JPS61162934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61162934U JPS61162934U JP4623485U JP4623485U JPS61162934U JP S61162934 U JPS61162934 U JP S61162934U JP 4623485 U JP4623485 U JP 4623485U JP 4623485 U JP4623485 U JP 4623485U JP S61162934 U JPS61162934 U JP S61162934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- gas
- refrigerant
- refrigerant tank
- ion source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
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- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
添附図面は本考案の一実施例を示す構成略図で
ある。 １：エミツターチツプ、２：ホルダ、３：冷媒
槽、４：熱絶縁物、５：イオン源室、６：供給パ
イプ、７：液体ヘリウム、８，１９：排出パイプ
、９：引出電極、１０：電極支持台、１１：筒体
、１２：空間、１３：導入パイプ、１４：第１の
熱交換器、１８：第２の熱交換器。
ある。 １：エミツターチツプ、２：ホルダ、３：冷媒
槽、４：熱絶縁物、５：イオン源室、６：供給パ
イプ、７：液体ヘリウム、８，１９：排出パイプ
、９：引出電極、１０：電極支持台、１１：筒体
、１２：空間、１３：導入パイプ、１４：第１の
熱交換器、１８：第２の熱交換器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) エミツターチツプと、該チツプの近傍に配
置され、このチツプを冷却するための冷媒が係給
される冷媒槽と、前記チツプの周囲にイオン化さ
れるガスを供給する手段と、前記チツプに対向し
て配置される引出電極と、前記冷媒槽からの気化
ガスを外部に排出するための排出パイプとを備え
た装置において、前記排出パイプの途中に熱交換
部を設け、該パイプを冷却するように構成したガ
スフエーズイオン源。 (2) 前記熱交換部に前記引出電極冷去用の冷媒
ガスを供給するように構成した実用新案登録請求
の範囲第(1)項に記載のガスフエーズイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4623485U JPS61162934U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4623485U JPS61162934U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61162934U true JPS61162934U (ja) | 1986-10-08 |
Family
ID=30560443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4623485U Pending JPS61162934U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61162934U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57180047A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Ion beam generator |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP4623485U patent/JPS61162934U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57180047A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-05 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Ion beam generator |
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