JPS61160075A

JPS61160075A - 液面高さ計測装置

Info

Publication number: JPS61160075A
Application number: JP187985A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Horikawa; 堀川　義男; Kazuaki Kimura; 和昭木村; Hiroo Sugai; 菅井　博雄
Original assignee: Tokyo Optical Co Ltd
Current assignee: Tokyo Optical Co Ltd
Priority date: 1985-01-09
Filing date: 1985-01-09
Publication date: 1986-07-19
Anticipated expiration: 2009-03-16
Also published as: EP0188393B1; JPH0619432B2; DE3663593D1; EP0188393A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、光波を利用して被測距対象物までの距離を測
定する光波距離計に関するものであり、更に詳しくは、
その光波距離計を使用して被測距液面の高さを計測する
液面高さ計測装置に関するものである。この液面高さ計
測装置は、原油タンク内の原油液面の高さを測定する際
に使用される。

（先行技術）本件出願人は、先に光波距離計を利用した液面高さ計測
装置を、特願昭５８−１３８７４２号（発明の名称；光
波距離計用光学アダプタ、出願臼：昭和５８年７月３０
日）において開示している。このものには、原油タンク
内の原油液面高さを計測する原油液面高さ計測装置が例
示されている。この装置では、電気系統を有する光波距
離計本体を原油タンクから遠く離れた管理棟内に装置し
、測距光波を被測距面として原油液面に照射し、かつそ
の原油液面において反射された反射測距波を集光する対
物光学手段を原油タンク内に設置して、その対物光学手
段と光波距離計本体とを光波伝送路部材としてのオプテ
ィカルファイバを使用して光学接続し、光波距離計本体
の測距光波発生手段から所定の変調周波数で光学変調さ
れた測距光波を発生させ。

この測距光波をオプティカルファイバを介して対物光学
手段に導いて、その測距光波により原油液面を照射し、
この原油液面において反射された反射測距光波を再びそ
の対物光学手段により集光し、その反射測距光波をオプ
ティカルファイバを介して光波距離計本体の受光手段に
導くようにしている。

（発明が解決しようとする問題点）ところで、液面高さは、測距光波と反射測距光波との間
の時間的遅れとしての位相差から測定されるものである
が、この液面高さ計測装置は、光波伝送路部材の全長を
含んだ測距距離を直接には測定するもので、液面高さは
、この測距距離から光波伝送路部材の全長を即知の物理
量としてこれを減じて求められるようにしている。

しかしながら、原油タンクの大型化、多数の原油タンク
の集中管理に伴なって管理棟から各原油タンクまでの距
離が増大し、光波伝送路部材の全長もそれに伴なって増
大し、光波伝送路部材には、数十ｍから百数十ｍの長さ
のものを必要とする。

ところが、光波伝送路部材は、その長さが増大するに伴
なって温度変化に伴なう伸長・収縮量が増大し、もはや
光波伝路部材の全長を即知の物理量として扱うことはで
きず、この光波伝送路部材の温度変化に伴なう伸縮に基
づく測距誤差を生じる。この温度変化に伴なう光波伝送
路部材の伸縮に基づく測距誤差は、光波伝送路部材とし
て、屈折・反射光学系の先導波管を使用した場合にも生
じうる。

また、オプティカルファイバ内を伝送される測距光波と
反射測距光波との伝送距離差が、オプティカルファイバ
の全長に比例するため、これに基づいて測距光波と反射
測距光波との位相差がオプティカルファイバの長さの増
大に伴なって増加し、測距誤差を生じると共に、オプイ
カルファイバの配設途中の屈曲部、風による屈曲によっ
ても測距光波と反射光波との位相差が変化し、これに基
づく測距誤差もオプティカルファイバの長さが増大する
に伴なって増大する。

（発明の目的）本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目
的とすることろは、光波伝送路部材の長さの増大に伴な
う測距誤差を極力解消することのできる液面高さ計測装
置を提供することにある。

（問題点を解決するための手段）上記目的を達成するため、本発明の液面高さ測定装置は
、その測距光波発生手段が、互いに波長の異なる液面高
さ計測用測距光波と光波伝送路部材長さ計測用測距光波
とを発生可能とし、対物光学手段が、その液面高さ計測
用測距光波を被測距液面に専くが光波伝送路部材長さ計
測用測距光波はそのまま光波伝送路部材を介して受光手
段に導く測距光波選択手段を有していることを特徴とし
ている。

