JPS6113314A - 精密ｘｙ０移動台装置 - Google Patents
精密ｘｙ０移動台装置Info
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- JPS6113314A JPS6113314A JP13312184A JP13312184A JPS6113314A JP S6113314 A JPS6113314 A JP S6113314A JP 13312184 A JP13312184 A JP 13312184A JP 13312184 A JP13312184 A JP 13312184A JP S6113314 A JPS6113314 A JP S6113314A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide shaft
- sample base
- sample
- linear motor
- pressure air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
、本発明はワークを支承して水平面内の平行移動および
水平面内での微小角度の回動を精密に制御できるように
構成したＸＹθ移動台装置に関するものである。
水平面内での微小角度の回動を精密に制御できるように
構成したＸＹθ移動台装置に関するものである。
この種の精密ＸＹθ移動台装置は、例えば半導体ウェハ
を加工□したシ検査したシする場合に用いられ、サブミ
クロンオーダーの超高精度が要求される。
を加工□したシ検査したシする場合に用いられ、サブミ
クロンオーダーの超高精度が要求される。
従来のこの種の装置は、例えば特公昭５７−５０２８８
号公報（位置合わせ装置）などに開示されているよ
うに、水平な直交２軸Ｘ、Ｙ方向移動用の粗動ステージ
の上に微小角度回転用のθステージ及び微動Ｘ’Ｙステ
ージを搭載した構造が用いられている。
号公報（位置合わせ装置）などに開示されているよ
うに、水平な直交２軸Ｘ、Ｙ方向移動用の粗動ステージ
の上に微小角度回転用のθステージ及び微動Ｘ’Ｙステ
ージを搭載した構造が用いられている。
このような構造は複雑で、装置全体が大形、大重量とな
る上ｒこ、平行移動の制御と回動の制御とを互いに独立
させて行うため、高精度の位置決めが容易でなかった。
る上ｒこ、平行移動の制御と回動の制御とを互いに独立
させて行うため、高精度の位置決めが容易でなかった。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので回動専用の
ステージを設けることすく、簡単な構成で超高精度の微
小角度回転を駆動、制御し得る精密ＸＹθ移動台装置を
提供しようとするものである。
ステージを設けることすく、簡単な構成で超高精度の微
小角度回転を駆動、制御し得る精密ＸＹθ移動台装置を
提供しようとするものである。
上記の目的を達成する為、本発明のＸＹθ移動台は、試
料台と、該試料台を気体軸受を介して支承して直進スラ
イドさせるガイド軸と、上記のガイド軸の両端を支承し
てこれを前記と直角方向に案内す、る気体軸受とを備え
た平面移動台において、前記ガイド軸の両端をそれぞれ
該ガイド軸と直角方向に駆動する手段の駆動量を相対的
に変化させて前記試料台を水平面内で微小角度回転せし
め得るように構成したことを特徴とする。
料台と、該試料台を気体軸受を介して支承して直進スラ
イドさせるガイド軸と、上記のガイド軸の両端を支承し
てこれを前記と直角方向に案内す、る気体軸受とを備え
た平面移動台において、前記ガイド軸の両端をそれぞれ
該ガイド軸と直角方向に駆動する手段の駆動量を相対的
に変化させて前記試料台を水平面内で微小角度回転せし
め得るように構成したことを特徴とする。
次に、本発明の１実施例を第１図乃至第３図について説
明する。
明する。
第１図は、本発明の一実施例の精密ＸＹθ移動台の構成
を示す平面図、第２図は、第１図のＡ −Ａ断面図であ
る。
を示す平面図、第２図は、第１図のＡ −Ａ断面図であ
る。
本実施例は、往復矢印Ｘ方向に直進スライドする試料台
１、これを案内するガイド軸２、さらに、Ｘ軸と直交し
たＹ方向に、前記の試料台１を直進スライドするために
、ガイド軸２０両端を案内するスライドガイド６から構
成されている。
１、これを案内するガイド軸２、さらに、Ｘ軸と直交し
たＹ方向に、前記の試料台１を直進スライドするために
、ガイド軸２０両端を案内するスライドガイド６から構
成されている。
各部の構造の詳細を以下に述べる。
試料台１は、ガイド軸２を上下左右に４面拘束された静
圧エアバット４をもつ箱形構造で１、・ この上に、
