JPS61120630A - 冷却媒体保存容器 - Google Patents

冷却媒体保存容器

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JPS61120630A
JPS61120630A JP59244301A JP24430184A JPS61120630A JP S61120630 A JPS61120630 A JP S61120630A JP 59244301 A JP59244301 A JP 59244301A JP 24430184 A JP24430184 A JP 24430184A JP S61120630 A JPS61120630 A JP S61120630A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、液体窒素や液体ヘリウムなどの冷却媒体の
容器(一般にデエアーと称されるもの]に関する。特に
、工業用の真空装置において循環方式の冷却トラップに
これらの冷媒を供給したり、またそのトラップなどから
冷媒を回収したりする容器に関する。
〔従来の技術〕
従来の技術は第2図に示すように、真空々間5によって
囲まれた容器内壁6の中側を容器とし、ここに冷却媒体
7を注入し、必要に応じて取出し口2から愛知媒体を取
出して使うものであった。
この第2図の従来方法では、たとえば、真空装置内に設
けた冷媒を通過させることによって冷却する冷却トラッ
プに冷媒を供給する場合、トラップから排出されてくる
冷媒を別の容器に導き入れるなどしなければならなかっ
た。
本発明が解決しようとする問題は、上記のように別々に
容器に冷媒をためる場合、冷媒が複数の容器に収納しな
くてはならないので冷熱を失ないやすく、冷媒の消費が
はげしくなることである。
これをまず防ぐことにある。取扱いにも不便であり、装
置全体がコンパクトにまとまらないなどの問題があった
本発明の主たる必要となる理由は、従来、液体窒素など
の冷却媒体を循環せしめることによって冷却作用をもた
らす冷却トラップが実用されなかった状況に対して、今
回、こうした液体窒素を循環せしめる冷却トラップが種
々の効果があり、これに着目し、これを実行せしめる際
、この液体窒素の循環を成立させる保存容器の実用的な
形態を提供しなければならない点にある。
〔実施例〕
これらの問題を解決する手段として、第1図のように、
同一真空々間で外部から断熱された一つの容器を2室に
分割し、各々の室に対して従来のような出入口と、冷媒
の帰着する入り口を設けることにした。
第4図に、目的とする循環式冷媒冷却トラップと本発明
の実施例第1図との接続の状況を示す。
A、Bの各室の出入口に循環式冷却トラップの出入口を
図のように接続し、B室の圧力ii’iJ ki口3′
をしめてB室の圧力を高めると、冷却媒体は矢印のよう
に流れ、A室の方へ冷媒がたまる。液面がA室の方が高
くなって、一杯になったとき、B室の圧力調節口をしめ
てA室の圧力を上げ、反対にB室の圧力を下げると、今
度は反対に冷媒はA室からB室に流れる。いずれの場合
も、冷却トラップ5の配管6を通して冷媒が流れるから
冷却トラップが作動し、真空システム7が排気される。
調節弁2t2’l’j3′をA、B室内の圧力などによ
って開閉の制御をすること、また、冷却トラップとの配
管4の途中に冷媒駆動ポンプを入れたりすることによっ
て、上記の循環を能率よく正しく行なわせることは実際
的なことである。
なお、真空システムの真空度に応じて、冷媒の循環を制
御し、以りて真空度をコントロールする事も、本発明の
付随的な効果であるが、新しい真空度の調節を可能とさ
せる点で重安なものである第3図は本発明の他の実施例
であるが、この例は液体ヘリウムを循環させるためのも
ので、液体ヘリウム容器の外側に′N82の冷K(たと
えば液体窒素)を外側に配置し、できるだけ保存の利く
ようにしたものである。
第3図の10 、10’が液体ヘリウム、7が液体窒素
で、空間8.9を真空にしておく。そして、液体ヘリウ
ムを2、または2′から取出し、取戻しをして使用する
。この状況は第4図と同じである。
第5図は、本発明の冷却媒体保存容器を用いた真空シス
テムの総合的な構成例である。第5図の特徴は、真空度
を目的に浴うようにコントロールし、かつ液体窒素など
の冷媒の循環をも同時に総合的にコントロールするシス
テムである。コントローラー5は、液面の検出端9−1
.9.−2によって冷媒容器2の圧力調節弁11−1 
、11−2を制御し、同時に冷媒駆動ボ/プ12−1.
12−2を12−5なる冷媒駆動ポンプへの指令信号に
よりでコントロールする。
以上の制御系によりて冷却トラップ6の光面温度を一完
となるよう制御するが、冷却トラップの表面温度のセン
サー8と真空システムに設けた真空ゲージ7−1、およ
びそのコントローラ7−2からの信号を入力信号として
、目的にそうよう、真空度の制御を冷却媒体の循環速度
を通じて行なうことができる。第5図の実施例では、冷
却トラップ6の表面にチタyなどのゲッター材を蒸着し
て、冷却トラップの排気速度を約5000〜50,0a
at7sとした場合(冷却トラップの表面積を直径50
 an 、高さS Ocm 、の円筒面の表面積、約5
X10’dの場合、約1(LOOO6/Sであった。)
、冷却トラップの表面温度を一196℃〜+20℃に調
節することによって真空システムの内部の真空度を10
4torrから7×10″″12torr以下の範囲に
亘って、調節しつる事を筆者らは確認することができた
。またこの場合の調力1系の時定数、特に操作端子系の
時定数は、約1分以下を記録し、たとえば、筆者らの実
験では1O−9torrから5 X 10−” t o
 r rまで、2分根度で到達するなどの応答速kを得
ている。これは従来、実現し得なかった超高真空度の調
節システムであり、本発明の冷却媒体付保存容器はこう
した総合システムを支えるユニットの一つとなるもので
ある。14は冷却媒体補充用容器であり、本発明の冷媒
保存容器に入った冷媒の総社が常に一定に保たれるよう
、液面センサー9−1.9−2の信号とコントロールユ
ニット5の出力によって、圧力調節弁14−1と補充用
コック14−2をコントロールされているものである。
〔発明の効果〕
以上の説明かられかるように、デエアそのものがコンパ
クトになること、操作しやすくなること、A、B両室が
熱的に両者はよくつながれるが、外部に対しては熱遮断
されているため、保存の能率がよい、むだが少ないこと
、調節弁や出入口が一つのi体にあるために各種の自動
化がはかれること、さらに、この装置のセンサーと真空
システム側のセンサーとを一体化することによって真空
度の自動制御が可能となること、などの効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す断面図、第2図は従来例
である。第3〜第5図は他の実施例を示す図である・ 1・・・・・・A室(冷媒8の入った室)に冷媒を入れ
る入口 1′・・・B室(冷媒8′の入った室)に冷媒を入れる
入口(以下同様) 2・・・・・・A室から冷媒8を取り出したり、入れた
りする出入口 5・・・・・・A室の圧力調節口 4・・・・・・容器の外壁 5・・・・・・断熱のための真空々間 6・・・・・・容器の中壁 7・・・・・・A室とB室の仕切シ 8・・・・・・A室に入った冷媒 8′・・・B室に入った冷媒 9・・・・・・キャスター 以  上

