JPS61174808A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、広帯域フィルタとして使用される斜め電極指
トランスジューサを用いた弾性表面波フィルタに関し、
特に通過帯域特性を制御できる弾性表面波フィルタに関
するものである。

（従来の技術） 広帯域フィルタを弾性表面波トランスジューサで実現す
る場合、その電極としてアボダイズ電極や分散形電極を
用いろよりも斜め電極指を用いる方が低挿入損失特性を
有し、また肩特性が良好であることが知られている。

斜め電極指トランスジューサは、第３図、第４図に示す
ように、圧電基板（図示せず）上に形成された第１の共
通電極１より導出される電極指ａ、ａ、ａ、ａ　　と第
２の共通電極２より導出される電極指ｂ　、ｂ　、ｂと
が正規形のような平行な電極指ではなく、励起される弾
性表面波の伝搬方向に垂直なＹ軸に関して夫々幅が変化
し。

また点線図示のように伝搬方向に水平なＸ軸に関してチ
ャンネルＡ、Ｂ、Ｃを平行に分割するとこれらチャンネ
ルＡ、Ｂ、Ｃ内の電極周期λ、斜め電極指ａ、ｂの幅で
あるラインＬと斜め電極指ａ、ｂ間のスペースＳとでな
る電極線幅比Ｒ＝１□、の値は一定になるように形成さ
れている。

この場合の励起する弾性表面波は、電極周期λが長い長
さλｔを有するチャンネルＡの所では低い周波数ｆａが
、短かい長さλ３を有するチャンネルＣの所では高い周
波数ｆｂが、中間の長さλ□を有するチャンネルＢの所
では中間の周波数ｆｍが夫々得られるものである。

（発明が解決しようとする問題点） この従来の斜め電極指トランスジューサを用いた弾性表
面波フィルタは、第５図Ａ、Ｂで示てように通過帯域ｆ
ａ−ｆｂ内で高周波側または低周波側で傾くという特性
がある。

このため通過帯域特性を平坦にする方法として。

外部回路を用いて補正する方法や斜め電極指をチャンネ
ル分割した時の各チャンネル内の電極対数を変化させて
重み付けする方法（吉川昭吉部、谷津田博美、山本文治
二″′対数重み付は斜め電極指を用いた広帯域弾性表面
波フィルタ″。

電子通信学会超音波研究会資料　ＵＳ　８４−３１゜昭
５９−０９−２８　）等が提案されている。

本発明は、上記従来技術の弾性表面波フィルタが有する
通過帯域特性の傾きを斜め電極指トランスジー−サの斜
め電極指の電極線幅比を変えることにより平坦化するこ
とのできる新規な弾性表面波フィルタの提供を目的とす
るものである。

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明では、圧電基板上に形成
された斜め電極指トランスジューサを用いた弾性表面波
フィルタにおいて、励起される弾性表面波の伝搬方向に
垂直なＹ軸の各位置における斜め電極指の電極線幅比Ｒ
＝−に＝Ｌ＋Ｓ の値が夫々異なるように形成されたものである。

（作　用） 斜め電極指トランスジューサの斜め電極指の電極線幅比
Ｒを例えば実施例に対応する第１図に示すように励起さ
れる弾性爪面波の伝搬方向のＸ軸に平行に電極周期λの
長いチャンネルＤ。

中間のチャンネルＥ、Ｆ、Ｇ、短かいチャンネルＨにお
ける各電極線幅比Ｒｄ−Ｒｈを例えば夫々Ｒｄ　＝０．
３　、　Ｒｅ＝０．３５　、　Ｒｆ　＝０．４　、　Ｒ
ｇ＝Ｏ１４５゜Ｒｈ＝０．５とすると、電極線幅比Ｒに
対する実効電気機械結合係数にの特性は第２図に示すよ
ってなり、Ｒ４＝０．５において最大の値を有するもの
である。

この場合、チャンネルＤ、Ｆ、Ｈでは夫々低い周波数ｆ
ｄ、中間の周波数ｆｆ、高い周波数ｆｎが励起される。

即ち、電極線幅比Ｒを各チャンネルに対応して異なるよ
うにすると実効電気機械結合係数Ｋが変化して、斜め電
極指トランスジューサの弾性表面波の励振効率も変化す
るものである。

従って、第５図Ａで示した高周波側で傾く通過帯域特性
を平坦化するには、この特性曲線とは反対の特性曲線を
示すような電極線幅比に対する実効電気機械結合係数曲
線を所望の周波数範囲内で斜め電極指の形状を変えて電
極線幅比ＲをＹ軸の各位置で求めることにより達成でき
る。

尚９第５図Ｂで示した低周波側で傾く通過帯域特性を平
坦化することも上述と同様の方法で達成することができ
る。

（実施例） 以下図面に示した実施例に基づき本発明を説明する。

第１図は本発明による一実施例を示す斜め電極指トラン
スジューサの要部構成を示し、第３図、第４図で示した
従来の斜め電極指トランスジューサと同様に圧電基板（
図示せず）上に。

