JPS61140806A - 膜厚測定方法 - Google Patents
膜厚測定方法Info
- Publication number
- JPS61140806A JPS61140806A JP26398984A JP26398984A JPS61140806A JP S61140806 A JPS61140806 A JP S61140806A JP 26398984 A JP26398984 A JP 26398984A JP 26398984 A JP26398984 A JP 26398984A JP S61140806 A JPS61140806 A JP S61140806A
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- Japan
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- spectrum
- film thickness
- interferometer
- measured
- measurement
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、フーリエ変換赤外分光光度計を用いて厚みの
一様な物質の膜厚を赤外光により、非接触で測定するこ
とのできる膜厚測定方法に関する。
一様な物質の膜厚を赤外光により、非接触で測定するこ
とのできる膜厚測定方法に関する。
［従来の技術］
膜厚を測定づ−べき試１’！＋に赤外光を照射し、該試
ｒｌの表面と裏面によって反射された光をマイケルソン
型干渉計に入射させ、該光の干渉光を得、この干渉光を
検出するとインタフェログラムが得られる。このインタ
フェログラムの中心にはセンターバーストと呼ばれる強
いピークが出世し、その両側にはサイドバーストと呼ば
れる弱いピークが現われる。このセンターバーストとサ
イドバーストの位置の差が該被測定試ｙＰ＋の膜厚に依
存していることが知られており、フーリエ変換赤外分光
光度計を使用した膜厚測定方法においては、この位置の
差を検出している。
ｒｌの表面と裏面によって反射された光をマイケルソン
型干渉計に入射させ、該光の干渉光を得、この干渉光を
検出するとインタフェログラムが得られる。このインタ
フェログラムの中心にはセンターバーストと呼ばれる強
いピークが出世し、その両側にはサイドバーストと呼ば
れる弱いピークが現われる。このセンターバーストとサ
イドバーストの位置の差が該被測定試ｙＰ＋の膜厚に依
存していることが知られており、フーリエ変換赤外分光
光度計を使用した膜厚測定方法においては、この位置の
差を検出している。
［発明が解決しようとする問題点］
近年、該インタフ１ログラムをフーリエ変換してスペク
トルを得、このスペクトルを更に逆フーリエ変換し、得
られたデータのピーク位置から膜厚を求める方法が開発
されている。第６図は、インタフェログラムを７−リー
［変換および逆フーリエ変換して得られたデータを示し
ており、ピークＰＯの位置から膜厚が求められる。しか
しながら、インタフェログラムをフーリエ変換および逆
フーリエ変換した結果は複素数であり、その実数部は、
ＰＯ以外にＰｌ 、Ｐ２等の複数のピークが現われ、コ
ンピュータでビーク位置を求める場合、各ピークの強さ
が同程酊であると、間違ったピークＰ１あるいはＰ２を
選ｌυでしまい、測定が不正確となる。
トルを得、このスペクトルを更に逆フーリエ変換し、得
られたデータのピーク位置から膜厚を求める方法が開発
されている。第６図は、インタフェログラムを７−リー
［変換および逆フーリエ変換して得られたデータを示し
ており、ピークＰＯの位置から膜厚が求められる。しか
しながら、インタフェログラムをフーリエ変換および逆
フーリエ変換した結果は複素数であり、その実数部は、
ＰＯ以外にＰｌ 、Ｐ２等の複数のピークが現われ、コ
ンピュータでビーク位置を求める場合、各ピークの強さ
が同程酊であると、間違ったピークＰ１あるいはＰ２を
選ｌυでしまい、測定が不正確となる。
本発明は、−Ｌ述した点に鑑みてなされたもので、正確
な膜厚測定が可能な方法を捏供することを目的としてい
る。
な膜厚測定が可能な方法を捏供することを目的としてい
