JPS61164609A - 真空ポンプ廃オイルの再生方法 - Google Patents
真空ポンプ廃オイルの再生方法Info
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- JPS61164609A JPS61164609A JP60005272A JP527285A JPS61164609A JP S61164609 A JPS61164609 A JP S61164609A JP 60005272 A JP60005272 A JP 60005272A JP 527285 A JP527285 A JP 527285A JP S61164609 A JPS61164609 A JP S61164609A
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- Japan
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- waste oil
- oil
- vacuum pump
- inert gas
- harmful gases
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
- C10M—LUBRICATING COMPOSITIONS; USE OF CHEMICAL SUBSTANCES EITHER ALONE OR AS LUBRICATING INGREDIENTS IN A LUBRICATING COMPOSITION
- C10M175/00—Working-up used lubricants to recover useful products ; Cleaning
- C10M175/0008—Working-up used lubricants to recover useful products ; Cleaning with the use of adsorbentia
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Compressor (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空ポンプに対して有害なガスを吸引する真
空ポンプのオイル中に、有害ガス、腐食性および摩耗性
不純分が蓄積して、使用出来なくなったオイルの再生方
法に関する。
空ポンプのオイル中に、有害ガス、腐食性および摩耗性
不純分が蓄積して、使用出来なくなったオイルの再生方
法に関する。
従来、真空ポンプに対して有害なガスを吸引して減圧度
を保持し゛なゆればならない、例えば半導体産業などに
おいては、真空ボレプオイルの劣化が早く、また、比較
的高価なオイルを使用しているため、廃オイルの再生は
重要な技術課題となっている。
を保持し゛なゆればならない、例えば半導体産業などに
おいては、真空ボレプオイルの劣化が早く、また、比較
的高価なオイルを使用しているため、廃オイルの再生は
重要な技術課題となっている。
特に人ｅドライエツチング用ロータリー真空ポンプでは
、吸引した有害ガスの溶解、或いに’ＸＡｌｃｌａ等の
微粒子、酸分、水分、オイル分解物等の蓄積により比較
的短時間で所定の真空度が保持出来なくなり、頻繁に真
空ポンプの整備を行うとともに１オイルを交換しなけれ
ばならない。新しいオイルと交換した廃オイルは、通常
、処理業者によって再生が行なわれているが、これには
上記有害ガスその他が含有されており、再生が困難と云
われている。事実、処理業者による再生は、処理費が高
く、処理に時間を要するため、真空ポンプオイルの保有
量が増大し、特く、処理オイルの粘度が高過ぎたり、オ
イル分解物の除去が不充分である等、再生オイルの品質
が安定しない欠点があった。
、吸引した有害ガスの溶解、或いに’ＸＡｌｃｌａ等の
微粒子、酸分、水分、オイル分解物等の蓄積により比較
的短時間で所定の真空度が保持出来なくなり、頻繁に真
空ポンプの整備を行うとともに１オイルを交換しなけれ
ばならない。新しいオイルと交換した廃オイルは、通常
、処理業者によって再生が行なわれているが、これには
上記有害ガスその他が含有されており、再生が困難と云
われている。事実、処理業者による再生は、処理費が高
く、処理に時間を要するため、真空ポンプオイルの保有
量が増大し、特く、処理オイルの粘度が高過ぎたり、オ
イル分解物の除去が不充分である等、再生オイルの品質
が安定しない欠点があった。
本発明は上記の事情に鑑み、処理業者の手をわずられす
ことなく、廃オイルが発生する場所において、品質が安
定して容易に再生することが出来る真空ポンプ廃オイル
の再生方法を提供することを目的とする。
ことなく、廃オイルが発生する場所において、品質が安
