JPS61133853A - 複合型酵素電極 - Google Patents
複合型酵素電極Info
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- JPS61133853A JPS61133853A JP59256669A JP25666984A JPS61133853A JP S61133853 A JPS61133853 A JP S61133853A JP 59256669 A JP59256669 A JP 59256669A JP 25666984 A JP25666984 A JP 25666984A JP S61133853 A JPS61133853 A JP S61133853A
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- Japan
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- electrode
- membrane
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- immobilized membrane
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
- C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
- C12Q1/001—Enzyme electrodes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4145—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for biomolecules, e.g. gate electrode with immobilised receptors
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は試料溶液中の複数化学物質濃度を同時に感度よ
く検出する複合型酵素電極に関する。
く検出する複合型酵素電極に関する。
（従来技術とその問題点）
酵素を分析分野に応用する試みは古くから行なわれてい
る。これらの中でも酵素固定化膜と各種電気化学デバイ
スを用いた酵素電極は迅速、簡便かつ高感度な分析手段
である。さらに近年これらの酵素電極の微小化の要望が
高スリ、中でもイγ／感受性電界効果型トランジスタ（
Ｉｏｎ ８ｅｒ１ｘｉ ｔｉｖｅＦｉｅｌｄ 、ｈ；ｆ
ｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ 、以下ｌ５ＦＥＴと
略す。）を用いた酵素電極はシリコ／ｆＣの製造技術を
そのまま利用してつくることができる点で注目されてい
る。ＩＳＩ；”ＥＴを用いた酵素電極では、飛和せこう
電極、・−一塩化銀電極などの参照電極ｆ！：用いて溶
液の電位を定める必要がある。
る。これらの中でも酵素固定化膜と各種電気化学デバイ
スを用いた酵素電極は迅速、簡便かつ高感度な分析手段
である。さらに近年これらの酵素電極の微小化の要望が
高スリ、中でもイγ／感受性電界効果型トランジスタ（
Ｉｏｎ ８ｅｒ１ｘｉ ｔｉｖｅＦｉｅｌｄ 、ｈ；ｆ
ｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ 、以下ｌ５ＦＥＴと
略す。）を用いた酵素電極はシリコ／ｆＣの製造技術を
そのまま利用してつくることができる点で注目されてい
る。ＩＳＩ；”ＥＴを用いた酵素電極では、飛和せこう
電極、・−一塩化銀電極などの参照電極ｆ！：用いて溶
液の電位を定める必要がある。
参照電極ともシリコ／ＩＣ製造技術金用いて形成し、微
小化した酵素電極として丈ファイア基板上にエピタキ７
ヤル成長された島状のシリコン層を用いて形成ｇｎた２
１ｔ５のＬＳＦｉ！ＪＴ （Ｓｉｌｉｃｏｎ ０ｎＳａ
ｐｐｈｉｒｅ／ＩＳ１’Ｅ’ｆ’ ： ＳＯ８／ｌ８Ｆ
ＥＴ）ｆ用い、これらのｌ５ＦＢＴのイオン感応膜の表
面Ｋ ＋７ ｖアーゼ固定化膜を形成し、このうち一方
のＩ、５ＦＥＴ上の酵素を失活させ、基板の裏面に蒸着
さルた金層を疑似参照電極として）つのＬＳＦＥＴの出