る。
［問題点を解決するための手段］
本発明に基づく膜厚測定方法は、以下のＡ〜にのステッ
プより成ることを特徴としている。
プより成ることを特徴としている。
Ａ、被測定試ｙＰ＋に赤外光を照射するステップ、Ｂ、
該試料の表面と裏面によって反射された赤外光をビーム
スプリッタ、固定鏡、移動鏡より成るマイケルソン型干
渉計に入射させ、干渉させるステップ、 Ｃ０該干渉計の移動鏡を所定距離移動させ、その移動に
応じた測定干渉光を検出するステップ、Ｄ、ステップＣ
により検出された信号をフーリＴ変換して測定スペクト
ルを得るステップ、Ｅ、参照光を該干渉計に入射させ、
干渉させるステップ、 Ｅ、該干渉計の移動鏡を所定距離移動させ、その移動に
応じた参照干渉光を検出するステップ、Ｇ、ステップＦ
によって検出された信号をフーリエ変換して参照スペク
トルを得るステップ、１」、該測定スペクトルと該参照
スペクトルとの除算スペクトルを得るステップ、゛ Ｉ、該除算スペクトルを逆フーリエ変換するステップ、 Ｊ、ステップＩの逆フーリエ変換の結果得られた複素数
データの絶対値を得るステップ、Ｋ、該絶対値データの
ピーク位置から被測定試料の膜厚を求めるステップ。
該試料の表面と裏面によって反射された赤外光をビーム
スプリッタ、固定鏡、移動鏡より成るマイケルソン型干
渉計に入射させ、干渉させるステップ、 Ｃ０該干渉計の移動鏡を所定距離移動させ、その移動に
応じた測定干渉光を検出するステップ、Ｄ、ステップＣ
により検出された信号をフーリＴ変換して測定スペクト
ルを得るステップ、Ｅ、参照光を該干渉計に入射させ、
干渉させるステップ、 Ｅ、該干渉計の移動鏡を所定距離移動させ、その移動に
応じた参照干渉光を検出するステップ、Ｇ、ステップＦ
によって検出された信号をフーリエ変換して参照スペク
トルを得るステップ、１」、該測定スペクトルと該参照
スペクトルとの除算スペクトルを得るステップ、゛ Ｉ、該除算スペクトルを逆フーリエ変換するステップ、 Ｊ、ステップＩの逆フーリエ変換の結果得られた複素数
データの絶対値を得るステップ、Ｋ、該絶対値データの
ピーク位置から被測定試料の膜厚を求めるステップ。
［作用１
被測定膜に照射され、該膜によって反射された赤外光は
、マイケルソン型干渉計によって干渉させられ後検出さ
れ、測定光のインタフェログラムが得られる。又、該干
渉計には参照光が入射させられ、参照光のインタフ１０
グラムも検出される。
、マイケルソン型干渉計によって干渉させられ後検出さ
れ、測定光のインタフェログラムが得られる。又、該干
渉計には参照光が入射させられ、参照光のインタフ１０
グラムも検出される。
該両インタフェログラムは夫々別個にフーリエ変換され
た後、２秤のフーリエ変換されたスペクトルの除算が行
われる。この除算によって干渉計や検出器の特性による
影響が取り除かれる。該除算によって１ｑられたスペク
トルは、逆フーリエ変換され、そして、該逆フーリエ変
換の結果得られた複素数データの絶対値が油筒される。
た後、２秤のフーリエ変換されたスペクトルの除算が行
われる。この除算によって干渉計や検出器の特性による
影響が取り除かれる。該除算によって１ｑられたスペク
トルは、逆フーリエ変換され、そして、該逆フーリエ変
換の結果得られた複素数データの絶対値が油筒される。
該絶対値データは膜厚に応じた位置に強い単一のピーク
が坦れることから、このピーク位置を検知することによ
って正確に膜厚を求めることができる。
が坦れることから、このピーク位置を検知することによ
って正確に膜厚を求めることができる。
［実施例］
以下本発明の一実施例を添附図面に基づいて詳述する。
第１図は本発明の方法を実施するフーリエ変換赤外分光
光度計の一例を示しており、１は赤外光源である。該光
源１からの赤外光は、反射鏡２゜３によって反射され、
試料台４上に載置された被測定膜５に照射される。該被
測定膜５の表面と裏面によって反射された赤外光は、反
！）Ｉ鏡６，７によって反射され、ど−ハスプリッタ８
．固定鏡９゜移動鏡１０より成るマイケルソン型干渉計
１１に入射し、干渉させられる。該干渉計１１によって
干渉させられた赤外光は検出器１２によって検出される
が、該移動鏡１０を駆動機構１３によって所定距離移動
