JPS6219733U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6219733U JPS6219733U JP11077085U JP11077085U JPS6219733U JP S6219733 U JPS6219733 U JP S6219733U JP 11077085 U JP11077085 U JP 11077085U JP 11077085 U JP11077085 U JP 11077085U JP S6219733 U JPS6219733 U JP S6219733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive agent
- pipe
- agent coating
- simple cleaning
- waste liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は、本考案簡易クリーニングパイプの縦
断面図である。第２図は、第２図の５の部分の拡
大図である。第３図は簡易クリーニングパイプ周
辺の下面図である。 尚、図において、１……感光剤コーテイング部
分、２……廃液タンク、３……排出パイプ、４…
…簡易クリーニングパイプ、５……簡易クリーニ
ングパイプ先端部材である。
断面図である。第２図は、第２図の５の部分の拡
大図である。第３図は簡易クリーニングパイプ周
辺の下面図である。 尚、図において、１……感光剤コーテイング部
分、２……廃液タンク、３……排出パイプ、４…
…簡易クリーニングパイプ、５……簡易クリーニ
ングパイプ先端部材である。
Claims (1)
- 半導体の製造工程における感光剤コーテイング
装置の、コーテイング時に排出させる感光剤を排
除する排出パイプの中に着脱可能な円筒形筒状で
先端部分にＵ字型の形状のパイプを設けたことを
有する事を特徴とする感光剤コーテイング装置用
廃液パイプ簡易クリーニングパイプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11077085U JPS6219733U (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11077085U JPS6219733U (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6219733U true JPS6219733U (ja) | 1987-02-05 |
Family
ID=30990078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11077085U Pending JPS6219733U (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6219733U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS644291U (ja) * | 1987-06-29 | 1989-01-11 | ||
| JPH0159488U (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-14 | ||
| JPH02141059U (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-27 |
-
1985
- 1985-07-18 JP JP11077085U patent/JPS6219733U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS644291U (ja) * | 1987-06-29 | 1989-01-11 | ||
| JPH0433033Y2 (ja) * | 1987-06-29 | 1992-08-07 | ||
| JPH0159488U (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-14 | ||
| JPH02141059U (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-27 |