定して容易に再生することが出来る真空ポンプ廃オイル
の再生方法を提供することを目的とする。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
その要旨は、真空ポンプ廃オイルを４０〜８０℃に加熱
、保持しながら、不活性ガスを送入して溶存する有害ガ
スを除去し、この有害ガスを含有する不活性ガスを吸着
剤と接触させて有害ガスを吸着除去した後放出し、次い
で有害ガスを除去した真空ポンプ廃オイルを、無定形シ
リカアルミナと、クイック土、ゼオライト或いはシリカ
ゲルから選ばれた少なくとも１ｍよりなる清浄剤く接触
させ、微粒子、酸分、水分、オイル分解物等、府外ガス
以外の不純分を除去する真空ポンプ廃オイルの再生方法
にある。
その要旨は、真空ポンプ廃オイルを４０〜８０℃に加熱
、保持しながら、不活性ガスを送入して溶存する有害ガ
スを除去し、この有害ガスを含有する不活性ガスを吸着
剤と接触させて有害ガスを吸着除去した後放出し、次い
で有害ガスを除去した真空ポンプ廃オイルを、無定形シ
リカアルミナと、クイック土、ゼオライト或いはシリカ
ゲルから選ばれた少なくとも１ｍよりなる清浄剤く接触
させ、微粒子、酸分、水分、オイル分解物等、府外ガス
以外の不純分を除去する真空ポンプ廃オイルの再生方法
にある。
以下本発明に係る真空ポンプ廃オイルの再生方法を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
第１図は、本発明の方法を実施する装置の一例を示すも
ので、図中符号１は放散槽である。放散［１の上部には
、廃オイルを放散槽ｌに注入する注入管２および気体導
出管３が取付けられている。
ので、図中符号１は放散槽である。放散［１の上部には
、廃オイルを放散槽ｌに注入する注入管２および気体導
出管３が取付けられている。
上記注入管２には、パルプ２１Ｌが取付げられ、また気
体導出管３は、有害ガス吸着筒４に接続されている。こ
の有害ガス吸着筒４には活性炭、シリカゲル、ゼオライ
ト等の吸着剤４ａが充填されている。また、上記放散Ｎ
１の内底部には、充填されている廃オイル５内ＫＮ、等
の不活性ガスを吹込む不活性ガス吹込管６が設けられ、
この吹込管６のやや上部には、充填されている扁オイル
５を刀ａ熱し、所定温度に保持するヒータ７が投げられ
ている。また放散Ｗ１１の底部には、有害ガスを除去し
た廃オイル５を、ダイヤフラム定量ポンプ８＆を介して
抜出し、清浄筒９に送る抜出管８が取付けられている。
体導出管３は、有害ガス吸着筒４に接続されている。こ
の有害ガス吸着筒４には活性炭、シリカゲル、ゼオライ
ト等の吸着剤４ａが充填されている。また、上記放散Ｎ
１の内底部には、充填されている廃オイル５内ＫＮ、等
の不活性ガスを吹込む不活性ガス吹込管６が設けられ、
この吹込管６のやや上部には、充填されている扁オイル
５を刀ａ熱し、所定温度に保持するヒータ７が投げられ
ている。また放散Ｗ１１の底部には、有害ガスを除去し
た廃オイル５を、ダイヤフラム定量ポンプ８＆を介して
抜出し、清浄筒９に送る抜出管８が取付けられている。
上記清浄筒９には、無定形シリカアルミナ、（例えば日
揮化学製、商品名Ｎ６３５、ＨＮ等）Ａ等と、クイック
土、ゼオライト或いはシリカゲルから選ばれた少なくと
も１種Ｂを混合した清浄剤Ｃが充填されている。
揮化学製、商品名Ｎ６３５、ＨＮ等）Ａ等と、クイック
土、ゼオライト或いはシリカゲルから選ばれた少なくと
も１種Ｂを混合した清浄剤Ｃが充填されている。
清浄剤ＣのＡとＢとの混合割合は、人が多い方がＣの固
化が発生せず、Ａ／Ｂ＝１ ｗｔ／１ ｖｔ。
化が発生せず、Ａ／Ｂ＝１ ｗｔ／１ ｖｔ。
〜３ ｗ ｔ ／ Ｉ Ｗ ｔが好ましい。
上記装置を用いて真空ポンプより抜出した廃オイルを再
生するには、先ず廃オイルをパルプ２＆を開き、放散槽
１に注入管２を介して注入し、パルプ２ａを閉じる。こ
の場合廃オイルの注入量は、放散槽１の容量のＸＡ程度
が好ましい。あまり多いと、後述する不活性ガスを導入
してバブルさせる際飛−沫同伴が発生する。
生するには、先ず廃オイルをパルプ２＆を開き、放散槽
１に注入管２を介して注入し、パルプ２ａを閉じる。こ
の場合廃オイルの注入量は、放散槽１の容量のＸＡ程度
が好ましい。あまり多いと、後述する不活性ガスを導入
してバブルさせる際飛−沫同伴が発生する。
次いでヒータ７により昇温し、４０〜８０°Ｃ１好まし
くは、５０〜６０℃に保持しながら、不活性ガス吹込管
６より不活性ガスを導入し、廃オイル中にバブルさせる
。有害ガスは不活性ガスによって追出され、不活性ガス
とともに気体導出管３により有害ガス吸ｙｔ！筒４に導
かれ、吸着剤４＆によって吸着除去され、不活性ガスは
、排気ダクト等に放出される。
くは、５０〜６０℃に保持しながら、不活性ガス吹込管
６より不活性ガスを導入し、廃オイル中にバブルさせる