第１の共通電極３より導出された斜め電極指ｍ。

ｍ、ｍ、ｍと第２の共通電極４より導出された斜め電極
指ｎ、ｎ、ｎとは同一形状をなして互に交叉して配置さ
れ、これら斜め電極指ｍ、ｎの夫々の幅であるラフイン
Ｌと斜め電極指ｍ、ｎ間のスペースＳとでなる電極線幅
比Ｒ＝−互−が励Ｌ＋Ｓ 起される弾性表面波の伝播方向に垂直なＹ軸の各位置に
おいて夫々異なるように形成されている。

今、斜め電極指トランスジューサを用いた弾性表面波フ
ィルタが第５図Ａで示したように高い周波数ｆｂ側に傾
く通過帯域特性を有する場合。

この低い周波数ｆ、から高い周波数ｆｂまでの傾き曲線
Ｐとは反対の傾き曲線を有する実効電気機械結合係数曲
線を電極線幅比Ｒを変えて求め。

この曲線Ｑが例えば第２図の電極線幅比ＲがＲｄ（＝０
．３）とＲｈ（＝０．５）との間で一致したとする。

この場合、電極線幅比Ｒｍ（＝０．５）であるチャンネ
ルＨで励振される周波数ｆｈが第５図Ａの高い周波数ｆ
ｂに、同様に電極線幅比Ｒｄ（＝０．３）であるチャン
ネルＤで励振される周波数ｆｄが低い周波数ｆ、に、電
極線幅比Ｒ（＝０．４）であるチャンネルＦで励振され
る周波数ｆｔが中間の周波数ｆｒｒＶｃなるようにチャ
ンネルＤ、Ｆ、Ｈの電極周期λを定める。

このように斜め電極指トランスジスーサで励振される周
波数ｆａ＝ｆｔの励振効率は９弾性表面波の伝播方向に
垂直なＹ軸の各位置における斜め電極指の電極線幅比Ｒ
を変えることにより第５図Ａで示した高い周波数ｆｂ側
に傾く特性とは反対の特性が得られるので９弾性表面波
フィルタの通過帯域特性を平坦化することができるもの
である。

上述では、チャンネルＤ、Ｆ’、Ｈにおける電極線幅比
Ｒｄ　、Ｒｆ　＋　Ｒｈを代表例として説明したが。

弾性表面波フィルタの有する通過帯域特性の傾きを平坦
化するには、更て多くのチャンネルを設げ、これらチャ
ンネル毎に対応する電極線幅比Ｒにより達成される。

尚、第５図Ｂで示した低い周波数ｆａ側に傾く特性を平
坦化するには、上述の第５図Ａの場合とは逆に、チャン
ネルＤ、Ｆ、Ｈにおける例えば電極線幅比Ｒｄ　＝０．
５　、　Ｒｆ　＝０．６　、　Ｒｈ＝０．７で得られる
低い周波数ｆａ側に傾く特性とは反対の特性を有する周
波数ｆｄ−ｆｈの励振効率により可能となる。

更に、斜め電極指の形状は、第１図で示した直線状に限
らず１曲線状でも、また階段状でもよいもので、要する
に、斜め電極指は、その電極周期λが励起される弾性表
面波の伝播方向と平行なＸ軸内では一定であり、かつそ
の電極線幅比が励起される弾性表面波の伝播方向と垂直
なＹ軸の各位置で異なるように形成されるものである。

（発明の効果） 以上説明したように１本発明による弾性表面波フィルタ
は、その斜め電極指トランスジューサの斜め電極指が励
起する励振波の伝播方向と垂直なＹ軸の各位置において
電極線幅比を異なるようにしたものであるから励起する
弾性表面波の励振効率を励振周波数に応じて変化させる
ことができ、所望の通過帯域特性を実現することのでき
る大なる特徴を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による弾性表面波フィルタに使用される
斜め電極指トランスジューサの一実施例の要部正面図、
第２図は斜め電極指の電極線幅比に対する実効電気機械
結合係数特性図。 第３図、第４図は従来の弾性表面波フィルタに使用され
る斜め電極指トランスジューサの一例の要部正面図、第
５図Ａ、Ｂは同弾性表面波フィルタの通過帯域特性図で
ある。 １．３・・・第１の共通電極、２，４・・・第２の共通
電極、ａ、ｂ、ｍ、ｎ−斜め電極指、Ａ、Ｂ、Ｃ。 Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｉ（・・・チャンネル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧電基板上に形成された斜め電極指トランスジューサを
   用いた弾性表面波フィルタにおいて、励起される弾性表
   面波の伝搬方向に垂直なＹ軸の各位置における上記斜め
   電極指の電極線幅比が夫々異なるように形成されたこと
   を特徴とする弾性表面波フィルタ。