JPS61136061A - シ−ル用パツキン - Google Patents
シ−ル用パツキンInfo
- Publication number
- JPS61136061A JPS61136061A JP59255816A JP25581684A JPS61136061A JP S61136061 A JPS61136061 A JP S61136061A JP 59255816 A JP59255816 A JP 59255816A JP 25581684 A JP25581684 A JP 25581684A JP S61136061 A JPS61136061 A JP S61136061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- packing body
- covering layer
- flexible
- conductive
- metallic covering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/021—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing
- F16J15/022—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は機器類のシール用パツキン、特に高真空装置に
使用するに好適なシール用パツキンに関するものである
。
使用するに好適なシール用パツキンに関するものである
。
（従来の技術）
従来、高真空装置においては、高真空中での使用に際し
て生ずる放出ガスの間融に鑑み、シール用パツキンとし
て、銅、アルミニウム、ステンレス、インコネル、鉛、
インジュウム、錫、アルコム、チタン、金、銀等のよう
に用途に応じて種々の金属材料の板が使用されている。
て生ずる放出ガスの間融に鑑み、シール用パツキンとし
て、銅、アルミニウム、ステンレス、インコネル、鉛、
インジュウム、錫、アルコム、チタン、金、銀等のよう
に用途に応じて種々の金属材料の板が使用されている。
これらの金属製シール用パツキンは高真空をつくる時の
ベーキングに耐える耐熱性を有し、ガス放出がないこと
によって好適に用いられている。
ベーキングに耐える耐熱性を有し、ガス放出がないこと
によって好適に用いられている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来の金属製シール用パツキンは、弾性
に乏しく、１回ないし数回の使用で塑性変形し、繰返し
使用に耐えないという問題があり、したがって、例えば
、ゲートバルブ弁の弁座部のようにシール作用を繰返し
行なう必要がある用途では、従来の金属製パツキンでは
充分な機能を期待することが困鑓であるという問題があ
る。
に乏しく、１回ないし数回の使用で塑性変形し、繰返し
使用に耐えないという問題があり、したがって、例えば
、ゲートバルブ弁の弁座部のようにシール作用を繰返し
行なう必要がある用途では、従来の金属製パツキンでは
充分な機能を期待することが困鑓であるという問題があ
る。
（問題点を解決するための手段）
本発明の目的は、上述した従来の金属製シール用パツキ
ンの問題点を解決しようとするもので、本発明によれば
、従来一般的シール用パツキン材料として弾性および可
撓性の而では適しているが、高真空装置でのガス放出処
理時のベーキング温度に耐えられない、ガス放出が多い
、耐食性がない等の理由で高真空装置等の特殊用途での
使用に適さナカったゴム、樹脂、アスベスト、可撓性膨
張黒鉛等の有機物または無機物の材料でｏＪ撓性パツキ
ン本体を族１形等により形成し、この可撓性パッキン本
体の表面を金属メッキ層等の金員被覆層で被覆すること
を特徴とする。
ンの問題点を解決しようとするもので、本発明によれば
、従来一般的シール用パツキン材料として弾性および可
撓性の而では適しているが、高真空装置でのガス放出処
理時のベーキング温度に耐えられない、ガス放出が多い
、耐食性がない等の理由で高真空装置等の特殊用途での
使用に適さナカったゴム、樹脂、アスベスト、可撓性膨
張黒鉛等の有機物または無機物の材料でｏＪ撓性パツキ
ン本体を族１形等により形成し、この可撓性パッキン本
体の表面を金属メッキ層等の金員被覆層で被覆すること
を特徴とする。
（作用）
本発明によるシール用パツキンは弾性および可撓性を有
するパツキン本体の表面を金属被覆層で被覆したもので
あるから、耐熱性を有し、ガス放出を防止し得るととも
に適当な弾性および可撓性を有し繰返し使用にも耐える
ことができる。
するパツキン本体の表面を金属被覆層で被覆したもので
あるから、耐熱性を有し、ガス放出を防止し得るととも
に適当な弾性および可撓性を有し繰返し使用にも耐える
ことができる。
実施例
第１図は特公昭！１６−５１９０（１号公報に記載の口
■撓性膨張黒鉛を０リング形状にプレス成形したパツキ
ン本体１の表面にニッケル特殊合金を電鋳法で１００ミ
クロン程度の１シみに被覆して被覆層２を設けた本発明
の第１の実施例による金属被覆パツキンの断面を示す。
■撓性膨張黒鉛を０リング形状にプレス成形したパツキ
ン本体１の表面にニッケル特殊合金を電鋳法で１００ミ
クロン程度の１シみに被覆して被覆層２を設けた本発明
の第１の実施例による金属被覆パツキンの断面を示す。
可撓性膨張黒鉛は、シール用パツキンとして適当な弾性
を有するとともに、耐熱性も大気中で一２００℃から＋
５５０℃まであり、酸化しない環境では１０００℃以上
の耐熱性を有している。
を有するとともに、耐熱性も大気中で一２００℃から＋
５５０℃まであり、酸化しない環境では１０００℃以上