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)周囲に真空とした空間を作り、中央に冷却媒体を
    入れる容器を設け、外部とできるだけ熱伝導を低く押え
    た冷却媒体保存容器において、冷却媒体を入れる部分を
    2つに分割したことを特徴とする冷却媒体保存容器。
  2. (2)前記周囲に配置した真空々間のさらに外側に第2
    の冷却媒体を入れる容器部分を作りこれの外側に第2の
    真空々間を設けてなる前記請求範囲第1項記載の冷却媒
    体保存容器。
  3. (3)前記第1項の冷却媒体を入れる2つの部分に冷却
    媒体の液面位置を検出するためのセンサーを設けたこと
    を特徴とする前記第1項記載の冷却媒体保存容器。
JP59244301A 1984-11-19 1984-11-19 冷却媒体保存容器 Granted JPS61120630A (ja)

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JP59244301A JPS61120630A (ja) 1984-11-19 1984-11-19 冷却媒体保存容器
US06/799,414 US4715186A (en) 1984-11-19 1985-11-19 Coolant preservation container

Applications Claiming Priority (1)

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JP59244301A JPS61120630A (ja) 1984-11-19 1984-11-19 冷却媒体保存容器

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JPS61120630A true JPS61120630A (ja) 1986-06-07
JPH0429919B2 JPH0429919B2 (ja) 1992-05-20

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