（作　用）このものによれば、光波伝送路部材長さ計測用測距光波
に基づいて、光波伝送路部材の憂さを事前に測定し２そ
の後、液面高さ計測用測距光波に基づいて光波伝送路部
材の長さを含んだ測距距離を測定し、事前に測定された
光波伝送路部材の長さをその測距距離から減算すること
により、光波伝送路部材の長さに基づく測距誤差を取り
除いて液面高さを測定することができる。

（実施例）以下に本発明に係る液面高さ計測装置を原油タンク内の
原油液面の高さ計測に適用した実施例について図面を参
照しつつ説明する。

第１図において、Ｍは管理棟、Ｔは原油タンクであって
、管理棟Ｍは防爆の観点から原油タンクＴより遠く離れ
て設置されている。管理棟Ｍには、電気系統を有する光
波距離計本体１が設置されており、原油タンクＴの天井
には、対物光学手段としての対物光学系ユニット１０１
が吊架されている。

対物光学系ユニット１０１は、測距光波を被測距液面と
しての原油液面Ｓに向かって照射し、この原油液面Ｓに
おいて反射された反射測光波を集光する機能を有する。

光波距離計本体ｌと対物光学系ユニット１０１とは、光
波伝送路部材としてのオプティカルファイバ１０２を介
して光学的に接続されている。液面高さ計測装置１００
は、その光波距離計本体１と対物光学系ユニット１０１
とオプティカルファイバ１０２とから概略構成されるも
のである。

対物光学系ユニット１０１は、第２図に示すように、対
物レンズ４１を有しており、対物レンズ４１は原油液面
Ｓに対向して臨んでいる。光波距離計本体ｌは、所定の
変調周波数で光学変調された測距光波を発生する測距光
波発生手段と、対物光学系ユニット１０１に導かれた反
射測距光波を受光する受光手段とを有している。オプテ
ィカルファイバ１０２は、測距光波発生手段を対物光学
系ユニット１０１に光学接続する往路用オプティカルフ
ァイバ１０４と、対物光学系ユニット１０１を受光手段
に光学接続する復路用オプティカルファイバ１０５とが
らなっており、符号！０４ａ、１０５ａは各オプティカ
ルファイ／＜１０／１，１０５（１）　入射面、符号１
０４ｂ　、　１０５ｂは各オプティカルファイバ１０４
ｂ、　１０５ｂの出射面を示している。

往路用オプティカルファイバ１０４の入射面１０４ａは
レンズ２０５に臨んでおり、その出射面１０４ｂは反射
プリズム４０の反射面４０ａに臨んでいる。復路用オプ
ティカルファイバ】０５の入射面１０５ａは反射プリズ
ム４０の反射面４０ｂに臨んでおり、その出射面１０５
ｂはレンズ２０６に臨んでいる。測距光波発生手段は、
発光ダイオード２０３ａ　、　２０３ｂを有しており、
発光ダイオード２０３ａ　、　２０３ｂは互いに波長の
異なる測距光波を発生するものである。発光ダイオード
２０３ａは、たとえば、中心波長が８２０ｎｍの近赤外
光を発光し、発光ダイオード２０３ｂは、たとえば、中
心波長が８６０ｎｍの近赤外光を発生するもので１発光
ダイオード２０３ａにより発生された近赤外光は、光波
伝送路部材長さ計測用測距光波として使用され、発光ダ
イオード２０３ｂにより発生された近赤外光は、液面高
さ計測用測距光波として使用される。

光波距離計本体１は、発振器１１が設けられており、そ
の発振周波数は１５ＭＨｚに設定されており。

その発振器１１の発振出力は分局器１０と合成器１３と
第１切換器１４とゲート回路３５とに入力されている。

分周器１０は１発振器１１の発振出力を分周して、発振
周波数が３ＫＨｚの発振出力と発振周波数が７５ＫＨｚ
の発振出力とを発生する機能を有する。第１切換器１４
は、処理制御回路１５において生成される制御信号１６
に基づいて、発振周波数が１５ＭＨｚの発振出力と発振
周波数が７５Ｋ）ｌｚの発振出力とを選択し。