。有害ガスは不活性ガスによって追出され、不活性ガス
とともに気体導出管３により有害ガス吸ｙｔ！筒４に導
かれ、吸着剤４＆によって吸着除去され、不活性ガスは
、排気ダクト等に放出される。
上記真空ポンプオイルとしては７オンプリン、シリコン
油等が使され、例えばフォンプリンの動粘度は、２０°
Ｃ：２５０ｃｓｔ、４０”Ｃニア０〜８０ａｇｔ、８０
℃： ２ Ｄ ｏａｔである。したがって、上記廃オイ
ルの温度が４０°Ｃより低いと、オイルの粘度の低下と
オイルに対する有害ガスの溶解度の低下が充分でなく有
害ガスの不活性ガス中への移行が遅くなり、また、８０
°Ｃ以上では、不活性ガス中に混入するオイルベーパの
寸が増大する。
油等が使され、例えばフォンプリンの動粘度は、２０°
Ｃ：２５０ｃｓｔ、４０”Ｃニア０〜８０ａｇｔ、８０
℃： ２ Ｄ ｏａｔである。したがって、上記廃オイ
ルの温度が４０°Ｃより低いと、オイルの粘度の低下と
オイルに対する有害ガスの溶解度の低下が充分でなく有
害ガスの不活性ガス中への移行が遅くなり、また、８０
°Ｃ以上では、不活性ガス中に混入するオイルベーパの
寸が増大する。
また、有害ガス除去には必ずしも不活性ガスを必要とし
ないが、空気等ではオイルの劣化を促進する問題が発生
し、導入ガス量が多いと、オイルミストを同伴して、オ
イルの損失となり、さらく吸着剤４ａを劣化させる。有
害ガスとしては、それぞれの場合によって種々なものが
あるが、例えばＡｌドライエツチングにおいては、ＢＣ
Ｉ、。
ないが、空気等ではオイルの劣化を促進する問題が発生
し、導入ガス量が多いと、オイルミストを同伴して、オ
イルの損失となり、さらく吸着剤４ａを劣化させる。有
害ガスとしては、それぞれの場合によって種々なものが
あるが、例えばＡｌドライエツチングにおいては、ＢＣ
Ｉ、。
Ｓ ｔｃｌ１４． Ｃｅｔ 、 ＣＣｌ１＋ ｔ ＨＣ
ｌ１等塩素系ノモノテする。
ｌ１等塩素系ノモノテする。
有害ガスを除去した廃オイ／Ｌ１５は、ダイヤ７ラムポ
ンプ８＆により所定の流速で抜出管８を介して清浄筒９
に送られ、清浄剤Ｃと接触される。清浄剤Ｃは、オイル
内に含有される酸分、水分、１μｍ以上の劣化物よりな
る微粒子、オイル分解物等よりなる不純分を同時に除去
するので、清浄筒９を通過した再生オイルｌＯは、上記
不純分を含有しない。
ンプ８＆により所定の流速で抜出管８を介して清浄筒９
に送られ、清浄剤Ｃと接触される。清浄剤Ｃは、オイル
内に含有される酸分、水分、１μｍ以上の劣化物よりな
る微粒子、オイル分解物等よりなる不純分を同時に除去
するので、清浄筒９を通過した再生オイルｌＯは、上記
不純分を含有しない。
上記製置の各部の規模は、再生するオイルの量、および
含有される不純分によって適宜選択され、また、有害ガ
ス吸着筒４、清浄筒９は、一般に行なわれているような
、着脱自在なカートリッジ方式を採用することによりワ
ンタッチで行なうことが出来るので、人手を要せず、真
空ポンプを使用している現場で廃オイルを再生すること
が出来る。
含有される不純分によって適宜選択され、また、有害ガ
ス吸着筒４、清浄筒９は、一般に行なわれているような
、着脱自在なカートリッジ方式を採用することによりワ
ンタッチで行なうことが出来るので、人手を要せず、真
空ポンプを使用している現場で廃オイルを再生すること
が出来る。
さらに、本発明の方法は、廃オイルの黛が増加した場合
には、連続処理する装置とすることが出来る。
には、連続処理する装置とすることが出来る。
〔実施例１〜３〕
３ｇの放散筒に、ＡＪドライエツチングに使用した７オ
ンプリン廃オイル１．５ｅを入れてパルプを閉じ加熱し
、５０〜６０°Ｃに保持しながら不活性ガス吹込管より
Ｎ、を２（１／ｗｔの流速で導入し、有害ガスをストリ
ツビン乞し二たこの有害ガスを含有したＮ、を活性炭：
１０ ａｄ或いはセオライト１００ゴ充填した２０朋
ｐＸ３００ｓｒ＊Ｌの有害ガス吸着筒に通し、通過した
Ｎ、中のＢＣ６ａｔ’４’ｔをがクロマトグラフにより
測定した結果いずれも１卿ｖｏｌ以下であった。
ンプリン廃オイル１．５ｅを入れてパルプを閉じ加熱し
、５０〜６０°Ｃに保持しながら不活性ガス吹込管より
Ｎ、を２（１／ｗｔの流速で導入し、有害ガスをストリ
ツビン乞し二たこの有害ガスを含有したＮ、を活性炭：
１０ ａｄ或いはセオライト１００ゴ充填した２０朋
ｐＸ３００ｓｒ＊Ｌの有害ガス吸着筒に通し、通過した
Ｎ、中のＢＣ６ａｔ’４’ｔをがクロマトグラフにより
測定した結果いずれも１卿ｖｏｌ以下であった。
次いで有害ガスを除去した廃オイルを、種々な清浄剤１
５０ｒｕｌを充填した２０趨ｍＸ４００玉りの清浄筒に
１〜２ｍｌ／ｓ＋＋の流速で通し、通過したオイル中の
不純分を測定した。
５０ｒｕｌを充填した２０趨ｍＸ４００玉りの清浄筒に
１〜２ｍｌ／ｓ＋＋の流速で通し、通過したオイル中の
不純分を測定した。