させることによって該検出器によってインタフェログラ
ムが検出されることになる。
光度計の一例を示しており、１は赤外光源である。該光
源１からの赤外光は、反射鏡２゜３によって反射され、
試料台４上に載置された被測定膜５に照射される。該被
測定膜５の表面と裏面によって反射された赤外光は、反
！）Ｉ鏡６，７によって反射され、ど−ハスプリッタ８
．固定鏡９゜移動鏡１０より成るマイケルソン型干渉計
１１に入射し、干渉させられる。該干渉計１１によって
干渉させられた赤外光は検出器１２によって検出される
が、該移動鏡１０を駆動機構１３によって所定距離移動
させることによって該検出器によってインタフェログラ
ムが検出されることになる。
該検出信号は増幅器１４によって増幅された後、Ａ−Ｄ
変換器１５によりディジタル信号に変換され、コンビコ
ータ１６を介してメモリに１７内に記憶される。該コン
ビコータ１６は後述する各種の演算を行うもので、該コ
ンピュータによって１９られた被測定膜の膜厚は、記録
計１８に記録される。
変換器１５によりディジタル信号に変換され、コンビコ
ータ１６を介してメモリに１７内に記憶される。該コン
ビコータ１６は後述する各種の演算を行うもので、該コ
ンピュータによって１９られた被測定膜の膜厚は、記録
計１８に記録される。
次に、第２図の流れ図を参考にして、上記第１図に示し
たフーリエ変換赤外分光光度計を用いた膜厚測定方法の
一実施例を詳述する。
たフーリエ変換赤外分光光度計を用いた膜厚測定方法の
一実施例を詳述する。
（第１ステツプ）
試ｌｉｔ台４に被測定膜５を配置し、該被測定膜５に赤
外光を照射してその反射光を干渉計１１に導く。干渉計
１１の移動鏡１０を所定距離移動させ、測定干渉光のイ
ンタフェログラムを検出し、メモリ１７に記憶する。尚
、このインタフェログラムは第３図に示す如き波形であ
り、中心にセンターバーストＣが現れ、その両側にサイ
ドバーストＳ１．８２が現れている。このセンターバー
ストＣとサイドバーストＳ１あるいはＳ２との位置の差
が被測定膜５の厚さに依存していることは前述の通りで
ある。
外光を照射してその反射光を干渉計１１に導く。干渉計
１１の移動鏡１０を所定距離移動させ、測定干渉光のイ
ンタフェログラムを検出し、メモリ１７に記憶する。尚
、このインタフェログラムは第３図に示す如き波形であ
り、中心にセンターバーストＣが現れ、その両側にサイ
ドバーストＳ１．８２が現れている。このセンターバー
ストＣとサイドバーストＳ１あるいはＳ２との位置の差
が被測定膜５の厚さに依存していることは前述の通りで
ある。
（第２ステツプ）
該メモリ１７に記憶された測定インタフェログラムをコ
ンピュータ１６によってフーリエ変換し、得られた測定
スペクトルを該メモリ１７に記憶する。
ンピュータ１６によってフーリエ変換し、得られた測定
スペクトルを該メモリ１７に記憶する。
（第３ステツプ）
試料台４に被測定膜５に代えて例えば、鏡を配置し、核
粒に赤外光を照射してその反射光を参照光として干渉計
１１に導く。干渉計１１の移動鏡１０を所定距離移動さ
せ、参照干渉光のインタフェログラムを検出し、メモリ
１７に記憶する。尚、参照干渉光を得る手段は、単に鏡
を被測定試料に代えて配置する構成に限定されない。
粒に赤外光を照射してその反射光を参照光として干渉計
１１に導く。干渉計１１の移動鏡１０を所定距離移動さ
せ、参照干渉光のインタフェログラムを検出し、メモリ
１７に記憶する。尚、参照干渉光を得る手段は、単に鏡
を被測定試料に代えて配置する構成に限定されない。
（第４ステツプ）
該メモリ１７に記憶された参照インタフェログラムをコ
ンピュータ１６によってフーリエ変換し、得られた参照
スペクトルを該メモリ１７に記憶する。
ンピュータ１６によってフーリエ変換し、得られた参照
スペクトルを該メモリ１７に記憶する。
（第５ステツプ）
測定スペクトルと参照スペクトルをメモリ１７から読み
出し、両スペクトルの除算を行う。
出し、両スペクトルの除算を行う。
この除算を行うことによって両スペクトルに共通して含
まれている干渉計１１や検出器１２の特性による成分は
除去され、それらの特性によって、測定結果に誤差が混
入することが防止される。第４図はこの除算の結果得ら