この各発振出力は測距光波を光学変調するために使用さ
れる。合成器１３には、発振周波数が１５Ｍ１（ｚの発
振出力と発振周波数が３　ＫＨｚの発振出力が入力され
ており、合成器１３は、この各発振出力に基づいて、発
振周波数が１４．９９７ＭＨｚ　（１５ＭＨｚと０．０
０３ＭＨｚとの差によって求められる）の発振出力と発
振周波数が７２ＫＨｚ（３ＫＨｚの２４倍）の発振出力
とを生成する機能を有する。

合成器１３において生成された発振出力は、第２切換器
３１に入力され、この第２切換器３１は処理制御回路１
５から出力される制御信号１６に基づいて制御される。

また、第１切換器１４において選択された発振出力は、
第３切換器２０１に入力され、第３切換器２０１と処理
制御回路１５において生成された制御信号２００に基づ
いて、発光ダイオード２０３ａと発光ダイオード２０３
ｂとのいずれを発光させるかを選択する機能を有する６
発光ダイオード２０３ａにおいて発生された測距光波は
ハーフミラ−２０４を透過してレンズ２０５に導かれ、
このレンズ２０５により入射面１０４ａに結像され１発
光ダイオード２０３ｂにおいて発生された測距光波はハ
ーフミラ−２０４において反射されてレンズ２０５に導
かれ、このレンズ２０５により入射面１０４ａに結像さ
れ、ハーフミラ−２０４は中心波長が８２０ｎｍの近赤
外光は透過させるが中心波長が８６０ｎｍの近赤外光は
反射するダイクロイックミラーとして機能する。往路用
オプティカルファイバ１０４の入射面１０４ａに導かれ
た測距光波は、この往路用オプティカルファイバ１０４
内を伝送されてその射出面１０４ｂに４かれ、この射出
面１０４ｂから射出されて反射プリズム４０の反射面４
０ａにおいて反射され、対物レンズ４１が存在する方向
に導かれるようになっている。

対物レンズ４１は、その焦点位置が光学的に射出面１０
４ｂと入射面１０５ａとに一致するように設けられてお
り、反射プリズム４０と対物レンズ４１との間には、そ
の双方に所定の間隔をあけて測距光波選択手段としての
反距射プリズム２１０が設置されている。この反射プリ
ズム２１０は、ダイクロイックミラー面２１０ａ、　２
１０ｂを有しており、このダイクロイックミラー面２１
０ａは、中心波長が８２０ｎ＋ｓの光波伝送路部材長さ
計測用測距光波は反射するが、中心波長が８２０ｎｍの
液面高さ計測用測距光波は、透過する機能を有している
。この液面高さ計測用測距光波は１反射プリズム２１０
を透過して対物レンズ４１により平行光束に変換され、
原油液面Ｓにおいて反射され、反射測距光波となるもの
である。この反射測距光波は、対物レンズ４１により再
び集光されて反射プリズム２１０を透過して反射プリズ
ム４０の反射面４０ｂに導かれ、この反射面４０ｂにお
いて反射されて復路用オプティカルファイバ１０５の入
射面１０５ａに導かれ、ここで結像されるものである。

この液面高さ計測用測距光波は、この復路用オプティカ
ルファイバ１０５内を伝送されてその射出面１０５ｂに
導かれ、レンズ２０６に向かって射出されるものであり
、レンズ２０６は測距光波を集光して受光手段の一部を
構成する受光ダイオード３０の受光面に結像させる機能
を有している。光波伝送路部材長さ計測用測距光波は、
往路用オプティカルファイバ１０４内を発射された後、
反射プリズム２１０のダイクロイック面２１０ａ、２１
０ｂにおいて反射され、対物レンズ４１を経由せずに復
路用オプティカルファイバ１０５の入射面２０５ａにそ
のまま導かれ、参照測距光波としてその復路用オプティ
カルファイバ１０５内を伝送され、レンズ２０６により
受光ダイオード３０の受光面上に結像されるものである
。この受光ダイオード３０は、中心波長が８２０ｎｍＩ
の測距光波と中心波長が８６０ｎｍの測距光波とを略等
しい感度で光電変換する機能を有している。