力の差を測定する尿素センナが発表されている（′８４
年電気化学合同秋季大会第３回化学センサー研究発表会
要旨集Ｐ、３）がこれは単一物質の測定しか行なうこと
ができない。また、チップ上に形成するｌ５ｌｅ’ＥＴ
の数を増やし複数の酵素を固定化することにより測定項
目を増やす試みも行なわれている（１９８４年電気化学
合同秋季大会講演要旨集）’、４５）が、いづれもｐＨ
変化を測定する形式であるためプロトンの拡散等によシ
近接したセンナ（干渉を生じるなどの問題があり、微小
化に限界がある。
小化した酵素電極として丈ファイア基板上にエピタキ７
ヤル成長された島状のシリコン層を用いて形成ｇｎた２
１ｔ５のＬＳＦｉ！ＪＴ （Ｓｉｌｉｃｏｎ ０ｎＳａ
ｐｐｈｉｒｅ／ＩＳ１’Ｅ’ｆ’ ： ＳＯ８／ｌ８Ｆ
ＥＴ）ｆ用い、これらのｌ５ＦＢＴのイオン感応膜の表
面Ｋ ＋７ ｖアーゼ固定化膜を形成し、このうち一方
のＩ、５ＦＥＴ上の酵素を失活させ、基板の裏面に蒸着
さルた金層を疑似参照電極として）つのＬＳＦＥＴの出
力の差を測定する尿素センナが発表されている（′８４
年電気化学合同秋季大会第３回化学センサー研究発表会
要旨集Ｐ、３）がこれは単一物質の測定しか行なうこと
ができない。また、チップ上に形成するｌ５ｌｅ’ＥＴ
の数を増やし複数の酵素を固定化することにより測定項
目を増やす試みも行なわれている（１９８４年電気化学
合同秋季大会講演要旨集）’、４５）が、いづれもｐＨ
変化を測定する形式であるためプロトンの拡散等によシ
近接したセンナ（干渉を生じるなどの問題があり、微小
化に限界がある。
またこの方法は反応前後のｐＨ変化が小さい場合には原
理的に測定が固型である。
理的に測定が固型である。
ｌ５ＦＥＴを用いない微小酵素電極として絶縁基板上の
２個の金電極の表面にグルコースオキシダーゼ固定化膜
を形成し、グルコースが分解される際に生じる過酸化水
素を定電位電解により検知すル形式のグルコースセンナ
がある。（′８４年電気化学合同秋季大会第３回化学セ
ンサー研究発表会要旨集Ｐ、１１）が、これも単一物質
の測定にしか行なうことができないという欠点があった
。
２個の金電極の表面にグルコースオキシダーゼ固定化膜
を形成し、グルコースが分解される際に生じる過酸化水
素を定電位電解により検知すル形式のグルコースセンナ
がある。（′８４年電気化学合同秋季大会第３回化学セ
ンサー研究発表会要旨集Ｐ、１１）が、これも単一物質
の測定にしか行なうことができないという欠点があった
。
（発明の目的）
本発明の目的は複数の化学物質が同時に選択的に測定ご
砧、かつ微小な酵素電極を提供することＫめる。
砧、かつ微小な酵素電極を提供することＫめる。
（発明の構成）
本発明の複合型酵素電極は絶縁基板と、前記絶縁基板の
一主面上に形成された２４１の電界効果型イオンセンサ
と、イオン感応膜上にさらに第１の酵素固定化膜を有す
る第２の電界効果型イオンセンサと、前記絶縁基板の他
の主面上に形成された２個の貴金属電極と、この電極の
少なくとも一方に形成された第２の酵素固定化膜とを含
んで４成される。
一主面上に形成された２４１の電界効果型イオンセンサ
と、イオン感応膜上にさらに第１の酵素固定化膜を有す
る第２の電界効果型イオンセンサと、前記絶縁基板の他
の主面上に形成された２個の貴金属電極と、この電極の
少なくとも一方に形成された第２の酵素固定化膜とを含
んで４成される。
（構成の詳細な説明）
本発明の複合型酵素電極は、酵素反応の前後のｐＨ変化
を電界効果型イオンセンサで検知する第１の酵素電極と
酵素反応の結果生成あるいは消費される物質を定電位電
解で検知する第２の酵素電極を絶縁基板の表面、裏面に
形成し、２種類の化学物質を異なる形式で検知する。サ
ファイア・石英等の絶縁基板の一主面上〈エピタキシャ
ル成長等の手段を用いて島状に形成された２個の半導体
層を用いて２個のプロとブ感受性の１８ＦＥＴを製作す
る。このうちの１個のイオン感応膜の表面には、Ｍｌの
測定対象化合物の反応を触媒し、かつ反応の前後にｐＨ
変化を生じさせるような酵素を固定化した第１の酵素固
定化膜を形成させる。固定化する酵素は測定対象化合物
により１種類でも良いし、２種以上でも良い。絶縁基板
の他の主面上には２個の貴金属電極が設けられ、この表
