JPS61138440A - 電子顕微鏡像記録再生方法 - Google Patents
電子顕微鏡像記録再生方法Info
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- JPS61138440A JPS61138440A JP24150084A JP24150084A JPS61138440A JP S61138440 A JPS61138440 A JP S61138440A JP 24150084 A JP24150084 A JP 24150084A JP 24150084 A JP24150084 A JP 24150084A JP S61138440 A JPS61138440 A JP S61138440A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は電子顕微鏡像の記録再生方法に関するものであ
り、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、また
各種画像処理可能に電気信号で再生するようにした電子
顕微鏡像の記録再生方法に関するものである。
り、特に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、また
各種画像処理可能に電気信号で再生するようにした電子
顕微鏡像の記録再生方法に関するものである。
（発明の技術的背景および先行技術）
従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後熱平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後熱平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。
したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
Ｆ１の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後熱平面
を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察され
る。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを
舵面しておけば、この中間レンズの焦点距離調節により
、上）本の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。
Ｆ１の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後熱平面
を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察され
る。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを
舵面しておけば、この中間レンズの焦点距離調節により
、上）本の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。
上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、一括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影
するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に対
して悪疫が低い上用像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合、画
像の鮮鋭度が低い」二、画像に歪みが／Ｆじやすいとい
う問題がある。
ン（以下、一括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影
するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に対
して悪疫が低い上用像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合、画
像の鮮鋭度が低い」二、画像に歪みが／Ｆじやすいとい
う問題がある。
また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減棹処理、加算処理等の両像処理や、フーリエ解析法□
による３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測
定等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（
結晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）
等の処理が施されることが多いが、このような場合従来
は、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォ
トメータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号
を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理す
るという煩雑な作業を行なっていた。
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減棹処理、加算処理等の両像処理や、フーリエ解析法□
による３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測
定等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（
結晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）
等の処理が施されることが多いが、このような場合従来
は、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォ
トメータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号
を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理す
るという煩雑な作業を行なっていた。
（発明の目的）
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、電子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、し
かも各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持する
電気信号が直接得られる電子顕微鏡像記録再生方法を提
供することを目的とするものである。
、電子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生可能で、し
かも各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持する
電気信号が直接得られる電子顕微鏡像記録再生方法を提
供することを目的とするものである。
（発明の構成）
本発明の電子顕ｆｆｉ鏡像記録再生方法は、電子線エネ
ルギーを蓄積する２次元センサに、試料を透過した電子
線を真空状態で蓄積記録し、次いで前２次元センサに光
照射あるいは加熱を行なって蓄積されたエネルギーを光
として放出させ、この放出光を光電的に検出して試料の
透過電子線像を再生するようにし、電子顕微Ｍ像のピン
ト検査のための前記蓄積記録および前記放出光の検出を
行ない、それによって得られた電気信号からピント検査
用画像を再生するという一連の操作を必要な回数行なっ
てピントを合わせることを特徴とするものである。
ルギーを蓄積する２次元センサに、試料を透過した電子
線を真空状態で蓄積記録し、次いで前２次元センサに光
照射あるいは加熱を行なって蓄積されたエネルギーを光
として放出させ、この放出光を光電的に検出して試料の
透過電子線像を再生するようにし、電子顕微Ｍ像のピン
ト検査のための前記蓄積記録および前記放出光の検出を
行ない、それによって得られた電気信号からピント検査
用画像を再生するという一連の操作を必要な回数行なっ
てピントを合わせることを特徴とするものである。
そしてさらに本発明の電子顕微鏡像記録再生方法は、上
述のようにピント検査用画像を再生するために得た電気
信号が担持している２次元センサの蓄積記録情報に基づ
いて、最終出力画像を得るための前記放出光の読取りに
おける読取条件（読取ゲインと収録スケールファクター
）および／または画像処理条件を設定することを特徴と
するものである。
述のようにピント検査用画像を再生するために得た電気
信号が担持している２次元センサの蓄積記録情報に基づ
いて、最終出力画像を得るための前記放出光の読取りに
おける読取条件（読取ゲインと収録スケールファクター
）および／または画像処理条件を設定することを特徴と
するものである。
上記２次元センサとして具体的には、例えば特開昭５５
−１２４２９号、同５５−１１６３４０号、同５５−１
６３／Ｉ ７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１
０４６４５号公報等に示される蓄１性螢光体シートが特
に好適に用いられつる。
−１２４２９号、同５５−１１６３４０号、同５５−１
６３／Ｉ ７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１
０４６４５号公報等に示される蓄１性螢光体シートが特
に好適に用いられつる。
すなわち、ある秤の螢光体に電子線等の放射線を照射す
るとこの放射線のエネルギーの一部がその螢光体中に蓄
積され、その接その螢光体に可視光等の励起光を照射す
るか又は加熱すると、蓄積されたエネルギーに応じて螢
光体が螢光（輝尽発光又は熱螢光）を示す。このような
性質を示す螢光体を蓄積性螢光体と言い、蓄積性螢光体
シートとは、上記蓄積性螢光体からなるシート状の記録
体のことであり、一般に支持体とこの支持体上に積層さ
れた蓄積性螢光体層とからなる。蓄積性螢光体層は蓄積
性螢光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもので
あるが、この蓄積性螢光体層が自己支持性である場合、
それ自体で蓄積性螢光体シートとなりつる。
るとこの放射線のエネルギーの一部がその螢光体中に蓄
積され、その接その螢光体に可視光等の励起光を照射す
るか又は加熱すると、蓄積されたエネルギーに応じて螢
光体が螢光（輝尽発光又は熱螢光）を示す。このような
性質を示す螢光体を蓄積性螢光体と言い、蓄積性螢光体
シートとは、上記蓄積性螢光体からなるシート状の記録
体のことであり、一般に支持体とこの支持体上に積層さ
れた蓄積性螢光体層とからなる。蓄積性螢光体層は蓄積
性螢光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもので
あるが、この蓄積性螢光体層が自己支持性である場合、
それ自体で蓄積性螢光体シートとなりつる。
また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５５−
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱螢光体シートを用いることもできる。この熱螢
光体シートは主として熱の作用によって蓄積している放
射線エネルギーを熱螢光として放出する螢光体（熱螢光
体）からなるシート状の記録体であり、その製造法は上
記蓄積性螢光体シートと同様である。
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱螢光体シートを用いることもできる。この熱螢
光体シートは主として熱の作用によって蓄積している放
射線エネルギーを熱螢光として放出する螢光体（熱螢光
体）からなるシート状の記録体であり、その製造法は上
記蓄積性螢光体シートと同様である。
電子顕微鏡の結像面に上記蓄積性螢光体シートを配置し
て、該シートに透過電子線による電子顕微鏡像を蓄積記
録したならば、このシートを可視光等の励起光で走査す
るか掃引加熱して螢光を生ぜしめ、この螢光を光電的に
読み取れば、透過電子線像に対応する電気信号が得られ
る。こうして得られた電気的画像信号を用いれば、ＣＲ
Ｔ等のディスプレイに電子顕微鏡像を表示させることも