この光電変換により生成された光電変換信号は。

コンデンサ５０を介して増幅器３２に入力されて増幅さ
れ、その増幅信号が混合器３３に入力されている。

この混合器３３には、第１切換器１４が１５ＫＨｚの発
振出力を選択したときに第２切換器３１から１４．９９
７ＭＨｚの発振出力が入力され、第１切換器１４が７５
ＫＨｚの発振出力を選択したときに第２切換器３１から
７５ＫＨ２の発振出力が入力されるものである。処理制
御回路１５において生成された制御信号１６は、第２切
換器３１から出力される発振出力を選択させる機能をも
有する。混合器３３は、第２切換器３１からの発振出力
と増幅器３２からの光電変換信号とに基づいて、周波数
が３　ＫＨｚのサイン波状ビート信号を形成するもので
ある。このサイン波状ビート信号は、波形整形器３４に
入力されて周波数が３　ＫＨｚの矩形波信号に変換され
る。

少ゲート回路３５には１分周器１０において生成れた３　
ＫＨｚの周波数を有する発振出力がスタート信号として
入力されると共に、波形整形器３４において生成された
矩形波信号がストップ信号として入力されている。ゲー
ト回路３５は、そのスタート信号に基づいて周波数が１
５ＫＨｚの発振出力の通過を開始させ、ストップ信号に
基づいて周波数が１５ＫＨｚの発振出力の通過を停止さ
せる。このゲート回路３５は、計数器３６に接続されて
おり、計数器３６は、スタート信号が入力されてからス
トップ信号が入力されるまでの間にゲート回路３５を通
過した１５ＫＨｚの発振周波数を有する発振出力のパル
ス個数を計数する機能を有する。この計数器３６の計数
により、測距光波と反射測距光波とに基づく位相差が測
定され、ここでは、この計数器３６は、この位相差測定
をＮ回実行するもので、処理制御回路１５では、そのＮ
回の位相差測定の平均値を求めて。

以下に説明する所定の演算処理を行なって液面計測デー
タを算出し、表示器３９に表示させるものである。

いま、光波伝送路部材長さ測定用測距光波によって測定
した光波伝送路部材１０２の全長の平均値をＱ、液面高
さ計測用測距光波によって測定した測距距離の平均値を
し、対物レンズ光学系二二ツト１０１の先端から原油タ
ンク底面Ｂまでの距離をＶとすると、液面高さＨは、Ｈ＝Ｖ−（Ｌ−Ｑ）の式に基づいて求められる。

なお、光学変調周波数としての１５ＭＨｚの発振出力は
、波長が２０ｍの変調光波に相当して測距範囲が１０ｍ
以下の精度測定の際に使用され、光学変調周波数として
の７５ＫＨｚの発振出力は、波長が４Ｋｍの変調光波に
相当し、測距範囲が２Ｋａ＋以上の粗測定に使用され、
これら両側室データを合成して高さ１０＋＋＋以上の大
型原油タンクＴの液面高さを１ｍｍ単位の高精度で測定
できる。

次に本実施例に係る原油液面高さ測定装置の測定ステッ
プを説明する。

（１）精密測定の場合ａ：リファレンスモードステップ１．　処理制御回路１５からの制御信号１６に
基づいて第１切換器１４に発振周波数が１５ＭＨｚの発
振出力を選択させ、第２切換器３１に発振周波数が１４
　、９９７ＭＨｚの発振出力を選択させる。

ステップ２．　処理制御回路１５からの制御信号２００
に基づいて第３切換器２０１により、発光ダイオード２
０３ａを発光させ、中心波長が８２０ｎｍの参照測距光
波を発生させる。

ステップ３．　参照測距光波は、ハーフミラ−２０４を
透過して往路用オプティカルファイバ１０４に導かれ、
この往路用オプティカルファイバ１０４内を伝送され、
反射プリズム４０，２１０により反射されてそのまま復
路用オプティカルファイバ１０５に導かれ、復路用オプ
ティカルファイバ１０５内を伝送されて受光ダイオード
３０に受光される。

ステップ４．　混合器３３は、受光ダイオード３０から
の光電変換信号と第２切換器３１からの発振出力とに基
づいて発振周波数が３　ＫＨｚのサイン波状ビー１へ信
号を生成する。

ステップ５．　波形整器３４によりサイン波状ビート信
号を矩形波信号に変換する。

ステップ６、　ゲート回路３５は発光ダイオード２０３
ａの発光に同期して１５Ｍｈｚの発振周波数の発振出力
の通過を開始させ、矩形波信号に基づいて発振出力の通
過を停止させる。