面には、第２の測定対象化合物の反応を触媒し、かつこ
の反応の結果酸素、過酸化水素、補酵素等の電極活物質
が生成あるいは消費されるような酵素を固定化した第２
の酵素固定化膜を形成させる。
を電界効果型イオンセンサで検知する第１の酵素電極と
酵素反応の結果生成あるいは消費される物質を定電位電
解で検知する第２の酵素電極を絶縁基板の表面、裏面に
形成し、２種類の化学物質を異なる形式で検知する。サ
ファイア・石英等の絶縁基板の一主面上〈エピタキシャ
ル成長等の手段を用いて島状に形成された２個の半導体
層を用いて２個のプロとブ感受性の１８ＦＥＴを製作す
る。このうちの１個のイオン感応膜の表面には、Ｍｌの
測定対象化合物の反応を触媒し、かつ反応の前後にｐＨ
変化を生じさせるような酵素を固定化した第１の酵素固
定化膜を形成させる。固定化する酵素は測定対象化合物
により１種類でも良いし、２種以上でも良い。絶縁基板
の他の主面上には２個の貴金属電極が設けられ、この表
面には、第２の測定対象化合物の反応を触媒し、かつこ
の反応の結果酸素、過酸化水素、補酵素等の電極活物質
が生成あるいは消費されるような酵素を固定化した第２
の酵素固定化膜を形成させる。
測定溶液中に含有する縞１の測定物質は、ｌ５ＦＥ’ｆ
’上の第１の酵素固定化膜中で反応し、膜中にｐＨ変化
を生じさせる。このｐ）Ｉ変化は、ｌ５ＦＥＴのイオン
感応膜上の界面電位変化を引き起こすが、この値は、裏
面に形成された１個の貴金属電極を擬似参照電極として
他方のｌ８ＦＥＴとの出力の差として得られる。また、
第２の測定対象物質は賃金ｉｇｔ極上の端２の酵素固定
化膜中で反応し、ここで電極活物質が生成、あるいは消
費される。これらの電極活物質量の変化は、２個の賞金
ノ真電極間に特定の電位差を与えることにより戒甑弐面
で酸化あるいは環元により生じる成流値の変化により検
知される。本発明の複合Ｍ酵素電極では、定電位電解用
の貴金属電極の１本が同時に２本のｌ５ＦＥＴの疑似参
照電極として用いらルる。
’上の第１の酵素固定化膜中で反応し、膜中にｐＨ変化
を生じさせる。このｐ）Ｉ変化は、ｌ５ＦＥＴのイオン
感応膜上の界面電位変化を引き起こすが、この値は、裏
面に形成された１個の貴金属電極を擬似参照電極として
他方のｌ８ＦＥＴとの出力の差として得られる。また、
第２の測定対象物質は賃金ｉｇｔ極上の端２の酵素固定
化膜中で反応し、ここで電極活物質が生成、あるいは消
費される。これらの電極活物質量の変化は、２個の賞金
ノ真電極間に特定の電位差を与えることにより戒甑弐面
で酸化あるいは環元により生じる成流値の変化により検
知される。本発明の複合Ｍ酵素電極では、定電位電解用
の貴金属電極の１本が同時に２本のｌ５ＦＥＴの疑似参
照電極として用いらルる。
本発明で使用する酵素固定化膜は、酵素を外部また、酵
素自体をイオン感応膜に結合させ念ものあるいは酵素自
体を多官能試薬で架橋させた膜でも良い。また、他方・
Ｉ）ＩＳＰ１１！ｉ′１１のイオン感応膜表面はそのま
までも良いが、酵素を含まないで素成ｆｃ＃ｌ固定化膜
と同様にした膜を形成しても、また酵素の代わりにアル
プミ７専のタンバク質やアミノ酸を固定化した膜を形成
しても艮い。さらに２個のｌ５ＦＥＴのイオン感応膜の
表面に均一に酵素固定化膜を形成しておき、一方のｌ５
ＦＥＴのイオノ感応膜の表面の酵素を失挿させても良い
。
素自体をイオン感応膜に結合させ念ものあるいは酵素自
体を多官能試薬で架橋させた膜でも良い。また、他方・
Ｉ）ＩＳＰ１１！ｉ′１１のイオン感応膜表面はそのま
までも良いが、酵素を含まないで素成ｆｃ＃ｌ固定化膜
と同様にした膜を形成しても、また酵素の代わりにアル
プミ７専のタンバク質やアミノ酸を固定化した膜を形成
しても艮い。さらに２個のｌ５ＦＥＴのイオン感応膜の
表面に均一に酵素固定化膜を形成しておき、一方のｌ５
ＦＥＴのイオノ感応膜の表面の酵素を失挿させても良い
。
また本発明における責金、！ｊｉ電極は、金、白金など
が適しているが、他の金属でも測定対象物質により可能
である。
が適しているが、他の金属でも測定対象物質により可能
である。
（実施例）
本発明の実施例について図面を参照して説明する。第１
図および第２図は本発明の一実施例を示す上面図および
下面図である。第１図および第２図に示す複合型酵素電