できるし、あるいはハードコピーとして永久記録すする
こともできるし、さらには上記画像信号を一〇磁気テー
プ、磁気ディスク等の記憶媒体に記憶させておくことも
できる。
て、該シートに透過電子線による電子顕微鏡像を蓄積記
録したならば、このシートを可視光等の励起光で走査す
るか掃引加熱して螢光を生ぜしめ、この螢光を光電的に
読み取れば、透過電子線像に対応する電気信号が得られ
る。こうして得られた電気的画像信号を用いれば、ＣＲ
Ｔ等のディスプレイに電子顕微鏡像を表示させることも
できるし、あるいはハードコピーとして永久記録すする
こともできるし、さらには上記画像信号を一〇磁気テー
プ、磁気ディスク等の記憶媒体に記憶させておくことも
できる。
本発明の電子顕微鏡像記録再生方法においては、蓄積性
螢光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記
録するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録す
ることが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露
光Ｍを低減でき、試料の損傷を少なくすることができる
。また本発明方法においては電子顕微鏡像に階調処理、
周波散弾調処理等の画像処理を施すことも極めて容易に
なり、また前述したような回折パターンの処理や、３次
元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気
信号をコンピュータに入力することにより、従来に比べ
極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。
螢光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記
録するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録す
ることが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露
光Ｍを低減でき、試料の損傷を少なくすることができる
。また本発明方法においては電子顕微鏡像に階調処理、
周波散弾調処理等の画像処理を施すことも極めて容易に
なり、また前述したような回折パターンの処理や、３次
元像の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気
信号をコンピュータに入力することにより、従来に比べ
極めて簡単かつ迅速に行なえるようになる。
しかしながら、撮影条件の変動による影響をなくし、あ
るいは観察適性の優れた電子顕微鏡像を再生するために
は、蓄積性螢光体シート等の２次元センサに蓄積記録さ
れた画像情報の記録状態、記録方法、あるいは試料の性
状等によって決定される記録パターン（以下、これらを
総称する場合には、「蓄積記録情報」という。）を最終
出力画像の出力に先立って把握し、この把握した蓄積記
録情報に基づいて読取ゲインを適当な値に調節し、記録
パターンのコントラストに応じて分解能が最適化される
ように収録スケールファクターを決定し、また、階調処
理等の画像処理を最適な画像処理条件の下に施すことが
必要である。
るいは観察適性の優れた電子顕微鏡像を再生するために
は、蓄積性螢光体シート等の２次元センサに蓄積記録さ
れた画像情報の記録状態、記録方法、あるいは試料の性
状等によって決定される記録パターン（以下、これらを
総称する場合には、「蓄積記録情報」という。）を最終
出力画像の出力に先立って把握し、この把握した蓄積記
録情報に基づいて読取ゲインを適当な値に調節し、記録
パターンのコントラストに応じて分解能が最適化される
ように収録スケールファクターを決定し、また、階調処
理等の画像処理を最適な画像処理条件の下に施すことが
必要である。
本発明方法においては前述の通り、ピント検査用画像を
得るための電気的画像信号が担持する２次元センサの蓄
積記録情報に基づいて上記読取条件および／または画像
処理条件を設定するようにしたから、最終出力画像を得
るための前記放出光の読取りに先行して上記蓄積記録情
報を正しく把握することが可能となり、最終出力画像を
得るための上記読取りの際に、読取条件および／または
画像処理条件を最適に設定できるようになる。
得るための電気的画像信号が担持する２次元センサの蓄
積記録情報に基づいて上記読取条件および／または画像
処理条件を設定するようにしたから、最終出力画像を得
るための前記放出光の読取りに先行して上記蓄積記録情
報を正しく把握することが可能となり、最終出力画像を
得るための上記読取りの際に、読取条件および／または
画像処理条件を最適に設定できるようになる。
そして本発明方法においては前述の通り、ピント検査用
の画像も２次元センサを利用して再生するようにしてい
るから、このピント検査の際に試料に照射する電子線伶
も低減可能である。
の画像も２次元センサを利用して再生するようにしてい
るから、このピント検査の際に試料に照射する電子線伶
も低減可能である。
本発明において利用される蓄積性螢光体シートに用いら
れる輝尽性螢光体の例としては、米国特許第３．８５９
．５２７号明細書に記載されているＳｒＳ：Ｃｅ、Ｓｍ
５ＳｒＳ：Ｅｕ。
れる輝尽性螢光体の例としては、米国特許第３．８５９
．５２７号明細書に記載されているＳｒＳ：Ｃｅ、Ｓｍ
５ＳｒＳ：Ｅｕ。
５ｍ１ＴｈＯｚ ：Ｅｒ、およびしａｚｏｚｓ：Ｅｕ
、Ｓｍなどの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−
１２１４２号公報に記載されているＺｎＳ：Ｃｕ、ｐｂ
、ＢａＯ−ＸＡｌ２０３ ：Ｅｕ［ただし、０．８≦Ｘ
≦１ｏ〕、および、Ｍ２＋０・ｘＳｉｏ２ ：Ａ［ただ
し、Ｍ２＋はＭ（７１Ｑａ、５ｒＳＺｎ１Ｃｄ、または
Ｂａｒあり、ΔはＣｅ、Ｔｂ１Ｅｕ、Ｔｍ、Ｐｂ、Ｔｉ
、ＢｉｌまたはＭｎであり、Ｘは、０．５≦Ｘ≦２．５
である１などの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５
−１２１４３号公報に記載されている（Ｂａｔ−ｘ−ｙ
、 ＭＱｘ 、 Ｃａｙ ） ＦＸ ： ａＦｕ’［た
だし、ＸはＣ９，およびＢｒのうちの少なくとも一つで
、Ｘおよびｙは、Ｏ＜ｘ＋ｙ≦０．６、かつｘｙ≠０で
あり、ａは、１０″［Ｉ≦ａ≦５×１０″２である］の
組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−１２１４４号
公報に記載されている＋−ｎｏｘ：ｘＡｃただし、Ｌｎ
はＬａ、Ｙ、Ｇｄ１およびｌ−ｕのうちの少なくとも一
つ、ＸはＣ９７およびＢｒのうちの少なくとも一つ、Ａ
１．、ｔＣｅおよびＴｂのうちの少なくとも一つ、そ
して、Ｘは、Ｑ＜Ｘ＜Ｑ、ｉである］の組成式で表わさ
れる螢光体、 特開昭５５−１２１／’１５号公報に記載されてぃ■ る（Ｂａｔ−ｘ 、ＭＸ ］ ＦＸ ：ＶＡ ｒただし
、ＭＴはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、７ｎ、およびｃｄのうちの
少なくとも一つ、ＸはＣ９，、Ｒｒ、および■のうちの
少なくとも一つ、ＡはＥＵＳＴｂ、 Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ
１Ｐｒ、ｉｌｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、およびＥｒのうちの少な
くとも一つ、そして×は、Ｏ≦Ｘ≦０．６、ｙは、０≦
ｙ≦０．２である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されて■ いるＭ ＦＸ−ｘＡ：ｙＬｎ［ただし、ＭｌはＢａ、
Ｃａ％Ｓｒ、ＭＯ１７ｎ、およびＣｄのうちの少なくと
も一種、ＡはＢｅｄ、ＭａＯｌＣａＯｌＳｒＯ，Ｂａｄ
ｌＺｎＯ，Ａ見２０３ 、Ｙ２０３、Ｌａ２Ｏ３、Ｔｎ
２０３、Ｓ Ｔａ２、ＴＱ１０２．７ｒＯ２、ＧｅＯ２
、ＳｎＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２０６、およびＴ・ｈｏ
２のうちの少なくとも一種、ｌ ｎはｌＥｕ、Ｔｂ、Ｃ
ｅ、Ｔｍ％ｒ）ｙＳｐｒ。
、Ｓｍなどの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−
１２１４２号公報に記載されているＺｎＳ：Ｃｕ、ｐｂ
、ＢａＯ−ＸＡｌ２０３ ：Ｅｕ［ただし、０．８≦Ｘ
≦１ｏ〕、および、Ｍ２＋０・ｘＳｉｏ２ ：Ａ［ただ
し、Ｍ２＋はＭ（７１Ｑａ、５ｒＳＺｎ１Ｃｄ、または
Ｂａｒあり、ΔはＣｅ、Ｔｂ１Ｅｕ、Ｔｍ、Ｐｂ、Ｔｉ
、ＢｉｌまたはＭｎであり、Ｘは、０．５≦Ｘ≦２．５
である１などの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５
−１２１４３号公報に記載されている（Ｂａｔ−ｘ−ｙ
、 ＭＱｘ 、 Ｃａｙ ） ＦＸ ： ａＦｕ’［た
だし、ＸはＣ９，およびＢｒのうちの少なくとも一つで
、Ｘおよびｙは、Ｏ＜ｘ＋ｙ≦０．６、かつｘｙ≠０で
あり、ａは、１０″［Ｉ≦ａ≦５×１０″２である］の
組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−１２１４４号
公報に記載されている＋−ｎｏｘ：ｘＡｃただし、Ｌｎ
はＬａ、Ｙ、Ｇｄ１およびｌ−ｕのうちの少なくとも一
つ、ＸはＣ９７およびＢｒのうちの少なくとも一つ、Ａ
１．、ｔＣｅおよびＴｂのうちの少なくとも一つ、そ
して、Ｘは、Ｑ＜Ｘ＜Ｑ、ｉである］の組成式で表わさ
れる螢光体、 特開昭５５−１２１／’１５号公報に記載されてぃ■ る（Ｂａｔ−ｘ 、ＭＸ ］ ＦＸ ：ＶＡ ｒただし
、ＭＴはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、７ｎ、およびｃｄのうちの
少なくとも一つ、ＸはＣ９，、Ｒｒ、および■のうちの
少なくとも一つ、ＡはＥＵＳＴｂ、 Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ
１Ｐｒ、ｉｌｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、およびＥｒのうちの少な
くとも一つ、そして×は、Ｏ≦Ｘ≦０．６、ｙは、０≦
ｙ≦０．２である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されて■ いるＭ ＦＸ−ｘＡ：ｙＬｎ［ただし、ＭｌはＢａ、
Ｃａ％Ｓｒ、ＭＯ１７ｎ、およびＣｄのうちの少なくと
も一種、ＡはＢｅｄ、ＭａＯｌＣａＯｌＳｒＯ，Ｂａｄ
ｌＺｎＯ，Ａ見２０３ 、Ｙ２０３、Ｌａ２Ｏ３、Ｔｎ
２０３、Ｓ Ｔａ２、ＴＱ１０２．７ｒＯ２、ＧｅＯ２
、ＳｎＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２０６、およびＴ・ｈｏ
２のうちの少なくとも一種、ｌ ｎはｌＥｕ、Ｔｂ、Ｃ
ｅ、Ｔｍ％ｒ）ｙＳｐｒ。
ＨＯｌＮｄ、Ｙｂ、 Ｆｒ１３ｍ、およびＧｄのうちの
少なくとも一種、ＸはＣ９，、Ｂｒ１および■のうちの
少なくとも一種であり、Ｘおよびｙはそれぞれ５Ｘ１０
−’≦Ｘ≦０．５、およびＯ＜ｙ≦０．２である］の組
成式で表わされる螢光体、特開昭５６−１１６７７７号
公報に記載されている（Ｒａ１−ｘ 、 ＭＩ［ｙ ）
Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ： ｙＥ■ Ｕ、、ＺＡ［ただし、Ｍ はベリリウム、マグネシウム
、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウ
ムのうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃
素のうちの少なくとも一種、Ａはジルコニウムおよびス
カンジウムのうちの少なくとも一種であり、ａＳＸ％ｙ
１および２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦
１．１０′４１≦ｙ≦２Ｘ１０’、および０〈７≦１０
４である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−Ｘ 、 Ｍ’ｘ ） Ｆ２ ・ａＢａＸｚ： ＶＥ
ＩＪ、ｚＢＩただし、ＭＩ［はベリリウム、マグネシウ
ム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミ
ウムのうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および
沃素のうちの少なくとも一種であり、ａｌｘＳｙｌ及び
２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５、〇≦Ｘ≦１．１０
″＋！≦ｙ≦２Ｘ１０−１．おにびＯ＜７≦１０−１で
ある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−Ｘ、 Ｍ”ｙ ） Ｆ２ ・ａＦ３ａＸ２： ｙＦ
ｕ。
少なくとも一種、ＸはＣ９，、Ｂｒ１および■のうちの
少なくとも一種であり、Ｘおよびｙはそれぞれ５Ｘ１０
−’≦Ｘ≦０．５、およびＯ＜ｙ≦０．２である］の組
成式で表わされる螢光体、特開昭５６−１１６７７７号
公報に記載されている（Ｒａ１−ｘ 、 ＭＩ［ｙ ）
Ｆ２ ・ａＢａＸｚ ： ｙＥ■ Ｕ、、ＺＡ［ただし、Ｍ はベリリウム、マグネシウム
、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウ
ムのうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃
素のうちの少なくとも一種、Ａはジルコニウムおよびス
カンジウムのうちの少なくとも一種であり、ａＳＸ％ｙ
１および２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦
１．１０′４１≦ｙ≦２Ｘ１０’、および０〈７≦１０
４である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−Ｘ 、 Ｍ’ｘ ） Ｆ２ ・ａＢａＸｚ： ＶＥ
ＩＪ、ｚＢＩただし、ＭＩ［はベリリウム、マグネシウ
ム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミ
ウムのうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および
沃素のうちの少なくとも一種であり、ａｌｘＳｙｌ及び
２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５、〇≦Ｘ≦１．１０
″＋！≦ｙ≦２Ｘ１０−１．おにびＯ＜７≦１０−１で
ある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−Ｘ、 Ｍ”ｙ ） Ｆ２ ・ａＦ３ａＸ２： ｙＦ
ｕ。
ＺＡ［ただし、Ｍｌはベリリウム、マグネシウム、カル
シウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのう
ちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のう
ちの少なくとも一種、Ａは砒素および硅素のうちの少な
くとも一種であり、ａ、Ｘ。
シウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのう
ちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のう
ちの少なくとも一種、Ａは砒素および硅素のうちの少な
くとも一種であり、ａ、Ｘ。
ｙｌおよび２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ
≦１．１０”≦ｙ≦２Ｘ１０−１、およびＯ〈２≦５×
１０″！である１の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されているＢａ
５−ｘ ＭＸ／２ＬＸ／２ＦＸ ： ｙＥ ｕ２＋［１
／：りり。
≦１．１０”≦ｙ≦２Ｘ１０−１、およびＯ〈２≦５×
１０″！である１の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されているＢａ
５−ｘ ＭＸ／２ＬＸ／２ＦＸ ： ｙＥ ｕ２＋［１
／：りり。
Ｍは、Ｌｒ１Ｎａ１ＫＳＲｂ、およびＣ６からなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属を表わし；Ｌ
は、Ｓｃ％Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ。
り選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属を表わし；Ｌ
は、Ｓｃ％Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ。
Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ１Ｇｄ１Ｔｌ）ＳＤｙ１ＨＯ１Ｅ ｒ
、 Ｔｍ、 Ｙｂ、 ｌ−ｕ、 Ａ９．、Ｇａ１１ｎ、
およびＴ９．からなる群より選ばれる少なくとも一種の
三価金属を表わし；Ｘは、ｃ９Ｊ、 Ｂｒ、および■か
らなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表わ
し：そして、Ｘは１０″２≦Ｘ≦０．５、ｙは０〈ｙ≦
０．１である］組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−２７９８０号公報に記載されているＲａＦ
Ｘ−ＸＡ ： ＶＥＵ” ［ただし、Ｘは、Ｃ免、Ｂｒ
、およびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハ
ロゲンであり；Ａは、テトラフルオロホウ酸化合物の焼
成物であり；そして、Ｘは１０咽≦Ｘ≦０．１、ｙはＯ
＜ｙ≦０．１であるコの組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−４．７２８９号公報に記載されているＲａ
ＦＸ−ｘ△：ｙＦＵ２＋［ただし、Ｘは、Ｃ免、Ｂｒ、
および■からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロ
ゲンであり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサフル
オロチタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸の一
価もしくは二価金属の塩からなるヘキ１）−フルオロ化
合物群より選ばれる少なくとも一種の化合物の焼成物で
あり；そして、Ｘは１０（Ｉ≦Ｘ≦０．１、ｙはＯ＜ｙ
≦０．１である１の組成式で表わされる螢光体、特開昭
５９−５６４７９号公報に記載されているＢａＦＸ−ｘ
ＮａＸ’ ：ａＥｕ２÷［ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣ９，、ＲｒｌおよびＩのうちの少なくとも一
種であり、ＸおよびａはそれぞれＯ＜Ｘ≦２、および０
＜ａ≦０．２である１の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４８０号公報に記載されているＭ”
！：Ｘ−ｘＮａＸ’ ： ＶＥｕ” ：ｚ Ａ ｒた
だ■ し、Ｍ は、Ｂａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選
ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり：Ｘお
よびＸ′は、それぞれＣ９，、Ｑｒ。
、 Ｔｍ、 Ｙｂ、 ｌ−ｕ、 Ａ９．、Ｇａ１１ｎ、
およびＴ９．からなる群より選ばれる少なくとも一種の
三価金属を表わし；Ｘは、ｃ９Ｊ、 Ｂｒ、および■か
らなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表わ
し：そして、Ｘは１０″２≦Ｘ≦０．５、ｙは０〈ｙ≦
０．１である］組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−２７９８０号公報に記載されているＲａＦ
Ｘ−ＸＡ ： ＶＥＵ” ［ただし、Ｘは、Ｃ免、Ｂｒ
、およびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハ
ロゲンであり；Ａは、テトラフルオロホウ酸化合物の焼
成物であり；そして、Ｘは１０咽≦Ｘ≦０．１、ｙはＯ
＜ｙ≦０．１であるコの組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−４．７２８９号公報に記載されているＲａ
ＦＸ−ｘ△：ｙＦＵ２＋［ただし、Ｘは、Ｃ免、Ｂｒ、
および■からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロ
ゲンであり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサフル
オロチタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸の一
価もしくは二価金属の塩からなるヘキ１）−フルオロ化
合物群より選ばれる少なくとも一種の化合物の焼成物で
あり；そして、Ｘは１０（Ｉ≦Ｘ≦０．１、ｙはＯ＜ｙ
≦０．１である１の組成式で表わされる螢光体、特開昭
５９−５６４７９号公報に記載されているＢａＦＸ−ｘ
ＮａＸ’ ：ａＥｕ２÷［ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣ９，、ＲｒｌおよびＩのうちの少なくとも一
種であり、ＸおよびａはそれぞれＯ＜Ｘ≦２、および０
＜ａ≦０．２である１の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４８０号公報に記載されているＭ”
！：Ｘ−ｘＮａＸ’ ： ＶＥｕ” ：ｚ Ａ ｒた
だ■ し、Ｍ は、Ｂａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選
ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり：Ｘお
よびＸ′は、それぞれＣ９，、Ｑｒ。
おにびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロ
ゲンであり；Δは、Ｖ、Ｏｒ、Ｍｎ、Ｆｅ。
ゲンであり；Δは、Ｖ、Ｏｒ、Ｍｎ、Ｆｅ。
ＣＯｌおよびＮ ｉ Ｊ：り選ばれる少なくとも一種の
；ｎ移金属であり；そして、ＸはＯ＜ｘ≦２、ｙはＯ＜
Ｖ≦０．２、およびｚｌ、ｌｔＯ〈７≦１０′２である
］の組成式で表わされる螢光体、 本出願人による特開昭５９−７５２００号公報に記載さ
れているＭｌ′ＩＦＸ−ａＭＩ Ｘ’ −ｂＭ”Ｘ”
２ ・ＣＭ■Ｘ” ’ ３ ・ＸＡ ： ｙＦｕ”
［ただし、Ｍ］Ｉ′はＢａ、 Ｓｒ、およびＣａからな
る群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属で
■ あり；Ｍ はｌ ｉ、Ｎａｓ ＫｌＲｔ）、およびＯ８
からなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属
であり、Ｍ”■ はＢｅおよびＭ９からなる群より選ば
れる少なくとも一種の二価金属であり：ＭＩはＡ９．、
Ｑａ、ｉｎ、およびＴ９．からなる群より選ばれる少な
くとも一種の三価金属であり；Ａは金属酸化物であり；
ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、および■からなる群より選ばれる少
なくとも一種のハロゲンであり：ｘ’、ｘ”、およびＸ
″′は、Ｆ１Ｃ９Ｊ、Ｂｒ、および■からなる群より選
ばれる少なくとも一種のハロゲンであり；そして、ａは
Ｏ≦ａ≦２、ｂは、Ｏ≦ｂ≦１０′２、ｃはＯ≦ｃ≦１
０−２ 、かつａ＋ｂ＋Ｃ≧１０’ｒあり：Ｘは０〈×
≦０．５、ｙはｏ＜ｙ≦０．２である］の組成式で表わ
される螢光体、 特願昭５８−１９３１６１号明細書に記載された ■ Ｍ Ｘ２ ・ａＭＩＸＩ ２ ：Ｘ ＦＵ ”［ただ
し、Ｍ■はＢａ、３ｒおよびＣａからなる群より選ばれ
る少なくとも一種のアルカリ土類金属であり；×および
Ｘ′はＣ免、Ｂｒおよびｌからなる群より選ばれる少な
くとも一種のハロゲンであって、かつｘｆ−ｘ’であり
；そしてａは０゜１≦ａ≦１０．０の範囲の数値であり
、×は０〈×≦０．２の範囲の数値である１なる組成式
で表わされる螢光体、 などを挙げることができる。
；ｎ移金属であり；そして、ＸはＯ＜ｘ≦２、ｙはＯ＜
Ｖ≦０．２、およびｚｌ、ｌｔＯ〈７≦１０′２である
］の組成式で表わされる螢光体、 本出願人による特開昭５９−７５２００号公報に記載さ