の耐熱性を有している。
また電導体なので、そのまま金属メッキが可能である。
しかし、脆いためにそのままでは保形が困難であること
と、真空中ではガス放出揖が多い性質を有している。
と、真空中ではガス放出揖が多い性質を有している。
ニッケル特殊合金は例えばＨｉにＳ 、 Ｃ、Ｎａ等を
微量に添加したものである。
微量に添加したものである。
本発明によれば、金属被覆層２として上述したニッケル
特殊合金に限らず、優れたじん性と強度を有し、適当な
厚みで被覆すれば、可撓性パツキン本体の弾性、耐熱性
を損うことなく、ガス放出防止と、保形の役目を果すこ
とができるへ他の種々の金ｍおよび合金を用いることが
できる。
特殊合金に限らず、優れたじん性と強度を有し、適当な
厚みで被覆すれば、可撓性パツキン本体の弾性、耐熱性
を損うことなく、ガス放出防止と、保形の役目を果すこ
とができるへ他の種々の金ｍおよび合金を用いることが
できる。
第２図は本発明の第２の実施例によりフッ素合成樹脂製
０１Ｊソングパツキン本体ｌに、蒸着によッテ銀の導電
被膜８を施し、その表向にニッケル特殊合金被覆層２を
電鋳法によって被覆した金属被覆シール用パツキンの断
面ヲ示す。
０１Ｊソングパツキン本体ｌに、蒸着によッテ銀の導電
被膜８を施し、その表向にニッケル特殊合金被覆層２を
電鋳法によって被覆した金属被覆シール用パツキンの断
面ヲ示す。
パツキン本体１の材料として合成、樹脂材料のように不
導電性材料のものを用いる場合には、金属被覆を行う前
に、パツキン本体１の不導電体表面に蒸着、スパッタリ
ング或いは導電塗料等で、表而を導電体としてから金属
被覆作業を行えばよい。
導電性材料のものを用いる場合には、金属被覆を行う前
に、パツキン本体１の不導電体表面に蒸着、スパッタリ
ング或いは導電塗料等で、表而を導電体としてから金属
被覆作業を行えばよい。
（発明の効果）
本発明によれば有櫻物または無機物をパツキン形状に成
形したものの表面に、金属被覆層を設けることによって
、従来の金属製パツキンの欠陥を補い、被覆される材料
の弾性、耐熱性等の特性を損うことなく、放出ガス、繰
り返し使用あるいは保形の而で優れた機能を生ずるとい
う効果が得られる。
形したものの表面に、金属被覆層を設けることによって
、従来の金属製パツキンの欠陥を補い、被覆される材料
の弾性、耐熱性等の特性を損うことなく、放出ガス、繰
り返し使用あるいは保形の而で優れた機能を生ずるとい
う効果が得られる。
第１図は本発明による金属被覆シール用パツキンの横断
面Ｖ、 第２図は本発明の他の実施例を示す第１図と同様の横断
面図である。 １・・・パツキン本体 ２・・・金属被覆層８・・
・導電被膜 寥
面Ｖ、 第２図は本発明の他の実施例を示す第１図と同様の横断
面図である。 １・・・パツキン本体 ２・・・金属被覆層８・・
・導電被膜 寥
Claims (1)
- １、有機物または無機物の可撓性パッキン本体の表面を
金属被覆層で被覆したことを特徴とするシール用パッキ
ン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59255816A JPS61136061A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | シ−ル用パツキン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59255816A JPS61136061A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | シ−ル用パツキン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61136061A true JPS61136061A (ja) | 1986-06-23 |
Family
ID=17284022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59255816A Pending JPS61136061A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | シ−ル用パツキン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61136061A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH061928U (ja) * | 1992-06-16 | 1994-01-14 | 株式会社東理社 | 真空封止用ガスケット |
| US11168792B2 (en) * | 2017-11-28 | 2021-11-09 | Carl Freudenberg Kg | Seal arrangement |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP59255816A patent/JPS61136061A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH061928U (ja) * | 1992-06-16 | 1994-01-14 | 株式会社東理社 | 真空封止用ガスケット |
| US11168792B2 (en) * | 2017-11-28 | 2021-11-09 | Carl Freudenberg Kg | Seal arrangement |
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