半導体ウェハ等の試料５と、試料台１の位置及び回転変
位をレーザ干渉測長する基準となる光学スコヤ６を載置
している。
圧エアバット４をもつ箱形構造で１、・ この上に、
半導体ウェハ等の試料５と、試料台１の位置及び回転変
位をレーザ干渉測長する基準となる光学スコヤ６を載置
している。
上記試料台１の往復矢印Ｘ方向の直進駆動は次のように
して行われる◇ ベース７に固定したりニアモータ８の直進変位を、移動
方向と直角に、かつ両面に静圧エアバット９を設けた静
圧エア継手１ｏにょシ非接触に試料台１に伝達するっ本
実施例のりニアモータ８は、直流サーボリニアモータ、
交流サーボリニアモータ、又は、ボイスコイル形リニア
モータ等の直進形駆動モータであυ、本実施例では、リ
ニアコイル１１（第２図）を固定し、これに電流を流す
ことによシ磁界を発生させ、マグネット１２を駆動する
ムービングマグネット式ＤＣサーボリニアモータである
。なお、マグネット１２を固定し、リニアコイル１１を
駆動するムービングコイル式リニアモータとしてもよい
。
して行われる◇ ベース７に固定したりニアモータ８の直進変位を、移動
方向と直角に、かつ両面に静圧エアバット９を設けた静
圧エア継手１ｏにょシ非接触に試料台１に伝達するっ本
実施例のりニアモータ８は、直流サーボリニアモータ、
交流サーボリニアモータ、又は、ボイスコイル形リニア
モータ等の直進形駆動モータであυ、本実施例では、リ
ニアコイル１１（第２図）を固定し、これに電流を流す
ことによシ磁界を発生させ、マグネット１２を駆動する
ムービングマグネット式ＤＣサーボリニアモータである
。なお、マグネット１２を固定し、リニアコイル１１を
駆動するムービングコイル式リニアモータとしてもよい
。
静圧エア継手１ｏは、試料テーブル１の移動方向と直角
に、２つの平行に配置された軸受グレート１５と、これ
と微小エアギャップ（数〜数１０μｍ）隔てて対向した
静圧エアバット９から構成される上記のエアバット９は
りニアモータ８のマグネット１２に固定されている。
に、２つの平行に配置された軸受グレート１５と、これ
と微小エアギャップ（数〜数１０μｍ）隔てて対向した
静圧エアバット９から構成される上記のエアバット９は
りニアモータ８のマグネット１２に固定されている。
次に、試料台１を往復矢印Ｘ方向にスライドするための
ガイド軸２の両端に、上下及び左右方向を拘束する静圧
エアバット１３を設け、これがスライドガイド３内をエ
アスライドする構造となっている。
ガイド軸２の両端に、上下及び左右方向を拘束する静圧
エアバット１３を設け、これがスライドガイド３内をエ
アスライドする構造となっている。
Ｙ方向の移動は、Ｘ方向と同様に、リニアモータ１４
、１５の直進変位を静圧エア継手１６．１７を介して非
接触にて行なう。静圧エア継手１６゜１７は、エアバラ
） １８ 、１９と、その両面に微小エアギャップ（数
〜数１０μｍ）を隔ててガイド軸２に固定した各々２つ
の軸受ブロック２０゜２１から構成されている。
、１５の直進変位を静圧エア継手１６．１７を介して非
接触にて行なう。静圧エア継手１６゜１７は、エアバラ
） １８ 、１９と、その両面に微小エアギャップ（数
〜数１０μｍ）を隔ててガイド軸２に固定した各々２つ
の軸受ブロック２０゜２１から構成されている。
なお、使用する全てのりニアモータ８，１４゜１５は−
、マグネット１２ 、２４ 、２５ 、とリニアコイル
１１，２２．２３との間に一定の吸引力（数〜−ｖ、ｌ
Ｏ冷）が発住するため、これを支持し、かつ両者との間
隙を一定に保つためにころがシ案内方式のリニアガイド
２６ 、２７ 、２８を使用する。この場合のリニアガ
イド２６からの機械的微小振ｗＪ（振幅０．１〜０．２
μｍ）は、静圧エア継手１゜１６、１７の作用によシラ
０分め１以下に減衰されるため、静圧エア案内に、よシ
移動する各移動台への振動伝達は無視できる。
、マグネット１２ 、２４ 、２５ 、とリニアコイル
１１，２２．２３との間に一定の吸引力（数〜−ｖ、ｌ
Ｏ冷）が発住するため、これを支持し、かつ両者との間
隙を一定に保つためにころがシ案内方式のリニアガイド
２６ 、２７ 、２８を使用する。この場合のリニアガ
イド２６からの機械的微小振ｗＪ（振幅０．１〜０．２
μｍ）は、静圧エア継手１゜１６、１７の作用によシラ
０分め１以下に減衰されるため、静圧エア案内に、よシ
移動する各移動台への振動伝達は無視できる。
次に、本実施例における試料台１の微小角度回転の方法
について説明する。
について説明する。
前述の通シ、Ｙ方向の直進移動のために、ガイド軸２の
左右２ケ所に１対のりニアモータ１４．。
左右２ケ所に１対のりニアモータ１４．。