れているＭｌ′ＩＦＸ−ａＭＩ Ｘ’ −ｂＭ”Ｘ”
２ ・ＣＭ■Ｘ” ’ ３ ・ＸＡ ： ｙＦｕ”
［ただし、Ｍ］Ｉ′はＢａ、 Ｓｒ、およびＣａからな
る群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属で
■ あり；Ｍ はｌ ｉ、Ｎａｓ ＫｌＲｔ）、およびＯ８
からなる群より選ばれる少なくとも一種のアルカリ金属
であり、Ｍ”■ はＢｅおよびＭ９からなる群より選ば
れる少なくとも一種の二価金属であり：ＭＩはＡ９．、
Ｑａ、ｉｎ、およびＴ９．からなる群より選ばれる少な
くとも一種の三価金属であり；Ａは金属酸化物であり；
ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、および■からなる群より選ばれる少
なくとも一種のハロゲンであり：ｘ’、ｘ”、およびＸ
″′は、Ｆ１Ｃ９Ｊ、Ｂｒ、および■からなる群より選
ばれる少なくとも一種のハロゲンであり；そして、ａは
Ｏ≦ａ≦２、ｂは、Ｏ≦ｂ≦１０′２、ｃはＯ≦ｃ≦１
０−２ 、かつａ＋ｂ＋Ｃ≧１０’ｒあり：Ｘは０〈×
≦０．５、ｙはｏ＜ｙ≦０．２である］の組成式で表わ
される螢光体、 特願昭５８−１９３１６１号明細書に記載された ■ Ｍ Ｘ２ ・ａＭＩＸＩ ２ ：Ｘ ＦＵ ”［ただ
し、Ｍ■はＢａ、３ｒおよびＣａからなる群より選ばれ
る少なくとも一種のアルカリ土類金属であり；×および
Ｘ′はＣ免、Ｂｒおよびｌからなる群より選ばれる少な
くとも一種のハロゲンであって、かつｘｆ−ｘ’であり
；そしてａは０゜１≦ａ≦１０．０の範囲の数値であり
、×は０〈×≦０．２の範囲の数値である１なる組成式
で表わされる螢光体、 などを挙げることができる。
ただし、本発明に用いられる輝尽性螢光体は上述の螢光
体に限られるものではなく、電子線を照射したのちに励
起光を照射した場合に、輝尽性発光を示す螢光体であれ
ばいかなるものであってもよい。
体に限られるものではなく、電子線を照射したのちに励
起光を照射した場合に、輝尽性発光を示す螢光体であれ
ばいかなるものであってもよい。
また好ましく使用し得る熱螢光体としてはＮａ２ ＳＯ
４、ＭｎＳＯ４、Ｃａ５Ｏｔ 、Ｓ ｒｓＯａ、Ｂａ５
Ｏｔ等の硫酸化合物にＭｒｌ、Ｏｙ、Ｔｍ等の微量の添
加物を少なくとも一種添加した化合物が挙げられる。
４、ＭｎＳＯ４、Ｃａ５Ｏｔ 、Ｓ ｒｓＯａ、Ｂａ５
Ｏｔ等の硫酸化合物にＭｒｌ、Ｏｙ、Ｔｍ等の微量の添
加物を少なくとも一種添加した化合物が挙げられる。
これらの螢光体シートは保１ｍや、光反射性もしくは光
吸収性の下引層を有していてもよく、またその螢光体層
は特開昭５５−１６３５００号公報に開示されているよ
うに顔料又は染料で着色されていてもよい。
吸収性の下引層を有していてもよく、またその螢光体層
は特開昭５５−１６３５００号公報に開示されているよ
うに顔料又は染料で着色されていてもよい。
（実施態様）
以下、図面を参照して本発明の実施態様を詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本発明の一実施態様方法を実施する電子顕微
鏡像記録再生装置の大略を示すものである。この電子顕
微鏡像記録再生装置は、通常の電子顕微鏡１の鏡体部１
ａの下部に、少なくとも電子類ｇＩ鏡仰の露光時（記録
時）は電子線像の結像面と同一の真空系に属するにうに
配置された２次元センサとしての蓄積性螢光体シート１
０．このシート１０を真空状態に胃いたまま励起光で走
査する励起手段、および前記シート１０から放出される
輝尽発光光を光電的に検出する検出手段からなる記録・
読取部１ｂを設けてなるものである。
鏡像記録再生装置の大略を示すものである。この電子顕
微鏡像記録再生装置は、通常の電子顕微鏡１の鏡体部１
ａの下部に、少なくとも電子類ｇＩ鏡仰の露光時（記録
時）は電子線像の結像面と同一の真空系に属するにうに
配置された２次元センサとしての蓄積性螢光体シート１
０．このシート１０を真空状態に胃いたまま励起光で走
査する励起手段、および前記シート１０から放出される
輝尽発光光を光電的に検出する検出手段からなる記録・
読取部１ｂを設けてなるものである。
この鏡体部１ａ及び記録・読取部１ｂの一部（図中ハツ
チングで示した枠の内部）は、電子類ｇＩ鏡の稼動中、
周知の手段によって真空状態に保持される。
チングで示した枠の内部）は、電子類ｇＩ鏡の稼動中、
周知の手段によって真空状態に保持される。
鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃
３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レ
ンズ等からなる少なくとも１］の集束レンズ４と、試Ｆ
１台５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、
投影レンズ７とを有してなる。試Ｆ１台５上に載置され
た試料８を透過した電子線２は上記対物レンズ６により
屈折され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この
拡大散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面〇に結像
投影される（図中の８ｂ）。
３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レ
ンズ等からなる少なくとも１］の集束レンズ４と、試Ｆ
１台５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、
投影レンズ７とを有してなる。試Ｆ１台５上に載置され
た試料８を透過した電子線２は上記対物レンズ６により
屈折され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この
拡大散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面〇に結像
投影される（図中の８ｂ）。
一方、記録・読取部１ｂは、円筒形の駆動ローラ１０１
と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛けわたしたエン
ドレスベルト状の蓄積性螢光体シート１０、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ、半導体レーザ等の励起光源１１とこの励起光源
１１から射出される励起光ビーム１１ａをシート１０の
幅方向に偏向させるガルバノメータミラー等の光偏向器
１２とからなる励起手段、及び励起光ビーム１１ａによ
ってシート１０から放出される輝尽発光光を集光する集
光体１４の射出端面に設けられ、上記輝尽発光光を、励
起光を取り除くフィルタを介して受光し、光電変換して
電気信号に変えるフォトマル等の光電変換器１５からな
る検出手段を有している。蓄積性螢光体シート１０は可
撓性に富むエンドレスベルト状の支持体の表面に、前述
のような蓄積性螢光体の層を積層して形成されたもので
ある。このシート１０は駆動ローラ１０１と従動ローラ
１０２の間に掛けわたされ、駆動装置（図示せず）によ
って回転される駆動ローラ１０１により矢印六方向に回
転可能である。
と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛けわたしたエン
ドレスベルト状の蓄積性螢光体シート１０、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ、半導体レーザ等の励起光源１１とこの励起光源
１１から射出される励起光ビーム１１ａをシート１０の
幅方向に偏向させるガルバノメータミラー等の光偏向器
１２とからなる励起手段、及び励起光ビーム１１ａによ
ってシート１０から放出される輝尽発光光を集光する集
光体１４の射出端面に設けられ、上記輝尽発光光を、励
起光を取り除くフィルタを介して受光し、光電変換して
電気信号に変えるフォトマル等の光電変換器１５からな
る検出手段を有している。蓄積性螢光体シート１０は可
撓性に富むエンドレスベルト状の支持体の表面に、前述
のような蓄積性螢光体の層を積層して形成されたもので
ある。このシート１０は駆動ローラ１０１と従動ローラ
１０２の間に掛けわたされ、駆動装置（図示せず）によ
って回転される駆動ローラ１０１により矢印六方向に回
転可能である。
本実施態様では、エンドレスベルト状の蓄積性螢光体シ
ート１０、これを移動させる駆動ローラ１０１、従動ロ
ーラ１０２、集光体１４及び光電変換器１５を真空系内
に配置しであるが、集光体１／Ｉをその端部が器壁を−
）らぬいて真空系外に出るように配置すれば、光電変換
器１５を真空系外に設置することができる。
ート１０、これを移動させる駆動ローラ１０１、従動ロ
ーラ１０２、集光体１４及び光電変換器１５を真空系内
に配置しであるが、集光体１／Ｉをその端部が器壁を−
）らぬいて真空系外に出るように配置すれば、光電変換
器１５を真空系外に設置することができる。
鏡体部１ａと記録・読取部１ｂの間に設けられているシ
ャッター（図示せず）を開くと、記録箇所（すなわち結
像面９）に位置する蓄積性螢光体シート１０の部分に、
試料の拡大散乱像８ｂを担持する電子線エネルギーが蓄
積される。次いでシート１０のこの部分は駆動ローラ１
０１の回転により読取箇所へ移動される。本実施態様で
は真空系の外部において前記のように偏向された励起光
ビーム１１ａを、鉛ガラスなどの透光性の壁部材１９ａ
を通してシート１０に入射させ、このビーム１１ａによ
り該シート１０をその幅方向に主走査する一方、このシ
ート１０を駆動ローラ１０１によって幅方向とは直角の
方向（矢印六方向）へ移動させることにより、このシー
ト１０を副走査する。この励起光照射によって蓄積性螢
光体シート１０から発生づる輝尽発光光は、集光体１４
の入射端部（シート１０に向けられた端部）から集光体
１４内に入射し、この中を全反射によって進み、集光体
１４の射出端面に接続された光電変換器１５で受光され
、輝尽発光光量が光電的に読み取られる。
ャッター（図示せず）を開くと、記録箇所（すなわち結
像面９）に位置する蓄積性螢光体シート１０の部分に、
試料の拡大散乱像８ｂを担持する電子線エネルギーが蓄
積される。次いでシート１０のこの部分は駆動ローラ１
０１の回転により読取箇所へ移動される。本実施態様で
は真空系の外部において前記のように偏向された励起光
ビーム１１ａを、鉛ガラスなどの透光性の壁部材１９ａ
を通してシート１０に入射させ、このビーム１１ａによ
り該シート１０をその幅方向に主走査する一方、このシ
ート１０を駆動ローラ１０１によって幅方向とは直角の
方向（矢印六方向）へ移動させることにより、このシー
ト１０を副走査する。この励起光照射によって蓄積性螢
光体シート１０から発生づる輝尽発光光は、集光体１４
の入射端部（シート１０に向けられた端部）から集光体
１４内に入射し、この中を全反射によって進み、集光体
１４の射出端面に接続された光電変換器１５で受光され
、輝尽発光光量が光電的に読み取られる。
上記輝尽発光光を光電変換器１５によって読み取って得
られた電気信号は、増幅器３１において固定の読取ゲイ
ンａ゛で増幅されて適性レベルの電気信号に増幅され、
Ａ／Ｄ変換器３２において固定の収録スケールファクタ
ー（ラチチュード）ｂ′でディジタル信号に変換され、
このディジタル信号は信号処理回路３３において固定の
画像処理条ｆ： ｃ ’で信号処理（画像処理）を受け
た上、画像再生装置３／Ｉへ送られる。この画像再生装
置３４は、ＣＲＴ等のディスプレイでもよいし、感光フ
ィルムに光走査記録を行なう記録装置でもよい。このよ
うに前記輝尽発光光量に対応した電気信号を用いて画像
を出力することにより、上記輝尽発光光が担持する前記
拡大散乱像８ｂが再生される。本発明方法においては、
上記拡大散乱像８ｂを最終出力画像として出力する前に
、そのピント検１査用画像を再生装置３４に出力するよ
うにしており、そのため制御回路３５は第１回目の拡大
散乱像８ｂの読取りの際には、記憶回路３６から上述の
固定の読取ゲインａ＋、固定の収録スケールファクター
ｂ′、固定の画像処理条件Ｃ゛を読み出し、上述の通り
増幅器３１、Ａ／Ｄ変換器３２、信号処理回路３３にお
いてこれらの条件を設定させる。そして上記Ａ１０変換
器３２から出力されたディジタル信号は、前述のＪ：う
に信号処理回路３３に入力されるとともに、上記制御回
路３５にも入力されるようになっている。
られた電気信号は、増幅器３１において固定の読取ゲイ
ンａ゛で増幅されて適性レベルの電気信号に増幅され、