極はＰ３３層であるサファイア基板の上直に設けられた
２１固の島状のシリコンで形成されたｌ５ＦＥＴと下面
に設けられた２個の貴金属電極と、２ｍ類の酵素固定化
膜で構成される。第３図、第４図および第５図はそれぞ
れ第１図に示すＡ −Ａ’、Ｂ −Ｂ’、ｃ −ｃ’に
おける断面図である。
図および第２図は本発明の一実施例を示す上面図および
下面図である。第１図および第２図に示す複合型酵素電
極はＰ３３層であるサファイア基板の上直に設けられた
２１固の島状のシリコンで形成されたｌ５ＦＥＴと下面
に設けられた２個の貴金属電極と、２ｍ類の酵素固定化
膜で構成される。第３図、第４図および第５図はそれぞ
れ第１図に示すＡ −Ａ’、Ｂ −Ｂ’、ｃ −ｃ’に
おける断面図である。
電解効果型イオンセンサはｐ形シリコン基板層２と、ｎ
形高不純物濃度ノース領域３とｎ形高不純物濃度ドレイ
ン領域４とｐ形高不純物濃度Ｙ−ス領域５とシリコン酸
化膜６と窒化シリコン模７とイオン感Ｌ６膜８とで構成
される。前記ｐ形高不純物嬢度アース領域ダはｐ形シリ
コン基板層２と電気的に接続されている。ノース電極１
１はｎ形高不純物濃度ノース領域３に接続され、ドレイ
ン電極にはｎ形高不純物ａ度ドレイン領域４に接続され
ている。一方のＩ ＳＦＦ、Ｔのイオン感応膜８の表面
には、第１の酵素！司定化膜９が形成されている。
形高不純物濃度ノース領域３とｎ形高不純物濃度ドレイ
ン領域４とｐ形高不純物濃度Ｙ−ス領域５とシリコン酸
化膜６と窒化シリコン模７とイオン感Ｌ６膜８とで構成
される。前記ｐ形高不純物嬢度アース領域ダはｐ形シリ
コン基板層２と電気的に接続されている。ノース電極１
１はｎ形高不純物濃度ノース領域３に接続され、ドレイ
ン電極にはｎ形高不純物ａ度ドレイン領域４に接続され
ている。一方のＩ ＳＦＦ、Ｔのイオン感応膜８の表面
には、第１の酵素！司定化膜９が形成されている。
サファイア基板１の下面には２個の貴金属電極１０．１
１が設けられ、一方の黄金ｐ１４を極１１の表面にｊｄ
第２の酵素固定化膜１４が形成されている。
１が設けられ、一方の黄金ｐ１４を極１１の表面にｊｄ
第２の酵素固定化膜１４が形成されている。
本発明の複合型酵素電極を尿素・グルコース測定用電極
とした場合についてさらに詳細に説明する。この場合に
は、第１の酵素固定化膜としてウレアーゼ固定化膜を用
いた。尿素は膜中で以下のように反応し、膜中のｐＨが
上昇する。
とした場合についてさらに詳細に説明する。この場合に
は、第１の酵素固定化膜としてウレアーゼ固定化膜を用
いた。尿素は膜中で以下のように反応し、膜中のｐＨが
上昇する。
Ｃｏ（Ｎｌ（、）＋２Ｈ，Ｏ＋Ｈ−２Ｎ）（、＋ＨＣ（
Ｊ、−ＩＳＦＥＴのイオノ感応膜として窒化シリコンを
用いることによジ、ｐ）ｉ変化を検出した。第２の酵素
固定化膜とじてグルコースオキ７ダーゼ固定化膜を用い
友。グルコースは膜中で以下のように反応し、過は化水
素を生成する。
Ｊ、−ＩＳＦＥＴのイオノ感応膜として窒化シリコンを
用いることによジ、ｐ）ｉ変化を検出した。第２の酵素
固定化膜とじてグルコースオキ７ダーゼ固定化膜を用い
友。グルコースは膜中で以下のように反応し、過は化水
素を生成する。
グルコース十〇、□グルコン酸＋Ｈ１Ｏ。
貴金属電極として金電極ｔ−使用し、２個の電極間の電
位差を１．１ｖとして定電位電解することにより過酸化
水素を検出した。
位差を１．１ｖとして定電位電解することにより過酸化
水素を検出した。
以下に複合型酵素電極の裏道方法を示す。
１）サファイア基板の上面にエビタキンヤル成長された
シリコン層を島状にエツチングする。
シリコン層を島状にエツチングする。
２）ボロン（Ｂ）イオンをシリコン層に拡散させる。
３） リ／（Ｐ）をソース・ドレイン領域に拡散させる
。
。
４）ゲート表面を酸化させる （Ｓ：０．１０００λ）
５）窒化シリコ７層ｔ−ＣｖＤ （Ｃｈｅｍｉｃａｌ
ｖａｐｏｒｄｅｐｏｓ ｉ ｔ １ｏｎ）により形成さ
辻るう６）基板の裏面に金を蒸着し、す７トオフによシ
金電極を形成させる。
５）窒化シリコ７層ｔ−ＣｖＤ （Ｃｈｅｍｉｃａｌ
ｖａｐｏｒｄｅｐｏｓ ｉ ｔ １ｏｎ）により形成さ
辻るう６）基板の裏面に金を蒸着し、す７トオフによシ
金電極を形成させる。
７）＃索固定化膜を形成させる。