ステップ７、　計数１１３６により発振出力のパルス個
数をカウントし、位相差を求める。

ステップ８．　処理制御回路１５により、計数器３６に
おいて計数された計数値を距離データに変換し、これを
光波伝送路部材１０２の全長データ（１１としてメモリ
する。

ｂ＝液面高さ計測モードステップ９．　処理制御回路１５からの制御信号２００
に基づいて第３切換器２０１を切換え、発光ダイオード
２０３ｂを発光させて、中心波長８６０ｎ＋＊の液面高
さ計測用測距光波を発生させる。

ステップ１０．　　この液面高さ計測距光波は往路用オ
プティカルファイバ１０４内を伝送されて対物レンズ４
１に導かれ、原油液面Ｓを照射し、原油液面Ｓにおいて
反射された反射測距光波は再び対物レンズ４１により集
光され、復路用オプティカルファイバ１０５内を伝送さ
れて受光ダイオード３０に受光される。

ステップ１１．　　ステップ４からステップ８までに記
載の手順を踏んで、距離データを精密測距距離データＬ
１としてメモリする。

（２）粗測定の場合ａ、リファレンスモードステップ１２．処理制御回路■５は、制御信号１６に基
づいて第１切換器１４に周波数が７５にＨｚの発振出力
を選択させ、第２切換器３１に周波数が７５にＨｚの発
振出力を選択させる。

ステップ１３．　　ステップ２からステップ８までに記
載の手順を踏んで、粗測定の場合の全長データｋを求め
、精測定の場合の全長データｎ１とこの全長データ（Ｌ
２とから光波伝送路部材の全長２を算出する。

ｂ、液面高さ計測モードステップ１４．　　ステップ９からステップ１１に記載
の手順を踏んで、粗８■定の場合の測距データＬ２を求
める。

ステップ１５．　　この粗測定の場合の測距データＬ２
と精測定の場合の測距データＬ１とに基づいて、光波伝
送路部材の長さを含んだ測距データＬを求める。

ステップ１６．　　距離データＶと、測定データＬと、
全長データ旦とに基づいて演算し、原油液面高さデータ
Ｈを求め、この原油液面高さデータＨに基づいて液面高
さ値を表示器３９により表示させる。

第３図は、本発明に係る液面高さ測定装置の第２の実施
例を示す対物光学系ユニット１０１の光学系路図であっ
て、測距光波選択部材を１反射プリズム４０と往路用オ
プティカルファイバ１０４との間に設置したダイクロイ
ックミラー３０１と１反射プリズム４０と復路用オプテ
ィカルファイバ１０５との間に設置したダイクロインク
ミラー３０２と、ダイクロイックミラー３０１において
反射された測距光波をダイクロイックミラー３０２に導
くためのコリメータレンズ３０３，３０１と反射ミラー
３０５，３０６とから構成したものであり、ダイクメロ
イックミラー３０１．３０２は液面高さ計測用測距光波
は透過させるが、光波伝送部材計測用測距光波は反射す
る機能を有している。

第４図および第５図は１本発明に係る液面高さ測定装置
の第３の実施例を示す対物光学系ユニット１０１の光学
系路図であり、このものでは、対物レンズ４１の中心部
分を第６図に示すように、測距光波を平行光束に変換し
て原油液面Ｓに導く円形部４１ｂとして使用し、周辺部
が反射測距光波を集光する集光部４１８として使用する
ようにしている。

このものでは、測距光波選択手段は、傾斜ミラー４００
と、レンズ４０３とオプティカルファイバ４０４と、コ
リメータレンズ４０５と、ダイクロイックミラー４０６
と、コリメータレンズ４０７，４０８とから構成され、
ダイクロイックミラー４０６はコリメータレンズ４０７
゜４０８の間に設置されている。傾斜ミラー４００は反
射面４０１Ａとダイクロイック開口４０２とを有し、往
路用オプティカルファイバ１０４から出射された光波伝
送路部材長さ計測用測距光波は反射面４０１Ａとダイク
ロイック開口４０２の両方により反射され、レンズ４０
３によりオプティカルファイバ４０４の入射面４０４ａ
に導かれ、オプティカルファイバ４０４内を伝送されて
出射面４０４ｂから出射され、コリメータレンズ４０５
により平行光束に変換され、ダイクロイックミラー４０
６により反射されてコリメータレンズ４０８を介して復
路用オプティカルファイバ１０５に導かれ、この復路用
オプティカルファイバ１０５内を伝送されて受光素子３
０に導かれるものである。