Ａ／Ｄ変換器３２において固定の収録スケールファクタ
ー（ラチチュード）ｂ′でディジタル信号に変換され、
このディジタル信号は信号処理回路３３において固定の
画像処理条ｆ： ｃ ’で信号処理（画像処理）を受け
た上、画像再生装置３／Ｉへ送られる。この画像再生装
置３４は、ＣＲＴ等のディスプレイでもよいし、感光フ
ィルムに光走査記録を行なう記録装置でもよい。このよ
うに前記輝尽発光光量に対応した電気信号を用いて画像
を出力することにより、上記輝尽発光光が担持する前記
拡大散乱像８ｂが再生される。本発明方法においては、
上記拡大散乱像８ｂを最終出力画像として出力する前に
、そのピント検１査用画像を再生装置３４に出力するよ
うにしており、そのため制御回路３５は第１回目の拡大
散乱像８ｂの読取りの際には、記憶回路３６から上述の
固定の読取ゲインａ＋、固定の収録スケールファクター
ｂ′、固定の画像処理条件Ｃ゛を読み出し、上述の通り
増幅器３１、Ａ／Ｄ変換器３２、信号処理回路３３にお
いてこれらの条件を設定させる。そして上記Ａ１０変換
器３２から出力されたディジタル信号は、前述のＪ：う
に信号処理回路３３に入力されるとともに、上記制御回
路３５にも入力されるようになっている。
電子顕微鏡オペレータは、上述のようにして（９られた
拡大散乱像８ｂの再生画像（ピント検査用画像）を観察
し、そのピント状態に応じて電子顕微鏡のピント合わせ
ツマミ３０を操作し、拡大散乱ｆ！！８ｂのピント状態
を修正する。周知のようにこのピント合わせツ、マミ３
０は、対物レンズ６の電場を変化させてその焦点距離を
変動させるものである。
拡大散乱像８ｂの再生画像（ピント検査用画像）を観察
し、そのピント状態に応じて電子顕微鏡のピント合わせ
ツマミ３０を操作し、拡大散乱ｆ！！８ｂのピント状態
を修正する。周知のようにこのピント合わせツ、マミ３
０は、対物レンズ６の電場を変化させてその焦点距離を
変動させるものである。
上記のようにしてピント修止を行なった棲、前述と同様
にして、再度シート１０に拡大散乱像８ｂが蓄積記録さ
れる。なお前述のように、ピント検査用画像を読み取る
ためにシート１０が回転され、結像面９の位置にはシー
ト１０の新たな部分が送られて来ているから、この新た
な部分に上記拡大散乱像８ｂを蓄積記録すればよい。こ
のようにして新たにシート１０に蓄積記録された拡大散
乱像８ｂは、前述と全く同様にして読み取られ、前記デ
ィスプレイ等の画像再生装置３４において再生される。
にして、再度シート１０に拡大散乱像８ｂが蓄積記録さ
れる。なお前述のように、ピント検査用画像を読み取る
ためにシート１０が回転され、結像面９の位置にはシー
ト１０の新たな部分が送られて来ているから、この新た
な部分に上記拡大散乱像８ｂを蓄積記録すればよい。こ
のようにして新たにシート１０に蓄積記録された拡大散
乱像８ｂは、前述と全く同様にして読み取られ、前記デ
ィスプレイ等の画像再生装置３４において再生される。
こうして再生された拡大散乱像８ｂは、前述の通りピン
ト修正が既になされたため、最初に再生・されたピント
検査用画像よりもピントが正確に合っているものとなる
。オペレータが、この再生画像のピント状態が最適であ
ると判断したならば、この再生画像を最終出力画像とす
ればよい。この最終出力画像は、上記ディスプレイ等の
画像再生装置３４において再生して直ちに観察されても
よいし、あるいはそのｉｉ！［＋を担持する電気信号を
、−４１磁気テープ等の記憶媒体３７に記憶させてもよ
い。
ト修正が既になされたため、最初に再生・されたピント
検査用画像よりもピントが正確に合っているものとなる
。オペレータが、この再生画像のピント状態が最適であ
ると判断したならば、この再生画像を最終出力画像とす
ればよい。この最終出力画像は、上記ディスプレイ等の
画像再生装置３４において再生して直ちに観察されても
よいし、あるいはそのｉｉ！［＋を担持する電気信号を
、−４１磁気テープ等の記憶媒体３７に記憶させてもよ
い。
なお上述のようにして２度目に再生した再生画像におい
て、拡大散乱像８ｂのピントが正確に合っていなければ
、前記ピント合ねゼツマミ３０により再度ピントを修正
し、前述のように拡大散乱像８ｂの蓄積記録、読取り、
再生を行なえばよく、さらに３回、４回、・・・とこの
一連の操作を繰り返すことも勿論可能である。またＣＲ
Ｔ等のディスプレイによれば、拡大散乱像８ｂは短時間
で再生されるから、最終出力画像としてハードコピーを
得る場合でも、ピント検査用画像はＣＲＴ等に再生すれ
ば、ピント合わせ作業が能率良く行なわれうる。
て、拡大散乱像８ｂのピントが正確に合っていなければ
、前記ピント合ねゼツマミ３０により再度ピントを修正
し、前述のように拡大散乱像８ｂの蓄積記録、読取り、
再生を行なえばよく、さらに３回、４回、・・・とこの
一連の操作を繰り返すことも勿論可能である。またＣＲ
Ｔ等のディスプレイによれば、拡大散乱像８ｂは短時間
で再生されるから、最終出力画像としてハードコピーを
得る場合でも、ピント検査用画像はＣＲＴ等に再生すれ
ば、ピント合わせ作業が能率良く行なわれうる。
上記のようにして行なわれる第２回１以時の拡大散乱像
８ｂの読取り、再生も、前述の通り、光電変換器１５の
出力を増幅器３１、Ａ／Ｉ’）変換器３２、信号処理回
路３３に順次送ってなされるが、ここで制御回路３５は
前述のように第１回目の読取り時にＡ／Ｄ変換器３２か
ら入力された信号が担持する蓄積ｆ＃を螢光体シート１
０の蓄積記録情報に基づいて、最適な読取ゲイン設定値
ａ１収録スケールファクター設定値６１画像処理条作設
定値Ｃを求める。これらの読取ゲイン設定値ａ、収録ス
ケールファクター設定値ｂ、画像処理条件設定値Ｃはそ
れぞれ増幅器３１、Δ／Ｄ変換器３２、信号処理回路３
３に送られ、読取ゲイン、収録スケールファクター、画
像処理条件が各々上記設定値ａ、ｂ、ｃに変えられる。
８ｂの読取り、再生も、前述の通り、光電変換器１５の
出力を増幅器３１、Ａ／Ｉ’）変換器３２、信号処理回
路３３に順次送ってなされるが、ここで制御回路３５は
前述のように第１回目の読取り時にＡ／Ｄ変換器３２か
ら入力された信号が担持する蓄積ｆ＃を螢光体シート１
０の蓄積記録情報に基づいて、最適な読取ゲイン設定値
ａ１収録スケールファクター設定値６１画像処理条作設
定値Ｃを求める。これらの読取ゲイン設定値ａ、収録ス
ケールファクター設定値ｂ、画像処理条件設定値Ｃはそ
れぞれ増幅器３１、Δ／Ｄ変換器３２、信号処理回路３
３に送られ、読取ゲイン、収録スケールファクター、画
像処理条件が各々上記設定値ａ、ｂ、ｃに変えられる。
したがって第２回目以降隆の拡大散乱像８ｂの読取り、
再生１（＃述のようにこの再生画像はピント検査用画像
となることもあるし、またＭ終出力画像となることもあ
る）、光電変換器１５の出力は最適な読取ゲインで増幅
されるとともに、記録パターンのコントラストに応じて
分解能が最適化されるように収録スケールファクターが
決定され、また最適な画像処理条件により信号処理（画
像処理）されるようになる。
再生１（＃述のようにこの再生画像はピント検査用画像
となることもあるし、またＭ終出力画像となることもあ
る）、光電変換器１５の出力は最適な読取ゲインで増幅
されるとともに、記録パターンのコントラストに応じて
分解能が最適化されるように収録スケールファクターが
決定され、また最適な画像処理条件により信号処理（画
像処理）されるようになる。
なお上記信号処理回路３３において行なわれる信号処理
としては、特開昭５５−８７９７０号、同５６−１１０
３８号、同５６−７５１３７＠、同５６−７５１３９Ｍ
、同５６−７５１４１号、同５６−１０４６／１１５月
公報等に開示されている周波数処理、特ｆｆｆＩ昭５５
−１１６３３９号、同５５−１１６３４０号、同５５−
８８７４０号公報等に開示されている階調処理などがあ
げられる。
としては、特開昭５５−８７９７０号、同５６−１１０
３８号、同５６−７５１３７＠、同５６−７５１３９Ｍ
、同５６−７５１４１号、同５６−１０４６／１１５月
公報等に開示されている周波数処理、特ｆｆｆＩ昭５５
−１１６３３９号、同５５−１１６３４０号、同５５−
８８７４０号公報等に開示されている階調処理などがあ
げられる。
上記においては、第２回目以降のピント検査用画像をそ
のまま最終出力画像として再生する場合について述べた
が、ピント検査用画像の読取りと再生を行なってピント
が合っていることを確認したら、シート１０を再度読取
箇所に戻して、最終出力画像を得るための読取りを行な
ってもよい。
のまま最終出力画像として再生する場合について述べた
が、ピント検査用画像の読取りと再生を行なってピント
が合っていることを確認したら、シート１０を再度読取
箇所に戻して、最終出力画像を得るための読取りを行な
ってもよい。
その際、ピント検査用画像の読取り時に得た蓄積記録情
報に基づいて定められた最適な読取ゲイン設定値ａ、収
録スケールファクター設定値ｂ１両像処理条ｆｔ設定値
Ｃによって、この最終出力画像の読取り・再生を行なう
。またこの場合には、ピント検査用画像の読取りは最終
８１力両像を得るための読取りよりも低いエネルギーの
励起光によって行なうことが好ましい。励起光のエネル
ギー低減手段については、特開昭５８−６７２４３号、
同５８−６７２／ｌ／ｌ＠等に記載されているように励
起光の光路途中に光量低減手段および／またはビーム径
拡張手段を出し入れ自在に設置するなどの方法が採用で
きる。
報に基づいて定められた最適な読取ゲイン設定値ａ、収
録スケールファクター設定値ｂ１両像処理条ｆｔ設定値
Ｃによって、この最終出力画像の読取り・再生を行なう
。またこの場合には、ピント検査用画像の読取りは最終
８１力両像を得るための読取りよりも低いエネルギーの
励起光によって行なうことが好ましい。励起光のエネル
ギー低減手段については、特開昭５８−６７２４３号、
同５８−６７２／ｌ／ｌ＠等に記載されているように励
起光の光路途中に光量低減手段および／またはビーム径
拡張手段を出し入れ自在に設置するなどの方法が採用で
きる。
読取りが終了した後、蓄積性螢光体シート１０の画像記
録部分は消去ゾーン２０に送られる。この消去ゾーン２
０では、真空系外に設けられた螢光灯″等の消去用光源
２１から放出される演去光が、透光性の壁部材１９ｂを
通して前記シート１０に照射される。この消去用光′ｍ
２１は蓄積性螢光体シート１０に、該螢光体の励起波長
領域に含まれる光を照射することにより、この蓄積性螢
光体シート１０の螢光体層に蓄積されている残像や、シ
ート１０の螢光体中に不純物として含まれている２２Ｇ
Ｒａなどの放射性元素によるノイズを放出させるもので
あり、例えば特開昭５６−１１３９２号に示されている
ようなタングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ラ
ンプ、キセノンフラッシュランプあるいはレーザ光源等
が任意に選択使用され得る。
録部分は消去ゾーン２０に送られる。この消去ゾーン２
０では、真空系外に設けられた螢光灯″等の消去用光源
２１から放出される演去光が、透光性の壁部材１９ｂを
通して前記シート１０に照射される。この消去用光′ｍ
２１は蓄積性螢光体シート１０に、該螢光体の励起波長
領域に含まれる光を照射することにより、この蓄積性螢
光体シート１０の螢光体層に蓄積されている残像や、シ
ート１０の螢光体中に不純物として含まれている２２Ｇ
Ｒａなどの放射性元素によるノイズを放出させるもので
あり、例えば特開昭５６−１１３９２号に示されている
ようなタングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ラ
ンプ、キセノンフラッシュランプあるいはレーザ光源等
が任意に選択使用され得る。
なお拡大散乱像８ｂの記録部と読取部との間に適当な遮
光シャッター等を設けておけば、ピント検査用画像の読
取りと同時に、次の画像の記録を行なうことも可能にな
る。また上記のようなエンドレスベルト状の蓄積性螢光
体シート１０を用いずに、所定サイズの１枚の蓄積性螢
光体シートを記録部と読取部との間で往復搬送して、画
像記録、読取りを交互に行なうようにしてもよいし、さ
らにはこのような蓄積性螢光体シートを１枚あるいは複
数枚エンドレスベルト等の搬送手段に固定して、循環使
用するようにしてもよい。
光シャッター等を設けておけば、ピント検査用画像の読
取りと同時に、次の画像の記録を行なうことも可能にな
る。また上記のようなエンドレスベルト状の蓄積性螢光
体シート１０を用いずに、所定サイズの１枚の蓄積性螢
光体シートを記録部と読取部との間で往復搬送して、画