れたスペクトルを示しており、このスペクトルの周期が
膜厚に対応している。
まれている干渉計１１や検出器１２の特性による成分は
除去され、それらの特性によって、測定結果に誤差が混
入することが防止される。第４図はこの除算の結果得ら
れたスペクトルを示しており、このスペクトルの周期が
膜厚に対応している。
（第６ステツプ）
第４図に示す如く、インタフ１０グラムをフ一すエ変換
した結果得られたスペクトルは、高波数側にいくにつれ
て減衰しており、２０００ ｃ ｍ −’より高い波数
域は、スペクトルの強度は極めて微弱であり、実質的に
ノイズのみが存在している。このノイズは最終的に得ら
れるスペクトルの必要ピークに影響を与えるため、好ま
しくない。従って、このステップでは、第５ステツプで
除算されたスペクトルの内、２０００ｃ ｍ−’より高
い波数領域のスペクトル強度を零とする処理（ウィンド
ウ処理）を行う。尚、２０００ ｃ ｍ−１より高い波
数域のスペクトルを零とすると、後述する第８ステツプ
によって得られるスペクトルのピーク幅に変化を与える
ことになるが、そのピーク位置には関係しない。この結
果、実際に使用するスペクトル領域は２０００ｃｍ−’
程度であるから、そのｆＲｔｔを測定できるサンプリン
グレートでＡ−Ｄ変換器１５によってインタフェログラ
ムをサンプリングすれば良いことになる。このことは、
インタフ１０グラムのサンプリング間隔を数倍広げるこ
とを可能とするもので、結果として干渉計の移動鏡の移
動速度を早めることができることから、高速な測定が可
能となると共に、データ点が少なくなるため、ＦＦＴ等
の数値処理をより高速で行うことが可能となる。
した結果得られたスペクトルは、高波数側にいくにつれ
て減衰しており、２０００ ｃ ｍ −’より高い波数
域は、スペクトルの強度は極めて微弱であり、実質的に
ノイズのみが存在している。このノイズは最終的に得ら
れるスペクトルの必要ピークに影響を与えるため、好ま
しくない。従って、このステップでは、第５ステツプで
除算されたスペクトルの内、２０００ｃ ｍ−’より高
い波数領域のスペクトル強度を零とする処理（ウィンド
ウ処理）を行う。尚、２０００ ｃ ｍ−１より高い波
数域のスペクトルを零とすると、後述する第８ステツプ
によって得られるスペクトルのピーク幅に変化を与える
ことになるが、そのピーク位置には関係しない。この結
果、実際に使用するスペクトル領域は２０００ｃｍ−’
程度であるから、そのｆＲｔｔを測定できるサンプリン
グレートでＡ−Ｄ変換器１５によってインタフェログラ
ムをサンプリングすれば良いことになる。このことは、
インタフ１０グラムのサンプリング間隔を数倍広げるこ
とを可能とするもので、結果として干渉計の移動鏡の移
動速度を早めることができることから、高速な測定が可
能となると共に、データ点が少なくなるため、ＦＦＴ等
の数値処理をより高速で行うことが可能となる。
（第７ステツプ）
第６ステツプでウィンドウ処理が行われたスペクトルを
逆フーリエ変換する。このフーリエ変換された結果は複
素数であり、得られたデータの実数部分は、第６図に示
す如く、複数のビークを有している。
逆フーリエ変換する。このフーリエ変換された結果は複
素数であり、得られたデータの実数部分は、第６図に示
す如く、複数のビークを有している。
（第８ステツプ）
第７ステツプで得られた複素数データの絶対値を演算す
る。この絶対値スペクトルは、第５図に示す如く、強い
強度の単一のビークＰＯを有するものである。
る。この絶対値スペクトルは、第５図に示す如く、強い
強度の単一のビークＰＯを有するものである。
（第９ステツプ）
第５図のビークＰＯの位置を検知し、この位置から被測
定膜５の厚さを演算し、記録計１８に記録する。
定膜５の厚さを演算し、記録計１８に記録する。
［効果］
このように、本発明では、インタフェログラムをフーリ
エ変換および逆フーリエ変換した結果得られた複素数デ
ータの絶対値を得ており、この絶対値データに基づいて
膜厚に応じた単一のピーク位置を検知するようにしてい
るため、コンピュータが間違って伯のピーク位ｎを検知
することは完全になくなり、測定を極めて正確に再規性
良く行うことができる。又、測定スペクトルと参照スペ
