し、Ｄ／Ａ変換変換器比力を端子Ｙに、電源（４６
）を端子Ｘにそれぞれ人力すると、出力ｚＦｉｚ＝ｘｙ
となって、電源は分率の動作を行うので、上記実施例と
同様の効果を奏する。
この発明は以上説明したとおり、パルス信号を平均値化
したもので、レーザ出力設定信号を変化させるように構
成したので、ピークレーザ出力を一定に制御しながら、
パルス率に対応して平均レーザ出力を変えることができ
る。このためレーザ発振器の能力を最大に発揮して、操
作は容易なレーザ出力制御装置が得られる効果がある。
したもので、レーザ出力設定信号を変化させるように構
成したので、ピークレーザ出力を一定に制御しながら、
パルス率に対応して平均レーザ出力を変えることができ
る。このためレーザ発振器の能力を最大に発揮して、操
作は容易なレーザ出力制御装置が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ出力制御装置
の構成図、第２図は遅れ時数回路の一例を示す回路図、
第３図にＩＪ ミッタの一例を示す回路図、第４図は第
３図のリミッタの動作を説明するための特性図、第５図
及び第６図はこの発明の一実施例の動作を説明するため
の特性図、第７図は分率器の他の実施例を示すブロック
図、第８図は従来のレーザ出力制御装置の構成図、第９
図（ａ）、 （ｂ） 、 （ｃ）ｔｆパルス出力の動作
を示すタイムチャート、第１０図は従来のレーザ出力制
御装置の動作を示す特性図である。 図において、（１）は発信器、（２＋Ｆｉ電源、（４）
はレーザ媒質ガス、（８）はレーザ光、ａｏ＋Ｆｉレー
ザ出力検出器、０５１はパルス信号発生器、０θはパル
ス率設定器、０ηはパルス周波数設定器、（１８はパル
ス信号、■はＤ／Ａ変換器、２１）は分率器、（社）は
遅れ時定数回路、（ハ）はリミッタである。 なお、図中の同一符号は同一部分ま７’Ｃｔ−を相当部
分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗第１Ｆ 乙゛ １ ニレ−ず建邦」落 ２：有、堺 ４ ：レーケ゛媒Ｉｙ７χ ８：レプ゛先 １０：レーザー九ブフ賓会１式羞１ １４Ｊ初ｌ仕度指令ｎ− １５二八シ久イ寡テ涜Ｗ１象 １６二八１ス牟１比宅鳶に １７：／ｊＬス躍目贋ｂ１定之】二 旧：へまた１号 ２０：Ｄ／Ａ笈撞器 ２ド＋苧器 ２２：峙定皺ｒ］外 ２３ニリミ、！ 第５図 第６図 第８図 ↓ 第９図 第１０図 手続補正書（自発） 昭和６０年１１ 月２１ 日
の構成図、第２図は遅れ時数回路の一例を示す回路図、
第３図にＩＪ ミッタの一例を示す回路図、第４図は第
３図のリミッタの動作を説明するための特性図、第５図
及び第６図はこの発明の一実施例の動作を説明するため
の特性図、第７図は分率器の他の実施例を示すブロック
図、第８図は従来のレーザ出力制御装置の構成図、第９
図（ａ）、 （ｂ） 、 （ｃ）ｔｆパルス出力の動作
を示すタイムチャート、第１０図は従来のレーザ出力制
御装置の動作を示す特性図である。 図において、（１）は発信器、（２＋Ｆｉ電源、（４）
はレーザ媒質ガス、（８）はレーザ光、ａｏ＋Ｆｉレー
ザ出力検出器、０５１はパルス信号発生器、０θはパル
ス率設定器、０ηはパルス周波数設定器、（１８はパル
ス信号、■はＤ／Ａ変換器、２１）は分率器、（社）は
遅れ時定数回路、（ハ）はリミッタである。 なお、図中の同一符号は同一部分ま７’Ｃｔ−を相当部
分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗第１Ｆ 乙゛ １ ニレ−ず建邦」落 ２：有、堺 ４ ：レーケ゛媒Ｉｙ７χ ８：レプ゛先 １０：レーザー九ブフ賓会１式羞１ １４Ｊ初ｌ仕度指令ｎ− １５二八シ久イ寡テ涜Ｗ１象 １６二八１ス牟１比宅鳶に １７：／ｊＬス躍目贋ｂ１定之】二 旧：へまた１号 ２０：Ｄ／Ａ笈撞器 ２ド＋苧器 ２２：峙定皺ｒ］外 ２３ニリミ、！ 第５図 第６図 第８図 ↓ 第９図 第１０図 手続補正書（自発） 昭和６０年１１ 月２１ 日
Claims (3)
- （１）レーザ媒質を励起することによつてレーザ出力を
得るレーザ発振器と、上記レーザ媒質を励起するための
電源と、パルス率設定器およびパルス周波数設定器によ
り決められたパルス信号を発生するパルス信号発生器と
、上記のレーザ出力を検出するレーザ出力検出器とを備
えた装置において、上記パルス信号をＤ／Ａ変換器によ
つて平均値化し、この出力を分率器に入力させ、この分
率器の出力信号と上記レーザ出力検出器の出力信号との
偏差を増幅して上記電源の励起強度指令信号とするとと
もに、上記パルス信号によつてこの励起強度指令信号を
断続させることを特徴とするレーザ出力制御装置。 - （２）分率器の出力にリミッタを挿入したことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のレーザ出力制御装置。 - （３）分率器の出力に遅れ時定数回路を挿入したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載のレ
ーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1859285A JPS61177786A (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | レ−ザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1859285A JPS61177786A (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | レ−ザ出力制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61177786A true JPS61177786A (ja) | 1986-08-09 |
Family
ID=11975905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1859285A Pending JPS61177786A (ja) | 1985-02-04 | 1985-02-04 | レ−ザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61177786A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988002939A1 (en) * | 1986-10-14 | 1988-04-21 | Fanuc Ltd | Laser device |
-
1985
- 1985-02-04 JP JP1859285A patent/JPS61177786A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988002939A1 (en) * | 1986-10-14 | 1988-04-21 | Fanuc Ltd | Laser device |
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