像記録、読取りを交互に行なうようにしてもよいし、さ
らにはこのような蓄積性螢光体シートを１枚あるいは複
数枚エンドレスベルト等の搬送手段に固定して、循環使
用するようにしてもよい。
またピント検査用画像は、最終出力画像と同サイズに出
力する必要はなく、最終出力画像の画像域内の一部分に
ついて励起光照射、および輝尽発光光検出を行ない、そ
の一部分のみの画像を出力するようにしてもよい。そう
すればこのピント検査用画像の再生に要する時間が短縮
され、ピント合わせ作業の能率が向上する。その伯、ピ
ント検査用画像の再生時に、最終出力画像の再生におけ
るよりも大きい画素単位で画ｍｌ取りを行なうようにし
ても、上記と同じ効果が得られる。
力する必要はなく、最終出力画像の画像域内の一部分に
ついて励起光照射、および輝尽発光光検出を行ない、そ
の一部分のみの画像を出力するようにしてもよい。そう
すればこのピント検査用画像の再生に要する時間が短縮
され、ピント合わせ作業の能率が向上する。その伯、ピ
ント検査用画像の再生時に、最終出力画像の再生におけ
るよりも大きい画素単位で画ｍｌ取りを行なうようにし
ても、上記と同じ効果が得られる。
さらにシート１０からピント検査用画像を読み取った後
、次のピント検査用画像を該シート１０に蓄積記録する
ために、このシート１０に前述のような消去光を逐一照
射することは必ずしも必要ではない。すなわち、ピント
検査用画像の読取信号を記憶手段に記憶しておけば、次
にこのピント検査用画像が記録されたシート１０の同一
部分に新規のピン１〜検査用画像を重ねて蓄積記録して
も、次の画像読取り時に上記読取信号を差し引くように
演算処理を行なうことにＪ：す、上記新規のピント検査
用画像のみを抽出して再生することができる。
、次のピント検査用画像を該シート１０に蓄積記録する
ために、このシート１０に前述のような消去光を逐一照
射することは必ずしも必要ではない。すなわち、ピント
検査用画像の読取信号を記憶手段に記憶しておけば、次
にこのピント検査用画像が記録されたシート１０の同一
部分に新規のピン１〜検査用画像を重ねて蓄積記録して
も、次の画像読取り時に上記読取信号を差し引くように
演算処理を行なうことにＪ：す、上記新規のピント検査
用画像のみを抽出して再生することができる。
また以上説明したピント検査用画像は、単に拡大散乱像
８ｂのピント合わせに利用するのみならず、最終出力画
像の視野範囲を決定するために利用することもできる。
８ｂのピント合わせに利用するのみならず、最終出力画
像の視野範囲を決定するために利用することもできる。
また鏡体部１ａの試Ｆ４．８と電子銃３との間にシャッ
ターを設け、撮影時以外は電子線を遮断するようにすれ
ば、試ｙ３１８の損傷が一層防止される。
ターを設け、撮影時以外は電子線を遮断するようにすれ
ば、試ｙ３１８の損傷が一層防止される。
以−ヒ透過電子線による試料８の拡大散乱像を記録再生
する実施態様について説明したが、本発明は、前述した
試ｒ１の回折パターンを記録再’ｔ：？ｌるために適用
することもできる。第２図は試ＩＩ ８の回折パターン
８Ｃを記録する様子を示すものである。本実施態様にお
いて電子顕微鏡／ＩＯは、対物レンズ６と投影レンズ７
との間に中間レンズ４１を備えたものが使用され、対物
レンズ７の侵焦平面に形成された試料８の回折パターン
８Ｃは、上記後熱平面に焦点を合わせた中間レンズ４１
および投影レンズ７により、結像面９に拡大投影される
。この場合にも上記結像面９に２次元センサとしての蓄
積性螢光体シート１０を配置すれば、該シート１０に透
過電子線２による上記回折パターン８Ｇの拡大像が蓄積
記録される。この蓄積記録された回折パターン８Ｃは、
前記第１図で説明したのと全く同様にして読取り可能で
あり、その読取り像はＣＲＴに表示したり、あるいはハ
ードコピーとして再生したりすることができる。
する実施態様について説明したが、本発明は、前述した
試ｒ１の回折パターンを記録再’ｔ：？ｌるために適用
することもできる。第２図は試ＩＩ ８の回折パターン
８Ｃを記録する様子を示すものである。本実施態様にお
いて電子顕微鏡／ＩＯは、対物レンズ６と投影レンズ７
との間に中間レンズ４１を備えたものが使用され、対物
レンズ７の侵焦平面に形成された試料８の回折パターン
８Ｃは、上記後熱平面に焦点を合わせた中間レンズ４１
および投影レンズ７により、結像面９に拡大投影される
。この場合にも上記結像面９に２次元センサとしての蓄
積性螢光体シート１０を配置すれば、該シート１０に透
過電子線２による上記回折パターン８Ｇの拡大像が蓄積
記録される。この蓄積記録された回折パターン８Ｃは、
前記第１図で説明したのと全く同様にして読取り可能で
あり、その読取り像はＣＲＴに表示したり、あるいはハ
ードコピーとして再生したりすることができる。
また蓄積性螢光体シート１０から放出された輝尽発光光
を光電的に読み取る光電読取手段としては、前述のよう
なフォｉ−マルを用いる他に、先導電体あるいはフォト
ダイオードなどの固体光電変換素子を用いることもでき
る（特ｍ昭５８−８６２２６号、特願昭５８−８６２２
７号、特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８−
２１９３１４号の各明細ｍ、および特開昭５８−１２１
８７４＠公報参照）。この場合には、多数の固体光電変
換素子がシート１０全表面を覆うように構成され、シー
ト１０と一体化されていてもよいし、あるいはシート１
０に近接した状態で配置されていてもよい。また、光電
読取手段は複数の光電変換素子が線状に連なったライン
センサであってもよいし、あるいは一画素に対応する一
個の固体光電変換素子が蓄積性螢光体シート１０の全表
面に亘って走査移動されるように構成されてもよい。
を光電的に読み取る光電読取手段としては、前述のよう
なフォｉ−マルを用いる他に、先導電体あるいはフォト
ダイオードなどの固体光電変換素子を用いることもでき
る（特ｍ昭５８−８６２２６号、特願昭５８−８６２２
７号、特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８−
２１９３１４号の各明細ｍ、および特開昭５８−１２１
８７４＠公報参照）。この場合には、多数の固体光電変
換素子がシート１０全表面を覆うように構成され、シー
ト１０と一体化されていてもよいし、あるいはシート１
０に近接した状態で配置されていてもよい。また、光電
読取手段は複数の光電変換素子が線状に連なったライン
センサであってもよいし、あるいは一画素に対応する一
個の固体光電変換素子が蓄積性螢光体シート１０の全表
面に亘って走査移動されるように構成されてもよい。
上記の場合の読取用励起光源としては、レーザ等のよう
な点光源のほかに、発光ダイオード（ＬＦＤ）や半導体
レーザ等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源が用い
られてもよい。このような装置を用いて読取りを行なう
ことにより、蓄積性螢光体シート１０から放ＩＨされる
輝尽発光光の損失を防ぐと同時に、受光立体角を大きく
してＳ／Ｎを高めることができる。また、得られる電気
信号は励起光の時系列的な照射によってではなく、光検
出器の電気的な処理によって時系列化されるために、読
取速瓜を速くすることが可能である。
な点光源のほかに、発光ダイオード（ＬＦＤ）や半導体
レーザ等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源が用い
られてもよい。このような装置を用いて読取りを行なう
ことにより、蓄積性螢光体シート１０から放ＩＨされる
輝尽発光光の損失を防ぐと同時に、受光立体角を大きく
してＳ／Ｎを高めることができる。また、得られる電気
信号は励起光の時系列的な照射によってではなく、光検
出器の電気的な処理によって時系列化されるために、読
取速瓜を速くすることが可能である。
また、以上述べた蓄積性螢光体シート１０に代えて熱螢
光体シートを用いる場合、このシートから蓄積エネルギ
ーを加熱によって放出させるには、例えばＣＯ２レーザ
などの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線で熱螢光
体シートを走査すればよく、そのためには例えば特公昭
５５−４７７２０号公報等の記述を参考にすればよい。
光体シートを用いる場合、このシートから蓄積エネルギ
ーを加熱によって放出させるには、例えばＣＯ２レーザ
などの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線で熱螢光
体シートを走査すればよく、そのためには例えば特公昭
５５−４７７２０号公報等の記述を参考にすればよい。
また蓄積性螢光体シート１０等の２次元センサを、真空
状態内に置いたまま画像読取りを行なうことは必ずしも
必要ではなく、電子顕微鏡像蓄積記録後、真空状態を破
壊して２次元センサを取り出し、電子類ａＳとは別個に
設けた読取装置を用いて画像読取りを行なってもよい。
状態内に置いたまま画像読取りを行なうことは必ずしも
必要ではなく、電子顕微鏡像蓄積記録後、真空状態を破
壊して２次元センサを取り出し、電子類ａＳとは別個に
設けた読取装置を用いて画像読取りを行なってもよい。
しかし前記実施態様におけるように、電子線像結像面と
共通の真空系内で２次元センサを循環して使用すれば、
従来のフィルム法のように真空を破壊してフィルム交換
等を行なう必要がなく、連続的に多数の撮影を行なうこ
とが可能になる。
共通の真空系内で２次元センサを循環して使用すれば、
従来のフィルム法のように真空を破壊してフィルム交換
等を行なう必要がなく、連続的に多数の撮影を行なうこ
とが可能になる。
なお以上説明した実施態様においては、ピント検査用画
像を得るための画像信号に基づいて読取条件（読取ゲイ
ンと収録スケールファクター）と画像処理条件の双方が
設定されるようになっているが、本発明方法により、上
記画像信号に基づいて読取条件のみを設定するようにし
てもよいし、あるいは画像処理条件のみを設定するよう
にしてもよいことは勿論である。
像を得るための画像信号に基づいて読取条件（読取ゲイ
ンと収録スケールファクター）と画像処理条件の双方が
設定されるようになっているが、本発明方法により、上
記画像信号に基づいて読取条件のみを設定するようにし
てもよいし、あるいは画像処理条件のみを設定するよう
にしてもよいことは勿論である。
（発明の効果）
以上詳細に説明した通り本発明方法によれば、蓄積性螢
光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録
するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録する
ことが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光
ｍを低減でき、試料の損傷を少なくすることができる。
光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を蓄積記録
するようにしたから、電子顕微鏡像を高感度で記録する
ことが可能になり、したがって電子顕微鏡の電子線露光
ｍを低減でき、試料の損傷を少なくすることができる。
しかも本発明方法においては電子顕微鏡像が電気信号と
して読み取られるから、電子顕微鏡像に階調処理、周波
数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり
、また前述したような回折パターンの処理や、３次元像
の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号
を］ンピュータに入力することにより、従来に比べ極め
て簡単かつ迅速に行なえるようになる。
して読み取られるから、電子顕微鏡像に階調処理、周波
数強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり
、また前述したような回折パターンの処理や、３次元像
の再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号
を］ンピュータに入力することにより、従来に比べ極め
て簡単かつ迅速に行なえるようになる。
さらに、電子顕微鏡像を蓄積記録する２次元センサは、
光照射、加熱等の処理を施すことにより再使用可能であ
るから、本発明によれば従来の銀塩写真システムを採用
する場合等に比べ、より経済的に電子顕微鏡像を再生で
きる。
光照射、加熱等の処理を施すことにより再使用可能であ