不純分の測定方法は改の方法による。酸分は
ＩＣｅ−１ＢＣＩ、等であるがＨＣＩＩ換算値で示
し、水分はカールフィッシャー法、オイル分解物は液体
クロマトグラフ法で行なった。また、微粒子の測定は、
ＪＩＳ−ＫＤ１０２の工業排水試験法中の懸融物質試験
に皐じ、α４５μｍのメンブランフィルタ−で濾過し、
重量差によって求めた。その際のオイルの洗浄および溶
媒としてはフロン１１３を使用した。また、有害ガスは
、Ｎ！で追出し、Ｎ、中の有害ガス濃度をガスクロマト
グラフで測定した。
ＩＣｅ−１ＢＣＩ、等であるがＨＣＩＩ換算値で示
し、水分はカールフィッシャー法、オイル分解物は液体
クロマトグラフ法で行なった。また、微粒子の測定は、
ＪＩＳ−ＫＤ１０２の工業排水試験法中の懸融物質試験
に皐じ、α４５μｍのメンブランフィルタ−で濾過し、
重量差によって求めた。その際のオイルの洗浄および溶
媒としてはフロン１１３を使用した。また、有害ガスは
、Ｎ！で追出し、Ｎ、中の有害ガス濃度をガスクロマト
グラフで測定した。
試験に使用した廃オイルは、ＡＩドライエツチングに２
００時間使用したロータリーポンプのオイルで、その不
純分濃度を第１表に示した。また、この廃オイルを再生
処理した実施例の結果を第２表に示した。
００時間使用したロータリーポンプのオイルで、その不
純分濃度を第１表に示した。また、この廃オイルを再生
処理した実施例の結果を第２表に示した。
以上述べた如く、本発明の方法は、簡単な装置、操作に
より廃オイル中に含まれる有害ガス、酸分、水分、微粒
子、オイル分解物が除去されるので、オイルを使用する
場所において廃オイルの再生が可能となり、また、廃オ
イルの処理量に合わせて装置の規模を選ぶことが出来、
処理業者を必要としないので、処（珈費の節約、オイル
保有量の減少など、その経済的効果は極めて大きい。
より廃オイル中に含まれる有害ガス、酸分、水分、微粒
子、オイル分解物が除去されるので、オイルを使用する
場所において廃オイルの再生が可能となり、また、廃オ
イルの処理量に合わせて装置の規模を選ぶことが出来、
処理業者を必要としないので、処（珈費の節約、オイル
保有量の減少など、その経済的効果は極めて大きい。
第１図は本発明の方法を実施する装置の一例を示す図で
ある。 １・・・・・・放散槽、２・・・・・・注入管、２ａ・
・・・・・パルプ、３・・・・・・気体導出管、４・・
・・・・有害ガス吸着筒、４ａ・・・・・・吸着剤、５
・・・・・・廃オイル、６・・・・・・不活性ガス吹込
管、７・・・・・・ヒータ、８・・・・・・抜出管、８
ａ・・・・・・ダイヤフラム定盆ポング、９・・・・・
・清浄筒、１０・・・・・・再生オイル、Ａ・・・・・
・無定形シリカアルミナ、Ｂ・・・・・・ケインウ土、
ゼオライト、シリカゲル中の少なくとも１種、Ｃ・・・
・・・清浄剤。
ある。 １・・・・・・放散槽、２・・・・・・注入管、２ａ・
・・・・・パルプ、３・・・・・・気体導出管、４・・
・・・・有害ガス吸着筒、４ａ・・・・・・吸着剤、５
・・・・・・廃オイル、６・・・・・・不活性ガス吹込
管、７・・・・・・ヒータ、８・・・・・・抜出管、８
ａ・・・・・・ダイヤフラム定盆ポング、９・・・・・
・清浄筒、１０・・・・・・再生オイル、Ａ・・・・・
・無定形シリカアルミナ、Ｂ・・・・・・ケインウ土、
ゼオライト、シリカゲル中の少なくとも１種、Ｃ・・・
・・・清浄剤。
Claims (1)
- 真空ポンプ廃オイルを４０〜８０℃に加熱、保持しなが
ら、不活性ガスを送入して溶存する有害ガスを除去し、
この有害ガスを含有する不活性ガスを吸着剤と接触させ
て有害ガスを吸着除去した後放出し、次いで有害ガスを
除去した真空ポンプ廃オイルを、無定形シリカアルミナ
と、ケイソウ土、ゼオライト或いはシリカゲルから選ば
れた少なくとも１種よりなる清浄剤に接触させ、微粒子
、酸分、水分、オイル分解物等、有害ガス以外の不純分
を除去することを特徴とする真空ポンプ廃オイルの再生
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005272A JPS61164609A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 真空ポンプ廃オイルの再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005272A JPS61164609A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 真空ポンプ廃オイルの再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164609A true JPS61164609A (ja) | 1986-07-25 |
