JPS61144646U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案実施例の斜視図、第２図は第１
図の実施例の取手を示す第１図とは逆方向から見
た斜視図、第３図は第１図の実施例の第１のスト
ツパの閉塞部の位置を示す平面図、第４図ａは閉
塞部の断面図、同図ｂとｃはウエハの出し入れ時
と運搬時の閉塞部とウエハ・キヤリアの溝との相
対状態を示す断面図、第５図は従来例の斜視図で
ある。 図中、１１はウエハ・キヤリア、１２は取手、
１３は溝、１４は凸状部、１５はストツパ、１５
ａはストツパの横棒部、１６は閉塞部、１７は歯
状部、１８は凹部、１９は止め部材、２０は抑え
部材、２１はばね、３０はウエハ、をそれぞれ示
す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 前方と上方が開放したほぼ箱状の構成であ
   り、開いた前方側の左右の側壁には前方側に向け
   て延びる複数の凸状部が設けられこれら凸状部の
   間の溝にウエハが入れられる構造のウエハ・キヤ
   リアにおいて、ウエハ・キヤリアの前方側の上部
   に取手を設け、この取手に横棒部と横棒部からほ
   ぼ直角に延び、前記側壁の前方部分に設けた貫通
   穴に挿入される閉塞部からなるＬ字型のストツパ
   を固着し、該閉塞部には前記側壁の凸状部と溝の
   ピツチと同じピツチの歯状部と凹部を形成し、前
   記取手の自由状態で前記溝と凹部とは一致してウ
   エハの出し入れを許し、取手を持ち上げると前記
   歯状部が溝を塞ぐ構成としたことを特徴とするウ
   エハ・キヤリア。 (2) 前記閉塞部はウエハの出し入れにおいては
   その凹部が溝に一致し、運搬においてはばねによ
   つて動かされて歯状部が溝を塞ぐ構成とした実用
   新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ・キヤリ
   ア。