るから、本発明によれば従来の銀塩写真システムを採用
する場合等に比べ、より経済的に電子顕微鏡像を再生で
きる。
また本発明方法においては、電子顕微１像のピント検査
用画像も蓄積性螢光体シート等の２次元セン勺に蓄積記
録するようにしたから、ピント合わせのために試料に照
射する電子線循も著しく低減でき、試料損傷防止の効果
が極めて大きい。
用画像も蓄積性螢光体シート等の２次元セン勺に蓄積記
録するようにしたから、ピント合わせのために試料に照
射する電子線循も著しく低減でき、試料損傷防止の効果
が極めて大きい。
さらに本発明方法においては、上記のピント検査用画像
を再−トするための画像信号が相持する２次元センサの
蓄積記録情報に基づいて、最終出力画像を読取り、再生
する場合の読取条件および／または画像処理条件を設定
するようにしたから、これらの条件を最適に設定して、
観察適性が特に優れた電子顕微鏡像を再生することが可
能になる。
を再−トするための画像信号が相持する２次元センサの
蓄積記録情報に基づいて、最終出力画像を読取り、再生
する場合の読取条件および／または画像処理条件を設定
するようにしたから、これらの条件を最適に設定して、
観察適性が特に優れた電子顕微鏡像を再生することが可
能になる。
第１図は本発明の第１実施態様方法を実施する装置を示
す概略図、 第２図は本発明の第２実ＩＭ態様方法が適用される電子
顕微鏡の一部を示す概略図である。 １．４０・・・電子顕微鏡 ２・・・電子線９・・・
電子顕微鏡の結像面 １０・・・蓄積性螢光体シート １１・・・励起光源 １１ａ・・・励起光ビーム １２・・・光偏向器１４
・・・集光体 １５・・・光電変換器３０・
・・ピント合わせツマミ ３１・・・増幅器 ３２・・・Ａ／Ｄ変換器
３３・・・信号処理回路 ３４・・・画像再生装置
３５・・・制御回路 ａ・・・読取ゲイン設定値 ｂ・・・収録スケールファクター設定値Ｃ・・・画像処
理条件設定値 （自発）手続補正書 特許庁長官 殿 昭和６０年８
月６日１、事件の表示
５１扛特願昭５９−２４１５（”）０号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件どの関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０Ｍ地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六木木５丁目２番１号 はうらいやビル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １１ 征 史（ほか１名）
５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し８、補
正の内容 １）明細書第７頁第３行 「励起光を照射するか又は加熱するとｊを「励起光を照
射すると」と訂正する。 ２）同第２５頁第２０行の摂に次の文を挿入する。 ［第３図は画像再生装置の一例として、画像走査記録装
置を示すものである。感光フィルム１３０を矢印Ｙの副
走査方向へ移動させるとともにレーザービーム１３１を
この感光フィルム１３０上にＸ方向に主走査させ、レー
ザービーム１３１をへ１０変調器１３２により前記信号
処理回路３３からの画像信号に基づいて変調することに
より、感光フィルム１３０上に可視像が形成される。 ここで上記感光フィルム１３０上に形成される可視像の
画面サイズは、前記結像面９のサイズ（すなわち２次元
センサへの蓄積記録面積）よりも大きく設定され、上記
拡大散乱像８ｂは結像面９上におけるよりも拡大して再
生される。蓄積性螢光体シート１０を用いれば、上記拡
大散乱像８ｂは高鮮鋭度で再生されるので、このように
拡大しても十分良好な画質の再生画像が得られる。した
がって蓄積ヤ［螢光体シート１０として小サイズのもの
が使用可能で、それとともに光電蛮換器１５も小型のも
のが使用可能となり、装置は全体として小型に形成され
うる。 第３図の如き画像走査記録装置にて拡大した画像を出力
するためには、その走査線密度を蓄積性螢光体シート１
０から画像情報を得る際の読み取り走査線密度より相に
すればよい。 本発明のような小サイズの蓄積性螢光体シートから充分
な画像情報を得るには読み取り走査線密度は１０ビクセ
ル／ｍｍ以上、特に１５ビクセル／１１１ｍ〜１００ピ
クセル／ｌ１ｌＩ１１の範囲に設定するのが好ましいが
、再生像記録のための走査線密度はこれよりも粗とし、
好ましくは５ビクセル／龍〜２０ピクセル／ｌ１１ｍの
範囲において使用した読み取り走査線密度よりも粗い走
査線密度を選択すれば、画質の低下なく拡大再生像を得
ることができる。」 ３）明細書第３７頁第８行 「概略図である。」を「概略図、第３図は本発明方法に
基づいて電子顕微鏡像を再生する画像再生装置の一例を
示す概略図である。」と訂正する。 ４）図面に第３図を追加する。 第３図 （自発）手続補正需 特許庁長官 殿 昭和６０年９月
１９日２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 件 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六木木５丁目２番１号 はうらいやビル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １）征 史（ばか１名）５、
補正命令のロイＮ１ な し６、補正により増
加する発明の数 な し７、補正の対象 明
細書の「発明の詳細な説明」の欄８、補正の内容 （自 発）手続ネ市正書 特許庁長官 殿 昭和６１年１
月８日特願昭５９−２／Ｉ １５００号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 件 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 はうらいやヒル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １）征 史（はが１名）５、
補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の１特許請求の範囲」および「発
明の詳細な説明」の欄 ８、補正の内容 １）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 ２）明細田第６頁第１．３〜／１．８行、同第９頁第２
０行、同第１０頁第９〜１０１１１行、同第３６頁第１
２〜１３．１７行 「ピント検査」の後に「および／または視野探し」を挿
入する。 ３）同第６頁第５行 「ピントを合わせる」の後に［あるいは視野範囲を決定
する」を挿入する。 ４）同第３１頁第１４〜１５行 ［最終出力画像の視野範囲を決定するために利用するこ
ともできる。」を１最終出力画像の視野範囲を決定する
ため（視野探し）に利用することもできる。視野探しの
場合には、前記再生画像を観察し、試１ｊ＋８を少しず
つ動かすか、あるいは電子線２を試料面に照射する位冒
を少しずつ変えて、所望の視野範囲の拡大散乱像８ｂが
得られるようにすればよい。なお、視野探しに際しては
最終出力画像の画像域相当の全体の画像を再生して行な
う必要がある。」と訂正する。 ５）同第３６頁第１４〜１５行 「ピント合わせ」の後に「および／または視野探し」を
特徴する 特許請求の範囲 （１） 電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、
試料を透過した電子線を真空状−で蓄積記録し、次いで
前記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積
されたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光
電的に読み取る電子顕微鏡像記録再生方法において、電
子顕微鏡像のピント検査および／または視野探しのだめ
の前記蓄積記録および前記放出光の読取りを行なって得
られた電気信号に基づいてピント検査および／またはｐ
艷ａ’ Ｉ−用画像を再生づるとともに、この電気信
号が相持する前記２次元センサの蓄積記録情報に基づい
て、最終出力画像を得るための前記放出光の読取りにお
ける読取条件および／または画像処理条件を設定するこ
とを特徴とする電子顕微鏡像記録再生方法。 （２） 前記放出光の読取りを、前記２次元センサを真
空状態に置いたままで行なうことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 （３）Ａｒｔ記２次元センサとして蓄積性螢光体シート
を用い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子
線を真空状態で蓄積記録し、次いで前記蓄積ｆ１螢光体
シートを励起光または熱線で走査して螢光を放出させ、
この放出された螢光を光電的に読み取ることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡
像記録再生方法。 （４） 前記ピントｐ−４のための前記放出光の読取り
を、前記最終出力画像の画像域内の一部分について行な
うことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第３項い
ずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生り法。 （５） 前記ピント検査および／または視野探しのだめ
の前記放出光の読取りを、前記最終出力画像を得るだめ
の放出光の読取りにおけるよりも大きい画素単位で行な
うことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第、３−
項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。
す概略図、 第２図は本発明の第２実ＩＭ態様方法が適用される電子
顕微鏡の一部を示す概略図である。 １．４０・・・電子顕微鏡 ２・・・電子線９・・・
電子顕微鏡の結像面 １０・・・蓄積性螢光体シート １１・・・励起光源 １１ａ・・・励起光ビーム １２・・・光偏向器１４
・・・集光体 １５・・・光電変換器３０・
・・ピント合わせツマミ ３１・・・増幅器 ３２・・・Ａ／Ｄ変換器
３３・・・信号処理回路 ３４・・・画像再生装置
３５・・・制御回路 ａ・・・読取ゲイン設定値 ｂ・・・収録スケールファクター設定値Ｃ・・・画像処
理条件設定値 （自発）手続補正書 特許庁長官 殿 昭和６０年８
月６日１、事件の表示
５１扛特願昭５９−２４１５（”）０号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件どの関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０Ｍ地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六木木５丁目２番１号 はうらいやビル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １１ 征 史（ほか１名）
５、補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し８、補
正の内容 １）明細書第７頁第３行 「励起光を照射するか又は加熱するとｊを「励起光を照
射すると」と訂正する。 ２）同第２５頁第２０行の摂に次の文を挿入する。 ［第３図は画像再生装置の一例として、画像走査記録装
置を示すものである。感光フィルム１３０を矢印Ｙの副
走査方向へ移動させるとともにレーザービーム１３１を
この感光フィルム１３０上にＸ方向に主走査させ、レー
ザービーム１３１をへ１０変調器１３２により前記信号
処理回路３３からの画像信号に基づいて変調することに
より、感光フィルム１３０上に可視像が形成される。 ここで上記感光フィルム１３０上に形成される可視像の
画面サイズは、前記結像面９のサイズ（すなわち２次元
センサへの蓄積記録面積）よりも大きく設定され、上記
拡大散乱像８ｂは結像面９上におけるよりも拡大して再
生される。蓄積性螢光体シート１０を用いれば、上記拡
大散乱像８ｂは高鮮鋭度で再生されるので、このように
拡大しても十分良好な画質の再生画像が得られる。した
がって蓄積ヤ［螢光体シート１０として小サイズのもの
が使用可能で、それとともに光電蛮換器１５も小型のも
のが使用可能となり、装置は全体として小型に形成され
うる。 第３図の如き画像走査記録装置にて拡大した画像を出力
するためには、その走査線密度を蓄積性螢光体シート１