液面高さ計測用測距光波は、ダイクロイック開口４０２
を透過したもののみが対物レンズ４１の円形部４１ｂに
導かれ、反射面４０１＾において反射されたものはオプ
ティカルファイバ４０４に導かれ、その出射面４０４ｂ
から出射されてダイクロイックミラー４０６に平行光束
として投光されるが、このダイクロイックミラー４０６
は液面高さ計測用測距光波を透過するべく機能するので
、復路用オプティカルファイバ１０５に導かれず、測距
への影響が防止される。対物レンズ４１の円形部４１ｂ
に導かれた液面高さ計測用測距光波は、原油液面Ｓにお
いて反射され、反射測距光波として対物レンズ４１に導
かれ、この対物レンズ４１の集光部４１ｂにより集光さ
れ、反射面４０１Ｂにおいて反射され、コリメータレン
ズ４０７により平行光束に変換され、ダイクロイックミ
ラー４０６を透過してコリメータレンズ４０７に導かれ
、このコリメータレンズ４０７により入射面１０５ａに
結像され、復路用オプティカルファイバ１０５内を伝送
されて受光ダイオード３０により受光されるものである
。

以上実施例においては、測距光波と反射測距光波との位
相差に基づいて液面高さを測定するものとして説明した
が、測距光波と反射測距光波とに基づいて測距光波の液
面到達時間差を求めて測距するパルス方式の光波距離計
を利用した液面高さ計測装置にも本発明を適用できる。

（発案の効果）本発明は１以上説明したように、液面高さを測定するに
際して、光波伝送路部材の長さを未知の物理量として事
前に測定するようにしたので、光波伝送路部材の長さの
増大に伴なう測距誤差の増大化を防止できることとなり
、液面高さの計測精度の向上をより一層期待できるとい
う効果を奏す机

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明に係る液面高さ計測装置を原油タンク
の液面高さは計測装置に使用した実施例を示す模式図、
第２図は第１図に示されている光波距離計本体１と対物
光学系ユニットの詳細説明図、第３図は本発明に係る液
面高さ計測装置の第２の実施例を示す図であって、その
対物光学系ユニットの光学系路図、第４図ないし第６１
３！Ｉは本発明に係る液面高さ計測装置の第３の実施例
を示す図であって、第４図、第５図はその対物光学系ユ
ニットの光学系路図、第６図は、第４図と第５図とに示
されている対物レンズの平面図である。１・・・光波距離計本体、３０・・・受光ダイオード、
４０・・・反射プリズム、４１・・・対物レンズ、１０
０・・・液面高さ計測装置、１０１・・・対物光学系ユニット、１０２・・・オプティカルファイバ、１０４・・・往路用オプティカルファイバ、１０５・・
・復路用オプティカルファイバ。２０３ａ　、　２０３ｂ・・・発光ダイオード、２１０
・・・反射プリズム、Ｍ・・・管理棟。Ｓ・・・原油液面、　　　Ｔ・・・原油タンク。Ｈ・・・液面高さ。手続補正書（方式）昭和６０年５月１＋日

Claims

【特許請求の範囲】

（１）所定の変調周波数で変調された測距用光波を発生
する測距光波発生手段と、前記測距光波を被測距液面に向かって照射し、該被測距
液面において反射された反射測距光波を集光する対物光
学手段と、該対物光学手段に導かれた反射測距光波を受光する受光
手段と、前記測距光波発生手段を前記対物光学手段に光学接続し
て前記測距光波を前記対物光学手段に導くと共に、該対
物光学手段を前記受光手段に光学接続して前記反射測距
光波を前記受光手段に導く光波伝送路部材とを有し、前
記測距光波と前記反射測距光波とに基づいて前記被測距
液面の高さを計測する液面高さ計測装置であって、前記測距光波発生手段は、互いに波長が異なる液面高さ
計測用測距光波と光伝送路部材長さ計測用測距光波とを
発生可能とされ、かつ、前記対物光学手段には、前記液
面高さ計測用測距光波を前記測距液面に導き、前記光波
伝送路部材長さ計測用測距光波はそのまま前記光波伝送
路部材を介して前記受光手段に導く測距光波選択手段が
設けられていることを特徴とする液面高さ計測装置。