JPS6118213U - ウエハの移し替え装置 - Google Patents
ウエハの移し替え装置Info
- Publication number
- JPS6118213U JPS6118213U JP10088484U JP10088484U JPS6118213U JP S6118213 U JPS6118213 U JP S6118213U JP 10088484 U JP10088484 U JP 10088484U JP 10088484 U JP10088484 U JP 10088484U JP S6118213 U JPS6118213 U JP S6118213U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transfer device
- wafer transfer
- wafer
- reciprocating
- feed screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の実施例を示す斜視図、第２図は、第
１図の■一■線断面図に相当する図で、ウエハボートの
所定位置での状態を示す縦断面図である。 １・・・・・・トレー、２・・・・・・ウエハポート、
３・・・・・・ウエハボート端面、４・・・・・・マイ
クロスイッチ、５・・・・・・センサ。
１図の■一■線断面図に相当する図で、ウエハボートの
所定位置での状態を示す縦断面図である。 １・・・・・・トレー、２・・・・・・ウエハポート、
３・・・・・・ウエハボート端面、４・・・・・・マイ
クロスイッチ、５・・・・・・センサ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 往復動可能なトレーの項部にウエハボートを載置し
、該ウエハポートの端面の往復動軌跡の範囲内にマイク
ロスイッチのセンサを設置したウエハの移し替え装置。 ２ 往復動可能なトレーが送りねじに螺合され且つ、そ
の送りねじが、モーターに結合されていることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ移し替
え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10088484U JPS6118213U (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | ウエハの移し替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10088484U JPS6118213U (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | ウエハの移し替え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6118213U true JPS6118213U (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=30660326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10088484U Pending JPS6118213U (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | ウエハの移し替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6118213U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230246A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-09-13 | Tel Sagami Ltd | 半導体ウェハの移し換え方法及び半導体ウェハの移し換え装置並びに半導体ウェハの熱処理ボート |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5340277A (en) * | 1976-09-27 | 1978-04-12 | Shinkawa Seisakusho Kk | Apparatus for feeding and enclosing semiconductor leadframe |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP10088484U patent/JPS6118213U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5340277A (en) * | 1976-09-27 | 1978-04-12 | Shinkawa Seisakusho Kk | Apparatus for feeding and enclosing semiconductor leadframe |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230246A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-09-13 | Tel Sagami Ltd | 半導体ウェハの移し換え方法及び半導体ウェハの移し換え装置並びに半導体ウェハの熱処理ボート |
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