| JPS645928B2 JPS645928B2 (ja) | 1989-02-01 |
Family
ID=11606593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005272A Granted JPS61164609A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | 真空ポンプ廃オイルの再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164609A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04127879U (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-20 | 株式会社豊田自動織機製作所 | 圧縮機 |
| KR100407161B1 (en) * | 2003-04-21 | 2003-11-28 | Korea Mach & Materials Inst | Apparatus of removing water contained in waste lubricant oil and method therefor |
| KR100407159B1 (en) * | 2003-04-21 | 2003-11-28 | Korea Mach & Materials Inst | Apparatus of purifying waste lubricant oil and method therefor |
| KR100739414B1 (ko) * | 2006-06-23 | 2007-07-13 | 권선대 | 오일 확산진공 증류장치 및 방법 |
| CN107287016A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-10-24 | 西安热工研究院有限公司 | 风电齿轮油富氧超极再生方法及再生器 |
| CN107694549A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-02-16 | 苏州博进生物技术有限公司 | 用于矿物废机油再生的吸附剂及其使用方法 |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP60005272A patent/JPS61164609A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04127879U (ja) * | 1991-05-13 | 1992-11-20 | 株式会社豊田自動織機製作所 | 圧縮機 |
| KR100407161B1 (en) * | 2003-04-21 | 2003-11-28 | Korea Mach & Materials Inst | Apparatus of removing water contained in waste lubricant oil and method therefor |
| KR100407159B1 (en) * | 2003-04-21 | 2003-11-28 | Korea Mach & Materials Inst | Apparatus of purifying waste lubricant oil and method therefor |
| WO2004094578A1 (en) * | 2003-04-21 | 2004-11-04 | Korea Institute Of Machinery And Materials | Apparatus for purifying waste lubricant and method of purifying waste lubricant using the same |
| KR100739414B1 (ko) * | 2006-06-23 | 2007-07-13 | 권선대 | 오일 확산진공 증류장치 및 방법 |
| CN107287016A (zh) * | 2017-07-10 | 2017-10-24 | 西安热工研究院有限公司 | 风电齿轮油富氧超极再生方法及再生器 |
| CN107694549A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-02-16 | 苏州博进生物技术有限公司 | 用于矿物废机油再生的吸附剂及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS645928B2 (ja) | 1989-02-01 |
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