１５が、設けられている。試料台１を△θだけ微。
小回転する時には、左側リニアモータ１４によって定め
られる駆動位置を基準として右側リニアモータ１５によ
って定まる駆動位置を微小量だけ変化させる。
られる駆動位置を基準として右側リニアモータ１５によ
って定まる駆動位置を微小量だけ変化させる。
Ｍ１図から容易に理解できるように、往復矢印Ｘ方向（
図において左右方向）Ｋ設けられたガイド軸２０両端を
、異った距離ずつ上下方向に移動させると、該ガイド軸
２は水平面内で回動する。
図において左右方向）Ｋ設けられたガイド軸２０両端を
、異った距離ずつ上下方向に移動させると、該ガイド軸
２は水平面内で回動する。
第２図に示されている静圧エア継手１０が上記の回動の
支点となる。この静圧エア継手１０は空気圧のバランス
によって位置を定められる構造であるため、微小角度（
例えば±５ Ｘ １０−’ｒａｄ程度）の回動を許容し
得る。
支点となる。この静圧エア継手１０は空気圧のバランス
によって位置を定められる構造であるため、微小角度（
例えば±５ Ｘ １０−’ｒａｄ程度）の回動を許容し
得る。
次に、第１図を参照しつつ本実施例装置の機械的構成に
ついて説明する（電気的な構成については第３図を参照
して後述する）。
ついて説明する（電気的な構成については第３図を参照
して後述する）。
まず、試料台１のＸ方向、Ｙ方向の移動量はレーザ発振
器５０からのレーザ元３１を、５０％ビームスプリッタ
３２で２光路ａ、Ｊに分け、それぞれ試料台１に取り付
けた光学スコヤ６に反射させて、干渉計５５．５４ＩＣ
より得られた干渉信号をレシーバ５５ 、３６でカウン
トする。同様に、微小回転角Δθの測定は、レーザ尤３
１を３３％ビームスグリツタ３７で、分岐させ、干渉計
１ とビームベンダ３９で、２光路ｃ、ｄに分割し、こ
の２ビームを光学スコヤ６ｒｃ反射させそれらの干渉信
号をレシーバ４０でカウントすることによシ、光路Ｃと
同ｄとの距離の差Δｇを測長する。この時、光路ｃ、ｄ
の間隔を４とられる。
器５０からのレーザ元３１を、５０％ビームスプリッタ
３２で２光路ａ、Ｊに分け、それぞれ試料台１に取り付
けた光学スコヤ６に反射させて、干渉計５５．５４ＩＣ
より得られた干渉信号をレシーバ５５ 、３６でカウン
トする。同様に、微小回転角Δθの測定は、レーザ尤３
１を３３％ビームスグリツタ３７で、分岐させ、干渉計
１ とビームベンダ３９で、２光路ｃ、ｄに分割し、こ
の２ビームを光学スコヤ６ｒｃ反射させそれらの干渉信
号をレシーバ４０でカウントすることによシ、光路Ｃと
同ｄとの距離の差Δｇを測長する。この時、光路ｃ、ｄ
の間隔を４とられる。
以上のＸ、Ｙ、θの測定を試料台１の全ストローク域に
おいて可能とするため、光学スコヤ６を用いる。
おいて可能とするため、光学スコヤ６を用いる。
以上述べたレーザ干渉測長の測定分解能は、０．０１μ
ｍ以下が可能である。また、微小回転角Δθの測定分解
能は、ｅを例えば２０澗とするとａｒｃｔａｎ ”””
’ ＝５ Ｘ１０−ツｒａｄＪＪ、下トｔｘＤ、超精密
測定が可能である。
ｍ以下が可能である。また、微小回転角Δθの測定分解
能は、ｅを例えば２０澗とするとａｒｃｔａｎ ”””
’ ＝５ Ｘ１０−ツｒａｄＪＪ、下トｔｘＤ、超精密
測定が可能である。
第３図は、本移動台の位置決めサーボ制御システムを示
すブロック図である。各Ｘ、Ｙ、θのレシーバ３５ 、
５６ 、４０からの干渉信号は、レーザ制御装置（総称
）５０内の、カラ／り５１゜５２ 、５３ Ｋラッチさ
れる。一方、システムコントロー、Ｆ （ＣＰＵ ）５
４からは、目標値として、Ｘ、Ｙ、Ｉ／（ｉ’）カウン
ト数をレジスタ５５，５６，５７１Ｃセツトしておく。
すブロック図である。各Ｘ、Ｙ、θのレシーバ３５ 、
５６ 、４０からの干渉信号は、レーザ制御装置（総称
）５０内の、カラ／り５１゜５２ 、５３ Ｋラッチさ
れる。一方、システムコントロー、Ｆ （ＣＰＵ ）５
４からは、目標値として、Ｘ、Ｙ、Ｉ／（ｉ’）カウン
ト数をレジスタ５５，５６，５７１Ｃセツトしておく。
なおθの目標値は、試料台１が移動する際に生ずる微小
回転角をなくすようにサーボ制御するために、０力ウン
ト士許容カウント数をセットする。次に、目標値と現在
値との偏差出力を比較増幅器５Ｂ、５９．６０で得、こ
れをＤ／Ａコンバータ６１，６２．６５でアナログ電圧
に変換して速度指令値を得る。試料台１を駆動するりニ
アモータ８はＦ／Ｖ変換器６４（２チヤンネル）によシ
得られる速度フィードバック値と、指令値に基づくサー
ボアング６５からの出力を得て駆動される。
回転角をなくすようにサーボ制御するために、０力ウン