クトルの除算を行っているので、干渉計等の特性のＩＩ
Ｉを排除して測定を行うことができる。
エ変換および逆フーリエ変換した結果得られた複素数デ
ータの絶対値を得ており、この絶対値データに基づいて
膜厚に応じた単一のピーク位置を検知するようにしてい
るため、コンピュータが間違って伯のピーク位ｎを検知
することは完全になくなり、測定を極めて正確に再規性
良く行うことができる。又、測定スペクトルと参照スペ
クトルの除算を行っているので、干渉計等の特性のＩＩ
Ｉを排除して測定を行うことができる。
第１図は本発明に基づく膜厚測定方法を実施するための
フーリエ変換赤外分光光邸計の一例を示す図、第２図は
本発明の一実施例を説明するために用いた流れ図、第３
図はインタフェログラムを示す図、第４図はインタフェ
ログラムをフーリエ変換し参照スペクトルと除算して得
られたスペクトルを示す図、第５図は除算スペクトルを
逆フーリエ変換して得られた複素数データを示す図、第
６図はインタフェログラムをフーリエ変換および逆フー
リエ変換した結果得られたスペクトルを示す図である。 １・・・赤外光源 ２．３．６．７・・・反！ｌ）Ｉ鏡 ４・・・試ｒｉ台 ８・・・ビームスプリッタ
９・・・固定鏡 １０・・・移動鏡１２・・・検
出器 １３・・・駆動機構１４・・・増幅器
１５・・・Ａ−ｒ）変換器１６・・・コンピュータ
１７・・・メモリ１８・・・記録計
フーリエ変換赤外分光光邸計の一例を示す図、第２図は
本発明の一実施例を説明するために用いた流れ図、第３
図はインタフェログラムを示す図、第４図はインタフェ
ログラムをフーリエ変換し参照スペクトルと除算して得
られたスペクトルを示す図、第５図は除算スペクトルを
逆フーリエ変換して得られた複素数データを示す図、第
６図はインタフェログラムをフーリエ変換および逆フー
リエ変換した結果得られたスペクトルを示す図である。 １・・・赤外光源 ２．３．６．７・・・反！ｌ）Ｉ鏡 ４・・・試ｒｉ台 ８・・・ビームスプリッタ
９・・・固定鏡 １０・・・移動鏡１２・・・検
出器 １３・・・駆動機構１４・・・増幅器
１５・・・Ａ−ｒ）変換器１６・・・コンピュータ
１７・・・メモリ１８・・・記録計
Claims (2)
- （１）以下のステップより成る膜厚測定方法、Ａ、被測
定試料に赤外光を照射するステップ、Ｂ、該試料の表面
と裏面によって反射された赤外光をビームスプリッタ、
固定鏡、移動鏡より成るマイケルソン型干渉計に入射さ
せ、干渉させるステップ、 Ｃ、該干渉計の移動鏡を所定距離移動させ、その移動に
応じた測定干渉光を検出するステップ、Ｄ、ステップＣ
によって検出された信号をフーリエ変換して測定スペク
トルを得るステップ、Ｅ、参照光を該干渉計に入射させ
、干渉させるステップ、 Ｆ、該干渉計の移動鏡を所定距離移動させ、その移動に
応じた参照干渉光を検出するステップ、Ｇ、ステップＦ
によって検出された信号をフーリエ変換して参照スペク
トルを得るステップ、Ｈ、該測定スペクトルと該参照ス
ペクトルとの除算スペクトルを得るステップ、 Ｉ、該除算スペクトルを逆フーリエ変換するステップ、 Ｊ、ステップＩの逆フーリエ変換の結果得られた複素数
データの絶対値を得るステップ、 Ｋ、該絶対値データのピーク位置から被測定試料の膜厚
を求めるステップ。 - （２）前記ステップＨによって得られた除算スペクトル
の内、所定波数領域のスペクトル強度を零とした後、上
記ステップＩの逆フーリエ変換を行うようにした特許請
求の範囲第１項記載の膜厚測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26398984A JPS61140806A (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 | 膜厚測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26398984A JPS61140806A (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 | 膜厚測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61140806A true JPS61140806A (ja) | 1986-06-27 |