０から画像情報を得る際の読み取り走査線密度より相に
すればよい。 本発明のような小サイズの蓄積性螢光体シートから充分
な画像情報を得るには読み取り走査線密度は１０ビクセ
ル／ｍｍ以上、特に１５ビクセル／１１１ｍ〜１００ピ
クセル／ｌ１ｌＩ１１の範囲に設定するのが好ましいが
、再生像記録のための走査線密度はこれよりも粗とし、
好ましくは５ビクセル／龍〜２０ピクセル／ｌ１１ｍの
範囲において使用した読み取り走査線密度よりも粗い走
査線密度を選択すれば、画質の低下なく拡大再生像を得
ることができる。」 ３）明細書第３７頁第８行 「概略図である。」を「概略図、第３図は本発明方法に
基づいて電子顕微鏡像を再生する画像再生装置の一例を
示す概略図である。」と訂正する。 ４）図面に第３図を追加する。 第３図 （自発）手続補正需 特許庁長官 殿 昭和６０年９月
１９日２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 件 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六木木５丁目２番１号 はうらいやビル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １）征 史（ばか１名）５、
補正命令のロイＮ１ な し６、補正により増
加する発明の数 な し７、補正の対象 明
細書の「発明の詳細な説明」の欄８、補正の内容 （自 発）手続ネ市正書 特許庁長官 殿 昭和６１年１
月８日特願昭５９−２／Ｉ １５００号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録再生方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 件 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 はうらいやヒル ７階 （７３１８）弁理士 柳 １）征 史（はが１名）５、
補正命令の日付 な し ６、補正により増加する発明の数 な し７、補
正の対象 明細書の１特許請求の範囲」および「発
明の詳細な説明」の欄 ８、補正の内容 １）特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 ２）明細田第６頁第１．３〜／１．８行、同第９頁第２
０行、同第１０頁第９〜１０１１１行、同第３６頁第１
２〜１３．１７行 「ピント検査」の後に「および／または視野探し」を挿
入する。 ３）同第６頁第５行 「ピントを合わせる」の後に［あるいは視野範囲を決定
する」を挿入する。 ４）同第３１頁第１４〜１５行 ［最終出力画像の視野範囲を決定するために利用するこ
ともできる。」を１最終出力画像の視野範囲を決定する
ため（視野探し）に利用することもできる。視野探しの
場合には、前記再生画像を観察し、試１ｊ＋８を少しず
つ動かすか、あるいは電子線２を試料面に照射する位冒
を少しずつ変えて、所望の視野範囲の拡大散乱像８ｂが
得られるようにすればよい。なお、視野探しに際しては
最終出力画像の画像域相当の全体の画像を再生して行な
う必要がある。」と訂正する。 ５）同第３６頁第１４〜１５行 「ピント合わせ」の後に「および／または視野探し」を
特徴する 特許請求の範囲 （１） 電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、
試料を透過した電子線を真空状−で蓄積記録し、次いで
前記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積
されたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光
電的に読み取る電子顕微鏡像記録再生方法において、電
子顕微鏡像のピント検査および／または視野探しのだめ
の前記蓄積記録および前記放出光の読取りを行なって得
られた電気信号に基づいてピント検査および／またはｐ
艷ａ’ Ｉ−用画像を再生づるとともに、この電気信
号が相持する前記２次元センサの蓄積記録情報に基づい
て、最終出力画像を得るための前記放出光の読取りにお
ける読取条件および／または画像処理条件を設定するこ
とを特徴とする電子顕微鏡像記録再生方法。 （２） 前記放出光の読取りを、前記２次元センサを真
空状態に置いたままで行なうことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 （３）Ａｒｔ記２次元センサとして蓄積性螢光体シート
を用い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子
線を真空状態で蓄積記録し、次いで前記蓄積ｆ１螢光体
シートを励起光または熱線で走査して螢光を放出させ、
この放出された螢光を光電的に読み取ることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡
像記録再生方法。 （４） 前記ピントｐ−４のための前記放出光の読取り
を、前記最終出力画像の画像域内の一部分について行な
うことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第３項い
ずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生り法。 （５） 前記ピント検査および／または視野探しのだめ
の前記放出光の読取りを、前記最終出力画像を得るだめ
の放出光の読取りにおけるよりも大きい画素単位で行な
うことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第、３−
項いずれか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。
Claims (5)
- （１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサに、試
料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前
記２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって蓄積さ
れたエネルギーを光として放出させ、この放出光を光電
的に読み取る電子顕微鏡像記録再生方法において、電子
顕微鏡像のピント検査のための前記蓄積記録および前記
放出光の読取りを行なって得られた電気信号に基づいて
ピント検査用画像を再生するとともに、この電気信号が
担持する前記２次元センサの蓄積記録情報に基づいて、
最終出力画像を得るための前記放出光の読取りにおける
読取条件および／または画像処理条件を設定することを
特徴とする電子顕微鏡像記録再生方法。 - （２）前記放出光の読取りを、前記２次元センサを真空
状態に置いたままで行なうことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 - （３）前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを用
い、この蓄積性螢光体シートに試料を透過した電子線を
真空状態で蓄積記録し、次いで前記蓄積性螢光体シート
を励起光または熱線で走査して螢光を放出させ、この放
出された螢光を光電的に読み取ることを特徴とする特許
請求の範囲第１項または第２項記載の電子顕微鏡像記録
再生方法。 - （４）前記ピント合わせのための前記放出光の読取りを
、前記最終出力画像の画像域内の一部分について行なう
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第３項いず
れか１項記載の電子顕微鏡像記録再生方法。 - （５）前記ピント合わせのための前記放出光の読取りを
、前記最終出力画像を得るための放出光の読取りにおけ
るよりも大きい画素単位で行なうことを特徴とする特許
請求の範囲第１項から第４項いずれか１項記載の電子顕
微鏡像記録再生方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241500A JPH0616396B2 (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 電子顕微鏡像記録再生方法 |
| US06/786,080 US4651220A (en) | 1984-10-12 | 1985-10-10 | Method of recording and reproducing images produced by an electron microscope |
| EP85112938A EP0177973B1 (en) | 1984-10-12 | 1985-10-11 | Method of recording and reproducing images produced by an electron microscope |
| DE3587771T DE3587771T2 (de) | 1984-10-12 | 1985-10-11 | Aufnahme- und Wiedergabeverfahren von erzeugten Bildern mittels eines Elektronenmikroskops. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59241500A JPH0616396B2 (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 電子顕微鏡像記録再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61138440A true JPS61138440A (ja) | 1986-06-25 |
| JPH0616396B2 JPH0616396B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=17075247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59241500A Expired - Lifetime JPH0616396B2 (ja) | 1984-10-12 | 1984-11-15 | 電子顕微鏡像記録再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616396B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831684A (ja) * | 1971-08-25 | 1973-04-25 | ||
| JPS5867243A (ja) * | 1981-10-16 | 1983-04-21 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線画像情報読取装置 |
| JPS58122500A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-21 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換パネル |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP59241500A patent/JPH0616396B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4831684A (ja) * | 1971-08-25 | 1973-04-25 | ||
| JPS5867243A (ja) * | 1981-10-16 | 1983-04-21 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線画像情報読取装置 |
| JPS58122500A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-21 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換パネル |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0616396B2 (ja) | 1994-03-02 |
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