第１の酵素固定化膜は以下のようにして調製した。ウレ
アーゼ５ｒｎｇｅ、０．２ＭｐＨ７，０トリス塩酸緩衝
液で調至したｔｓ％午・血清アルブミン溶液５０μノに
溶解し、この５μ！に２５％グルタルデヒド水溶漱３μ
ｍを混合し、イオン感応膜表面に塗付し、 １５分間放
置した後、水洗し、さらに０．１ Ｍグリシン溶液に１
５分間＆潰した。第２の酵素固定化膜はグルコース万キ
シダーゼを用い、同様の方法で調製した。
アーゼ５ｒｎｇｅ、０．２ＭｐＨ７，０トリス塩酸緩衝
液で調至したｔｓ％午・血清アルブミン溶液５０μノに
溶解し、この５μ！に２５％グルタルデヒド水溶漱３μ
ｍを混合し、イオン感応膜表面に塗付し、 １５分間放
置した後、水洗し、さらに０．１ Ｍグリシン溶液に１
５分間＆潰した。第２の酵素固定化膜はグルコース万キ
シダーゼを用い、同様の方法で調製した。
この様にして製作した尿素・グルコース測定用複合型酵
素電極を０．０１Ｍトリス塩酸緩衝溶液中に浸漬し、尿
素溶液、グルコース溶液、尿素・グルコース混合溶液を
添加し−ごセンサーの応答を測定した。応答はＩＳＦＥ
Ｔを用いた尿素電極では差動電位変化ΔＥ （ｍＶ ）
として、金電極を用いたグルコース電極では戒流瞳
１（ｎＡ）として３０秒後の値を得た。結果を表に示す
。
素電極を０．０１Ｍトリス塩酸緩衝溶液中に浸漬し、尿
素溶液、グルコース溶液、尿素・グルコース混合溶液を
添加し−ごセンサーの応答を測定した。応答はＩＳＦＥ
Ｔを用いた尿素電極では差動電位変化ΔＥ （ｍＶ ）
として、金電極を用いたグルコース電極では戒流瞳
１（ｎＡ）として３０秒後の値を得た。結果を表に示す
。
表 複合型酵素電極の応答
０ ０ ０．ＯＱ、０５０
０ １４．４ ０．０１００
０ ２１．０ ０．０２００
０ ２９．０ ０．００ ５０
０．０ ｍ１０ １００
０．０ ４．３０ ２００ ０
．０ ８．５１００ １００ ２１．
１ ４．３表でも明らかなように尿素濃度とｌ５ＦＥ
Ｔの差動電位変化、グルコース濃度とｔ流値の間にはそ
れぞれ相関関係が認められる。また、２つの出力は完全
に分離して得られており２種の化学物質の定量が同時に
行なえることが明らかになった。
０ １４．４ ０．０１００
０ ２１．０ ０．０２００
０ ２９．０ ０．００ ５０
０．０ ｍ１０ １００
０．０ ４．３０ ２００ ０
．０ ８．５１００ １００ ２１．
１ ４．３表でも明らかなように尿素濃度とｌ５ＦＥ
Ｔの差動電位変化、グルコース濃度とｔ流値の間にはそ
れぞれ相関関係が認められる。また、２つの出力は完全
に分離して得られており２種の化学物質の定量が同時に
行なえることが明らかになった。
（発明の効果）
本発明によれば、測定方式の異なる２個の酵素を極を１
つのチップ上に容易に形成することが可能である。
つのチップ上に容易に形成することが可能である。
また、本発明の複合型酵素電極はシリコンＩＣ製造プロ
セスを用いで容易に微小化できる。
セスを用いで容易に微小化できる。
さらに、定電位！解用の貴金属電極の１個をＩｓ士’Ｅ
Ｔの擬似参照電極として利用でき、さらに微小化に有利
でるる。
Ｔの擬似参照電極として利用でき、さらに微小化に有利
でるる。
２個の酵素固定化膜を容易に分離した形で形成でき、互
いに応答に干渉を与えないといワ効釆を有する。
いに応答に干渉を与えないといワ効釆を有する。
第１図は本発明の一実施例を示す上面図、第２図は下面
図、第３図、第４図および第５図は、それぞれ第１図の
Ａ −Ａ’、Ｂ −Ｂ’、Ｃ−Ｃ’における断面図であ
る。 １・・・丈ファイア基板、２・・−ｐ形シリコン基板層
、ス領域、６・・・シリコン酸化膜、７・・・窒化シリ
コン膜、８・・・イオン感応膜、９・・・第１の酵素固
定化膜、１０．１１・・・貴金属’ｔｔ＠、１２・・・
ソース電極、１３・・・第１ 図 第２図 第３ 図 第４図 第５図
図、第３図、第４図および第５図は、それぞれ第１図の
Ａ −Ａ’、Ｂ −Ｂ’、Ｃ−Ｃ’における断面図であ
る。 １・・・丈ファイア基板、２・・−ｐ形シリコン基板層
、ス領域、６・・・シリコン酸化膜、７・・・窒化シリ
コン膜、８・・・イオン感応膜、９・・・第１の酵素固
定化膜、１０．１１・・・貴金属’ｔｔ＠、１２・・・
ソース電極、１３・・・第１ 図 第２図 第３ 図 第４図 第５図
