JPS61130390U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61130390U JPS61130390U JP1052485U JP1052485U JPS61130390U JP S61130390 U JPS61130390 U JP S61130390U JP 1052485 U JP1052485 U JP 1052485U JP 1052485 U JP1052485 U JP 1052485U JP S61130390 U JPS61130390 U JP S61130390U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- vibrator
- isolates
- outer side
- solvent atmosphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 3
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である超音波洗浄装
置の構成を示す概略説明図、第２図は第１図の１
部変更を示す概略説明図、第３図及び第４図は従
来の超音波洗浄装置の概略説明図である。 １０……振動子、１２……槽、１４……流し台
、１６……排水口、１８……遮蔽板、２０……カ
バー、２２……給水口、２４……給水管、２６…
…排水口、２８……排水管、３０……容器、３２
……半導体ウエハ、３４……塩酸混合液、１……
振動子、２……槽、３……洗浄物、４……溶媒、
５……容器、６……水。
置の構成を示す概略説明図、第２図は第１図の１
部変更を示す概略説明図、第３図及び第４図は従
来の超音波洗浄装置の概略説明図である。 １０……振動子、１２……槽、１４……流し台
、１６……排水口、１８……遮蔽板、２０……カ
バー、２２……給水口、２４……給水管、２６…
…排水口、２８……排水管、３０……容器、３２
……半導体ウエハ、３４……塩酸混合液、１……
振動子、２……槽、３……洗浄物、４……溶媒、
５……容器、６……水。
補正 昭６０．７．２
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第５頁第１９行目に「塩酸混合液、」と
あるのを「硫酸および塩酸と過酸化水素水との混
合液」と補正する。
あるのを「硫酸および塩酸と過酸化水素水との混
合液」と補正する。
Claims (1)
- 槽の底部に固定された振動子を囲んで溶媒雰囲
気から前記振動子を隔絶する遮蔽板と、前記槽の
外側部を覆い溶媒雰囲気から前記槽の外側部を隔
絶するカバーとを設け、前記カバーの上端に前記
槽内の水を排出する排水口を設け、下方に前記槽
内に水を供給する給水口を設けた超音波洗浄装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1052485U JPS61130390U (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1052485U JPS61130390U (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130390U true JPS61130390U (ja) | 1986-08-15 |
Family
ID=30491784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1052485U Pending JPS61130390U (ja) | 1985-01-30 | 1985-01-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61130390U (ja) |
-
1985
- 1985-01-30 JP JP1052485U patent/JPS61130390U/ja active Pending