ト士許容カウント数をセットする。次に、目標値と現在
値との偏差出力を比較増幅器５Ｂ、５９．６０で得、こ
れをＤ／Ａコンバータ６１，６２．６５でアナログ電圧
に変換して速度指令値を得る。試料台１を駆動するりニ
アモータ８はＦ／Ｖ変換器６４（２チヤンネル）によシ
得られる速度フィードバック値と、指令値に基づくサー
ボアング６５からの出力を得て駆動される。
Ｙ１リニアモータ１４も、Ｘリニアモータ８と同一の制
御を行なう。
御を行なう。
一方、ＹｚＸリニアモータ１は、微小回転角△θの制御
を含むＹ方向の制御を行なうため、Ｙ方向Ｄ／Ａコンバ
ータ６２の出力から、θ方向Ｄ／Ａコンバータ６３の出
力を差し引いた値を、差動増幅器６７で得、これをＹｙ
リニアモータ１５の速度指令値とする。Ｙ２リニアモー
タ１５は、Ｙ＋リニアモータ１４と同一のＦ／Ｖ変換器
６４から得られる速度フィードバック値と、上記速度指
令値とによシ、サーボアンプ６７を介して、出力を得る
。
を含むＹ方向の制御を行なうため、Ｙ方向Ｄ／Ａコンバ
ータ６２の出力から、θ方向Ｄ／Ａコンバータ６３の出
力を差し引いた値を、差動増幅器６７で得、これをＹｙ
リニアモータ１５の速度指令値とする。Ｙ２リニアモー
タ１５は、Ｙ＋リニアモータ１４と同一のＦ／Ｖ変換器
６４から得られる速度フィードバック値と、上記速度指
令値とによシ、サーボアンプ６７を介して、出力を得る
。
以上のような完全閉ループ式フィードバック制御方式を
用いることによシ、試料５を、走行中あるいは、停止状
態でＸ、Ｙ、θ方向に位置制御することが可能となる。
用いることによシ、試料５を、走行中あるいは、停止状
態でＸ、Ｙ、θ方向に位置制御することが可能となる。
以上に説明したごとく、本実施例においては直交するＸ
、Ｙ２軸のステージ機構によシ、ｘＹ方向の位置決め制
御と、微小回転制御とが可能である。このため、本実施
例は特に、半導体用露光装置及び検査装置において、ウ
ェハ等の試料の超精密なＸＹθ制御に適する。本例にお
いては、従来不可欠であった回転制御専用の回転ステー
ジが不要であり、ステージ機構の高剛性化、簡素化、軽
量化、小形化が可能となる。
、Ｙ２軸のステージ機構によシ、ｘＹ方向の位置決め制
御と、微小回転制御とが可能である。このため、本実施
例は特に、半導体用露光装置及び検査装置において、ウ
ェハ等の試料の超精密なＸＹθ制御に適する。本例にお
いては、従来不可欠であった回転制御専用の回転ステー
ジが不要であり、ステージ機構の高剛性化、簡素化、軽
量化、小形化が可能となる。
このため、高速制御が可能となり、半導体製造装置に適
用した場合、スルーグツトの向上に役立つ。
用した場合、スルーグツトの向上に役立つ。
以上詳述したように、本発明によれば、回動専用のステ
ージを設けることなく、簡単な構成で超高精度のＸＹ駆
動、制御、及び微小回転角度の駆動、制御を行い得ると
いう優れた実用的効果を奏する。
ージを設けることなく、簡単な構成で超高精度のＸＹ駆
動、制御、及び微小回転角度の駆動、制御を行い得ると
いう優れた実用的効果を奏する。
添付の図面は本発明の１実施例を示し、第１図は平面図
、第２図は第１図のＡ −Ａ断面図、第６図は制御ブロ
ック図である。 １・・・試料台 ２・・・ガイド軸３・・
・ガイドプレート ４・・・静圧エアパット６・・
・光学スコヤ ８・・・リニアモータ１０・・
・静圧エア継手 １５・・・静圧エアバット１４、
１５・・・リニアモータ １７．１８・・・静圧エア継手 ６０・・・レーザ発振器。
、第２図は第１図のＡ −Ａ断面図、第６図は制御ブロ
ック図である。 １・・・試料台 ２・・・ガイド軸３・・
・ガイドプレート ４・・・静圧エアパット６・・
・光学スコヤ ８・・・リニアモータ１０・・
・静圧エア継手 １５・・・静圧エアバット１４、
１５・・・リニアモータ １７．１８・・・静圧エア継手 ６０・・・レーザ発振器。
Claims (4)
- １．試料台と、該試料台を気体軸受を介して支承して直
進スライドさせるガイド軸と、上記のガイド軸の両端を
支承してこれを前記と直角方向に案内する気体軸受とを
備えた平面移動台において、前記ガイド軸の両端をそれ
ぞれ該ガイド軸と直角方向に駆動する手段の駆動量を相
対的に変化させて前記試料台を水平面内で微小角度回転
せしめ得るように構成したことを特徴とする精密ＸＹθ
移動台装置。 - ２．前記の試料台は、Ｘ、Ｙ方向の移動量および水平面
内での回転角変位を測定する手段を備え、上記の測定値
が予め設定した目標値となるように制御する閉ループサ
ーボ機構を設けたものであることを特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載の精密ＸＹθ移動台装置。 - ３．前記の測定手段はレーザ干渉測長器を用いたもので
あることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の精
密ＸＹθ移動台装置。 - ４．前記のガイド軸の両端をそれぞれ該ガイド軸と直角
方向に駆動する手段は複数個のリニアモータであり、か
つ、該リニアモータはその直線変位を静圧気体軸受を介
して試料台を駆動するように構成したものであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の精密ＸＹθ移
動台装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13312184A JPS6113314A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 精密ｘｙ０移動台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13312184A JPS6113314A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 精密ｘｙ０移動台装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113314A true JPS6113314A (ja) | 1986-01-21 |
Family
ID=15097278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13312184A Pending JPS6113314A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 精密ｘｙ０移動台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6113314A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2826599A1 (fr) * | 2001-06-29 | 2003-01-03 | Timon | Procede de percage de verres optiques, et dispositif de mise en oeuvre dudit procede |
| EP2030723A1 (en) * | 2007-09-03 | 2009-03-04 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Planar stage moving apparatus for machine |
| CN103692223A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-04-02 | 上海机床厂有限公司 | 采用直线电机驱动的精密传动液体静压导轨 |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP13312184A patent/JPS6113314A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2826599A1 (fr) * | 2001-06-29 | 2003-01-03 | Timon | Procede de percage de verres optiques, et dispositif de mise en oeuvre dudit procede |
| EP2030723A1 (en) * | 2007-09-03 | 2009-03-04 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Planar stage moving apparatus for machine |
| US8008815B2 (en) | 2007-09-03 | 2011-08-30 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Planar stage moving apparatus for machine |
| CN103692223A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-04-02 | 上海机床厂有限公司 | 采用直线电机驱动的精密传动液体静压导轨 |
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