Claims (1)
- 絶縁基板と前記絶縁基板の一主面上に形成された第１の
電界効果型イオンセンサと、イオン感応膜上にさらに第
１の酵素固定化膜を有する第２の電界効果型イオンセン
サと前記絶縁基板の他の主面上に形成された２個の貴金
属電極と、この電極の少なくとも一方の表面に形成され
た第２の酵素固定化膜とを有することを特徴とする複合
型酵素電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59256669A JPS61133853A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 複合型酵素電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59256669A JPS61133853A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 複合型酵素電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61133853A true JPS61133853A (ja) | 1986-06-21 |
| JPH0519655B2 JPH0519655B2 (ja) | 1993-03-17 |
Family
ID=17295821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59256669A Granted JPS61133853A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 複合型酵素電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61133853A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0304947A2 (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-01 | Tosoh Corporation | Biosensor |
| JP2012013579A (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | Seiko Epson Corp | 半導体装置、並びに、センサ素子及び半導体装置の製造方法 |
| CN114108183A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-03-01 | 重庆理工大学 | 一种用于快速检测铁离子的荧光纳米纤维膜及其制备方法 |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP59256669A patent/JPS61133853A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0304947A2 (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-01 | Tosoh Corporation | Biosensor |
| JP2012013579A (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | Seiko Epson Corp | 半導体装置、並びに、センサ素子及び半導体装置の製造方法 |
| CN114108183A (zh) * | 2021-11-10 | 2022-03-01 | 重庆理工大学 | 一种用于快速检测铁离子的荧光纳米纤维膜及其制备方法 |
| CN114108183B (zh) * | 2021-11-10 | 2022-11-29 | 重庆理工大学 | 一种用于快速检测铁离子的荧光纳米纤维膜及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0519655B2 (ja) | 1993-03-17 |
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