Family
ID=17396993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26398984A Pending JPS61140806A (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 | 膜厚測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61140806A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63222207A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-09-16 | Japan Spectroscopic Co | 凹部深さ・膜厚測定装置 |
| EP0420113A2 (en) * | 1989-09-25 | 1991-04-03 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for and method of evaluating multilayer thin films |
| JPH03110405A (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-10 | Japan Spectroscopic Co | 多層薄膜評価装置 |
| EP0701103A3 (en) * | 1994-09-12 | 1997-05-21 | Hewlett Packard Co | Thickness measuring device based on optical interference |
| JP2009047608A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Minoru Kyomure | コンクリート供試体採取容器 |
| JP2011518312A (ja) * | 2007-12-14 | 2011-06-23 | インテクプラス カンパニー、リミテッド | 立体形状測定装置 |
| CN109540007A (zh) * | 2019-01-02 | 2019-03-29 | 长江存储科技有限责任公司 | 超厚薄膜的测量方法和测量装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59105508A (ja) * | 1982-12-08 | 1984-06-18 | Canon Inc | 白色干渉膜厚測定方法 |
-
1984
- 1984-12-14 JP JP26398984A patent/JPS61140806A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP0650030A3 (ja) * | 1989-09-25 | 1995-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | |
| EP0701103A3 (en) * | 1994-09-12 | 1997-05-21 | Hewlett Packard Co | Thickness measuring device based on optical interference |
| JP2009047608A (ja) * | 2007-08-21 | 2009-03-05 | Minoru Kyomure | コンクリート供試体採取容器 |
| JP2011518312A (ja) * | 2007-12-14 | 2011-06-23 | インテクプラス カンパニー、リミテッド | 立体形状測定装置 |
| CN109540007A (zh) * | 2019-01-02 | 2019-03-29 | 长江存储科技有限责任公司 | 超厚薄膜的测量方法和测量装置 |
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