JPS61131836U - - Google Patents

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JPS61131836U
JPS61131836U JP1576485U JP1576485U JPS61131836U JP S61131836 U JPS61131836 U JP S61131836U JP 1576485 U JP1576485 U JP 1576485U JP 1576485 U JP1576485 U JP 1576485U JP S61131836 U JPS61131836 U JP S61131836U
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JP
Japan
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transfer device
wafer
wafer boat
feed screw
reciprocating
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JP1576485U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の実施例を示す正面図、第２
図はその使用状態を示す拡大断面図である。 １……ウエハボート、３……トレー、５……ク
ランプ装置、６……基準ブロツク、７……押圧装
置、８……移送装置、９……送りねじ、１０……
ステツピングモータ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ クランプ装置に対して走行自在なトレーにウ
    エハボートを載置し、該ウエハボートの両端と相
    対する部分に前記クランプ装置と結合された基準
    ブロツク及び押圧装置を夫々設け更にそのクラン
    プ装置を、前記ウエハボートの長手方向と平行に
    往復動可能な移送装置と結合したウエハの移し替
    え装置。 ２ 往復動可能な移送装置がクランプ装置に螺合
    された送りねじと、該送りねじに結合されたステ
    ツピングモータとからなつていることを特徴とす
    る実用新案登録請求の範囲１記載のウエハの移し
    替え装置。
JP1576485U 1985-02-06 1985-02-06 Pending JPS61131836U (ja)

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JP1576485U JPS61131836U (ja) 1985-02-06 1985-02-06

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1576485U JPS61131836U (ja) 1985-02-06 1985-02-06

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Publication Number Publication Date
JPS61131836U true JPS61131836U (ja) 1986-08-18

Family

ID=30501905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1576485U Pending JPS61131836U (ja) 1985-02-06 1985-02-06

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61131836U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61291335A (ja) * 1985-06-19 1986-12-22 Denkoo:Kk 半導体移換え装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS61291335A (ja) * 1985-06-19 1986-12-22 Denkoo:Kk 半導体移換え装置

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